專(zhuān)利名稱(chēng)：懸浮輸送單元的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及懸浮輸送單元。
背景技術(shù)：
以往已知一種日本特開(kāi)2008 - 7319號(hào)公報(bào)記載的技術(shù)，即，沿工件的輸送方向并列地配置多個(gè)分別與空氣供給箱連接的懸浮輸送單元，作為整體構(gòu)成懸浮輸送單元。

發(fā)明內(nèi)容
但是，采用上述結(jié)構(gòu)時(shí)，與懸浮輸送單元(框體)的數(shù)量相應(yīng)地設(shè)置空氣供給箱(即，氣體供給構(gòu)件)，所以整體結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜。本發(fā)明鑒于上述情況，其目的是提供能夠抑制整體結(jié)構(gòu)復(fù)雜化的懸浮輸送單元。本發(fā)明的第一方式的懸浮輸送單元具有:框體，其被組裝多個(gè)，由頂壁構(gòu)成連續(xù)的懸浮輸送路面，并在內(nèi)部具有空腔部；多個(gè)氣體噴出孔，形成在所述頂壁上，并與所述空腔部連通；連接構(gòu)件，被設(shè)置在所述框體的側(cè)部，連接各所述框體，并且能夠使氣體在相鄰的所述空腔部?jī)?nèi)流通；氣體供給構(gòu)件，被設(shè)置在至少一個(gè)所述框體上，將由氣體供給裝置供給的氣體供給至所述空腔部。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，只要從氣體供給裝置向至少一個(gè)氣體供給構(gòu)件供給氣體，就能夠經(jīng)由連接構(gòu)件將氣體供給到各框體的空腔部，所以，能夠從形成為連續(xù)的懸浮輸送路面的各頂壁的氣體噴出孔噴出氣體，懸浮輸送工件。由此，不需要按照框體的數(shù)量來(lái)設(shè)置氣體供給構(gòu)件，能夠抑制整體結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化。在本發(fā)明第二方式的懸浮輸送單元中，第一方式中的所述連接構(gòu)件具有:下側(cè)接合部，其具有從所述框體的一個(gè)側(cè)部下方延伸出來(lái)，同時(shí)向所述框體的寬度方向延伸，并向上方開(kāi)放的下卡合槽；上側(cè)接合部，其從所述框體的另一個(gè)側(cè)部上方延伸出來(lái)，同時(shí)向所述框體的寬度方向延伸，并向下方開(kāi)放的上卡合槽，所述上側(cè)接合部與所述下卡合槽卡合，所述下側(cè)接合部與所述上卡合槽卡合。上述“框體的寬度方向”是指與工件的輸送方向(懸浮輸送路面的連續(xù)方向)交叉的方向。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，從框體的一個(gè)側(cè)部下方延伸出來(lái)、并向下側(cè)接合部的上方開(kāi)放的下卡合槽與從相鄰的框體的另一側(cè)部上方延伸出來(lái)、并向上側(cè)接合部的下方開(kāi)放的上卡合槽卡合，由此連接各框體。因此，能夠在連接各框體時(shí)，準(zhǔn)確地限制工件的輸送方向及框體的高度方向的位置。在本發(fā)明的第三方式的懸浮輸送單元中，第二方式中的所述連接構(gòu)件具有:凸片，其從所述框體的一個(gè)側(cè)部上方向與所述下卡合槽交叉的方向伸出；凹部，被凹設(shè)在所述框體的另一個(gè)側(cè)部上方，并供所述凸片卡合。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，向與下卡合槽交叉的方向即工件的輸送方向伸出的凸片與凹部卡合，由此框體彼此被連接。因此，在連接各框體時(shí)，能夠準(zhǔn)確地限制框體的寬度方向的位置。
在本發(fā)明的第四方式的懸浮輸送單元中，第一方式 第三方式的任意一個(gè)方式中的多個(gè)所述框體包括形狀或大小與其他框體不同的框體。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠根據(jù)工廠的布局自由地調(diào)整懸浮輸送路面的軌道或大小。在本發(fā)明的第五方式的懸浮輸送單元中，第一方式 第四方式的任意一個(gè)方式中的多個(gè)所述框體包括俯視呈梯形、并能夠在連接所述梯形的上底及下底的側(cè)邊與其他框體進(jìn)行組裝的框體。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過(guò)改變俯視呈梯形的框體的個(gè)數(shù)，能夠更自由地調(diào)整懸浮輸送路面的軌道。