專利名稱：機(jī)器人和制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
公開的實(shí)施方式涉及機(jī)器人、機(jī)器人的設(shè)置方法和制造裝置。
背景技術(shù)：
以往，公知有搬送工件的機(jī)器人。作為搬送機(jī)器人公知有例如水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人，該水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人利用在水平方向伸縮的臂來搬送工件(參照專利文獻(xiàn)I)。搬送機(jī)器人例如在半導(dǎo)體制造裝置或液晶制造裝置等中用于搬送半導(dǎo)體晶片或玻璃基板等工件。在這種裝置中對(duì)工件的處理多在減壓后的真空罩內(nèi)進(jìn)行。因此，搬送機(jī)器人也多配置在真空罩內(nèi)。在將搬送機(jī)器人組裝到真空罩的情況下，例如利用橋式起重器等起重器裝置吊起搬送機(jī)器人移動(dòng)到真空罩的上方之后，使起重器裝置下降并將搬送機(jī)器人搬入真空罩內(nèi)。專利文獻(xiàn)1:日本特許第3881579號(hào)公報(bào)可是，近年來玻璃基板或半導(dǎo)體晶片等工件逐漸大型化，并且搬送機(jī)器人和真空罩伴隨這些工件的大型化也變得大型化。因此，具有難以將搬送機(jī)器人設(shè)置到真空罩內(nèi)的可能性。例如，搬送機(jī)器人越大型化，其高度尺寸就越容易變大。因此，為了使大型化的搬送機(jī)器人位于真空罩的上方，優(yōu)選確保搬送機(jī)器人的搬入空間、即真空罩上表面的上方的空間更寬敞。但是，當(dāng)搬送機(jī)器人的高度尺寸變大時(shí)，收納搬送機(jī)器人的真空罩的高度尺寸也變大，因此難以確保搬送機(jī)器人的搬入空間寬敞。這樣，搬送機(jī)器人越大型化，可能就越難將搬送機(jī)器人設(shè)置到真空罩內(nèi)。

實(shí)用新型內(nèi)容實(shí)施方式的一個(gè)形態(tài)的目的在于，提供能夠容易地設(shè)置到罩內(nèi)的機(jī)器人、機(jī)器人的設(shè)置方法和制造裝置。實(shí)施方式的一個(gè)形態(tài)的機(jī)器人具備第一單元和第二單元。第一單元從罩的上方被搬入罩內(nèi)，并且被固定于罩。第二單元從罩的上方被搬入罩內(nèi)，并且與已固定于罩內(nèi)的第一單元相連接。此外，所述機(jī)器人中，所述第一單元的高度尺寸和所述第二單元的高度尺寸之和大于所述罩上方的搬入空間的高度尺寸，所述第一單元和所述第二單元各自的高度尺寸小于所述搬入空間的高度尺寸。所述機(jī)器人中，所述第一單元具有使所述第二單元沿鉛直方向升降的升降部，所述第二單元具有在水平方向伸縮的臂部和使所述臂部以平行于鉛直方向的回轉(zhuǎn)軸線為中心旋轉(zhuǎn)的回轉(zhuǎn)部。所述機(jī)器人中，所述升降部具有電動(dòng)機(jī)、筒狀的軸部以及變換機(jī)構(gòu)，所述變換機(jī)構(gòu)配置在所述軸部的筒內(nèi)，用于將所述電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)變換為直線運(yùn)動(dòng)使所述軸部升降，所述軸部具有引導(dǎo)體，該引導(dǎo)體用于將從所述軸部的上方插入的所述第一單元的配線引導(dǎo)向形成在所述軸部的內(nèi)周面與所述變換機(jī)構(gòu)之間的配線空間。所述機(jī)器人中，所述第一單元在上部具有在水平方向延伸的第一凸緣部，所述第二單元在下部具有在水平方向延伸的第二凸緣部，通過將所述第一凸緣部和所述第二凸緣部固定在一起，所述第二單元與所述第一單元連接。所述機(jī)器人中，所述第一凸緣部和所述第二凸緣部中的一方具有定位用的凸部，所述第一凸緣部和所述第二凸緣部中的另一方具有與所述凸部卡合的定位用的凹部。此外，實(shí)施方式的一個(gè)形態(tài)的機(jī)器人的設(shè)置方法包括固定工序和連接工序。在固定工序中，將機(jī)器人的第一單元從罩的上方搬入罩內(nèi)并固定于罩。在連接工序中，將機(jī)器人的第二單元從罩的上方搬入罩內(nèi)并連接至已固定于罩內(nèi)的第一單元。此外，實(shí)施方式的一個(gè)形態(tài)的制造裝置具備罩和被設(shè)置于罩的機(jī)器人。并且，機(jī)器人具備第一單元和第二單元。第一單元從罩的上方被搬入罩內(nèi)，并且被固定于罩。第二單元從罩的上方被搬入罩內(nèi)，并且與已固定于罩內(nèi)的第一單元相連接。根據(jù)實(shí)施方式的一個(gè)形態(tài)，能夠提供容易地設(shè)置到罩內(nèi)的機(jī)器人、機(jī)器人的設(shè)置方法和制造裝置。

