專利名稱：基板傳送系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種基板傳送系統(tǒng)，尤其涉及一種化學(xué)氣相沉積裝置中的基板傳送系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
薄膜太陽能電池在弱光條件下仍可發(fā)電，其生產(chǎn)過程能耗低，具備大幅度降低原料和制造成本的潛力，因此，市場(chǎng)對(duì)薄膜太陽能電池的需求正逐漸增長而制造薄膜太陽能電池的技術(shù)和設(shè)備更成為近年來的研究熱點(diǎn)?；瘜W(xué)氣相沉積設(shè)備是常用的薄膜太陽能電池制造設(shè)備。而制造薄膜太陽能電池的電極通常采用低壓化學(xué)氣相沉積裝置來完成。在前述的低壓化學(xué)氣相沉積裝置中，用于制造薄膜太陽能電池的玻璃基板將被基板傳送系統(tǒng)從玻璃基板承載室傳送到玻璃基板處理腔中，然后在所述玻璃基板處理腔中，所述玻璃基板將 被所述基板傳送系統(tǒng)調(diào)整到某一高度位置，以便對(duì)所述玻璃基板機(jī)進(jìn)行低壓化學(xué)氣相沉積處理。也即，所述玻璃基板在所述低壓化學(xué)氣相沉積裝置中要完成兩個(gè)方向的運(yùn)動(dòng)，即前后移動(dòng)和上下移動(dòng)。所述前后移動(dòng)用以將所述玻璃基板傳輸?shù)讲煌那皇抑?，所述上下移?dòng)用以將所述玻璃基板調(diào)整到預(yù)定的高度位置，以便對(duì)所述玻璃基板進(jìn)行前述的低壓化學(xué)氣相沉積處理。在現(xiàn)有技術(shù)中，所述基板傳送系統(tǒng)中通常采用滾輪或輥裝置，所述滾輪或輥可以作軸向運(yùn)動(dòng)，以在基座的抬升銷的配合下，完成所述玻璃基板的上下移動(dòng)，所述滾輪或輥還可以滾動(dòng)，已完成所述玻璃基板的前后移動(dòng)。圖I為示出了公開號(hào)為CN101636522A的中國專利文件中揭示的基板傳送系統(tǒng)，所述基板傳送系統(tǒng)包括滾輪或輥36，滾輪或輥36可以作軸向伸縮運(yùn)動(dòng)，當(dāng)可豎直移動(dòng)的抬升銷(圖未示)升起基板到預(yù)定高度后，所述滾輪或輥36伸出，支向所述基板底部，并開始滾動(dòng)，以便實(shí)現(xiàn)對(duì)所述基板的傳送。由于所述滾輪或輥需要作軸向運(yùn)動(dòng)，并且在基座的抬升銷的配合下，才能完成所述玻璃基板的上下移動(dòng)及定位，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，不僅提高了基板傳送系統(tǒng)的制造成本，并且容易引起設(shè)備故障。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單并可降低成本的基板傳送系統(tǒng)。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供一種基板傳送系統(tǒng)，應(yīng)用于一處理設(shè)備中以傳送基板，所述基板傳送系統(tǒng)包括傳送所述基板的傳動(dòng)部件、動(dòng)力機(jī)構(gòu)、升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)可以為所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)提供升降與旋轉(zhuǎn)用的動(dòng)力，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別與所述傳動(dòng)部件連接，用于驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)部件升降運(yùn)動(dòng)或者旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，所述處理設(shè)備具有處理腔室，所述處理腔室內(nèi)設(shè)有襯底支承座，其中，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在動(dòng)力機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下帶動(dòng)所述傳動(dòng)部件下降并穿過所述襯底支承座進(jìn)而使得所述基板可以被放置在所述襯底支承座上。優(yōu)選地，所述襯底支承座的寬度小于左右兩側(cè)傳動(dòng)部件之間的間距以使得所述傳動(dòng)部件下降時(shí)穿過所述襯底支承座的兩側(cè)。優(yōu)選地，所述襯底支承座的寬度大于或者等于所述基板的寬度，所述襯底支承座上設(shè)置收容空間以供所述傳動(dòng)部件穿過。優(yōu)選地,所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括為所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)提供旋轉(zhuǎn)用動(dòng)力的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)動(dòng)力機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括馬達(dá)、連接軸以及鏈條。優(yōu)選地，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括與所述鏈條相連接的軟軸以及與所述軟軸相連接的傘齒輪對(duì)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)動(dòng)力機(jī)構(gòu)通過馬達(dá)帶動(dòng)所述連接軸與所述鏈條旋轉(zhuǎn)動(dòng)力依次傳輸至軟軸、傘齒輪對(duì)，所述傘齒輪對(duì)的旋轉(zhuǎn)將引起所述傳動(dòng)部件的轉(zhuǎn)動(dòng)以帶動(dòng)所述基板的前后移動(dòng)。優(yōu)選地，所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括為所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)提供升降動(dòng)力的升降驅(qū)動(dòng)動(dòng)力機(jī)構(gòu)，所述升降驅(qū)動(dòng)動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括氣缸、在氣缸內(nèi)上下運(yùn)動(dòng)的活塞桿以及連接活塞桿的橫桿。