專利名稱：裸片供給裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種裸片供給裝置，其利用頂起筒將粘貼有切割成棋盤格狀的晶圓的可伸縮的切割片從該切割片的下方頂起，利用吸附嘴吸附從該切割片上的晶圓分割出的裸片。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的裸片供給裝置如專利文獻(xiàn)I (日本特開2010-129949號公報(bào))所記載，在利用吸附嘴吸附從粘貼有切割成棋盤格狀的晶圓的可伸縮的切割片上的從晶圓分割出的裸片并拾取時(shí)，利用頂起筒將切割片中的粘貼有要吸附的裸片的粘貼部分從該粘貼部分的正下方頂起，使該裸片的粘貼部分從切割片局部地剝離，同時(shí)，利用吸附嘴吸附該裸片并從切割片拾取。進(jìn)而，在專利文獻(xiàn)I中，為了能夠根據(jù)切割片上的裸片的尺寸等選擇頂起筒，在頂起機(jī)構(gòu)上以90度間距呈放射狀安裝四種頂起筒，使四種頂起筒中與切割片上的裸片的尺寸等相符的頂起筒旋轉(zhuǎn)至朝上的位置，利用該頂起筒頂起切割片。專利文獻(xiàn)I :日本特開2010-129949號公報(bào)但是，在上述專利文獻(xiàn)I的構(gòu)成中，從安裝于頂起機(jī)構(gòu)的4處的筒安裝部的四種頂起筒中，選擇與切割片上的裸片的尺寸等相符合的頂起筒而使用，但在四種頂起筒中沒有與裸片的尺寸等相符合的頂起筒的情況下，需要拆下安裝于頂起機(jī)構(gòu)的4處的筒安裝部的某一個(gè)頂起筒而更換為與裸片的尺寸等相符合的頂起筒。但是，在上述專利文獻(xiàn)I的構(gòu)成中，由于頂起筒要通過螺栓安裝于頂起機(jī)構(gòu)的筒安裝部，因此，頂起筒的更換作業(yè)成為費(fèi)時(shí)費(fèi)工的作業(yè)。

實(shí)用新型內(nèi)容于是，本實(shí)用新型想要解決的課題是提供一種裸片供給裝置，其能夠使安裝于頂起機(jī)構(gòu)的筒安裝部的頂起筒的更換作業(yè)簡單化。為了解決上述課題，第一方面的實(shí)用新型提供一種裸片供給裝置，其具備使粘貼有切割成棋盤格狀的晶圓的可伸縮的切割片鋪開的晶圓托盤、使配置于所述切割片的下方的頂起筒上下動作的頂起機(jī)構(gòu)、吸附從所述切割片上的晶圓分割出的裸片的吸附嘴，在由所述吸附嘴吸附所述切割片上的裸片并拾取時(shí)，利用所述頂起筒將所述切割片中的粘貼有要吸附的裸片的粘貼部分從該粘貼部分的正下方頂起，而使該裸片的粘貼部分從切割片局部地剝離，同時(shí)，利用所述吸附嘴吸附該裸片并從所述切割片拾取，其中，所述頂起筒為通過卡合單元以能夠與其他頂起筒更換的方式卡合保持于所述頂起機(jī)構(gòu)的筒安裝部的構(gòu)成，在所述頂起筒的下部朝下設(shè)有真空壓導(dǎo)入管的連接口部，所述真空壓導(dǎo)入管在進(jìn)行頂起動作時(shí)向所述頂起筒的上端面導(dǎo)入用于吸附所述切割片的真空壓，并且，在所述頂起機(jī)構(gòu)的筒安裝部設(shè)有與所述頂起筒的真空壓導(dǎo)入管的連接口部連接的真空壓供給口部，在使所述頂起筒卡合保持于該筒安裝部時(shí)，通過使該頂起筒的真空壓導(dǎo)入管的連接口部與所述真空壓供給口部連接，來對該頂起筒的卡合位置進(jìn)行定位。