圖1是第一實(shí)施方式的機(jī)器人的示意立體圖。圖2是示出將機(jī)器人設(shè)置于真空罩后的狀態(tài)的示意側(cè)視圖。圖3是示出機(jī)體部和基座部的結(jié)構(gòu)的示意剖視圖。圖4是真空罩上方的搬入空間的高度尺寸和機(jī)器人的高度尺寸的比較圖。圖5A是示出機(jī)體部向真空罩設(shè)置的設(shè)置方法的說明圖。圖5B是示出臂單元向真空罩設(shè)置的設(shè)置方法的說明圖。圖6是示出臂單元相對(duì)于機(jī)體部的大致定位方法的說明圖。標(biāo)號(hào)說明1:機(jī)器人10:機(jī)體部11:殼體12:凸緣部125、126:引導(dǎo)部件15:升降凸緣部15a:第一對(duì)接凸緣(docking flange)15b:第二對(duì)接凸緣151:定位銷152、154:貫通孔153:卡合孔20:臂單元21:固定基座部22:第一臂部23:第二臂部[0042]24:可動(dòng)基座部25:輔助臂部30:真空罩31:開口部32:蓋部40:升降裝置42:變換機(jī)構(gòu)43:軸部60:回轉(zhuǎn)裝置61:帶減速器的電動(dòng)機(jī)61a:電動(dòng)機(jī)61b:減速器62:軸部622:貫通孔300:配線450:引導(dǎo)體600:懸吊工具602a、603a:貫通孔610:套環(huán)700:橋式起重機(jī)701:鉤751:行駛道800:懸吊工具810:套環(huán)
具體實(shí)施方式
以下，參照附圖，對(duì)本申請(qǐng)公開的機(jī)器人、機(jī)器人的設(shè)置方法和制造裝置的實(shí)施方式詳細(xì)進(jìn)行說明。并且，本實(shí)用新型并不受以下所示的實(shí)施方式限定。首先，利用圖1對(duì)本實(shí)施方式的機(jī)器人的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。圖1是實(shí)施方式的機(jī)器人的示意立體圖。如圖1所示，機(jī)器人I是具備在水平方向伸縮的兩個(gè)伸縮臂的水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人。具體來說，機(jī)器人I具備機(jī)體部10和臂單元20。機(jī)體部10為設(shè)在臂單元20下部的單元。所述機(jī)體部10在筒狀的殼體11內(nèi)具備升降裝置，利用所述升降裝置使臂單元20沿鉛直方向升降。升降裝置的結(jié)構(gòu)利用圖3進(jìn)行說明。在殼體11的上部形成有凸緣部12。通過將該凸緣部12支承于在真空罩形成的開口部的邊緣部，機(jī)器人I成為設(shè)置于真空罩的狀態(tài)。關(guān)于這一點(diǎn)，利用圖2進(jìn)行說明。臂單元20是經(jīng)由升降凸緣部15與機(jī)體部10連接的單元。具體來說，臂單元20具備固定基座部21、第一臂部22、第二臂部23、可動(dòng)基座部24以及輔助臂部25。并且，在本實(shí)施方式中，固定基座部21、第一臂部22、第二臂部23以及可動(dòng)基座部24分別對(duì)應(yīng)于第一部件、第二部件、第三部件以及第四部件。固定基座部21相對(duì)于升降凸緣部15被支承成能夠旋轉(zhuǎn)。固定基座部21具備由電動(dòng)機(jī)或減速器、軸等構(gòu)成的回轉(zhuǎn)裝置，所述固定基座部21利用所述回轉(zhuǎn)裝置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。利用圖3對(duì)回轉(zhuǎn)裝置的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。第一臂部22的基端部經(jīng)由減速器以能夠旋轉(zhuǎn)的方式連接于固定基座部21的上部。另外，第二臂部23的基端部經(jīng)由減速器以能夠旋轉(zhuǎn)的方式連接于第一臂部22的末端上部。并且，可動(dòng)基座部24以能夠旋轉(zhuǎn)的方式連接于第二臂部23的末端部?？蓜?dòng)基座部24在上部具備用于保持工件的末端執(zhí)行器24a，該可動(dòng)基座部24隨著第一臂部22和第二臂部23的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作而移動(dòng)。在機(jī)器人I中，通過使用一個(gè)電動(dòng)機(jī)使設(shè)于第一臂部22的基端部的減速器和設(shè)于第一臂部22的末端部的減速器同步地動(dòng)作，來使末端執(zhí)行器24a直線移動(dòng)。具體來說，在機(jī)器人I中，以第二臂部23相對(duì)于第一臂部22的旋轉(zhuǎn)量為第一臂部22相對(duì)于固定基座部21的旋轉(zhuǎn)量的2倍的方式，使第一臂部22和第二臂部23旋轉(zhuǎn)。例如，在機(jī)器人I中，以這樣的方式使第一臂部22和第二臂部23旋轉(zhuǎn):在第一臂部22相對(duì)于固定基座部21旋轉(zhuǎn)了 α度的情況下、第二臂部23相對(duì)于第一臂部22旋轉(zhuǎn)2 α度。