優(yōu)選地，所述傳動(dòng)部件具有傳動(dòng)軸，所述基板傳送系統(tǒng)包括所述裝設(shè)所述傳動(dòng)軸的支座，所述支座的上升或者下降運(yùn)動(dòng)可以引起所述傳動(dòng)部件的升降運(yùn)動(dòng)。優(yōu)選地，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括連接所述支座及橫桿的導(dǎo)向桿、與所述導(dǎo)向桿連接的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，所述支座通過導(dǎo)向桿、橫桿在位于前后各一個(gè)的活塞桿的同時(shí)上下移動(dòng)和導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的作用下實(shí)現(xiàn)升降移動(dòng)，所述傳動(dòng)部件通過連接在支座上的傳動(dòng)軸實(shí)現(xiàn)升降移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)所述基板的升降移動(dòng)。優(yōu)選地，所述傳動(dòng)部件為設(shè)置在處理腔室內(nèi)的一滾輪或輥。本實(shí)用新型的升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在動(dòng)力機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下帶動(dòng)所述傳動(dòng)部件下降并穿過所述襯底支承座進(jìn)而使得所述基板可以被放置在所述襯底支承座上，這使得基板傳送系統(tǒng)結(jié)構(gòu)更為簡(jiǎn)單，并且降低了設(shè)備成本。

圖I是現(xiàn)有技術(shù)的基板傳送系統(tǒng)的不意圖；圖2是本實(shí)用新型的處理腔室上蓋打開后的基板傳送系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施例子的俯視圖；圖3是沿圖2的AA線所得的剖面示意圖；圖4是圖3所示的基板傳送系統(tǒng)的傳動(dòng)部件下降后的示意圖。
具體實(shí)施方式
結(jié)合圖2、3所示，本實(shí)用新型的基板傳送系統(tǒng)應(yīng)用于一處理設(shè)備(未有圖示)中，所述處理設(shè)備在本實(shí)用新型的最佳實(shí)施例子中是低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備，所述低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備主要用于制造薄膜太陽能電池的電極。具體地，所述處理設(shè)備具有處理腔室20，所述處理腔室20內(nèi)設(shè)置有襯底支承座15用于放置待處理的基板13，所述基板在本實(shí)用新型中是用于制造薄膜太陽能電池的玻璃基板。所述處理腔室20具有上蓋(未圖示)，所述上蓋用于封閉所述處理腔室以使之形成真空環(huán)境，以便對(duì)所述基板13進(jìn)行處理。圖2示出了所述處理腔室的上蓋打開后的基板傳送系統(tǒng)的俯視圖，所述基板傳送系統(tǒng)包括傳動(dòng)部件6、動(dòng)力機(jī)構(gòu)、升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和密封裝置，所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)用于為所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)提供升降與旋轉(zhuǎn)用的動(dòng)力，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別與所述傳動(dòng)部件6相連，用以驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)部件升降運(yùn)動(dòng)或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，所述傳動(dòng)部件6、所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)均設(shè)置在所述處理腔室20內(nèi)，所述密封裝置用于密封連接所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)與所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)或所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。繼續(xù)參圖2、圖3所示,所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括升降驅(qū)動(dòng)動(dòng)力機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)動(dòng)力機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括馬達(dá)I、連接軸3、鏈條2,所述升降驅(qū)動(dòng)動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括氣缸
