專利名稱：具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本新型有關(guān)于ー種機(jī)臺(tái)設(shè)備，且特別是有關(guān)于ー種具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備。
背景技術(shù)：
氣浮平臺(tái)為提供面板エ件(例如液晶面板或太陽能板等半成品エ件)加工時(shí)的輸送裝置。氣浮平臺(tái)能夠結(jié)合在加工機(jī)臺(tái)設(shè)備上以利半成品エ件進(jìn)行加工作業(yè)。請(qǐng)參閱圖IA與圖1B，圖IA為公知的具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備其利用氣壓運(yùn)送エ件的示意圖；圖IB為圖IA的具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備其利用氣壓將エ件運(yùn)送經(jīng)過氣浮框體的交界處的示意圖。如圖IA與圖IB所示，具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備5包含平臺(tái)51與至少ー氣浮框體。其 中，平臺(tái)51上更包含至少ー進(jìn)氣ロ 510。所述至少一氣浮框體(例如第一氣浮框體521與第二氣浮框體522)皆具有連通進(jìn)氣ロ 510的腔室C。其中，第一氣浮框體521與第二氣浮框體522的表面都具有多數(shù)個(gè)吹氣孔H，且這些吹氣孔H連通進(jìn)氣ロ 510。因此，當(dāng)ー氣壓分別從進(jìn)氣ロ 510注入第一氣浮框體521與第ニ氣浮框體522的腔室C吋，此氣壓便會(huì)從吹氣孔H被導(dǎo)出進(jìn)而形成氣浮力量，使得エ件6被ー驅(qū)動(dòng)器帶動(dòng)吋，能夠同時(shí)利用氣浮力量而懸浮以避免エ件6 (例如面板)的表面直接接觸在第一氣浮框體521與第二氣浮框體522上所導(dǎo)致的表面刮傷的問題。然而，當(dāng)エ件6被運(yùn)送到第一氣浮框體521與第二氣浮框體522之間的交界處P吋，由于第一氣浮框體521與第二氣浮框體522的表面為水平，因此從表面的吹氣孔H所導(dǎo)出的氣壓僅朝向第一方向(例如正上方)，使得交界處P的氣浮力量顯得薄弱，以致エ件6被運(yùn)送經(jīng)過交界處P時(shí)會(huì)稍微傾斜(如圖IB所示)，進(jìn)而影響エ件6于交界處被加工時(shí)的問題(例如由于エ件6的傾斜，便容易影響加工業(yè)者欲于交界處P對(duì)エ件6進(jìn)行雷射加工或校正作業(yè)等的問題)。另外，目前市面的氣浮框體(例如上述一氣浮框體521與第二氣浮框體522)之為陶瓷燒結(jié)而成，因此成本較高；并且于長時(shí)間后，吹氣孔H處容易因風(fēng)壓過大而龜裂損壞，使得氣浮效應(yīng)不如預(yù)期，進(jìn)而影響エ件6被加工時(shí)的問題。新型內(nèi)容本新型提供一種能夠使エ件于氣浮框體上被平穩(wěn)輸送的具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備。為達(dá)上述之目的，本新型提供ー種具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備，包含一平臺(tái)，包含一進(jìn)氣ロ ；以及至少ー氣浮框體，配置在該平臺(tái)并具有連通該進(jìn)氣ロ的一腔室，該氣浮框體包含一第一框斜端、對(duì)應(yīng)該第一框斜端之一第二框斜端以及位于該第一、第二框斜端之間的一本體部，該第一、第二框斜端與該本體部具有一表面以及形成于該表面且連通該腔室的多數(shù)個(gè)吹氣孔。進(jìn)ー步，該具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備更包含至少ー個(gè)架設(shè)件，該氣浮框體更利用該架設(shè)件的支撐而配置在該平臺(tái)上。進(jìn)ー步，該些吹氣孔呈對(duì)稱狀排列于該表面。[0013]進(jìn)ー步，該些吹氣孔呈矩陣狀排列于該表面。進(jìn)ー步，該氣浮框體為立方體結(jié)構(gòu)。進(jìn)一歩，該具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備更包含ー供氣裝置，該供氣裝置用以供給氣壓至該進(jìn)氣ロ。進(jìn)一步,該氣浮框體為一金屬氣浮框體。進(jìn)ー步，該金屬氣浮框體為鋁制氣浮框體。進(jìn)一歩，該至少一氣浮框體包含一第一氣浮框體與一第二氣浮框體，該第一氣浮框體的該第二框斜端與該第二氣浮框體的該第一框斜端為彼此相鄰。進(jìn)ー步，該第一框斜端與該第二框斜端的該表面為ー傾斜表面。進(jìn)ー步，該本體部的該表面為ー水平表面。本實(shí)用新型達(dá)到的技術(shù)效果如下氣浮框體包含第一框斜端以及對(duì)應(yīng)此第一框斜端的第二框斜端，因此當(dāng)多個(gè)氣浮框體配置在平臺(tái)上且框斜端相鄰時(shí)，利用每ー氣浮框體的第一框斜端與第二框斜端的吹氣孔，使得エ件于每ー氣浮框體的交界處上能夠被平穩(wěn)輸送。