由此，末端執(zhí)行器24a直線移動(dòng)。從防止真空罩內(nèi)的污染等觀點(diǎn)出發(fā)，減速器、電動(dòng)機(jī)這些驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)被收納在保持為大氣壓的第一臂部22的內(nèi)部。由此，即使是將機(jī)器人I放置于減壓環(huán)境下的情況，也能夠防止?jié)櫥葷?rùn)滑油的干燥，此外，還能夠防止因產(chǎn)生灰塵而使真空罩內(nèi)被污染。輔助臂部25為連桿機(jī)構(gòu),其以移動(dòng)中的末端執(zhí)行器24a總是朝向固定的方向的方式與第一臂部22和第二臂部23的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作聯(lián)動(dòng)地對(duì)可動(dòng)基座部24的旋轉(zhuǎn)進(jìn)行限制。具體來說，輔助臂部25具備第一連桿部25a、中間連桿部25b以及第二連桿部25c。第一連桿部25a的基端部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與固定基座部21連接,第一連桿部25a在末端部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與中間連桿部25b的末端部連接。另外，中間連桿部25b的基端部被與第一臂部22和第二臂部23之間的連接軸同軸地軸支承，中間連桿部25b的末端部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與第一連桿部25a的末端部連接。第二連桿部25c在基端部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與中間連桿部25b連接，第二連桿部25c在末端部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與可動(dòng)基座部24的基端部連接。另外，可動(dòng)基座部24在末端部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與第二臂部23的末端部連接，可動(dòng)基座部24在基端部以能夠旋轉(zhuǎn)的方式與第二連桿部25c連接。第一連桿部25a與固定基座部21、第一臂部22以及中間連桿部25b —同形成第一平行連桿機(jī)構(gòu)。即，當(dāng)?shù)谝槐鄄?2以基端部為中心旋轉(zhuǎn)時(shí)，第一連桿部25a和中間連桿部25b 一邊保持分別與第一臂部22和固定基座部21平行的狀態(tài)一邊旋轉(zhuǎn)。另外，第二連桿部25c與第二臂部23、可動(dòng)基座部24以及中間連桿部25b —同形成第二平行連桿機(jī)構(gòu)。即，當(dāng)?shù)诙鄄?3以基端部為中心旋轉(zhuǎn)時(shí)，第二連桿部25c和可動(dòng)基座部24 —邊保持分別與第二臂部23和中間連桿部25b平行的狀態(tài)一邊旋轉(zhuǎn)。[0084]中間連桿部25b通過第一平行連桿機(jī)構(gòu)一邊保持與固定基座部21平行的狀態(tài)一邊旋轉(zhuǎn)。因此，第二平行連桿機(jī)構(gòu)的可動(dòng)基座部24也一邊保持與固定基座部21平行的狀態(tài)一邊旋轉(zhuǎn)。其結(jié)果是，安裝在可動(dòng)基座部24上部的末端執(zhí)行器24a —邊保持與固定基座部21平行的狀態(tài)一邊直線移動(dòng)。這樣，機(jī)器人I利用第一平行連桿機(jī)構(gòu)和第二平行連桿機(jī)構(gòu)這兩個(gè)平行連桿機(jī)構(gòu)，保持末端執(zhí)行器24a的方向恒定。因此，與例如將帶輪或傳動(dòng)帶設(shè)在第二臂部?jī)?nèi)、并利用這些帶輪或傳動(dòng)帶將末端執(zhí)行器的方向維持為固定方向的情況相比，能夠抑制因帶輪或傳動(dòng)帶而引起的灰塵產(chǎn)生。另外，通過輔助臂部25能夠提高整個(gè)臂的剛性，因此能夠降低末端執(zhí)行器24a動(dòng)作時(shí)的振動(dòng)。因此，與使用帶輪或傳動(dòng)帶將末端執(zhí)行器的方向維持為固定方向的情況相比，還能夠抑制因末端執(zhí)行器24a動(dòng)作時(shí)的振動(dòng)而導(dǎo)致產(chǎn)生灰塵。另外，本實(shí)施方式的機(jī)器人I具備兩組由第一臂部22、第二臂部23、可動(dòng)基座部24以及輔助臂部25構(gòu)成的伸縮臂部。因此，機(jī)器人I能夠同時(shí)平行地進(jìn)行例如使用一個(gè)伸縮臂從某搬送位置取出工件、同時(shí)使用另一個(gè)伸縮臂將新工件搬送至所述搬送位置等兩個(gè)作業(yè)。