在本發(fā)明的第六方式的懸浮輸送單兀中，第一方式 第五方式的任意一個(gè)方式中的所述懸浮輸送單元具有:基座，用于載置所述框體；伸出片，從與設(shè)有所述連接構(gòu)件的側(cè)部不同的所述框體的側(cè)部延伸出來(lái)，并被固定在所述基座上。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于框體借助伸出片被固定在基座上，所以在連接各框體時(shí)，能夠抑制框體錯(cuò)位，使各框體的連接變得容易。在本發(fā)明的第七方式的懸浮輸送單元中，第二方式 第六方式的任意一個(gè)方式中的所述氣體供給構(gòu)件是與所述下側(cè)接合部或所述上側(cè)接合部卡合的中空部件，所述中空部件具有:氣體供給口，用于向中空部供給氣體；連通口，使所述框體的所述空腔部和所述中空部連通。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于中空部件與下側(cè)接合部或上側(cè)接合部卡合，所以能夠?qū)⒅锌詹考渲迷谶B續(xù)的懸浮輸送路面的兩端部。由此，能夠使氣體從懸浮輸送路面的兩端部蔓延到中央部的框體的空腔部，并能夠抑制來(lái)自氣體噴出孔的氣體的噴出量在懸浮輸送路面的任意端部或中央部降低。在本發(fā)明的第八方式的懸浮輸送單元中，第一 七方式的任意一個(gè)方式中的所述連接構(gòu)件是分別與形成在相鄰的所述框體的側(cè)部上的連接口嵌合，使相鄰的所述空腔部連通的連接管。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于只要使連接管分別與相鄰的框體的側(cè)部的連接口嵌合即可，所以框體的制造變得容易。發(fā)明的效果由于本發(fā)明采用上述結(jié)構(gòu)，所以能夠提供可抑制整體結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化的懸浮輸送單
J Li ο


圖1是表示組裝了第一實(shí)施方式的懸浮輸送單元的懸浮輸送裝置的立體圖。圖2是表示組裝了第一實(shí)施方式的懸浮輸送單元的懸浮輸送裝置的側(cè)視圖。圖3是表示組裝了第一實(shí)施方式的懸浮輸送單元的懸浮輸送裝置的俯視圖。圖4是第一實(shí)施方式的懸浮輸送單元的整體立體圖。圖5是第一實(shí)施方式的懸浮輸送單元的局部側(cè)剖視圖。圖6 (A) - (B)是表示構(gòu)成第一實(shí)施方式的懸浮輸送單元的各框體的連接構(gòu)造之一例的立體圖。圖7 (A) - (B)是表示構(gòu)成第一實(shí)施方式的懸浮輸送單元的各框體的連接構(gòu)造的其他例的立體圖。圖8是第二實(shí)施方式的懸浮輸送單元的局部側(cè)剖視圖。圖9 (A) - (B)是表示第一實(shí)施方式的懸浮輸送單元的變形例的圖。圖10 (A) - (B)是表示第一實(shí)施方式的懸浮輸送單元的其他變形例的圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖具體說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式的懸浮輸送單元。需要說(shuō)明的是，在圖中，具有相同或相應(yīng)的功能的部件(構(gòu)成要素)標(biāo)注相同的符號(hào)并適當(dāng)省略說(shuō)明。<第一實(shí)施方式>圖廣圖3示出了組裝了本實(shí)施方式的懸浮輸送單元10的懸浮輸送裝置12。該懸浮輸送裝置12具有由中間部呈曲線狀的兩個(gè)導(dǎo)軌14、和連接導(dǎo)軌14的端部間的兩個(gè)橫向部件16構(gòu)成為長(zhǎng)框狀的組裝框架18。該組裝框架18被支柱20支承在框架狀的基座框架22的上方。在基座框架22的下部安裝有腳輪24和制動(dòng)部26，懸浮輸送裝置12能夠在作業(yè)區(qū)域內(nèi)移動(dòng)地設(shè)置。另外，在兩個(gè)導(dǎo)軌14之間架設(shè)有支承板28。在支承板28的橫向部件16方向的兩端部下方分別配置有壓縮機(jī)30。另一方面，在支承板28上沿導(dǎo)軌14固定有多個(gè)基座32。而且，在各基座32上沿導(dǎo)軌14載置了 3列第一實(shí)施方式的懸浮輸送單元10。