7、在氣缸7內(nèi)上下運(yùn)動(dòng)的活塞桿9以及連接活塞桿9的橫桿8。所述傳動(dòng)部件6在本實(shí)施方式中為設(shè)置在處理腔室20內(nèi)的一滾輪或輥，所述傳動(dòng)部件6具有傳動(dòng)軸(未標(biāo)號(hào))，所述傳動(dòng)軸裝設(shè)在支座11上，所述支座11的上升或者下降運(yùn)動(dòng)可以引起所述傳動(dòng)部件6的升降運(yùn)動(dòng)。正如本領(lǐng)域一般技藝人士所熟知，所述傳動(dòng)部件6為多個(gè)。由于本實(shí)施例子中的傳動(dòng)部件6設(shè)置在所述處理腔20內(nèi)，本實(shí)施例子不需設(shè)置任何用于密封傳動(dòng)部件6的密封 傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，節(jié)省了成本，也避免了因密封傳動(dòng)機(jī)構(gòu)導(dǎo)致的任何設(shè)備故障。所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括連接所述支座11及橫桿9的導(dǎo)向桿14、與所述導(dǎo)向桿14連接的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)12，所述支座11通過導(dǎo)向桿14、橫桿9在位于前后各一個(gè)的活塞桿8的同時(shí)上下移動(dòng)和導(dǎo)向機(jī)構(gòu)12的作用下實(shí)現(xiàn)上下移動(dòng)；傳動(dòng)部件6通過連接在支座11上的軸實(shí)現(xiàn)升降移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)基板13的上下升降移動(dòng)。所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括與所述鏈條2相連接的軟軸4、與所述軟軸4相連接的傘齒輪對(duì)5。在實(shí)際生產(chǎn)過程中，基板13需要被從一個(gè)腔室傳輸?shù)搅硗庖粋€(gè)腔室中，例如在本實(shí)施例子中，基板13需從加載腔室(未圖示)傳輸?shù)剿鎏幚砬皇?0，然后從所述處理腔室20再傳出到卸載腔(未圖示)。也即背景技術(shù)中提到的基板需要實(shí)現(xiàn)前后移動(dòng)，如要實(shí)現(xiàn)基板的前后移動(dòng)，首先所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)動(dòng)力機(jī)構(gòu)通過馬達(dá)I帶動(dòng)所述連接軸3與所述鏈條2，將所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)動(dòng)力依次傳輸至軟軸4、傘齒輪對(duì)5，然后所述傘齒輪對(duì)5的旋轉(zhuǎn)將引起所述傳動(dòng)部件6的轉(zhuǎn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)將基板13從一個(gè)腔室傳輸?shù)搅硗庖粋€(gè)腔室，也即實(shí)現(xiàn)對(duì)所述基板13的如后移動(dòng)。此外，在基板13的傳輸過程中，所述基板13將被所述基板傳送系統(tǒng)調(diào)整到某一高度位置，以便對(duì)所述基板13進(jìn)行所述低壓化學(xué)氣相沉積處理。也即，所述基板還要完成上下方向的升降運(yùn)動(dòng)，以便基板13可以被傳輸?shù)教幚砬皇?0中，并被平穩(wěn)安全的放置在所述襯底支承座15上。具體地，要完成上述的基板13的升降運(yùn)動(dòng)，需要所述傳動(dòng)部件6進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)。關(guān)于所述傳動(dòng)部件6的升降運(yùn)動(dòng)的完成，所述支座11通過導(dǎo)向桿14、橫桿9在位于前后各一個(gè)的活塞桿8的同時(shí)上下移動(dòng)和導(dǎo)向機(jī)構(gòu)12的作用下實(shí)現(xiàn)升降運(yùn)動(dòng)；進(jìn)而使傳動(dòng)部件6通過連接在支座11上的軸實(shí)現(xiàn)升降運(yùn)動(dòng)。圖4是圖3所示的基板傳送系統(tǒng)的傳動(dòng)部件6下降后的示意圖，如圖4所示，所述傳動(dòng)部件6通過前后移動(dòng)將所述基板13傳輸?shù)教幚砬皇?0后，所述傳動(dòng)部件6在升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下下降，由于所述襯底支承座15的寬度要較所述基板13的寬度小，即所述襯底支承座15的寬度小于左右兩側(cè)傳動(dòng)部件6之間的間距，從而使得所述傳動(dòng)部件6可以穿過所述襯底支承座15的兩側(cè)，進(jìn)而使得所述基板13可以被放置在所述襯底支承座15上。本實(shí)用新型的傳動(dòng)部件6通過升降移動(dòng)穿過所述襯底支承座15即可實(shí)現(xiàn)基板13的可靠放置，避免了現(xiàn)有技術(shù)中傳動(dòng)部件6軸向移動(dòng)或擺動(dòng)同時(shí)需要抬升銷升起以承載所述基板13的復(fù)雜結(jié)構(gòu)，因此，本實(shí)用新型的基板傳送系統(tǒng)結(jié)構(gòu)更為簡(jiǎn)單，并且降低了設(shè)備成本。另外，在實(shí)用新型的其他實(shí)施例中，所述襯底支承座15的寬度也可以較所述基板13的寬度大或相同，此時(shí)，襯底支承座15上設(shè)置收容空間以供所述傳動(dòng)部件6穿過，從而使得所述基板可以被放置在所述襯底支承座15上，同樣可以達(dá)成本實(shí)用新型的目的。 盡管本實(shí)用新型的內(nèi)容已經(jīng)通過上述優(yōu)選實(shí)施例作了詳細(xì)介紹，但應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到上述的描述不 應(yīng)被認(rèn)為是對(duì)本實(shí)用新型的限制。在本領(lǐng)域技術(shù)人員閱讀了上述內(nèi)容后，對(duì)于本實(shí)用新型的多種修改和替代都將是顯而易見的。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)由所附的權(quán)利要求來限定。
權(quán)利要求1.一種基板傳送系統(tǒng)，應(yīng)用于一處理設(shè)備中以傳送基板，所述基板傳送系統(tǒng)包括傳送所述基板的傳動(dòng)部件、動(dòng)力機(jī)構(gòu)、升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)可以為所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)提供升降與旋轉(zhuǎn)用的動(dòng)力，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別與所述傳動(dòng)部件連接，用于驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)部件升降運(yùn)動(dòng)或者旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，所述處理設(shè)備具有處理腔室，所述處理腔室內(nèi)設(shè)有襯底支承座，其特征在于，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在動(dòng)力機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下帶動(dòng)所述傳動(dòng)部件下降并穿過所述襯底支承座進(jìn)而使得所述基板可以被放置在所述襯底支承座上。