接下來，在對(duì)具有本實(shí)施方式的機(jī)器人I和真空罩的制造裝置的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明之后，對(duì)對(duì)接凸緣周圍的結(jié)構(gòu)和機(jī)器人I向真空罩設(shè)置的設(shè)置方法進(jìn)行具體說明。圖2是示出制造裝置的結(jié)構(gòu)的示意側(cè)視圖。如圖2所示，制造裝置100具備機(jī)器人I和收納機(jī)器人I的真空罩30。機(jī)器人I的形成于機(jī)體部10的凸緣部12經(jīng)密封部件固定在開口部31的緣部，所述開口部31形成于真空罩30的底部。由此，真空罩30成為被密閉的狀態(tài)，利用真空泵等減壓裝置使真空罩30內(nèi)部保持為減壓狀態(tài)。并且，機(jī)體部10的殼體11從真空罩30的下部突出，位于對(duì)真空罩30進(jìn)行支承的支承部35內(nèi)的空間。機(jī)器人I在該真空罩30內(nèi)進(jìn)行工件的搬送作業(yè)。例如，機(jī)器人I通過使用第一臂部22和第二臂部23使末端執(zhí)行器24a直線移動(dòng)，來經(jīng)未圖示的閘閥從與真空罩30連接的其它真空罩取出工件。接著，機(jī)器人I在將末端執(zhí)行器24a拉回后，以回轉(zhuǎn)軸線O為中心使固定基座部21在水平方向旋轉(zhuǎn)，由此，使臂單元20正對(duì)著成為工件的搬送目的地的其它真空罩。然后，機(jī)器人I使用第一臂部22和第二臂部23使末端執(zhí)行器24a直線移動(dòng)，由此將工件搬入成為工件搬送目的地的其它真空罩。真空罩30與機(jī)器人I的形狀相對(duì)應(yīng)地形成。例如,如圖2所示，在真空罩30的底面形成有凹部，固定基座部21或升降凸緣部15這樣的機(jī)器人I的向下方突出的部位收納于所述凹部。這樣，通過使真空罩30與機(jī)器人I的形狀相對(duì)應(yīng)地形成，能夠減小罩內(nèi)的容積。因此，能夠容易地維持真空罩30的減壓狀態(tài)。將真空罩30以能夠與外部連通的方式封閉的蓋部32設(shè)在真空罩30的上部。機(jī)器人I是從蓋部32被取下的真空罩30的上方搬入真空罩30內(nèi)的。本實(shí)施方式的機(jī)器人I構(gòu)成為機(jī)體部10和臂單元20在升降凸緣部15能夠分割。具體而言，本實(shí)施方式的機(jī)器人I的升降凸緣部15由第一對(duì)接凸緣15a和第二對(duì)接凸緣15b這兩個(gè)凸緣構(gòu)成。第一對(duì)接凸緣15a是固定于機(jī)體部10側(cè)的凸緣，第二對(duì)接凸緣15b是固定于臂單元20側(cè)的凸緣。本實(shí)施方式的機(jī)器人I通過利用螺栓等將這些第一對(duì)接凸緣15a和第二對(duì)接凸緣15b —體化而成為機(jī)體部10和臂單元20 —體化的狀態(tài)。而且，在本實(shí)施方式中，將機(jī)器人I以分割為機(jī)體部10和臂單元20的狀態(tài)搬入真空罩30內(nèi)。由此，能夠容易地將機(jī)器人I設(shè)置至真空罩30。接下來，利用圖3說明具有第一對(duì)接凸緣15a的機(jī)體部10和具有第二對(duì)接凸緣15b的固定基座部21的結(jié)構(gòu)。圖3是示出機(jī)體部10和固定基座部21的結(jié)構(gòu)的示意剖視圖。如圖3所示，機(jī)體部10具備升降裝置40。升降裝置40是利用未圖示的電動(dòng)機(jī)和變換機(jī)構(gòu)42使軸部43在鉛直方向移動(dòng)的裝置。第一對(duì)接凸緣15a固定于軸部43的從形成于凸緣部12的開口部121突出的上端部。此外，臂單元20具備回轉(zhuǎn)裝置60?；剞D(zhuǎn)裝置60例如通過使帶減速器的電動(dòng)機(jī)61的旋轉(zhuǎn)經(jīng)帶輪64、65和傳動(dòng)帶63傳遞給軸部62，來使軸部62旋轉(zhuǎn)，帶減速器的電動(dòng)機(jī)61由所述電動(dòng)機(jī)61a和減速器61b —體化而構(gòu)成。軸部62經(jīng)軸承211可旋轉(zhuǎn)地支承于固定基座部21，但旋轉(zhuǎn)方向被固定，因此其結(jié)果是固定基座部21以軸部62的中心軸線為回轉(zhuǎn)軸線O在水平方向旋轉(zhuǎn)。第二對(duì)接凸緣15b固定于軸部62的從固定基座部21的下部鉛直向下突出的末端部。而且，機(jī)體部10和臂單元20用螺栓等固定第一對(duì)接凸緣15a和第二對(duì)接凸緣15b而一體化，成為機(jī)器人I。這里，如圖3所示，在第一對(duì)接凸緣15a的上表面設(shè)有定位銷151，在第二對(duì)接凸緣15b形成有與定位銷151卡合的卡合孔153。