這些懸浮輸送單元10的詳細(xì)情況在后面說(shuō)明，從壓縮機(jī)30經(jīng)由管34供給正壓氣體，并將該氣體從各懸浮輸送單元10的懸浮輸送路面36向上方噴出而使玻璃襯底P懸浮。需要說(shuō)明的是，從壓縮機(jī)30供給的氣體不限于空氣，也可以是氮?dú)?、氬氣、氦氣等惰性氣體、二氧化碳等氣體。而且，在兩個(gè)導(dǎo)軌14中的一個(gè)導(dǎo)軌14上搭載有線性輸送裝置38。在該輸送裝置38上具有多個(gè)真空吸盤(pán)39，將在懸浮輸送路面36上懸浮的玻璃襯底P的下表面卡緊，并沿箭頭方向D輸送(以下將箭頭方向D稱(chēng)為輸送方向D)。被懸浮輸送的玻璃襯底P在各懸浮輸送單元10的上方維持懸浮狀態(tài)，并在該狀態(tài)下通過(guò)未圖示的曝光構(gòu)件進(jìn)行曝光，形成規(guī)定的電路圖案。以下，對(duì)第一實(shí)施方式的懸浮輸送單元10的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。如圖4所示，各懸浮輸送單元10具有形狀或大小相互不同的多種框體40A、40B、40C?？蝮w40A俯視觀察呈正方形，框體40B俯視觀察呈長(zhǎng)方形，框體40C俯視觀察呈梯形。在本實(shí)施方式中，梯形的上底和下底為圓弧狀，從而框體40C俯視觀察呈扇形。各種框體40A 40C以同種或不同種類(lèi)的各框體進(jìn)行組裝,并由各種框體40A 40C的頂壁42構(gòu)成連續(xù)的懸浮輸送路面36。此時(shí)，框體40C借助連接梯形(扇形)的上底及下底的側(cè)邊與其他框體40A10C中的任意一個(gè)進(jìn)行組裝，能夠使懸浮輸送路面36的軌道以向右彎曲或向左彎曲的方式變化。對(duì)于框體之間的組裝沒(méi)有特別限定，但在圖3最上部所示的懸浮輸送路面36上,從輸送方向D (懸浮輸送路面36的連續(xù)方向)的一側(cè)開(kāi)始，按照框體 40A、40B、40B、40C、40C、40B、40C、40C、40C、40C、40B 的順序組裝各框體。如圖5所示，各種框體40A 40C在內(nèi)部具有空腔部44。構(gòu)成該空腔部44的各種框體40A10C的底壁被開(kāi)放，并被平板狀蓋46封閉。具體來(lái)說(shuō)，在構(gòu)成空腔部44的各種框體40A 40C的底壁周?chē)纬捎新菁y孔48，在與該螺紋孔48相對(duì)的蓋46上也形成有螺紋孔50，從下方將螺釘52擰入這些螺紋孔48、50，由此，構(gòu)成空腔部44的各種框體40A 40C的底壁開(kāi)放位置能夠被蓋46封閉。在與該蓋46相對(duì)的各種框體40A 40C的頂壁42上形成有多個(gè)與空腔部44連通的氣體噴出孔54。各氣體噴出孔54呈圓柱形狀，均勻地配置在頂壁42整體。在各種框體40A 40C中的輸送方向D的一個(gè)側(cè)部56A上，形成有兩個(gè)與空腔部44連通的嵌合孔58 (其中一個(gè)孔在圖5中未圖示)。另外，在各種框體40A10C中的輸送方向D的另一個(gè)側(cè)部56B (更具體來(lái)說(shuō)，是后述的上側(cè)接合部70的側(cè)部)上，形成有兩個(gè)與相鄰的另一個(gè)框體40A10C的嵌合孔58嵌合并與空腔部44連通的嵌合管60(其中一個(gè)管在圖5中未圖示)。在嵌合孔58的孔壁上設(shè)置有直徑比嵌合管60的外徑稍小的O形環(huán)61，以使氣體不從嵌合管60和嵌合孔58的嵌合處漏出。而且，在各種框體40A 40C中的輸送方向D的兩側(cè)部56A、56B上形成有連接構(gòu)件62，連接各框體，并使嵌合管60與嵌合孔58嵌合，由此，能夠?qū)崿F(xiàn)相鄰空腔部44內(nèi)的氣體流通。具體來(lái)說(shuō)，如圖6 (A)、圖6 (B)、圖7 (A)及圖7 (B)所示，連接構(gòu)件62具有下側(cè)接合部66，所述下側(cè)接合部66具有從各種框體40A 40C中的一個(gè)側(cè)部56A下方延伸出來(lái)，向各種框體40A 40C的寬度方向(與輸送方向D正交的方向)延伸，并向上方開(kāi)放的下卡合槽64。另外，連接構(gòu)件62具有上側(cè)接合部70，所述上側(cè)接合部70具有從各種框體40A 40C中的另一個(gè)側(cè)部56B上方延伸出來(lái)，向各種框體40A 40C的寬度方向延伸，并向下方開(kāi)放的上卡合槽68。而且，例如使嵌合管60的前端從斜上方抵接在嵌合孔58，并向嵌合方向壓入的同時(shí)還向下方壓入，上側(cè)接合部70與下卡合槽64卡合，下側(cè)接合部66與上卡合槽68卡合，由此各種框體40A 40C彼此被連接。