在本實(shí)用新型中，由于通過卡合單元將頂起筒卡合保持于頂起機(jī)構(gòu)的筒安裝部，因此，能夠簡單地從頂起機(jī)構(gòu)的筒安裝部拆下頂起筒，并且，在使其他頂起筒卡合保持于頂起機(jī)構(gòu)的筒安裝部時(shí)，通過使該頂起筒的真空壓導(dǎo)入管的連接口部與筒安裝部的真空壓供給口部連接，能夠簡單地對該頂起筒的卡合位置進(jìn)行定位，使該頂起筒簡單地卡合保持于筒安裝部，并能夠簡單地進(jìn)行頂起筒的更換作業(yè)。在該情況下，優(yōu)選的是，如第二方面，頂起筒由基座部件和筒主體構(gòu)成，所述筒主體以被施力單元向上方施力的狀態(tài)能夠上下移動地組裝于該基座部件上，所述卡合單元設(shè)于所述基座部件，并且，在所述筒主體設(shè)有止動件，該止動件用于在所述頂起筒進(jìn)行頂起動作時(shí)使該筒主體的上升停止在該筒主體的上端面與所述切割片接觸的位置，所述頂起機(jī)構(gòu)在所述頂起筒進(jìn)行頂起動作時(shí)所述筒主體的止動件與固定壁抵接而使該筒主體的上升停止后，也使所述筒安裝部上升規(guī)定量，由此使設(shè)于該筒主體內(nèi)的頂起銷從該筒主體的上端面的孔向上方突出，頂起所述切割片。 在該構(gòu)成中，能夠使頂起筒的基座部件卡合保持于頂起機(jī)構(gòu)的筒安裝部，并能夠使被施力單元向上方施力的筒主體能夠上下移動地支承于該基座部件上。由此，在頂起筒進(jìn)行頂起動作時(shí)，能夠進(jìn)行如下的頂起銷的頂起動作該筒主體的上升停止在筒主體的上端面與切割片接觸的位置后，也使筒安裝部上升，由此使筒主體內(nèi)的頂起銷從該筒主體的上端面的孔向上方突出并頂起切割片。本實(shí)用新型也可以在頂起筒設(shè)置多處所述卡合單元，但如第三方面，優(yōu)選為如下構(gòu)成在頂起筒上僅設(shè)置一處所述卡合單元，在該卡合單元設(shè)有裝卸操作部，該裝卸操作部切換卡合位置和卡合解除位置。據(jù)此，作業(yè)者通過一次操作就能夠更換頂起筒。如以上說明的第一 第三方面的實(shí)用新型，可以將設(shè)置于頂起機(jī)構(gòu)的筒安裝部的數(shù)量僅設(shè)為I個(gè)，或者，如第四方面，也可以為如下構(gòu)成在頂起機(jī)構(gòu)設(shè)有多個(gè)筒安裝部，裸片供給裝置具備筒移動機(jī)構(gòu)，該筒移動機(jī)構(gòu)使述多個(gè)筒安裝部的位置移動，使得卡合保持于所述多個(gè)筒安裝部的多個(gè)頂起筒中的與切割片上的裸片的尺寸或種類對應(yīng)的頂起筒位于頂起動作位置。據(jù)此，在卡合保持于頂起機(jī)構(gòu)的多個(gè)筒安裝部的多個(gè)頂起筒中，若存在與裸片的尺寸等對應(yīng)的頂起筒，則無需更換頂起筒，因此，能夠減少頂起筒的更換作業(yè)的次數(shù)。

圖I是本實(shí)用新型一實(shí)施例的裸片供給裝置的立體圖圖2是設(shè)置有裸片供給裝置的零件安裝機(jī)的立體圖；圖3是頂起機(jī)構(gòu)部分的立體圖；圖4(a)、(b)是直徑不同的兩種頂起筒的放大立體圖；圖5是從頂起機(jī)構(gòu)的筒安裝部拆下頂起筒表示的放大立體圖；圖6(a)是在頂起機(jī)構(gòu)的筒安裝部設(shè)置有頂起筒且夾緊桿位于非夾緊位置的狀態(tài)的放大立體圖，(b)是該圖的正視圖；圖7 (a)是在頂起機(jī)構(gòu)的筒安裝部設(shè)置有頂起筒且夾緊桿位于夾緊位置的狀態(tài)的放大立體圖，(b)是該圖的正視圖；[0021 ] 圖8是夾緊機(jī)構(gòu)的分解圖。