以定位銷151和卡合孔153卡合的狀態(tài)將第一對(duì)接凸緣15a和第二對(duì)接凸緣15b固定，由此相對(duì)于機(jī)體部10在適當(dāng)?shù)奈恢眠B接臂單元20。這樣，在本實(shí)施方式的機(jī)器人I中，作為第一單元的機(jī)體部10在上部具有在水平方向延伸的第一對(duì)接凸緣15a，作為第二單元的臂單元20在下部具有在水平方向延伸的第二對(duì)接凸緣15b。這樣,在本實(shí)施方式的機(jī)器人I中，通過固定第一對(duì)接凸緣15a和第二對(duì)接凸緣15b，來連接機(jī)體部10和臂單元20。因此，能夠容易地進(jìn)行機(jī)體部10和臂單元20的連接作業(yè)。此外，在本實(shí)施方式的機(jī)器人I中，對(duì)第一對(duì)接凸緣15a設(shè)置作為定位用凸部的定位銷151，在第二對(duì)接凸緣15b形成與該定位銷151卡合的卡合孔153。因此，相對(duì)于機(jī)體部10在正確的位置連接臂單元20。而且，這里，在第一對(duì)接凸緣15a設(shè)置定位銷151，在第二對(duì)接凸緣15b形成卡合孔153，但還可以在第一對(duì)接凸緣15a形成插孔，在第二對(duì)接凸緣15b設(shè)置定位銷。此外，這里，作為定位用凸部和定位用凹部的一個(gè)例子，利用定位銷151和卡合孔153進(jìn)行了說明，但定位用的凸部和凹部不限定于銷和插孔。此外，這里對(duì)回轉(zhuǎn)裝置60具有帶減速器的電動(dòng)機(jī)61的情況的例子進(jìn)行了說明，但電動(dòng)機(jī)和減速器也不一定是一體化的。接下來，對(duì)回轉(zhuǎn)裝置60和升降裝置40的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖3所示，在回轉(zhuǎn)裝置60的軸部62，沿回轉(zhuǎn)軸線O形成有從軸部62的上端貫通到下端的貫通孔622，在第二對(duì)接凸緣15b也形成有同樣的貫通孔154。而且，在這些貫通孔622、154貫穿插入有臂單元20的配線300。該配線300成為從軸部62的上方通過貫通孔622、154從固定基座部21的下部垂下的狀態(tài)。升降裝置40具備變換機(jī)構(gòu)42、軸部43和線性引導(dǎo)部44。變換機(jī)構(gòu)42是將未圖示的電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)變換為直線運(yùn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)部。具體而言，變換機(jī)構(gòu)42具備滾珠絲杠421和滾珠螺母422。滾珠絲杠421經(jīng)軸承112能夠旋轉(zhuǎn)地支承于殼體11，滾珠螺母422套裝在滾珠絲杠421上。軸部43是沿鉛直方向延伸的筒狀部件。在該軸部43的筒內(nèi)配設(shè)有變換機(jī)構(gòu)42，變換機(jī)構(gòu)42的滾珠螺母422固定于軸部43的內(nèi)周面。此外，軸部43在外周面固定于線性引導(dǎo)部44。當(dāng)使未圖示的電動(dòng)機(jī)工作時(shí)，電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)經(jīng)未圖示的傳動(dòng)帶和帶輪而傳遞給變換機(jī)構(gòu)42的滾珠絲杠421。然后，通過滾珠絲杠421和滾珠螺母422將電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)變換為直線運(yùn)動(dòng)，固定有滾珠螺母422的軸部43沿線性引導(dǎo)部44升降。在第一對(duì)接凸緣15a沿回轉(zhuǎn)軸線O形成有貫通孔152，臂單元20的配線300經(jīng)由該貫通孔152插入軸部43內(nèi)。插入軸部43內(nèi)的配線300從形成于軸部43下部的切口部431向軸部43外引出，與設(shè)于軸部43外的連接器面板相連接。這里，變換機(jī)構(gòu)42以靠近軸部43的內(nèi)周面的狀態(tài)配置。具體而言，變換機(jī)構(gòu)42以滾珠絲杠421的中心軸線從軸部43的中心軸線(即回轉(zhuǎn)軸線O)偏移的狀態(tài)進(jìn)行配置。由此，在變換機(jī)構(gòu)42和軸部43的內(nèi)周面之間形成有配線300的配線空間S。而且，在軸部43設(shè)有引導(dǎo)體450，該引導(dǎo)體450將從上方插入的配線300導(dǎo)向配線空間S。引導(dǎo)體450是設(shè)置成在配線空間S和變換機(jī)構(gòu)42之間覆蓋滾珠絲杠421的上部和側(cè)面的部件，在引導(dǎo)體450，朝向配線空間S形成有傾斜。這樣，在軸部43的筒內(nèi)設(shè)置引導(dǎo)體450，由此不會(huì)妨礙滾珠絲杠421和滾珠螺母422，能夠容易地將配線300導(dǎo)向配線空間S。