另外，連接構(gòu)件62具有:凸片72，從各種框體40A 40C中的一個(gè)側(cè)部56A的上方中央部向與下卡合槽64交叉的方向(輸送方向D)伸出；凹部74，凹設(shè)在各種框體40A 40C中的另一個(gè)側(cè)部56B的上方中央部，并供凸片72卡合。而且，在上側(cè)接合部70中的凹部74的兩側(cè)，形成有上下貫穿上側(cè)接合部70的螺紋孔76，在與該螺紋孔76相對(duì)的下側(cè)接合部66上也形成有螺紋孔78，從上方將螺釘80擰入這些螺紋孔76、78，由此，固定各框體。另外，在與設(shè)有連接構(gòu)件62的側(cè)部56A、56B不同的各種框體40A 40C的寬度方向的側(cè)部上，設(shè)置有從該側(cè)部延伸出來(lái)的伸出片82。在伸出片82上形成有上下貫穿的螺紋孔84，在與該螺紋孔84相對(duì)并載置各種框體40A10C的基座32上也形成有未圖示的螺紋孔，從上方將螺釘86擰入這些螺紋孔，由此，伸出片82被固定在基座32上。如圖6A、圖6B所不,在位于懸浮輸送路面36的輸送方向D的一端部的框體40A上，設(shè)置有將從壓縮機(jī)30經(jīng)由管34被供給的正壓氣體供給至框體40A的空腔部44的第一空氣供給箱88。該第一空氣供給箱88形成為與框體40A中的下側(cè)接合部66的下卡合槽64嵌合而進(jìn)行連接的形狀，并在內(nèi)部形成有中空部88A。在第一空氣供給箱88中，在與框體40A的下側(cè)接合部66的螺紋孔78相對(duì)的位置，形成有上下貫穿第一空氣供給箱88的螺紋孔90。而且，通過(guò)從上方將螺釘92擰入這些螺紋孔78、90，由此，連接固定第一空氣供給箱88和框體 40A。
另外，在第一空氣供給箱88的寬度方向的側(cè)部形成有連接管34并向中空部88A供給氣體的氣體供給口 94。而且，在第一空氣供給箱88的框體40A側(cè)的側(cè)部，形成有兩個(gè)與框體40A的嵌合孔58嵌合并與該框體40A的空腔部44連通的嵌合管96。在這些嵌合管96之間，在第一空氣供給箱88的上方中央部，凹設(shè)有在嵌合管96與嵌合孔58嵌合時(shí)供框體40A的凸片72卡合的凹部98。與以上的第一空氣供給箱88相同，在位于懸浮輸送路面36的輸送方向D的另一端部的框體40B上，如圖4及圖7所示，設(shè)置有將從壓縮機(jī)30經(jīng)由管34被供給的正壓氣體供給至框體40B的空腔部44的第二空氣供給箱100。該第二空氣供給箱100形成為與框體40B中的上側(cè)接合部70的上卡合槽68嵌合而進(jìn)行連接的形狀(具體而言，具有下卡合槽64和下側(cè)接合部66)，并在內(nèi)部形成有中空部IOOA0在該第二空氣供給箱100中，在與框體40B的上側(cè)接合部70的螺紋孔76相對(duì)的位置，形成有螺紋孔102。而且，從上方將螺釘80擰入這些螺紋孔76、102，由此，連接固定第二空氣供給箱100和框體40B。另外，在第二空氣供給箱100的寬度方向的側(cè)部形成有連接管34并向第二空氣供給箱100的中空部100A供給氣體的氣體供給口 104。而且，在第二空氣供給箱100的框體40B側(cè)的側(cè)部，形成有兩個(gè)與框體40B的嵌合管60嵌合并與該框體40B的空腔部44連通的嵌合孔106。在這些嵌合孔106之間伸出有凸片108，其從第二空氣供給箱100的上方中央部向與下卡合槽64交叉的方向(輸送方向D)伸出，并且在嵌合管60與嵌合孔106嵌合時(shí)，與框體40B的凹部74卡合。以下，對(duì)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的懸浮輸送單元10的作用進(jìn)行說(shuō)明。從兩個(gè)壓 縮機(jī)30向第一空氣供給箱88及第二空氣供給箱100的中空部88AU00A供給正壓氣體(例如0.l 400kPa)。向第一空氣供給箱88的中空部88A供給的氣體經(jīng)由嵌合管96傳送到框體40A的空腔部44，依次經(jīng)由連接構(gòu)件62 (的嵌合管60)傳送到各種框體40B 40C的空腔部44。同樣地，向第二空氣供給箱100的中空部100A供給的氣體經(jīng)由第二空氣供給箱100的嵌合孔106傳送到框體40B的空腔部44，依次經(jīng)由連接構(gòu)件62 (的嵌合管60)傳送到各種框體40A 40C的空腔部44。由此，氣體蔓延到各種框體40A 40C的空腔部44，并從各種框體40A^40C的氣體噴出孔54向上方噴出。