專利名稱：一種傳送組件、傳送裝置及應(yīng)用此傳送裝置的設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種傳送組件、傳送裝置及應(yīng)用此傳送裝置的設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種傳送組件、傳送裝置及應(yīng)用此傳送 裝置的設(shè)備。
背景技術(shù)：
[0002]目前在薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管液晶顯示器(TFT-1XD, Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)的陣列(Array)基板制作過程中，通常采用濕法刻蝕(wet etch)進(jìn)行金 屬層的刻蝕，其中包括柵線(Gate)層、源極/漏極(S/D，Source/Drain)層、氧化銦錫(ΙΤ0， Indium Tin Oxides)層的刻蝕等等。[0003]現(xiàn)有的濕法刻蝕設(shè)備采用圖1所示的結(jié)構(gòu)，玻璃基板11在濕法刻蝕設(shè)備以及剝離 清洗(strip cleaning)設(shè)備內(nèi)部的傳送方式為傳送滾輪12轉(zhuǎn)動(dòng)將滾輪上的玻璃基板向前 傳送的方式，依次完成各個(gè)工藝過程，主要包括濕法刻蝕過程、清洗噴淋(shower)過程、干 燥過程等等。由于采用的玻璃基板大多為O. 5毫米、O. 6毫米及O. 7毫米基板，因此玻璃基 板與滾輪之間存在相對(duì)位移，很容易造成玻璃基板的破損。實(shí)用新型內(nèi)容[0004]有鑒于此，本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種傳送組件、傳送裝置及應(yīng)用此傳 送裝置的設(shè)備，以解決現(xiàn)有的濕法刻蝕過程中玻璃基板與滾輪之間存在相對(duì)位移，很容易 造成玻璃基板破損的問題。[0005]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的[0006]本實(shí)用新型提供了一種傳送組件，該組件包括主體支架、傳送滾輪、傳送齒帶，其 中，[0007]所述主體支架的上表面設(shè)有裝載和卸載玻璃基板的所述傳送滾輪，所述主體支架 的側(cè)面設(shè)有所述傳送齒帶。[0008]其中，所述主體支架的上表面放置玻璃基板的區(qū)域周圍、除玻璃基板的出入口位 置，設(shè)有限位裝置。[0009]其中，位于所述玻璃基板傳送方向上的兩側(cè)邊的限位裝置為側(cè)邊滾輪，所述側(cè)邊 滾輪對(duì)玻璃基板的位置進(jìn)行限制，且所述側(cè)邊滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)為玻璃基板的傳送提供動(dòng)力。[0010]其中，還包括設(shè)置于所述主體支架的側(cè)面、支撐所述傳送齒帶的齒帶支架。[0011]本實(shí)用新型還提供了一種傳送裝置，該裝置上述任一項(xiàng)所述的傳送組件，且所述 傳送組件的數(shù)量為至少一個(gè)。[0012]其中，該裝置還包括為所述傳送組件中的傳送齒帶提供傳送動(dòng)力的齒輪組合。[0013]其中，所述齒輪組合由至少兩個(gè)齒輪組成。[0014]其中，該裝置還包括由可編程邏輯控制器PLC控制的伺服馬達(dá)，所述伺服馬達(dá)控 制齒輪組合中的齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)。[0015]本實(shí)用新型還提供了 一種設(shè)備，包括上述任一項(xiàng)所述的傳送裝置。[0016]本實(shí)用新型所提供的一種傳送組件、傳送裝置及應(yīng)用此傳送裝置的設(shè)備，通過傳送組件在設(shè)備內(nèi)部的操作來代替玻璃基板在設(shè)備內(nèi)部的操作，取代了現(xiàn)有的以滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)傳送玻璃基板前進(jìn)或后退的傳送模式；與傳統(tǒng)的傳送模式相比，本實(shí)用新型減少了玻璃基板在設(shè)備內(nèi)部的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，能夠大大避免玻璃基板在生產(chǎn)環(huán)節(jié)中的損耗(Glass Broken)。