圖IA為公知的具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備其利用氣壓運(yùn)送エ件的示意圖；圖IB為圖IA的具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備其利用氣壓將エ件運(yùn)送經(jīng)過氣浮框體之交界處的不意圖；圖2為本新型一實(shí)施例具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備的立體圖；圖3A為圖2具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備其利用氣壓運(yùn)送エ件的示意圖；以及圖3B為圖3A具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備其利用氣壓將エ件運(yùn)送經(jīng)過氣浮框體的交界處的示意圖。[先前技術(shù)部分]5具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備51平臺(tái)510進(jìn)氣ロ521第一氣浮框體522第二氣浮框體6エ件C腔室H吹氣孔P交界處[本新型部分]I具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備10平臺(tái)12架設(shè)件101進(jìn)氣ロ111第一氣浮框體[0043]111a, 112a第一框斜端111b, 112b第二框斜端112第二氣浮框體113,114本體部2エ件A氣壓Cl，C2腔室HI, H2吹氣孔L斜向風(fēng)壓P交界處SI, S2水平表面SlO第一傾斜表面S20第二傾斜表面 。
具體實(shí)施方式
為期許對(duì)本新型的構(gòu)造、特征、功效及目的能夠有更詳盡的了解，茲配合圖式將本新型相關(guān)實(shí)施例詳細(xì)說明如下。請(qǐng)參閱圖2，圖2為本新型一實(shí)施例具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備的立體圖；圖3ム為圖2具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備其利用氣壓運(yùn)送エ件的示意圖。如圖2與圖3A所示，具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備I包含平臺(tái)10與至少ー氣浮框體。所述至少一氣浮框體于此實(shí)施例以包含第一氣浮框體111與第二氣浮框體112為例?？杀焕斫獾氖?，在實(shí)際應(yīng)用時(shí)具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備I能夠包含多個(gè)氣浮框體。平臺(tái)10包含進(jìn)氣ロ 101。第一氣浮框體111與第二氣浮框體112配置在此平臺(tái)10上并個(gè)別具有連通平臺(tái)10上的進(jìn)氣ロ 101的腔室。其中，第一氣浮框體111包含第一框斜端11 la、對(duì)應(yīng)此第一框斜端Illa的第二框斜端Illb以及位于此第一框斜端Illa與第二框斜端Illb之間的本體部113。所述第一框斜端11 la、第二框斜端11 Ib與本體部113具有第一表面以及形成于此第一表面且連通腔室Cl的多數(shù)個(gè)吹氣孔H1。所述第一表面包含本體部113的水平表面SI以及第一框斜端Illa與第二框斜端Illb的第一傾斜表面SlO。相同地，第二氣浮框體112包含第一框斜端112a、對(duì)應(yīng)此第一框斜端112a之第二框斜端112b以及位于此第一框斜端112a與第二框斜端112b之間的本體部114。其中，第一框斜端112a、第二框斜端112b與本體部114具有第二表面以及形成于此第二表面且連通腔室C2的多數(shù)個(gè)吹氣孔H2。所述第二表面包含本體部114的水平表面S2以及第ー框斜端112a與第二框斜端112b的第二傾斜表面S20。