2.如權(quán)利要求I所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述襯底支承座的寬度小于左右兩側(cè)傳動(dòng)部件之間的間距以使得所述傳動(dòng)部件下降時(shí)穿過所述襯底支承座的兩側(cè)。
3.如權(quán)利要求I所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述襯底支承座的寬度大于或者等于所述基板的寬度，所述襯底支承座上設(shè)置收容空間以供所述傳動(dòng)部件穿過。
4.如權(quán)利要求I所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括為所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)提供旋轉(zhuǎn)用動(dòng)力的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)動(dòng)力機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括馬達(dá)、連接軸以及鏈條。
5.如權(quán)利要求4所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括與所述鏈條相連接的軟軸以及與所述軟軸相連接的傘齒輪對(duì)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)動(dòng)力機(jī)構(gòu)通過馬達(dá)帶動(dòng)所述連接軸與所述鏈條旋轉(zhuǎn)動(dòng)力依次傳輸至軟軸、傘齒輪對(duì)，所述傘齒輪對(duì)的旋轉(zhuǎn)將引起所述傳動(dòng)部件的轉(zhuǎn)動(dòng)以帶動(dòng)所述基板的前后移動(dòng)。
6.如權(quán)利要求I所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括為所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)提供升降動(dòng)力的升降驅(qū)動(dòng)動(dòng)力機(jī)構(gòu)，所述升降驅(qū)動(dòng)動(dòng)力機(jī)構(gòu)包括氣缸、在氣缸內(nèi)上下運(yùn)動(dòng)的活塞桿以及連接活塞桿的橫桿。
7.如權(quán)利要求6所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述傳動(dòng)部件具有傳動(dòng)軸，所述基板傳送系統(tǒng)包括裝設(shè)所述傳動(dòng)軸的支座，所述支座的上升或者下降運(yùn)動(dòng)可以引起所述傳動(dòng)部件的升降運(yùn)動(dòng)。
8.如權(quán)利要求7所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括連接所述支座及橫桿的導(dǎo)向桿、與所述導(dǎo)向桿連接的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，所述支座通過導(dǎo)向桿、橫桿在位于前后各一個(gè)的活塞桿的同時(shí)上下移動(dòng)和導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的作用下實(shí)現(xiàn)升降移動(dòng)，所述傳動(dòng)部件通過連接在支座上的傳動(dòng)軸實(shí)現(xiàn)升降移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)所述基板的升降移動(dòng)。
9.如權(quán)利要求1-8中任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的基板傳送系統(tǒng)，其特征在于，所述傳動(dòng)部件為設(shè)置在處理腔室內(nèi)的一滾輪或輥。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種基板傳送系統(tǒng)，其應(yīng)用于一處理設(shè)備中，以傳送所述處理設(shè)備中的基板，所述基板傳送系統(tǒng)包括傳送所述基板的傳動(dòng)部件、動(dòng)力機(jī)構(gòu)、升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述動(dòng)力機(jī)構(gòu)可以為所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)提供升降與旋轉(zhuǎn)用的動(dòng)力，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)分別與所述傳動(dòng)部件連接，用于驅(qū)動(dòng)所述傳動(dòng)部件升降運(yùn)動(dòng)或者旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，所述處理設(shè)備具有處理腔室，所述處理腔室內(nèi)設(shè)有襯底支承座，所述升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)在動(dòng)力機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下帶動(dòng)所述傳動(dòng)部件下降并穿過所述襯底支承座進(jìn)而使得所述基板可以被放置在所述襯底支承座上。
文檔編號(hào)B65G13/12GK202594391SQ20122018788
公開日2012年12月12日 申請(qǐng)日期2012年4月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月27日
發(fā)明者李一成, 李冠龍 申請(qǐng)人:理想能源設(shè)備(上海)有限公司