標(biāo)號說明11…裸片供給裝置、12…料倉保持部、13…托板拉出臺、14…托板拉出機(jī)構(gòu)、15…輔助機(jī)械手、15a…吸附嘴、16…穿梭機(jī)構(gòu)、17…翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、18…頂起機(jī)構(gòu)、19*“ NG (不良)傳送帶、20…嘴更換器、21…裸片、22…晶圓托板、23…晶圓安裝板、24…相機(jī)、25…零件安裝機(jī)、26…穿梭嘴、27…頂起筒、28…托板主體、32…控制裝置、37…固定壁、41…基座部件、42…滑動軸、43…筒主體、45…止動件、47…真空壓導(dǎo)入管、49…夾緊機(jī)構(gòu)(卡合單元)、50…夾緊軸、51…卡合銷、52…夾緊桿(拆裝操作部)、53…碟形彈簧墊圈(施力單元)、55…筒安裝部、56…筒旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(筒移動機(jī)構(gòu))、57…真空壓供給口部、58…定位銷、60…夾緊孔、61…退讓槽具體實(shí)施方式
下面，對將用于實(shí)施本實(shí)用新型的方式具體化的一實(shí)施例進(jìn)行說明。如圖I所示，本實(shí)施例的裸片供給裝置11為具備料倉保持部12(托盤塔)、托板拉出臺13、托板拉出機(jī)構(gòu)14、輔助機(jī)械手15、穿梭機(jī)構(gòu)16、翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)17、頂起機(jī)構(gòu)18(參照圖3)、NG傳送帶19、嘴更換器20等的構(gòu)成。如圖2所示，該裸片供給裝置11設(shè)置為將托板拉出臺13插入零件安裝機(jī)25的送料器設(shè)置用槽的狀態(tài)。在能夠上下移動地收納于裸片供給裝置11的料倉保持部12內(nèi)的料倉中，能夠分多段混合搭載載置有裸片21的晶圓托板22、和載置有托盤零件的托盤托板(未圖示)。晶圓托板22成為如下構(gòu)成將粘貼有切割成棋盤格狀的晶圓(多個(gè)裸片21)的可伸縮的切割片(未圖示)在展開的狀態(tài)下安裝于具有圓形的開口部的晶圓安裝板23，利用螺旋夾等將該晶圓安裝板23安裝于托板主體28上。另外，切割片的展開可以通過任意方法進(jìn)行，例如，將切割片從下方以利用圓形環(huán)頂上去的狀態(tài)安裝于晶圓安裝板23即可。托板拉出機(jī)構(gòu)14為將晶圓托板22、托盤托板的任意一個(gè)托板從料倉保持部12內(nèi)的料倉向托板拉出臺13上拉出的機(jī)構(gòu)，其構(gòu)成為能夠在利用零件安裝機(jī)25 (參照圖2)的吸附嘴(未圖示)拾取托板上的零件或裸片的位置(以下稱為“零件安裝機(jī)用拉出位置”)和靠近料倉的拉出位置(以下稱為“輔助機(jī)械手用拉出位置”)的任意一個(gè)位置拉出托板。零件安裝機(jī)用拉出位置為托板拉出臺13的前端的位置(距料倉最遠(yuǎn)的位置)，輔助機(jī)械手用拉出位置為能夠利用輔助機(jī)械手15的吸附嘴(未圖示)吸附晶圓托板22的切割片上的裸片21的位置。輔助機(jī)械手15被設(shè)置位于料倉保持部12的背面部(輔助機(jī)械手用拉出位置側(cè)的面)中的托板拉出臺13的上方，并構(gòu)成為沿XZ方向(托板拉出臺13的寬度方向及垂直方向)移動。