也就是說(shuō)，氣體從懸浮輸送路面36的大致整個(gè)面噴出，從而使玻璃襯底P懸浮而不會(huì)發(fā)生翹曲，從而能夠與懸浮輸送路面36 (頂壁42)非接觸地進(jìn)行輸送。用吸盤(pán)39卡緊該懸浮的玻璃襯底P并通過(guò)輸送裝置38沿輸送方向D對(duì)其進(jìn)行輸送。以上，根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方式的懸浮輸送單兀10,當(dāng)從壓縮機(jī)30向第一空氣供給箱88及第二空氣供給箱100供給氣體時(shí)，氣體經(jīng)由連接構(gòu)件62被供給到各種框體40A^40C的空腔部44，所以，氣體能夠從成為連續(xù)的懸浮輸送路面36的各頂壁42的氣體噴出孔54噴出，懸浮輸送玻璃襯底P。由此，不需要根據(jù)各種框體40A10C的數(shù)量來(lái)設(shè)置壓縮機(jī)30和空氣供給箱88、100，能夠抑制整體結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化。另外，連接各種框體40A10C時(shí)，上側(cè)接合部70與下卡合槽64卡合，下側(cè)接合部66與上卡合槽68卡合,從而能夠在各種框體40A 40C中準(zhǔn)確地限制輸送方向D的位置。而且，連接各種框體40A 40C時(shí)，凸片72與凹部74卡合，從而與輸送方向D交叉的各種框體40A 40C的寬度方向的位置也能夠被準(zhǔn)確地限制。另外，由于由形狀或大小不同的多種框體40A 40C的頂壁42構(gòu)成玻璃襯底P的懸浮輸送路面36，所以能夠根據(jù)工廠的布局自由地調(diào)整懸浮輸送路面36的軌道和大小。而且，多種框體40A10C包括俯視呈梯形、能夠在連接該梯形的上底及下底的側(cè)邊上與其他框體40A 40C組裝的框體40C，從而通過(guò)改變框體40C的個(gè)數(shù)，能夠更自由地調(diào)整懸浮輸送路面36的軌道。具體來(lái)說(shuō)，連接上底及下底的側(cè)邊彼此的角度為例如22.5度的情況下，如圖3所示，連續(xù)地連接兩個(gè)框體40C時(shí)，能夠?qū)腋≥斔吐访?6的軌道變更45度，連續(xù)地連接4個(gè)框體40C時(shí)，能夠?qū)腋≥斔吐访?6的軌道變更90度。另外，只要將構(gòu)成各種框體40A10C的空腔部44的底壁被開(kāi)放，并被蓋封閉，從而形成開(kāi)放的空腔部44即可，所以，各種框體40A10C的制造變得容易。而且，由于各種框體40A 40C借助伸出片82被固定在基座32上，所以在框體彼此連接時(shí)，能夠抑制各種框體40A 40C錯(cuò)位，由此，框體彼此的連接變得容易。另外，由于第一空氣供給箱88與下側(cè)接合部66卡合，并且第二空氣供給箱100與上側(cè)接合部70卡合，所以能夠?qū)⒌谝豢諝夤┙o箱88及第二空氣供給箱100配置在連續(xù)的懸浮輸送路面36的兩端部。由此，能夠使氣體從懸浮輸送路面36的兩端部蔓延到位于中央部的框體40B、40C的空腔部44，并且能夠抑制來(lái)自氣體噴出孔54的氣體的噴出量在懸浮輸送路面36的任意端部或中央部降低。<第二實(shí)施方式>以下，對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的懸浮輸送單元110進(jìn)行說(shuō)明。如圖8所示，本發(fā)明的第二實(shí)施方式的懸浮輸送單元110與第一實(shí)施方式相比，框體112的結(jié)構(gòu)及框體112彼此的連接方法不同。具體來(lái)說(shuō)，懸浮輸送單元110具有形狀及大小相同的多個(gè)框體112，框體112彼此被組裝并由各框體112的頂壁114構(gòu)成連續(xù)的懸浮輸送路面36。各框體112是內(nèi)部具有空腔部116的矩形平板狀框體，頂壁114由具有氣體噴出孔118的孔板119構(gòu)成。另外，各框體112通過(guò)連接管124被連接，所述連接管124分別與沿相鄰的框體112的側(cè)板120的板厚方向貫穿而形成的連接口 122嵌合，并使相鄰的空腔部116連通。在該連接管124的外周中間部形成有凸部126，利用連接管124連接各框體112時(shí)，各框體112與凸部126抵接，從而對(duì)輸送方向D的位置進(jìn)行限制。另外，在連接管124和連接口 122之間，設(shè)置密封部件128，以使氣體不從間隙逸出。