此外，在機(jī)器人I的動(dòng)作中，還能夠防止配線300和變換機(jī)構(gòu)42接觸。下面，對(duì)機(jī)器人I設(shè)置向真空罩30的設(shè)置方法進(jìn)行說明。首先，利用圖4對(duì)真空罩30上方的搬入空間的高度尺寸和機(jī)器人I的高度尺寸的比較進(jìn)行說明。圖4是真空罩30上方的搬入空間的高度尺寸和機(jī)器人I的高度尺寸的比較圖。而且，如圖4所示，機(jī)器人I的搬入作業(yè)是在取下真空罩30上部的蓋部32 (參照?qǐng)D2)的狀態(tài)下進(jìn)行的。機(jī)器人I例如利用橋式起重機(jī)700被從真空罩30的上方搬入真空罩30內(nèi)。橋式起重機(jī)700是這樣的起重機(jī)裝置:利用鉤701將對(duì)象物吊起至預(yù)定高度，沿著設(shè)于頂部750的行駛道751行駛之后，將吊起的對(duì)象物下降到預(yù)定位置。為了將利用橋式起重器700吊起的對(duì)象物搬入到真空罩30內(nèi)，對(duì)象物的高度尺寸必須小于真空罩30上方的搬入空間的高度尺寸X。這里，搬入空間是指用于將位于真空罩30上方的機(jī)器人I搬入真空罩30內(nèi)的空間，具體而言，是從拉起到最高位置的鉤701的下部到真空罩30的上端部為止的空間。本實(shí)施方式的機(jī)器人I的高度尺寸H大于該搬入空間的高度尺寸X。在該情況下，即使想利用橋式起重機(jī)700將機(jī)器人I移動(dòng)到搬入空間，機(jī)器人I會(huì)與真空罩30的側(cè)壁相抵觸，因此難以將機(jī)器人I移動(dòng)到搬入空間。[0120]因此，本實(shí)施方式的機(jī)器人I構(gòu)成為能夠?qū)C(jī)器人I分割為機(jī)體部10和臂單元20，分別將機(jī)體部10和臂單元20搬入真空罩30。下面，利用圖5A和圖5B說明本實(shí)施方式的機(jī)器人I向真空罩30設(shè)置的設(shè)置方法。圖5A是示出機(jī)體部10向真空罩30設(shè)置的設(shè)置方法的說明圖，圖5B是示出臂單元20向真空罩30設(shè)置的設(shè)置方法的說明圖。如圖5A所示，作業(yè)者等利用橋式起重器700將機(jī)體部10設(shè)置至真空罩30。首先，作業(yè)者等將具有套環(huán)810的懸吊工具800安裝在機(jī)體部10之后，將橋式起重器700的鉤701掛到懸吊工具800的套環(huán)810將機(jī)體部10吊起。接下來，作業(yè)者等通過使橋式起重機(jī)700沿行駛道751行駛，使機(jī)體部10移動(dòng)到真空罩30上方的搬入空間。這里，如圖5A所示，機(jī)體部10的包含懸吊工具800的高度尺寸hi小于搬入空間的高度尺寸X。因此，機(jī)體部10能夠移動(dòng)到搬入空間而不會(huì)與真空罩30相抵觸。接下來，作業(yè)者等操作橋式起重機(jī)700使機(jī)體部10的殼體11通過真空罩30的開口部31，將機(jī)體部10放置到真空罩30內(nèi)。由此，機(jī)體部10成為在凸緣部12支承于真空罩30的開口部31的邊緣部的狀態(tài)。然后，作業(yè)者等利用螺栓等將機(jī)體部10的凸緣部12與開口部31的邊緣部固定。由此，機(jī)體部10向真空罩30的設(shè)置結(jié)束。而且，在設(shè)置到真空罩30的機(jī)體部10安裝有用于定位臂單元20的引導(dǎo)部件，關(guān)于這一點(diǎn)利用圖6進(jìn)行說明。機(jī)體部10向真空罩30的設(shè)置完成之后，作業(yè)者等如圖5B所示進(jìn)行臂單元20向真空罩30的設(shè)置。首先，作業(yè)者等在將具有套環(huán)610的懸吊工具600安裝于臂單元20之后，將橋式起重器700的鉤701掛到懸吊工具600的套環(huán)610將臂單元20吊起。此時(shí)，臂單元20的配線300成為從臂單元20的下部垂下的狀態(tài)。作業(yè)者等通過使橋式起重機(jī)700沿行駛道751行駛，使臂單元20移動(dòng)到真空罩30上方的搬入空間。這里，如圖5B所示,臂單元20的包含懸吊工具600的高度尺寸h2小于搬入空間的高度尺寸X。因此，臂單元20能夠移動(dòng)到搬入空間而不會(huì)與真空罩30相抵觸。接下來，作業(yè)者等操作橋式起重機(jī)700使臂單元20向設(shè)置于真空罩30的機(jī)體部10下降。由此，從臂單元20的下部垂下的配線300插入機(jī)體部10所具有的升降裝置40的軸部43內(nèi)(參照?qǐng)D3)。如上所述，在軸部43內(nèi)，在配線300的配線空間S和變換機(jī)構(gòu)42之間設(shè)有引導(dǎo)體450。因此，作業(yè)者等能夠使配線300通向配線空間S而不會(huì)被變換機(jī)構(gòu)42妨礙。而且，通到配線空間S的配線300被從切口部431向軸部43外引出，并與連接器面板相連接。