專(zhuān)利名稱(chēng)：液體分裝裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種液體分裝裝置。
背景技術(shù)：
目前，在半導(dǎo)體制造工藝中，很多制程需要清洗液，其中需求量比較大的是異丙醇(IPA,英文全稱(chēng)Isopropyl Alcohol)。異丙醇作為清洗去油劑,主要用于分立器件以及中、大規(guī)模集成電路及超大規(guī)模集成電路工藝中。同時(shí)也是工業(yè)上比較便宜的溶劑，用途廣，能和水自由混合，對(duì)親油性物質(zhì)的溶解力比乙醇強(qiáng)。IPA具有危險(xiǎn)特性易燃，其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒爆炸，與氧化劑接觸猛烈反應(yīng)。在高溫環(huán)境中，受熱的容器有爆炸危險(xiǎn)。并且，異丙醇蒸氣比空氣重，能在較低處擴(kuò)散到相當(dāng)遠(yuǎn)的地方，遇火源會(huì)著火回燃?，F(xiàn)在，當(dāng)有工藝制程需要特定濃度的IPA時(shí)，操作人員先從有機(jī)溶劑室搬運(yùn)大容 量的IPA罐到運(yùn)輸車(chē)上，然后開(kāi)到工藝車(chē)間(FAB)，取所需要的IPA原液后，再使之與水配t匕，從而，獲取所需濃度的IPA溶液。由此可見(jiàn)，一方面，由于需要搬運(yùn)IPA罐，因此，費(fèi)事費(fèi)力；另一方面，由于IPA有毒且容易揮發(fā)，因此，在搬運(yùn)過(guò)程中，容易發(fā)生因碰撞而造成的IPA泄露問(wèn)題，造成人員危險(xiǎn)和環(huán)境影響。因此，如何提供一種可以安全且高效的液體分裝裝置是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種液體分裝裝置，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)液體的安全、高效的分裝，省時(shí)省力。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案—種液體分裝裝置，包括柜體以及安裝于所述柜體的分裝機(jī)構(gòu)，所述分裝機(jī)構(gòu)包括液體供應(yīng)管、純水管、第一手動(dòng)控制閥、電磁控制閥、第二手動(dòng)控制閥以及按鈕，所述液體供應(yīng)管的一端外接供應(yīng)源，另一端接第一手動(dòng)控制閥，所述純水管的一端外接純水供應(yīng)源，另一端接第二手動(dòng)控制閥，所述電磁控制閥設(shè)置于所述液體供應(yīng)管上，所述電磁控制閥與所述按鈕電性連接。優(yōu)選的，在上述的液體分裝裝置中，還包括一個(gè)箱體，所述箱體安裝于所述柜體內(nèi)，所述液體供應(yīng)管與所述純水管分別穿經(jīng)柜體的一個(gè)側(cè)壁后穿經(jīng)所述箱體，所述電磁控制閥設(shè)于所述箱體內(nèi)部，所述第一手動(dòng)控制閥與所述第二手動(dòng)控制閥分別位于所述箱體的外側(cè)。優(yōu)選的，在上述的液體分裝裝置中，所述液體供應(yīng)管與所述箱體密封連接，所述純水管與所述箱體密封連接。優(yōu)選的，在上述的液體分裝裝置中，所述箱體、第一手動(dòng)控制閥以及第二手動(dòng)控制閥的整體下方設(shè)有一積液槽，所述積液槽的底部設(shè)有排液管。[0011]優(yōu)選的，在上述的液體分裝裝置中，還包括泄露感測(cè)器，所述泄露感測(cè)器設(shè)置于所述積液槽的底部。優(yōu)選的，在上述的液體分裝裝置中，還包括環(huán)境偵測(cè)器，所述環(huán)境偵測(cè)器設(shè)置于所述柜體的周?chē)?，所述環(huán)境偵測(cè)器距離地面的高度是I. 5-1. 6米優(yōu)選的，在上述的液體分裝裝置中，所述第一手動(dòng)控制閥與所述第二手動(dòng)控制閥并排設(shè)置，所述柜體對(duì)應(yīng)所述第一手動(dòng)控制閥和所述第二手動(dòng)控制閥的一側(cè)設(shè)有活動(dòng)門(mén)。優(yōu)選的，在上述的液體分裝裝置中，所述按鈕設(shè)置于柜體上。優(yōu)選的，在上述的液體分裝裝置中，所述柜體的底部四周設(shè)有四個(gè)可收放的滾輪。優(yōu)選的，在上述的液體分裝裝置中，所述箱體的上方設(shè)置有一負(fù)壓排風(fēng)管與一進(jìn)氣口，所述進(jìn)氣口處設(shè)有空氣過(guò)濾裝置。 本實(shí)用新型提供的液體分裝裝置，只要將安裝有分裝機(jī)構(gòu)的柜體放置于便于使用的地方，將所述液體供應(yīng)管的一端通過(guò)管路外接供應(yīng)源，可以將遠(yuǎn)處的液體供應(yīng)源中的所需液體引到所需要的地方，從而無(wú)需人力和車(chē)輛進(jìn)行液體原液罐的運(yùn)輸，同時(shí)也避免液體原液罐在運(yùn)輸過(guò)程中因發(fā)生泄露而造成人員傷害和環(huán)境影響。又由于設(shè)置有外接純水供應(yīng)源的純水管，因此，可以利用量杯等量取工具，可以進(jìn)行各種濃度的液體配比，以適應(yīng)不同分裝需求，同時(shí)也可以使用純水管對(duì)該柜體及分裝機(jī)構(gòu)進(jìn)行清洗。第一手動(dòng)控制閥與電磁控制閥可以實(shí)現(xiàn)對(duì)液體供應(yīng)管進(jìn)行雙重的控制，以確保液體使用安全。