另外，僅將輔助機(jī)械手15的移動方向設(shè)為X方向，輔助機(jī)械手15相對于晶圓托板22的Y方向(托板拉出方向)的相對位置通過利用托板拉出機(jī)構(gòu)14將晶圓托板22逐漸向Y方向拉出來控制。在該輔助機(jī)械手15上朝下設(shè)置有一個(gè)或者多個(gè)吸附嘴(未圖示)，以便能夠利用嘴更換器20與要拾取的裸片21的尺寸及種類等對應(yīng)地更換吸附嘴。在輔助機(jī)械手15上設(shè)置有相機(jī)24，以能夠基于該相機(jī)24的拍攝圖像確認(rèn)作為拾取對象的裸片21的位置或者裸片21的吸附姿勢。穿梭機(jī)構(gòu)16通過穿梭嘴26接收利用輔助機(jī)械手15的吸附嘴拾取的零件并利用零件安裝機(jī)25的吸附嘴移送至可拾取的位置。翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)17為根據(jù)需要使從輔助機(jī)械手15接收的裸片21上下翻轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)。這是由于，根據(jù)裸片21的種類，在晶圓托板22的切割片上存在上下相反地粘貼的裸片(例如倒裝芯片等)。頂起機(jī)構(gòu)18 (參照圖3)設(shè)置于托板拉出臺13，并構(gòu)成為能夠在晶圓托板22的切割片下方的空間區(qū)域沿XY方向(托板拉出臺13的寬度方向及其垂直方向)移動。而且，在將晶圓托板22拉出到零件安裝機(jī)用拉出位置和輔助機(jī)械手用拉出位置的任一位置的情況下，通過利用頂起筒27將切割片中的粘貼有要拾取的裸片21的粘貼部分從其下方局部地頂起，使該裸片21的粘貼部分從切割片局部地剝離，使裸片21上浮成為易于拾取的狀態(tài)。頂起機(jī)構(gòu)18構(gòu)成為，為了能夠根據(jù)裸片21的尺寸及種類選擇頂起筒27，多種(例如四種)頂起筒27以規(guī)定角度間距(在本實(shí)施例中以90°間距)設(shè)置為放射狀，進(jìn)行頂起動作的頂起筒27旋轉(zhuǎn)直至成為朝上的位置。對頂起筒27的構(gòu)成和安裝方法在后面進(jìn)行詳述。頂起機(jī)構(gòu)18構(gòu)成為將伺服電機(jī)(未圖示)作為驅(qū)動源且頂起機(jī)構(gòu)18整體上下移 動。在裸片拾取動作時(shí)，若頂起機(jī)構(gòu)18上升且頂起筒27的上端與晶圓托板22的切割片接觸，則在該位置設(shè)置于該頂起筒27的止動件45與固定壁37 (參照圖3)抵接，頂起筒27的上升停止，進(jìn)而若繼續(xù)進(jìn)行上升動作，則頂起銷(未圖示)從頂起筒27的上端面的孔向上方突出，頂起切割片中的粘貼有要吸附的裸片21的粘貼部分(吸附嘴的吸附點(diǎn))。該情況下，通過調(diào)整作為驅(qū)動源的伺服電機(jī)的旋轉(zhuǎn)量，能夠調(diào)整頂起銷的頂起高度。另外，NG傳送帶19是排出不良零件及吸附不良的裸片21的傳送帶。