[0017]圖1為現(xiàn)有濕法刻蝕設(shè)備傳送裝置的平面結(jié)構(gòu)示意圖；[0018]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種傳送組件的立體結(jié)構(gòu)示意圖；[0019]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種傳送組件的正視圖；[0020]圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種傳送組件的驅(qū)動(dòng)示意圖；[0021]圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種傳送裝置的平面結(jié)構(gòu)示意圖。[0022]附圖標(biāo)記說明[0023]11 :玻璃基板；12 :傳送滾輪；13 :主體支架；14 :傳送滾輪；15 :限位裝置；16 傳送齒帶；17 :齒帶支架；18 :玻璃基板；19 :齒輪；20 :入口單元；21 :紫外光清潔單元；22 :裝載 單元；23 :刻蝕單元；24 :第一噴淋單元；25 U形轉(zhuǎn)向單元；26 :第二噴淋單元；27 :卸載單元；28 :風(fēng)刀干燥單元；29 :出口單元；30 :等待單元。
具體實(shí)施方式
[0024]
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)一步詳細(xì)闡述。[0025]為本實(shí)用新型的第一個(gè)技術(shù)方案，一種傳送(Transfer)組件,包括主體支架、傳送滾輪、傳送齒帶，其中，主體支架的上表面設(shè)有裝載和卸載玻璃基板的傳送滾輪，主體支架的側(cè)面設(shè)有傳送齒帶。[0026]作為本實(shí)用新型的第二個(gè)技術(shù)方案，在第一個(gè)技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，主體支架的上表面放置玻璃基板的區(qū)域周圍、除玻璃基板的出入口位置，設(shè)有限位裝置。[0027]作為本實(shí)用新型的第三個(gè)技術(shù)方案，在第二個(gè)技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，位于玻璃基板傳送方向上的兩側(cè)邊的限位裝置為側(cè)邊滾輪(Side roller)，所述側(cè)邊滾輪對(duì)玻璃基板的位置進(jìn)行限制，且所述側(cè)邊滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)為玻璃基板的傳送提供動(dòng)力。[0028]作為本實(shí)用新型的第四個(gè)技術(shù)方案，在第一、第二或第三個(gè)技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，該傳送組件還包括設(shè)置于所述主體支架的側(cè)面、支撐傳送齒帶的齒帶支架。[0029]作為本實(shí)用新型的第五個(gè)技術(shù)方案，一種傳送裝置，該裝置包括前述任一技術(shù)方案的傳送組件，且所述傳送組件的數(shù)量為至少一個(gè)。[0030]作為本實(shí)用新型的第六個(gè)技術(shù)方案，在第五個(gè)技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，該裝置還包括為所述傳送組件中的傳送齒帶提供傳送動(dòng)力的齒輪組合。[0031]作為本實(shí)用新型的第七個(gè)技術(shù)方案，在第六個(gè)技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，所述齒輪組合由至少兩個(gè)齒輪組成。[0032]作為本實(shí)用新型的第八個(gè)技術(shù)方案，在第六個(gè)技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，該傳送裝置還包括由可編程邏輯控制器(PLC, Programmable Logic Controller)控制的伺服馬達(dá),所述伺服馬達(dá)控制齒輪組合中的齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)。[0033]作為本實(shí)用新型的第九個(gè)技術(shù)方案，一種設(shè)備，包括前述任一技術(shù)方案的傳送裝置。[0034]下面再結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)一步詳細(xì)闡述。