接下來，作業(yè)者等使臂單元20進(jìn)一步下降，使設(shè)于臂單元20下部的第二對(duì)接凸緣15b接近設(shè)于機(jī)體部10上部的第一對(duì)接凸緣15a。這里，在臂單元20的懸吊工具600形成有與設(shè)于機(jī)體部10的引導(dǎo)部件成對(duì)的定位用標(biāo)記，作業(yè)者等利用這些引導(dǎo)部件和定位用標(biāo)記進(jìn)行臂單元20的大致定位。圖6是示出臂單元20相對(duì)于機(jī)體部10的大致定位方法的說明圖。如圖6所述，在機(jī)體部10的凸緣部12上的預(yù)定位置安裝有圓柱狀引導(dǎo)部件125、126。此外，在臂單元20的懸吊工具600以與引導(dǎo)部件125、126間的間隔相等的間隔形成有貫通孔602a、603a作為定位用標(biāo)記。[0132]作業(yè)者等將這些引導(dǎo)部件125、126和貫通孔602a、603a作為標(biāo)記進(jìn)行臂單元20的定位。具體而言，作業(yè)者等在從上方觀察貫通孔602a、603a的情況下，一邊調(diào)整臂單元20的位置以使引導(dǎo)部件125、126分別被收于貫通孔602a、603a內(nèi)，一邊使臂單元20向機(jī)體部10下降。這樣，在本實(shí)施方式中，在機(jī)體部10的凸緣部12設(shè)置有能夠裝卸的定位用的引導(dǎo)部件125、126，在懸吊工具600形成有與引導(dǎo)部件125、126對(duì)應(yīng)的貫通孔602a、603a。并且，在本實(shí)施方式中，利用這些引導(dǎo)部件125、126和貫通孔602a、603a，進(jìn)行臂單元20相對(duì)于機(jī)體部10的定位。因此，作業(yè)者等使臂單元20向機(jī)體部10下降的同時(shí)能夠容易地把握臂單元20相對(duì)于機(jī)體部10的大致安裝位置。此外，如上所述，在機(jī)體部10的第一對(duì)接凸緣15a設(shè)有作為定位用凸部的定位銷151，在臂單元20的第二對(duì)接凸緣15b設(shè)有與定位銷151卡合的卡合孔153。由此，作業(yè)者等能夠?qū)⒌诙?duì)接凸緣正確地設(shè)置于第一對(duì)接凸緣15a。在第一對(duì)接凸緣15a上載置第二對(duì)接凸緣15b之后，作業(yè)者等用螺栓等將第一對(duì)接凸緣15a和第二對(duì)接凸緣15b固定。由此，機(jī)體部10和臂單元20—體化而成為機(jī)器人
1而且，如圖6所示，臂單元20的懸吊工具600具有上側(cè)支承部件601、下側(cè)支承部件602、603和連接軸604 606。作業(yè)者等首先將下側(cè)支承部件602、603安裝于固定基座部21的下部。安裝于固定基座部21的下側(cè)支承部件602、603成為其一部分從固定基座部21向Y軸負(fù)方向突出的狀態(tài)。在該下側(cè)支承部件602、603的從固定基座部212突出的部分分別形成有貫通孔602a、603a。接下來，作業(yè)者等將連接軸604、605分別安裝于下側(cè)支承部件602、603，將連接軸606安裝于固定基座部21。而且，作業(yè)者等將上側(cè)支承部件601安裝于連接軸604 606，用螺栓等將它們緊固。由此，懸吊工具600成為安裝于臂單元20的狀態(tài)。如上所述，本實(shí)施方式中，將機(jī)器人構(gòu)成為能夠分割成機(jī)體部和臂單元這兩個(gè)單元。具體而言，構(gòu)成為:機(jī)體部從真空罩的上方搬入真空罩內(nèi)并且固定于真空罩，臂單元與固定于真空罩內(nèi)的機(jī)體部相連接。因此能夠容易地將機(jī)器人設(shè)置到真空罩內(nèi)。此外，在本實(shí)施方式中，機(jī)體部的高度尺寸和臂單元的高度尺寸之和大于真空罩上方的搬入空間的高度尺寸，機(jī)體部和臂單元各自的高度尺寸小于搬入空間的高度尺寸。因此，例如即使在機(jī)器人和真空罩大型化而難以確保搬入空間的情況下，通過分割機(jī)器人，也能夠容易地進(jìn)行機(jī)器人向真空罩的設(shè)置。而且，在本實(shí)施方式中，在機(jī)體部設(shè)有使臂單元在鉛直方向升降的升降裝置，在臂單元設(shè)有使伸縮臂以回轉(zhuǎn)軸線為中心旋轉(zhuǎn)的回轉(zhuǎn)裝置。由此，與在機(jī)體部具有升降裝置和回轉(zhuǎn)裝置兩者的情況相比，能夠?qū)C(jī)體部的高度尺寸和臂單元的高度尺寸均等地一致。因此，與機(jī)體部的高度尺寸和臂單元的高度尺寸之差較大的情況相比，即使真空罩上的搬入空間更小，也能夠使機(jī)體部和臂單元移動(dòng)到搬入空間。而且，在上述的實(shí)施方式中，對(duì)機(jī)器人為搬送工件的搬送機(jī)器人的情況的例子進(jìn)行了說明，但機(jī)器人還可以是進(jìn)行搬送工件以外的作業(yè)的機(jī)器人。