如上述構(gòu)成的裸片供給裝置11的控制裝置32由具備鍵盤、鼠標(biāo)等輸入裝置33和液晶顯示器等顯示裝置34等外圍裝置的計(jì)算機(jī)構(gòu)成，根據(jù)向零件安裝機(jī)25供給的零件的種類選擇托板的拉出位置和零件的拾取方法，并且，根據(jù)該選擇結(jié)果按如下方式控制托板拉出機(jī)構(gòu)14、輔助機(jī)械手15及穿梭機(jī)構(gòu)16、翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)17、頂起機(jī)構(gòu)18等的動作。(I)小裸片21的情況小裸片21的情況下，裸片21向輔助機(jī)械手15 —穿梭嘴26 —零件安裝機(jī)25的吸附嘴的抓取交換較為困難，因此，從料倉保持部12向零件安裝機(jī)用拉出位置拉出晶圓托板22，并利用零件安裝機(jī)25的吸附嘴直接拾取該晶圓托板22的切割片上的裸片21。(2)除上述之外的尺寸的裸片21的情況在具有能夠抓取交換裸片21的尺寸的裸片21的情況下，以縮短安裝時(shí)間為目的，從料倉保持部12內(nèi)的料倉向輔助機(jī)械手用拉出位置拉出晶圓托板22，利用輔助機(jī)械手15的吸附嘴拾取該晶圓托板22的切割片上的裸片21，并利用穿梭機(jī)構(gòu)16的穿梭嘴26接收該裸片21并移送至規(guī)定的拾取位置，在該拾取位置，利用零件安裝機(jī)25的吸附嘴從穿梭機(jī)構(gòu)16的穿梭嘴26拾取裸片21。(3)托盤零件的情況在托盤零件的情況下，從料倉保持部12內(nèi)的料倉向零件安裝機(jī)用拉出位置拉出托盤托板，并利用零件安裝機(jī)25的吸附嘴直接拾取該托盤托板上的托盤零件。接著，使用圖3至圖8對頂起筒27的構(gòu)成和安裝方法進(jìn)行說明。頂起筒27由基座部件41和經(jīng)由多個(gè)(例如2個(gè))滑動軸42能夠上下移動地組裝在該基座部件41上的筒主體43構(gòu)成，在各滑動軸42的上端部固定有筒主體43，各滑動軸42被設(shè)置于基座部件41的彈簧盒44內(nèi)的彈簧等施力單元向上方施力，由此，筒主體43被向上方施力。在筒主體43設(shè)置有止動件45，該止動件45用于在頂起筒27進(jìn)行頂起動作時(shí)使該筒主體43的上升停止在該筒主體43的上端面與切割片接觸的位置，在頂起筒27進(jìn)行頂起動作時(shí)，筒主體43的止動件45與固定壁37 (參照圖3)抵接而使該筒主體43的上升停止后，也使基座部件41上升規(guī)定量，由此使設(shè)置于該筒主體43內(nèi)的頂起銷(未圖示)從該筒主體43的上端面的孔向上方突出規(guī)定量，頂起切割片。另外，在筒主體43上，以向下方突出的方式設(shè)置有真空壓導(dǎo)入管47 [參照圖6 (b)、圖7 (b)]，該真空壓導(dǎo)入管47在進(jìn)行頂起動作時(shí)向筒主體43的上端面導(dǎo)入用于吸附切割片的真空壓，該真空壓導(dǎo)入管47的連接口部貫通基座部件41并向下方突出。另一方面，作為卡合單元的夾緊機(jī)構(gòu)49的夾緊軸50沿上下方向貫通并能夠轉(zhuǎn)動 且能夠上下移動地支承于基座部件41，在該夾緊軸50的下端部貫通固定有卡合銷51 (參照圖8)，該卡合銷51的兩端部向夾緊軸50的兩側(cè)突出。在該夾緊軸50的上端部固定有夾緊桿52 (拆裝操作部)，在該夾緊軸50中的夾緊桿52和基座部件41之間嵌入多個(gè)碟形彈簧墊圈53 (施力單元)，通過該碟形彈簧墊圈53的彈力對夾緊軸50向上方施力。該夾緊機(jī)構(gòu)49僅設(shè)置在基座部件41的一處。