[0035]如圖2所示，圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種傳送組件的立體結(jié)構(gòu)示意圖，該傳送 組件主要包括主體支架13、傳送滾輪14、限位裝置15、傳送齒帶16，其中，在主體支架13 的上表面設(shè)有裝載和卸載玻璃基板18(圖2中的18表示傳送組件在裝載狀態(tài)下的玻璃基 板)的傳送滾輪14，傳送滾輪14起到在裝載和卸載玻璃基板18時(shí)的傳送作用；在主體支 架13的上表面放置玻璃基板18的區(qū)域周圍(即圖2中所示已裝載好的玻璃基板18的周 圍)、除玻璃基板18的出入口位置，設(shè)有限位裝置15，限位裝置15可以對(duì)玻璃基板的位置 起到限制規(guī)范的作用，防止裝載完畢后的玻璃基板18在主體支架13上移動(dòng)；主體支架13 的側(cè)面設(shè)有傳送齒帶16。在主體支架13的四個(gè)側(cè)面都設(shè)有傳送齒帶16，可以實(shí)現(xiàn)傳送組 件在不同方向上的傳送。[0036]作為在圖2所示傳送組件的結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上的一種較佳實(shí)施方式，位于玻璃基板18傳 送方向(如圖2中箭頭所示的方向)上的兩側(cè)邊(即圖2中箭頭所示方向上的兩側(cè)邊)的 限位裝置15可以為側(cè)邊滾輪。一方面，該側(cè)邊滾輪對(duì)玻璃基板18的位置進(jìn)行限制和規(guī)范； 另一方面，在裝載和卸載玻璃基板18時(shí)，該側(cè)邊滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)可以為玻璃基板18的傳送提供 動(dòng)力。[0037]另外，圖2所示傳送組件還包括設(shè)置于主體支架13的側(cè)面、用于支撐傳送齒帶16 的齒帶支架17。[0038]再如圖3所示，圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種傳送組件的正視圖，13表示傳送組 件的主體支架，14表示傳送滾輪，15表示限位裝置，16表示傳送齒帶，17表示齒帶支架，18 表示傳送組件在裝載狀態(tài)下的玻璃基板。其中，各組成部件的結(jié)構(gòu)和作用與前述立體結(jié)構(gòu) 中的描述相同，此處不再贅述。[0039]再如圖4所示，圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例的一種傳送組件的驅(qū)動(dòng)示意圖，在圖4 中，16表示傳送齒帶，17表示齒帶支架，19表示齒輪；若干個(gè)齒輪19組成齒輪組合，由編程 邏輯控制器(PLC, Programmable Logic Controller)控制的伺服馬達(dá)為齒輪19的轉(zhuǎn)動(dòng)提 供動(dòng)力，齒輪19的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)傳送齒帶16傳送，進(jìn)而帶動(dòng)傳送滾輪14轉(zhuǎn)動(dòng)，傳送滾輪14的 轉(zhuǎn)動(dòng)為裝載和卸載玻璃基板提供了動(dòng)力。[0040]本實(shí)用新型實(shí)施例的傳送裝置包括以上所述的傳送組件，且所述傳送組件的數(shù)量 為至少一個(gè)；該裝置還包括為所述傳送組件中的傳送齒帶提供傳送動(dòng)力的齒輪組合。所述 齒輪組合由至少兩個(gè)齒輪組成。該傳送裝置還包括由PLC控制的伺服馬達(dá)，所述伺服馬達(dá) 控制齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)。[0041]需要說明的是，本實(shí)用新型實(shí)施例的傳送組件和傳送裝置，不僅適用于濕法刻蝕 的設(shè)備中，也適用于清洗、剝離等設(shè)備中。下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)傳送裝置在濕法刻蝕、清 洗、剝離等設(shè)備中的工作過程進(jìn)行詳細(xì)說明。[0042]如圖5所示，圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例的傳送裝置的平面結(jié)構(gòu)示意圖，傳送裝置的 運(yùn)行過程具體包括[0043]步驟I,玻璃基板從入口單元(in unit) 20進(jìn)入紫外光清潔單元(EUV unit)21進(jìn) 行紫外光清潔工藝，紫外光照射含氧氣體會(huì)產(chǎn)生臭氧，利用臭氧的強(qiáng)氧化性可以氧化玻璃 基板表面的有機(jī)物，達(dá)到去除有機(jī)物的目的；在基板進(jìn)入紫外清潔單元后，在裝載單元22中會(huì)有一個(gè)傳送組件在等待裝載，待信息確認(rèn)后(即確認(rèn)玻璃基板就位，可以進(jìn)行裝載)， 在PLC的控制下，紫外光清潔單元21和裝載單元22的輪式傳送開始前進(jìn)(FW)進(jìn)程，玻璃基 板開始向傳送組件上裝載，當(dāng)玻璃基板完全進(jìn)入傳送組件后，PLC控制紫外光清潔單元21 和裝載單元22的輪式FW傳送停止，玻璃基板在傳送組件上裝載完成。