本實(shí)用新型的液體分裝裝置由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖I為本實(shí)用新型一實(shí)施例的液體分裝裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例的液體分裝裝置打開(kāi)活動(dòng)門(mén)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，I-柜體、2-液體供應(yīng)管、3-純水管、4-第一手動(dòng)控制閥、5-第二手動(dòng)控制閥、6-按鈕、7-箱體、8-負(fù)壓排風(fēng)管、9-進(jìn)氣口、10-積液槽、11-排液管、12-活動(dòng)門(mén)、13-支撐腳、14-滾輪。
具體實(shí)施方式
下面將參照附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能與結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開(kāi)發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開(kāi)發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開(kāi)發(fā)工作可能是復(fù)雜與耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說(shuō)明。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。[0025]請(qǐng)參閱圖I和圖2，其中，圖I為本實(shí)用新型一實(shí)施例的液體分裝裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例的液體分裝裝置打開(kāi)活動(dòng)門(mén)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)施例提供的液體分裝裝置，包括柜體I以及安裝于柜體I的分裝機(jī)構(gòu)，所述分裝機(jī)構(gòu)包括液體供應(yīng)管2(本實(shí)施例中是IPA原液供應(yīng)管)、純水管3、第一手動(dòng)控制閥4、電磁控制閥(未圖示)、第二手動(dòng)控制閥5以及按鈕6，所述液體供應(yīng)管2的一端外接供應(yīng)源(未圖示)，另一端接第一手動(dòng)控制閥4，所述純水管3的一端外接純水供應(yīng)源(未圖示)，另一端接第二手動(dòng)控制閥5，所述電磁控制閥設(shè)置于所述液體供應(yīng)管2上，所述電磁控制閥與所述按鈕6電性連接。只要將安裝有分裝機(jī)構(gòu)的柜體I放置于便于使用的地方，將所述液體供應(yīng)管2的一端通過(guò)管路外接供應(yīng)源，可以將遠(yuǎn)處的液體供應(yīng)源中的所需液體引到所需要的地方，即可以將第一、第二手動(dòng)控制閥4、5設(shè)置在便于使用的地方，從而，無(wú)需人力和車(chē)輛進(jìn)行液體原液罐(本實(shí)施例中是IPA原液罐)的運(yùn)輸，避免液體原液罐在運(yùn)輸過(guò)程中因發(fā)生泄露而造成人員傷害和環(huán)境影響。另外，可以利用量杯等量取工具，接取相應(yīng)量的液體及純水，可以進(jìn)行各種濃度的液體配比，以適應(yīng)不同分裝需求，同時(shí)也可以使用純水管2對(duì)該柜體及分裝機(jī)構(gòu)進(jìn)行清洗。另外，第一手動(dòng)控制閥4與電磁控制閥可以實(shí)現(xiàn)對(duì)液體供應(yīng)管進(jìn)行雙重的控制，以確保液體使用安全。較佳的，在本實(shí)施例的液體分裝裝置中，還包括一個(gè)箱體7，所述箱體7安裝于所述柜體I內(nèi)，所述液體供應(yīng)管2與所述純水管3分別穿經(jīng)柜體I的一個(gè)側(cè)壁后穿經(jīng)所述箱體7，所述電磁控制閥設(shè)于所述箱體7內(nèi)部，所述第一手動(dòng)控制閥3與所述第二手動(dòng)控制閥4分別位于所述箱體7的外側(cè)。如此，一旦電磁控制閥與液體供應(yīng)管2接口處發(fā)生泄露，不至于液體揮發(fā)出的有毒有害氣體(本實(shí)施例中是IPA氣體)直接擴(kuò)散到空氣中。