需要說(shuō)明的是，在位于懸浮輸送路面36的兩端部的框體112的一側(cè)板120上，為使氣體不向外部逸出，而不形成連接口 122，或者用蓋等封閉?；蛘?，也可以利用密封塞堵塞連接口 122。另外，在位于懸浮輸送路面36的兩端部的框體112的底壁板112A上，形成有與管34連接并向空腔部116供給氣體的氣體供給口 112B。此外，孔板119或底壁板112A與側(cè)板120通過(guò)粘接劑或螺釘?shù)缺还潭??；蛘?，也可以通過(guò)拉拔加工一體形成孔板119和底壁板112A。另外，與第一實(shí)施方式相同，在與設(shè)有連接口 122的側(cè)板120不同的框體112的寬度方向的側(cè)部，設(shè)置有從該側(cè)部延伸出來(lái)的未圖示的伸出片。在伸出片上形成有上下貫穿的螺紋孔，在與該螺紋孔相對(duì)并用于載置框體的基座32 (參照?qǐng)D1)上也形成有螺紋孔，通過(guò)從上方將螺釘擰入這些螺紋孔，由此將伸出片固定在基座上。
以上，根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的懸浮輸送單元110，與第一實(shí)施方式同樣地，通過(guò)使連接管124與連接口 122嵌合，來(lái)連接各框體112，從而能夠限制框體112的寬度方向或高度方向的位置。而且，能夠通過(guò)連接管124的凸部126限制框體112的輸送方向D的位置。另外，由于只要將連接管124分別與相鄰的框體112的側(cè)部120的連接口 122嵌合即可，所以框體112的制造變得容易。<變形例>通過(guò)特定的實(shí)施方式詳細(xì)地說(shuō)明了本發(fā)明，但本發(fā)明不被所述實(shí)施方式限定，在本發(fā)明的范圍內(nèi)能夠?qū)嵤┢渌鞣N實(shí)施方式，這對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)是顯而易見(jiàn)的，例如能夠適當(dāng)組合上述多個(gè)實(shí)施方式進(jìn)行實(shí)施。另外，也可以適當(dāng)?shù)亟M合以下的變形例。例如，在第一實(shí)施方式中，說(shuō)明了各懸浮輸送單元10具有形狀或大小相互不同的多種框體40A、40B、40C的情況，但也可以如第二實(shí)施方式那樣，具有形狀或大小相互相同的多個(gè)框體。另外，在第二實(shí)施方式中，說(shuō)明了多個(gè)框體112的形狀及大小相同的情況，但也可以與第一實(shí)施方式同樣地包括形狀或大小與其他框體不同的框體。另外，多個(gè)框體112也可以與第一實(shí)施方式同樣地包括俯視呈梯形、且能夠在連接梯形的上底及下底的側(cè)邊與其他框體進(jìn)行組裝的框體。另外，框體的結(jié)構(gòu)除了第一實(shí)施方式及第二實(shí)施方式中說(shuō)明的結(jié)構(gòu)以外，也可以采用圖9 (A)所示的框體130的結(jié)構(gòu)。具體來(lái)說(shuō)，框體130在內(nèi)部具有空腔部44，從與該空腔部44連通并形成在頂壁上的未圖示的氣體噴出孔噴出氣體。在該框體130上，設(shè)置有與其他框體130連接時(shí)能夠使氣體在相鄰的空腔部44內(nèi)流通的連通口 132。另外，在框體130的兩端部的頂壁及底壁上設(shè)置有凹部134。而且，一張連接板136進(jìn)入相鄰的框體130的凹部134中，將螺釘142擰入形成在連接板136上的一對(duì)螺紋孔138、和與該螺紋孔138相對(duì)的形成在凹部134上的一對(duì)螺紋孔140，由此連接相鄰的各框體130。而且，在至少一個(gè)框體130 (例如，位于懸浮輸送路面36的輸送方向D的一端部(參照?qǐng)D1)的框體130)上，設(shè)置有將從壓縮機(jī)30經(jīng)由管34被供給的正壓氣體向框體130的空腔部44供給的未圖示的空氣供給箱。另外，框體的結(jié)構(gòu)可以采用圖9 (B)所示的框體150的結(jié)構(gòu)。具體來(lái)說(shuō)，框體150在內(nèi)部具有空腔部44，從與該空腔部44連通并形成在頂壁上的未圖示的氣體噴出孔噴出氣體。在該框體150上，設(shè)置有與其他的框體150連接時(shí)能夠使氣體在相鄰的空腔部44內(nèi)流通的連通口 151。另外，框體150具有:突起部152，其從該框體150的一側(cè)部的頂壁部分向輸送方向D側(cè)突起；凹部154，其形成在另一側(cè)部的頂壁部分上，與相鄰的其他框體150的突起部152嵌合。