[0044]步驟2，在刻蝕單元(ETCH unit) 23中的驅(qū)動(dòng)齒輪組合的作用下，傳送組件進(jìn)入刻 蝕區(qū)間(ETCH Chamber)，并開始按照預(yù)定程序進(jìn)行前進(jìn)或后退(BW)操作，這樣，玻璃基板 在與傳送組件相對(duì)靜止的狀態(tài)下就可以完成刻蝕的工藝。[0045]步驟3，完成刻蝕工藝后，傳送組件在驅(qū)動(dòng)齒輪組合的作用下繼續(xù)向前傳送，到達(dá) 第一噴淋單元(簡(jiǎn)稱Showerl unit) 24完成第一次清洗噴淋工藝；隨后，垂直方向的驅(qū)動(dòng)齒 輪組合在汽缸的作用下上升，并與傳送組件上的對(duì)應(yīng)傳送齒帶接觸，垂直方向的驅(qū)動(dòng)齒輪 組合的高度要高于水平方向的驅(qū)動(dòng)齒輪組合的高度，從而使得垂直方向的驅(qū)動(dòng)齒輪組合將 傳送組件頂起，傳送組件的傳送齒帶與水平方向的驅(qū)動(dòng)齒輪組合分離。[0046]進(jìn)一步，傳送組件在垂直方向的驅(qū)動(dòng)齒輪組合的作用下，在第一噴淋單元24 — U 形轉(zhuǎn)向單元(U-TURN) 25 —第二噴淋單元(簡(jiǎn)稱Shower2 unit) 26運(yùn)行,最終到達(dá)第二噴淋 單元26并完成第二次清洗噴淋工藝。其中，由于本實(shí)用新型實(shí)施例中的傳送裝置為U形結(jié) 構(gòu)，因此需要通過U形轉(zhuǎn)向單元25進(jìn)行處理(Process)過程對(duì)傳送組件進(jìn)行轉(zhuǎn)向；第二噴 淋單元26執(zhí)行的是Process過程之后的清洗噴淋工藝。[0047]還需要說明的是，上述水平方向的驅(qū)動(dòng)齒輪組合、垂直方向的驅(qū)動(dòng)齒輪組合，是指 圖中的水平方向和垂直方向，在實(shí)際應(yīng)用中，并不一定是相對(duì)于地面的水平方向和垂直方 向。本實(shí)用新型這樣描述，只是為了說明這兩種驅(qū)動(dòng)齒輪組合之間的垂直關(guān)系。[0048]步驟4，傳送組件承載玻璃基板到達(dá)第二噴淋單元26并完成第二次清洗噴淋工藝 后，垂直方向的驅(qū)動(dòng)齒輪組合在汽缸的作用下下降，且下降后的高度低于水平方向的驅(qū)動(dòng) 齒輪組合的高度，從而使傳送組件的傳送齒帶與垂直方向的驅(qū)動(dòng)齒輪組合分離，水平方向 的驅(qū)動(dòng)齒輪組合與傳送組件的傳送齒帶接觸，提供動(dòng)力完成傳送組件的水平方向傳送。[0049]需要說明的是，上述水平方向的驅(qū)動(dòng)齒輪組合、垂直方向的驅(qū)動(dòng)齒輪組合，是指圖 中的水平方向和垂直方向，在實(shí)際應(yīng)用中，并不一定是相對(duì)于地面的水平反向和垂直方向。 本實(shí)用新型這樣描述，只是為了說明這兩種驅(qū)動(dòng)齒輪組合之間的垂直關(guān)系。[0050]步驟5,傳送組件在到達(dá)卸載單元(unload unit) 27時(shí),卸載單元27和風(fēng)刀干燥單 元(AK unit) 28的滾輪傳送系統(tǒng)進(jìn)行FW動(dòng)作，將玻璃基板卸載；玻璃基板在風(fēng)刀干燥單元 28中完成干燥工藝后，從出口單元(out unit) 29輸出。[0051]步驟6,卸載單元27內(nèi)完成玻璃基板卸載的傳送組件停在等待單元(Wait unit)30等待，此時(shí)，如果裝載單元22內(nèi)沒有其他傳送組件，則等待單元30內(nèi)的傳送組件進(jìn) 入裝載單元22內(nèi)等待裝載玻璃基板；如果裝載單元22內(nèi)有其他傳送組件在等待裝載玻璃 基板，則等待單元30內(nèi)的傳送組件在等待單元30內(nèi)繼續(xù)等待。此外，如果后方承載玻璃基 板的傳送組件運(yùn)行至卸載單元27內(nèi)，此時(shí)無論裝載單元22是否已經(jīng)承載玻璃基板，均開始 執(zhí)行圖5所示循環(huán)流程中的下一環(huán)節(jié)。