且第一氣浮框體111與第二氣浮框體112的端部相鄰，例如第一氣浮框體111的第二框斜端Illb與第二氣浮框體112的第一框斜端112a為彼此相鄰。上述具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備I更包含至少ー架設(shè)件12，第一氣浮框體111與第二氣浮框體112更利用此架設(shè)件12之支撐而配置在平臺(tái)10上。例如，如圖2所示，架設(shè)件12包含L型金屬塊以供第一氣浮框體111與第二氣浮框體112框固入并利用螺接、鉚接或焊接等固定手段將第一氣浮框體111與第二氣浮框體112定位在平臺(tái)10上。另外，如圖2所示，第一氣浮框體111的這些吹氣孔Hl能夠呈對(duì)稱狀排列于第一表面(例如水平表面SI與第一傾斜表面S10)，第二氣浮框體112的這些吹氣孔H2亦能夠呈對(duì)稱狀排列于第二表面(例如水平表面S2與第二傾斜表面S20);或者,第一氣浮框體111的這些吹氣孔Hl能夠呈矩陣狀排列于第一表面，第二氣浮框體112的這些吹氣孔H2亦能夠呈矩陣狀排列于第二表面。利用對(duì)稱或矩陣狀之排列，使得從吹氣孔所導(dǎo)出的氣壓所形成的氣浮力量能夠更均勻，以令エ件能夠運(yùn)用此均勻的氣浮力量而得以被平穩(wěn)地運(yùn)送。所述第一氣浮框體111與第二氣浮框體112為立方體結(jié)構(gòu)，但不限定于此。并且，有別于公知?dú)飧】蝮w為陶瓷燒結(jié)而成，本新型所提供的第一氣浮框體111與第二氣浮框 體112為金屬氣浮框體，例如鋁制氣浮框體。因此，成本相對(duì)于公知的陶瓷氣浮框體低且更耐用而不易龜裂損壞。另外，具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備I更包含供氣裝置(未繪示)，所述供氣裝置用以供給氣壓A至進(jìn)氣ロ 101。 請(qǐng)同時(shí)參閱圖3A與圖3B，圖3B為圖3A具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備其利用氣壓將エ件運(yùn)送經(jīng)過氣浮框體的交界處的示意圖。如圖3A與圖3B所示，當(dāng)氣壓A從進(jìn)氣ロ 101分別注入第一氣浮框體111與第二氣浮框體112的腔室Cl與C2時(shí)，此氣壓A便會(huì)從第一氣浮框體111的第一表面的吹氣孔Hl與第二氣浮框體112的第二表面的吹氣孔H2被導(dǎo)出進(jìn)而形成氣浮力量，因此當(dāng)ーエ件
2(例如液晶面板或太陽能板)被ー驅(qū)動(dòng)器帶動(dòng)吋，能夠同時(shí)利用此氣浮力量而懸浮以避免エ件2的表面直接接觸在第一氣浮框體111與第二氣浮框體112上所導(dǎo)致的表面刮傷的問題。如圖3B所示，當(dāng)エ件2被運(yùn)送到第一氣浮框體111與第二氣浮框體112端部之間的交界處P時(shí)，例如エ件2被運(yùn)送到第一氣浮框體111的第二框斜端Illb與第二氣浮框體112的第一框斜端112a的交界處P時(shí)，由于第二框斜端Illb與第一框斜端112a分別具有第一傾斜表面SlO與第二傾斜表面S20，因此由此ニ個(gè)傾斜表面之吹氣孔所導(dǎo)出的氣壓為斜向，使得エ件2經(jīng)此交界處P時(shí)能夠被此斜向風(fēng)壓L支撐從而保持穩(wěn)定的懸浮狀態(tài)(也即エ件2經(jīng)交界處P時(shí)不會(huì)有傾斜問題)，以利加工業(yè)者更容易對(duì)エ件2進(jìn)行，例如雷射加エ或校正作業(yè)等。另外，具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備I能夠?yàn)槔咨淝懈钤O(shè)備或玻璃板加工設(shè)備，但不限定于此。由此可知，本新型所提供的具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備具有下列特點(diǎn)I.氣浮框體包含第一框斜端以及對(duì)應(yīng)此第一框斜端的第二框斜端，因此當(dāng)多個(gè)氣浮框體配置在平臺(tái)上且端部(框斜端)相鄰時(shí)，利用每ー氣浮框體的第一框斜端與第二框斜端表面上的吹氣孔，使得エ件于每ー氣浮框體的交界處上能夠被平穩(wěn)輸送。2.每ー氣浮框體表面上的吹氣孔呈對(duì)稱或矩陣狀的排列，因此，從吹氣孔所導(dǎo)出的氣壓所形成的氣浮力量能夠更均勻，以使エ件能夠運(yùn)用此均勻的氣浮力量得以被平穩(wěn)地運(yùn)送。3.相對(duì)于公知的陶瓷氣浮框體，本新型所提供為金屬氣浮框體，例如鋁制氣浮框體。因此，成本相對(duì)于陶瓷氣浮框體低且更耐用而不易龜裂損壞。