另外，在框體150的兩端部的底壁上設(shè)置有凹部156。而且，一張連接板158進(jìn)入相鄰的框體150的凹部156，將螺釘164擰入形成在連接板158上的一對(duì)螺紋孔160、和與該螺紋孔160相對(duì)的形成在凹部156上的一對(duì)螺紋孔162，由此，連接相鄰的各框體 150。而且，在至少一個(gè)框體150 (例如，位于懸浮輸送路面36的輸送方向D的一端部(參照?qǐng)D1)的框體150)上，設(shè)置有將從壓縮機(jī)30經(jīng)由管34被供給的正壓氣體向框體150的空腔部44供給的未圖示的空氣供給箱。另外，框體的結(jié)構(gòu)也可以采用圖10 (A)及圖10 (B)所示的框體170的結(jié)構(gòu)。具體來(lái)說(shuō)，框體170在內(nèi)部具有空腔部44，從與該空腔部44連通并形成在頂壁上的未圖示的氣體噴出孔噴出氣體。另外，框體170具有:圓筒部172，被設(shè)置在該框體170的一側(cè)部；開(kāi)口部174，被設(shè)置在該框體170的另一側(cè)部，并且與空腔部44連通，并供相鄰的其他框體170的圓筒部172嵌合。而且，通過(guò)這些圓筒部172和開(kāi)口部174的嵌合，空腔部44相互連通，從而能夠?qū)崿F(xiàn)氣體的流通，并且連接相鄰的各框體170。另外，該圓筒部172還與位于懸浮輸送路面36端部的框體178的開(kāi)口部174嵌合，經(jīng)由與管34連接的框體178的連接口 182被供給到空腔部44的氣體能夠被傳送到各框體170的空腔部44。另外，在第一實(shí)施方式中，對(duì)于將第一空氣供給箱88及第二空氣供給箱100配置在連續(xù)的懸浮輸送路面36的兩端部(設(shè)置在位于兩端部的框體40A、40B)的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但也可以將第一空氣供給箱88或第二空氣供給箱100設(shè)置在至少一個(gè)框體上。例如，也可以?xún)H將第一空氣供給箱88設(shè)置在連續(xù)的懸浮輸送路面36的一端部，也可以?xún)H將第一空氣供給箱88設(shè)置在懸浮輸送路面36的中間部。另外，說(shuō)明了連接構(gòu)件62形成在各種框體40A 40C中的輸送方向D的兩側(cè)部56A、56B的情況，但也可以設(shè)置在各種框體40A10C中的寬度方向的兩側(cè)部。具體來(lái)說(shuō)，也可以在各種框體40A 40C中的寬度方向的一側(cè)部設(shè)置上述下側(cè)接合部66和凸片72,而在各種框體40A 40C中的寬度方向的另一側(cè)部設(shè)置上述上側(cè)接合部70和凹部74。另外，為使連接構(gòu)件62的連接變得容易，嵌合管60可以由橡膠等彈性體構(gòu)成。另外，在第一實(shí)施方式中，懸浮輸送單元10被裝入包含曝光構(gòu)件的懸浮輸送裝置12中，但也可以裝入不包含曝光構(gòu)件的懸浮輸送裝置12中。另外,在第一實(shí)施方式中，作為通過(guò)懸浮輸送單兀10輸送的被輸送體，以玻璃襯底P為例進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明不限于此，例如，也可以輸送樹(shù)脂板或金屬板等玻璃襯底P以外的被輸送體(工件)。
權(quán)利要求
1.一種懸浮輸送單元，其特征在于，具有: 框體，其被組裝多個(gè)，由頂壁構(gòu)成連續(xù)的懸浮輸送路面，并在內(nèi)部具有空腔部； 多個(gè)氣體噴出孔，形成在所述頂壁上，并與所述空腔部連通； 連接構(gòu)件，被設(shè)置在所述框體的側(cè)部上，連接各所述框體，并能夠使氣體在相鄰的所述空腔部?jī)?nèi)流通； 氣體供給構(gòu)件，被設(shè)置在至少一個(gè)所述框體上，將由氣體供給裝置供給的氣體供給至所述空腔部。
2.如權(quán)利要求1所述的懸浮輸送單元，其特征在于， 所述連接構(gòu)件具有: 下側(cè)接合部，其具有從所述框體的一個(gè)側(cè)部下方延伸出來(lái)，同時(shí)向所述框體的寬度方向延伸，并向上方開(kāi)放的下卡合槽； 上側(cè)接合部，其具有從所述框體的另一個(gè)側(cè)部上方延伸出來(lái)，同時(shí)向所述框體的寬度方向延伸，并向下方開(kāi)放的上卡合槽， 所述上側(cè)接合部與所述下卡合槽卡合，所述下側(cè)接合部與所述上卡合槽卡合。