[0052]綜上所述，本實(shí)用新型的實(shí)施例通過傳送組件在設(shè)備內(nèi)部的操作來代替玻璃基板 在設(shè)備內(nèi)部的操作，取代了現(xiàn)有的以滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)傳送玻璃基板前進(jìn)或后退的傳送模式；與傳 統(tǒng)的傳送模式相比，本實(shí)用新型減少了玻璃基板在設(shè)備內(nèi)部的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，在當(dāng)今玻璃基板越來越薄化的市場(chǎng)環(huán)境下，能夠大大避免玻璃基板在生產(chǎn)環(huán)節(jié)中的損耗(Glass Broken)。[0053]另外，本實(shí)用新型的實(shí)施例相比傳統(tǒng)的傳送模式，能夠省略大量的滾輪用軸承，這 樣，在設(shè)備的結(jié)構(gòu)上將大大簡(jiǎn)化，且設(shè)備的故障率也將大大降低，設(shè)備的維護(hù)和保養(yǎng)成本也 將大大降低。[0054]還需要說明的是，本實(shí)用新型的傳送組件和傳送裝置不僅僅適用于濕法刻蝕的設(shè) 備中，也適用于清洗、剝離等設(shè)備中。[0055]以上所述，僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用于限定本實(shí)用新型的保護(hù) 范圍。
權(quán)利要求1.一種傳送組件，其特征在于，該組件包括主體支架、傳送滾輪、傳送齒帶，其中， 所述主體支架的上表面設(shè)有裝載和卸載玻璃基板的所述傳送滾輪，所述主體支架的側(cè)面設(shè)有所述傳送齒帶。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述傳送組件，其特征在于，所述主體支架的上表面放置玻璃基板的區(qū)域周圍、除玻璃基板的出入口位置，設(shè)有限位裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述傳送組件，其特征在于，位于所述玻璃基板傳送方向上的兩側(cè)邊的限位裝置為側(cè)邊滾輪，所述側(cè)邊滾輪對(duì)玻璃基板的位置進(jìn)行限制，且所述側(cè)邊滾輪的轉(zhuǎn)動(dòng)為玻璃基板的傳送提供動(dòng)力。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述傳送組件，其特征在于，還包括設(shè)置于所述主體支架的側(cè)面、支撐所述傳送齒帶的齒帶支架。
5.一種傳送裝置，其特征在于，該裝置包括權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的傳送組件，且所述傳送組件的數(shù)量為至少一個(gè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述傳送裝置，其特征在于，該裝置還包括為所述傳送組件中的傳送齒帶提供傳送動(dòng)力的齒輪組合。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述傳送裝置，其特征在于，所述齒輪組合由至少兩個(gè)齒輪組成。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述傳送裝置，其特征在于，該裝置還包括由可編程邏輯控制器PLC控制的伺服馬達(dá)，所述伺服馬達(dá)控制齒輪組合中的齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)。
9.一種設(shè)備，其特征在于，包括權(quán)利要求5-8任一項(xiàng)所述的傳送裝置。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種傳送組件，包括主體支架、傳送滾輪、傳送齒帶，所述主體支架的上表面設(shè)有裝載和卸載玻璃基板的所述傳送滾輪；所述主體支架的側(cè)面設(shè)有所述傳送齒帶。本實(shí)用新型還公開了一種傳送裝置，該裝置包括所述的傳送組件，且所述傳送組件的數(shù)量為至少一個(gè)。本實(shí)用新型還公開了一種包括上述傳送裝置的設(shè)備，包括濕法刻蝕、清洗、剝離等設(shè)備。通過本實(shí)用新型，能夠有效避免玻璃基板在傳送過程中，玻璃基板與傳送滾輪之間的相對(duì)位移，進(jìn)而避免玻璃基板發(fā)生破損。
文檔編號(hào)B65G23/22GK202828949SQ20122046253
公開日2013年3月27日 申請(qǐng)日期2012年9月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月11日
發(fā)明者劉國(guó)梁, 徐斌, 孔令勇 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司