如上述構(gòu)成的頂起筒27如圖4所示，準(zhǔn)備多種頂起筒27以能夠根據(jù)要頂起的裸片21的尺寸及種類進(jìn)行選擇。各頂起筒27中，僅筒主體43的直徑及其內(nèi)部的頂起銷的直徑/個(gè)數(shù)等不同，除此之外的部分(基座部件41、夾緊機(jī)構(gòu)49、真空壓導(dǎo)入管47的連接口部、筒主體43的支承構(gòu)造等)進(jìn)行通用化。另一方面，在頂起機(jī)構(gòu)18上，以規(guī)定角度間距(例如90°間距)設(shè)置有用于安裝多個(gè)(例如4個(gè))頂起筒27的多個(gè)(例如4個(gè))筒安裝部55，各筒安裝部55的位置通過筒旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)56 (筒移動機(jī)構(gòu))沿旋轉(zhuǎn)方向以規(guī)定角度間距進(jìn)行移動。在各筒安裝部55上，以規(guī)定的位置關(guān)系設(shè)置有與頂起筒27的真空壓導(dǎo)入管47的連接口部連接的真空壓供給口部57和定位銷58。在使頂起筒27卡合保持于筒安裝部55時(shí)，通過使該頂起筒27的真空壓導(dǎo)入管47的連接口部與真空壓供給口部57連接，且使形成于基座部件41的下表面部的定位孔(未圖示)與定位銷58嵌合，而對該頂起筒27的卡合位置進(jìn)行定位。另外，在筒安裝部55上，形成有供夾緊軸50從上方插通的夾緊孔60，在該夾緊孔60的內(nèi)周面部沿上下方向形成有退讓槽61，該退讓槽61用于供插通夾緊孔60的夾緊軸50的下端部的卡合銷51退讓。如圖6(b)、圖7(b)所示，在筒安裝部55的下表面中的夾緊孔60的下端開口緣的周圍部分形成有傾斜面62，該傾斜面62以從退讓槽61向下方抽出的卡合銷51伴隨旋轉(zhuǎn)方向的移動逐漸下降的方式進(jìn)行引導(dǎo)。在如圖6所示的非夾緊位置(卡合解除位置)轉(zhuǎn)動操作夾緊桿52的狀態(tài)下，夾緊軸50的下端部的卡合銷51位于退讓槽61的正下方，成為能夠使夾緊軸50從夾緊孔60抽出的狀態(tài)。從如圖6所示的非夾緊位置向如圖7所示的夾緊位置(卡合位置)轉(zhuǎn)動操作夾緊桿52的狀態(tài)下，夾緊軸50的下端部的卡合銷51從退讓槽61的正下方位置向越過傾斜面62的方向移動，成為卡合于筒安裝部55的下表面的狀態(tài)，該狀態(tài)通過碟形彈簧墊圈53的彈力而保持。接著，對將安裝于筒安裝部55的頂起筒27更換為其他頂起筒27的作業(yè)步驟進(jìn)行說明。在拆下安裝于筒安裝部55的頂起筒27的情況下，首先，利用作業(yè)者的指尖使夾緊桿52從如圖7所示的夾緊位置轉(zhuǎn)動至如圖6所示的非夾緊位置。由此，使夾緊軸50的下端部的卡合銷51位于退讓槽61的正下方，成為能夠從夾緊孔60抽出夾緊軸50的狀態(tài)，因此，若直接向正上方提升頂起筒27，則夾緊軸50被從夾緊孔60抽出，頂起筒27被從筒安裝部55拆下。之后，將要更換的頂起筒27按照如下方式安裝于筒安裝部55。首先，在使要更換的頂起筒27的夾緊桿52轉(zhuǎn)動至如圖6所示的非夾緊位置的狀態(tài)下，使頂起筒27的真空壓導(dǎo)入管47的連接口部與真空壓供給口部57連接，且使形成于基座部件41的下表面部的定位孔(未圖示)與定位銷58嵌合，由此，一邊對該頂起筒27的卡合位置進(jìn)行定位，一邊使 夾緊軸50的下端部的卡合銷51插入筒安裝部55的夾緊孔60的退讓槽61，使該夾緊軸50插通夾緊孔60，形成將該卡合銷51從退讓槽61向下方抽出的狀態(tài)(如圖6所示的狀態(tài))。