3.如權(quán)利要求2所述的懸浮輸送單元，其特征在于， 所述連接構(gòu)件具有: 凸片，其從所述框體的一個(gè)側(cè)部上方向與所述下卡合槽交叉的方向伸出； 凹部，其被凹設(shè)在所述框體的另一個(gè)側(cè)部上方，并供所述凸片卡合。
4.如權(quán)利要求廣3中任一項(xiàng)所述的懸浮輸送單元，其特征在于，所述框體包括形狀或大小相互不同的多個(gè)框體。
5.如權(quán)利要求廣3中任一項(xiàng)所述的懸浮輸送單元，其特征在于，多個(gè)所述框體包括俯視呈梯形、能夠在連接所述梯形的上底及下底的側(cè)邊與其他框體進(jìn)行組裝的框體。
6.如權(quán)利要求廣3中任一項(xiàng)所述的懸浮輸送單元，其特征在于，具有: 基座，用于載置所述框體； 伸出片，從與設(shè)有所述連接構(gòu)件的側(cè)部不同的所述框體的側(cè)部延伸出來(lái)，并被固定在所述基座上。
7.如權(quán)利要求廣3中任一項(xiàng)所述的懸浮輸送單元，其特征在于，所述連接構(gòu)件具有分別與形成在相鄰的所述框體的側(cè)部上的連接口嵌合，并使相鄰的所述空腔部連通的連接管。
8.如權(quán)利要求2或3所述的懸浮輸送單元，其特征在于，所述氣體供給構(gòu)件是被連接在所述下側(cè)接合部或所述上側(cè)接合部的中空部件，所述中空部件具有:氣體供給口，用于向中空部供給氣體；連通口，使所述框體的所述空腔部和所述中空部連通。
9.如權(quán)利要求5所述的懸浮輸送單元，其特征在于，所述氣體供給構(gòu)件是被連接在所述下側(cè)接合部或所述上側(cè)接合部的中空部件，所述中空部件具有:氣體供給口，用于向中空部供給氣體；連通口，使所述框體的所述空腔部和所述中空部連通。
10.如權(quán)利要求7所述的懸浮輸送單元，其特征在于，所述氣體供給構(gòu)件是被連接在所述下側(cè)接合部或所述上側(cè)接合部的中空部件，所述中空部件具有:氣體供給口，用于向中空部供給氣體；連通口，使所述框體的所述空腔部和所述中空部連通。
11.如權(quán)利要求5所述的懸浮輸送單元，其特征在于，所述連接構(gòu)件具有分別與形成在相鄰的所述框體的側(cè)部上的連接口嵌合，并使相鄰的所述空腔部連通的連接管。
12.如權(quán)利要求8所述的懸浮輸送單元，其特征在于，所述連接構(gòu)件具有分別與形成在相鄰的所述框體的側(cè)部上的連接口嵌合，并使相鄰的所述空腔部連通的連接管。
13.如權(quán)利要求7所述的懸浮輸送單元，其特征在于，所述框體包括形狀或大小相互不同的多個(gè)框體。
14.如權(quán)利要求8所述的懸浮輸送單元，其特征在于，所述框體包括形狀或大小相互不同的多個(gè)框體。
15.如權(quán)利要求7所述的懸浮輸送單元，其特征在于，具有:基座，用于載置所述框體；伸出片，從與設(shè)有所述連接構(gòu)件的側(cè)部不同的所述框體的側(cè)部延伸出來(lái)，并被固定在所述基座上。
16.如權(quán)利要求8所述的懸浮輸送單元，其特征在于，具有:基座，用于載置所述框體；伸出片，從與設(shè)有所述連接構(gòu)件的側(cè)部不同的所述框體的側(cè)部延伸出來(lái)，并被固定在所述基座上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種懸浮輸送單元，其能夠抑制整體結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化。懸浮輸送單元(10)具有框體(40A~40C)，其被組裝多個(gè)，頂壁(42)構(gòu)成連續(xù)的懸浮輸送路面(36)，并在內(nèi)部具有空腔部；多個(gè)氣體噴出孔(54)，形成在頂壁(42)上，并與空腔部連通；連接構(gòu)件(62)，被設(shè)置在框體(40A~40C)的側(cè)部，并連接各框體，并能夠使氣體在相鄰的空腔部?jī)?nèi)流通；第一空氣供給箱(88)及第二空氣供給箱(100)，被設(shè)置在位于懸浮輸送路面(36)兩端部的框體上，并將由管(34)供給的氣體供給至空腔部。
文檔編號(hào)B65G51/03GK103159028SQ201210524588
公開(kāi)日2013年6月19日 申請(qǐng)日期2012年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月9日
發(fā)明者巖淵敏彥, 莊瀨元洋, 佐藤穰, 山口浩右 申請(qǐng)人:株式會(huì)社妙德