以上所述，僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用于限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.ー種具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備，其特征在于，包含 一平臺(tái)，包含一進(jìn)氣ロ ；以及 至少ー氣浮框體，配置在該平臺(tái)并具有連通該進(jìn)氣ロ的一腔室，該氣浮框體包含一第ー框斜端、對(duì)應(yīng)該第一框斜端之一第二框斜端以及位于該第一、第二框斜端之間的一本體部，該第一、第二框斜端與該本體部具有一表面以及形成于該表面且連通該腔室的多數(shù)個(gè)吹氣孔。
2.如權(quán)利要求I所述的具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備，其特征在于，該具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備更包含至少ー個(gè)架設(shè)件，該氣浮框體更利用該架設(shè)件的支撐而配置在該平臺(tái)上。
3.如權(quán)利要求I所述的具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備，其特征在于，該些吹氣孔呈對(duì)稱狀排列 于該表面。
4.如權(quán)利要求I所述的具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備，其特征在于，該些吹氣孔呈矩陣狀排列于該表面。
5..如權(quán)利要求I所述的具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備，其特征在干，該氣浮框體為立方體結(jié)構(gòu)。
6..如權(quán)利要求I所述的具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備，其特征在于，該具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備更包含ー供氣裝置，該供氣裝置用以供給氣壓至該進(jìn)氣ロ。
7..如權(quán)利要求I所述的具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備，其特征在于，該氣浮框體為一金屬氣浮框體。
8..如權(quán)利要求7所述的具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備，其特征在于，該金屬氣浮框體為鋁制氣浮框體。
9..如權(quán)利要求I所述的具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備，其特征在干，該至少一氣浮框體包含一第一氣浮框體與一第二氣浮框體，該第一氣浮框體的該第二框斜端與該第二氣浮框體的該第一框斜端為彼此相鄰。
10.如權(quán)利要求I或9所述的具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備，其特征在于，該第一框斜端與該第ニ框斜端的該表面為ー傾斜表面。
11.如權(quán)利要求I所述的具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備，其特征在于，該本體部的該表面為一水平表面。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種具有氣浮平臺(tái)的設(shè)備，包含平臺(tái)與至少一氣浮框體。平臺(tái)包含進(jìn)氣口；至少一氣浮框體配置在此平臺(tái)并具有連通進(jìn)氣口的腔室。所述氣浮框體包含第一框斜端、對(duì)應(yīng)此第一框斜端的第二框斜端以及位于此第一框斜端與第二框斜端之間的本體部，其中第一框斜端、第二框斜端與本體部具有表面以及形成于此表面且連通腔室的多數(shù)個(gè)吹氣孔。本實(shí)用新型氣浮框體包含第一框斜端以及對(duì)應(yīng)此第一框斜端的第二框斜端，因此當(dāng)多個(gè)氣浮框體配置在平臺(tái)上且框斜端相鄰時(shí)，利用每一氣浮框體的第一框斜端與第二框斜端的吹氣孔，使得工件于每一氣浮框體的交界處上能夠被平穩(wěn)輸送。
文檔編號(hào)B65G51/02GK202657685SQ20122019121
公開日2013年1月9日 申請(qǐng)日期2012年5月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月29日
發(fā)明者施俊良, 施國彰 申請(qǐng)人:微勁科技股份有限公司