此外，在上述的實(shí)施方式中，對(duì)機(jī)器人設(shè)于真空罩內(nèi)的情況的例子進(jìn)行了說明，但機(jī)器人所設(shè)置的罩還可以是真空罩以外的罩。[0144]此外，在上述的實(shí)施方式中，對(duì)機(jī)器人的高度尺寸大于搬送空間的高度尺寸的情況的例子進(jìn)行了說明，但機(jī)器人的高度尺寸也可以小于搬送空間的高度尺寸。即使在這種情況下，通過分割機(jī)器人向罩內(nèi)進(jìn)行搬送，也能夠減小一次搬入動(dòng)作中所搬入的對(duì)象物的重量和大小,能夠容易地將機(jī)器人搬入到罩內(nèi)。此外，在上述的實(shí)施方式中，對(duì)利用設(shè)于建筑物的橋式起重機(jī)進(jìn)行機(jī)體部和臂單元的搬入作業(yè)的情況的例子進(jìn)行了說明，但機(jī)體部和臂單元的搬入作業(yè)所使用的起重機(jī)還可以是橋式起重機(jī)以外的起重機(jī)裝置。對(duì)本領(lǐng)域人員來說，能夠容易地導(dǎo)出進(jìn)一步的效果和變形例。因此，本實(shí)用新型的更大范圍的方式并不受如以上那樣表示并記述的特定的詳細(xì)內(nèi)容和代表性的實(shí)施方式限定。因此，只要不脫離由附上的權(quán)利要求的范圍和其等同物所定義的總的實(shí)用新型的概念的精神或范圍，能夠進(jìn)行各種變更。
權(quán)利要求1.一種機(jī)器人,其特征在于， 所述機(jī)器人具備: 第一單元，其從罩的上方被搬入所述罩內(nèi)，并且被固定于所述罩；和 第二單元，其從所述罩的上方被搬入所述罩內(nèi)，并且與已固定于所述罩內(nèi)的所述第一單元連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)器人，其特征在于， 所述第一單元的高度尺寸和所述第二單元的高度尺寸之和大于所述罩上方的搬入空間的高度尺寸， 所述第一單元和所述第二單元各自的高度尺寸小于所述搬入空間的高度尺寸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的機(jī)器人，其特征在于， 所述第一單元具有使所述第二單元沿鉛直方向升降的升降部， 所述第二單元具有在水平方向伸縮的臂部和使所述臂部以平行于鉛直方向的回轉(zhuǎn)軸線為中心旋轉(zhuǎn)的回轉(zhuǎn)部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的機(jī)器人，其特征在于， 所述升降部具有電動(dòng)機(jī)、筒狀的軸部以及變換機(jī)構(gòu)，所述變換機(jī)構(gòu)配置在所述軸部的筒內(nèi)，用于將所述電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)變換為直線運(yùn)動(dòng)使所述軸部升降， 所述軸部具有引導(dǎo)體，該引導(dǎo)體用于將從所述軸部的上方插入的所述第一單元的配線引導(dǎo)向形成在所述軸部的內(nèi)周面與所述變換機(jī)構(gòu)之間的配線空間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的機(jī)器人，其特征在于， 所述第一單元在上部具有在水平方向延伸的第一凸緣部， 所述第二單元在下部具有在水平方向延伸的第二凸緣部，通過將所述第一凸緣部和所述第二凸緣部固定在一起，所述第二單元與所述第一單元連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的機(jī)器人，其特征在于， 所述第一凸緣部和所述第二凸緣部中的一方具有定位用的凸部， 所述第一凸緣部和所述第二凸緣部中的另一方具有與所述凸部卡合的定位用的凹部。
7.—種制造裝置，其特征在于， 該制造裝置具備罩和設(shè)置于所述罩內(nèi)的機(jī)器人， 所述機(jī)器人具備:第一單元，其從所述罩的上方被搬入所述罩內(nèi)，并且被固定于所述罩；和第二單元，其從所述罩的上方被搬入所述罩內(nèi)，并且與已固定于所述罩內(nèi)的所述第一單元連接。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種機(jī)器人和制造裝置。所述機(jī)器人能夠容易地設(shè)置到罩內(nèi)。實(shí)施方式的機(jī)器人具備機(jī)體部和臂單元。機(jī)體部從真空罩的上方被搬入真空罩內(nèi)，并且被固定于真空罩。此外，臂單元從真空罩的上方被搬入罩內(nèi)，并且與已固定于罩內(nèi)的機(jī)體部連接。
文檔編號(hào)B65G49/05GK202953559SQ201220455870
公開日2013年5月29日 申請(qǐng)日期2012年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月8日
發(fā)明者古川伸征, 野口忠隆, 大仁健輔 申請(qǐng)人:株式會(huì)社安川電機(jī)