較佳的，在本實(shí)施例的液體分裝裝置中，所述液體供應(yīng)管2與所述箱體4密封連接，所述純水管3與所述箱體7密封連接，從而可以進(jìn)一步防止箱體7內(nèi)的有毒有害氣體擴(kuò)散到空氣中。較佳的，在本實(shí)施例的液體分裝裝置中，所述箱體7的上方設(shè)置有一負(fù)壓排風(fēng)管8與一進(jìn)氣口 9，所述進(jìn)氣口 9處設(shè)有空氣過(guò)濾裝置(未圖示)。通過(guò)設(shè)置負(fù)壓排風(fēng)管8，可以將箱體7內(nèi)的有毒有害氣體排放到指定的地方，以便進(jìn)行處理。通過(guò)設(shè)置進(jìn)氣口 9，可以實(shí)現(xiàn)箱體中的氣體進(jìn)行循環(huán)，一方面，干凈的氣體進(jìn)入箱體7內(nèi)，另一方面，負(fù)壓排風(fēng)管不斷抽排箱體7內(nèi)的有毒有害氣體。較佳的，在本實(shí)施例的液體分裝裝置中，所述箱體7、第一手動(dòng)控制閥4以及第二手動(dòng)控制閥5的整體下方設(shè)有一積液槽10，所述積液槽10的底部設(shè)有排液管11。當(dāng)操作第一、二手動(dòng)控制閥4、5不慎，或者第一、二手動(dòng)控制閥4、5發(fā)生故障，外流的液體和純水可以流入積液槽10中，并通過(guò)排液管11進(jìn)行排放。較佳的，在本實(shí)施例的液體分裝裝置中，還包括泄露感測(cè)器(未圖示)，所述泄露感測(cè)器設(shè)置于所述積液槽10的底部。一旦，泄露感測(cè)器感測(cè)到液體，其可以通知遠(yuǎn)程監(jiān)控室，以便及時(shí)通知操作人員進(jìn)行監(jiān)控，以及時(shí)排查泄露原因，避免造成人員傷害和環(huán)境影響。[0031 ] 較佳的，在本實(shí)施例的液體分裝裝置中，還包括環(huán)境偵測(cè)器(未圖示)，所述環(huán)境偵測(cè)器設(shè)置于所述柜體I的周?chē)?。通過(guò)設(shè)置環(huán)境偵測(cè)器可以感知柜體I周?chē)目諝庵械挠卸居泻怏w是否超標(biāo)，一旦超標(biāo)會(huì)及時(shí)報(bào)警，通知操作人員及時(shí)查找泄露原因，避免造成人員傷害和環(huán)境影響。[0032]較佳的，在本實(shí)施例的液體分裝裝置中，所述環(huán)境偵測(cè)器距離地面的高度是I. 5-1. 6米。該高度范圍對(duì)應(yīng)了操作人員的呼吸高度，避免操作人員受到有毒有害氣體的傷害。較佳的，在本實(shí)施例的液體分裝裝置中，所述第一手動(dòng)控制閥4與所述第二手動(dòng)控制閥5并排設(shè)置，以便于操作人員進(jìn)行濃度配比，提高生產(chǎn)效率。較佳的，在本實(shí)施例的液體分裝裝置中，所述柜體I對(duì)應(yīng)所述第一手動(dòng)控制閥4和所述第二手動(dòng)控制閥5的一側(cè)(本實(shí)例為柜體I的前側(cè))設(shè)有活動(dòng)門(mén)12。通過(guò)增設(shè)活動(dòng)門(mén)12，當(dāng)不需要分裝液體的時(shí)候，可以關(guān)閉活動(dòng)門(mén)12，以提高室內(nèi)的美觀、整潔度。較佳的，在本實(shí)施例的液體分裝裝置中，所述按鈕6設(shè)置于柜體I上，以便于操作人現(xiàn)場(chǎng)操作，提高效率。較佳的，所述柜體I的底部四周設(shè)有四個(gè)支撐腳13。所述柜體I的底部四周設(shè)有 四個(gè)可收放的滾輪14。通過(guò)設(shè)置滾輪14可以方便運(yùn)輸液體分裝裝置。綜上所述，本實(shí)用新型提供的液體分裝裝置，只要將安裝有分裝機(jī)構(gòu)的柜體放置于便于使用的地方，將所述液體供應(yīng)管的一端通過(guò)管路外接供應(yīng)源，可以將遠(yuǎn)處的液體供應(yīng)源中的所需液體引到所需要的地方，從而無(wú)需人力和車(chē)輛進(jìn)行液體原液罐的運(yùn)輸，同時(shí)也避免液體原液罐在運(yùn)輸過(guò)程中因發(fā)生泄露而造成人員傷害和環(huán)境影響。又由于設(shè)置有外接純水供應(yīng)源的純水管，因此，可以利用量杯等量取工具，可以進(jìn)行各種濃度的液體配比，以適應(yīng)不同分裝需求，同時(shí)也可以使用純水管對(duì)該柜體及分裝機(jī)構(gòu)進(jìn)行清洗。第一手動(dòng)控制閥與電磁控制閥可以實(shí)現(xiàn)對(duì)液體供應(yīng)管進(jìn)行雙重的控制，以確保液體使用安全。