在該狀態(tài)下，利用作業(yè)者的指尖使夾緊桿52從圖6所示的非夾緊位置轉(zhuǎn)動至如圖7所示的夾緊位置。由此，成為夾緊軸50的下端部的卡合銷51從退讓槽61的正下方位置向越過傾斜面62的方向移動并卡合于筒安裝部55的下表面的狀態(tài)，該狀態(tài)通過碟形彈簧墊圈53的彈力而保持，從而成為頂起筒27卡合保持于筒安裝部55的狀態(tài)。根據(jù)以上說明的本實(shí)施例，由于通過夾緊機(jī)構(gòu)49將頂起筒27卡合保持于頂起機(jī)構(gòu)18的筒安裝部55，所以能夠簡單地從頂起機(jī)構(gòu)18的筒安裝部55拆下頂起筒27，并且，在使其他頂起筒27卡合保持于頂起機(jī)構(gòu)18的筒安裝部55時(shí)，通過將該頂起筒27的真空壓導(dǎo)入管47的連接口部與筒安裝部55的真空壓供給口部57連接來簡單地對該頂起筒27的卡合位置進(jìn)行定位，能夠簡單地使該頂起筒27卡合保持于筒安裝部55，并能夠簡單地進(jìn)行頂起筒27的更換作業(yè)。而且，在本實(shí)施例中，由于僅在頂起筒27的基座部件41的一處設(shè)有夾緊機(jī)構(gòu)49，因此，具有作業(yè)者通過一次操作就能更換頂起筒27的優(yōu)點(diǎn)。但是，本實(shí)用新型也可以構(gòu)成為在頂起筒27的基座部件41的多處設(shè)有夾緊機(jī)構(gòu)49。另外，也可以適當(dāng)變更夾緊機(jī)構(gòu)49 (卡合單元)的構(gòu)成。進(jìn)而，在本實(shí)施例中，在頂起機(jī)構(gòu)18設(shè)有多個(gè)筒安裝部55，通過筒旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)56使多個(gè)筒安裝部55的位置移動，使得卡合保持于多個(gè)筒安裝部55的多個(gè)頂起筒27中的與切割片上的裸片21的尺寸或種類對應(yīng)的頂起筒27位于頂起動作位置，因此，存在以下優(yōu)點(diǎn)在卡合保持于頂起機(jī)構(gòu)18的多個(gè)筒安裝部55的多個(gè)頂起筒27中，若存在與裸片21的尺寸等對應(yīng)的頂起筒27，則無需更換頂起筒27，能夠減少頂起筒27的更換作業(yè)的次數(shù)。但是，本實(shí)用新型可以將設(shè)置于頂起機(jī)構(gòu)18的筒安裝部55的數(shù)量僅設(shè)為一個(gè)。另外，當(dāng)然，本實(shí)用新型也可以適當(dāng)變更裸片供給裝置11的構(gòu)成等，在不脫離宗旨的范圍內(nèi)可進(jìn)行各種變更而實(shí)施。
權(quán)利要求1.ー種裸片供給裝置，其具備使粘貼有切割成棋盤格狀的晶圓的可伸縮的切割片鋪開的晶圓托盤、使配置于所述切割片的下方的頂起筒上下動作的頂起機(jī)構(gòu)、吸附從所述切割片上的晶圓分割出的裸片的吸附嘴，在由所述吸附嘴吸附所述切割片上的裸片并拾取吋，利用所述頂起筒將所述切割片中的粘貼有要吸附的裸片的粘貼部分從該粘貼部分的正下方頂起，而使該裸片的粘貼部分從切割片局部地剝離，同時(shí)，利用所述吸附嘴吸附該裸片并從所述切割片拾取，其特征在干， 所述頂起筒通過卡合単元以能夠與其他頂起筒更換的方式卡合保持于所述頂起機(jī)構(gòu)的筒安裝部， 