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)與變型而不脫離本實(shí)用新型的精神與范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改與變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)與變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種液體分裝裝置，其特征在于，包括柜體以及安裝于所述柜體的分裝機(jī)構(gòu)，所述分裝機(jī)構(gòu)包括液體供應(yīng)管、純水管、第一手動(dòng)控制閥、電磁控制閥、第二手動(dòng)控制閥以及按鈕，所述液體供應(yīng)管的 一端外接供應(yīng)源，另一端接第一手動(dòng)控制閥，所述純水管的一端外接純水供應(yīng)源，另一端接第二手動(dòng)控制閥，所述電磁控制閥設(shè)置于所述液體供應(yīng)管上，所述電磁控制閥與所述按鈕電性連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的液體分裝裝置，其特征在于，還包括一個(gè)箱體，所述箱體安裝于所述柜體內(nèi)，所述液體供應(yīng)管與所述純水管分別穿經(jīng)柜體的一個(gè)側(cè)壁后穿經(jīng)所述箱體，所述電磁控制閥設(shè)于所述箱體內(nèi)部，所述第一手動(dòng)控制閥與所述第二手動(dòng)控制閥分別位于所述箱體的外側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液體分裝裝置，其特征在于，所述液體供應(yīng)管與所述箱體密封連接，所述純水管與所述箱體密封連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液體分裝裝置，其特征在于，所述箱體、第一手動(dòng)控制閥以及第二手動(dòng)控制閥的整體下方設(shè)有一積液槽，所述積液槽的底部設(shè)有排液管。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液體分裝裝置，其特征在于，還包括泄露感測(cè)器，所述泄露感測(cè)器設(shè)置于所述積液槽的底部。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液體分裝裝置，其特征在于，還包括環(huán)境偵測(cè)器，所述環(huán)境偵測(cè)器設(shè)置于所述柜體的周?chē)?，所述環(huán)境偵測(cè)器距離地面的高度是I. 5-1. 6米。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的液體分裝裝置，其特征在于，所述第一手動(dòng)控制閥與所述第二手動(dòng)控制閥并排設(shè)置，所述柜體對(duì)應(yīng)所述第一手動(dòng)控制閥和所述第二手動(dòng)控制閥的一側(cè)設(shè)有活動(dòng)門(mén)。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的液體分裝裝置，其特征在于，所述按鈕設(shè)置于所述柜體上。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的液體分裝裝置，其特征在于，所述柜體的底部四周設(shè)有四個(gè)可收放的滾輪。
10.根據(jù)權(quán)利要求2飛中任意一項(xiàng)所述的液體分裝裝置，其特征在于，所述箱體的上方設(shè)置有一負(fù)壓排風(fēng)管與一進(jìn)氣口，所述進(jìn)氣口處設(shè)有一空氣過(guò)濾裝置。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種液體分裝裝置，包括柜體以及安裝于柜體的分裝機(jī)構(gòu)，分裝機(jī)構(gòu)包括液體供應(yīng)管、純水管、第一手動(dòng)控制閥、電磁控制閥、第二手動(dòng)控制閥以及按鈕，液體供應(yīng)管的一端外接供應(yīng)源，另一端接第一手動(dòng)控制閥，純水管的一端外接純水供應(yīng)源，另一端接第二手動(dòng)控制閥，電磁控制閥設(shè)置于液體供應(yīng)管上，電磁控制閥與按鈕電性連接。本實(shí)用新型可以將遠(yuǎn)處的液體供應(yīng)源中的所需液體引到所需要的地方，從而無(wú)需人力和車(chē)輛進(jìn)行液體原液罐的運(yùn)輸，同時(shí)也避免液體原液罐在運(yùn)輸過(guò)程中因發(fā)生泄露而造成人員傷害和環(huán)境影響。又由于設(shè)置有外接純水供應(yīng)源的純水管，因此，可以利用量杯等量取工具，可以進(jìn)行各種濃度的液體配比，以適應(yīng)不同分裝需求。
文檔編號(hào)B67D7/06GK202705020SQ20122034161
公開(kāi)日2013年1月30日 申請(qǐng)日期2012年7月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月13日
發(fā)明者朱江寧, 丁秀萍, 周鵬, 太雙, 刁春華 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司