在所述頂起筒的下部設(shè)有真空壓導(dǎo)入管的連接ロ部，所述真空壓導(dǎo)入管在進(jìn)行頂起動作時(shí)向所述頂起筒的上端面導(dǎo)入用于吸附所述切割片的真空壓， 在所述頂起機(jī)構(gòu)的筒安裝部設(shè)有與所述頂起筒的真空壓導(dǎo)入管的連接ロ部連接的真空壓供給ロ部，在使所述頂起筒卡合保持于該筒安裝部時(shí)，通過使該頂起筒的真空壓導(dǎo)入管的連接ロ部與所述真空壓供給ロ部連接，來對該頂起筒的卡合位置進(jìn)行定位。
2.如權(quán)利要求I所述的裸片供給裝置，其特征在干， 所述頂起筒由基座部件和筒主體構(gòu)成，所述筒主體以被施力単元向上方施力的狀態(tài)能夠上下移動地組裝于該基座部件上， 所述卡合單元設(shè)于所述基座部件， 在所述筒主體設(shè)有止動件，該止動件用于在所述頂起筒進(jìn)行頂起動作時(shí)使該筒主體的上升停止在該筒主體的上端面與所述切割片接觸的位置， 所述頂起機(jī)構(gòu)在所述頂起筒進(jìn)行頂起動作時(shí)所述筒主體的止動件與固定壁抵接而使該筒主體的上升停止后，也使所述筒安裝部上升規(guī)定量，由此使設(shè)于該筒主體內(nèi)的頂起銷從該筒主體的上端面的孔向上方突出，頂起所述切割片。
3.如權(quán)利要求I或2所述的裸片供給裝置，其特征在干， 所述卡合単元在所述頂起筒上僅設(shè)置ー處， 在所述卡合單元設(shè)有裝卸操作部，該裝卸操作部切換卡合位置和卡合解除位置。
4.如權(quán)利要求I 3中任一項(xiàng)所述的裸片供給裝置，其特征在干， 在所述頂起機(jī)構(gòu)設(shè)有多個(gè)筒安裝部， 所述裸片供給裝置具備筒移動機(jī)構(gòu)，該筒移動機(jī)構(gòu)使所述多個(gè)筒安裝部的位置移動，使得卡合保持于所述多個(gè)筒安裝部的多個(gè)頂起筒中的與所述切割片上的裸片的尺寸或種類對應(yīng)的頂起筒位于頂起動作位置。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種裸片供給裝置，其使安裝于頂起機(jī)構(gòu)的筒安裝部上的頂起筒的更換作業(yè)簡單化。構(gòu)成為通過夾緊機(jī)構(gòu)(49)使頂起筒(27)可更換地卡合保持于頂起機(jī)構(gòu)(18)的筒安裝部(55)。在頂起筒(27)的下部朝下設(shè)有真空壓導(dǎo)入管的連接口部，該真空壓導(dǎo)入管在進(jìn)行頂起動作時(shí)向頂起筒(27)的上端面導(dǎo)入用于吸附切割片的真空壓，并且，在頂起機(jī)構(gòu)(18)的筒安裝部(55)設(shè)有與頂起筒(27)的真空壓導(dǎo)入管的連接口部連接的真空壓供給口部(57)，在使頂起筒(27)卡合保持于該筒安裝部(55)時(shí)，通過使頂起筒(27)的真空壓導(dǎo)入管的連接口部與真空壓供給口部(57)連接，來對該頂起筒(27)的卡合位置進(jìn)行定位。
文檔編號B65G47/91GK202564198SQ20122004202
公開日2012年11月28日 申請日期2012年2月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月10日
發(fā)明者水野貴幸, 水谷大輔, 吉野朋治, 村井正樹 申請人:富士機(jī)械制造株式會社