專利名稱：磁性懸浮導軌的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種晶圓片運輸導軌，尤其涉及一種磁性懸浮導軌。
背景技術(shù)：
現(xiàn)在的晶圓片運輸設備一般為滾珠式導軌或滑塊式導軌，這些導軌在使用過程中不僅摩擦阻力較大，而且使用時噪聲很大，容易產(chǎn)生靜電；而用于制造集成電路的晶圓片一旦攜帶上靜電，將會對后續(xù)生產(chǎn)帶來各種不良，增加生產(chǎn)成本。

實用新型內(nèi)容發(fā)明目的:為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本實用新型提供一種磁性懸浮導軌，提高晶圓片運輸?shù)目煽啃?，降低噪聲，避免晶圓片攜帶上靜電。技術(shù)方案:為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用的技術(shù)方案為:[0005]磁性懸浮導軌，包括支撐箱體、旋轉(zhuǎn)電機、相哨合的主動齒輪和從動齒輪、驅(qū)動軸和支撐軸，所述旋轉(zhuǎn)電機的殼體、主動齒輪的中心軸和從動齒輪的中心軸均與支撐箱體保持固定，主動齒輪套裝固定在旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸上，從動齒輪套裝固定在驅(qū)動軸上；支撐軸的兩端與支撐箱體固定，在支撐軸上套裝軸滾動輪；在驅(qū)動軸上套裝固定有A磁鐵，在滾動輪的滾動圈外側(cè)上套裝固定有B磁鐵，所述B磁鐵位于A磁鐵的正上方、并與A磁鐵之間存在間隙。上述結(jié)構(gòu)工作時，旋轉(zhuǎn)電機工作帶動主動齒輪轉(zhuǎn)動，在主動齒輪的驅(qū)動下，從動齒輪也隨之轉(zhuǎn)動，帶動與從動齒輪相固定的驅(qū)動軸轉(zhuǎn)動，A磁鐵隨之轉(zhuǎn)動；由于A磁鐵和B磁鐵之間的磁力作用，A磁鐵的轉(zhuǎn)動使得B磁鐵的受力發(fā)生變化，這樣在B磁鐵受到的磁力作用下，滾動輪就在支撐軸上發(fā)生轉(zhuǎn)動，利用了同性磁性相斥的原理；通過滾動輪的轉(zhuǎn)動就能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓片的運輸；A磁鐵和B磁鐵的安裝方向、驅(qū)動軸和支撐軸之間的相對位置可以根據(jù)實際情況設計。優(yōu)選的，所述驅(qū)動軸和支撐軸位置垂直。優(yōu)選的，所述驅(qū)動軸的數(shù)目為一根，支撐軸的數(shù)目為兩個以上，且支撐軸之間位置平行、位于同一平面內(nèi)。有益效果:本實用新型提供的磁性懸浮導軌，避免對晶圓片進行直接傳動件與其他輔助傳動件的接觸、降低了傳動的噪聲，并避免直接傳動件上靜電的產(chǎn)品，提高晶圓片運輸?shù)目煽啃浴?br>
圖1為本實用新型的正視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
[0012]
以下結(jié)合附圖對本實用新型作更進一步的說明。如圖1、圖2所示為一種磁性懸浮導軌，包括支撐箱體8、旋轉(zhuǎn)電機1、相嚙合的主動齒輪2和從動齒輪3、驅(qū)動軸6和支撐軸7，所述旋轉(zhuǎn)電機I的殼體、主動齒輪2的中心軸和從動齒輪3的中心軸均與支撐箱體8保持固定，主動齒輪2套裝固定在旋轉(zhuǎn)電機I的輸出軸上，從動齒輪3套裝固定在驅(qū)動軸6上；支撐軸7的兩端與支撐箱體8固定，在支撐軸7上套裝軸滾動輪；所述驅(qū)動軸6和支撐軸7位置垂直，在驅(qū)動軸6上套裝固定有A磁鐵4，在滾動輪的滾動圈外側(cè)上套裝固定有B磁鐵5，所述B磁鐵5位于A磁鐵4的正上方、并與A磁鐵4之間存在間隙。所述驅(qū)動軸6的數(shù)目為一根，支撐軸7的數(shù)目為兩個以上，且支撐軸7之間位置平行、位于同一平面內(nèi)。以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出:對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型·的保護范圍。
權(quán)利要求1.磁性懸浮導軌，其特征在于:包括支撐箱體(8)、旋轉(zhuǎn)電機(I)、相哨合的主動齒輪(2)和從動齒輪(3)、驅(qū)動軸(6)和支撐軸(7)，所述旋轉(zhuǎn)電機(I)的殼體、主動齒輪(2)的中心軸和從動齒輪(3)的中心軸均與支撐箱體(8)保持固定，主動齒輪(2)套裝固定在旋轉(zhuǎn)電機(I)的輸出軸上，從動齒輪(3)套裝固定在驅(qū)動軸(6)上；支撐軸(7)的兩端與支撐箱體(8)固定，在支撐軸(7)上套裝軸滾動輪；在驅(qū)動軸(6)上套裝固定有A磁鐵(4)，在滾動輪的滾動圈外側(cè)上套裝固定有B磁鐵(5)，所述B磁鐵(5)位于A磁鐵(4)的正上方、并與A磁鐵(4)之間存在間隙。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁性懸浮導軌，其特征在于:所述驅(qū)動軸(6)和支撐軸(7)位置垂直。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁性懸浮導軌，其特征在于:所述驅(qū)動軸(6)的數(shù)目為一根，支撐軸(7)的數(shù)目為兩個 以上，且支撐軸(7)之間位置平行、位于同一平面內(nèi)。
專利摘要本實用新型公開了一種磁性懸浮導軌，包括支撐箱體、旋轉(zhuǎn)電機、相嚙合的主動齒輪和從動齒輪、驅(qū)動軸和支撐軸，所述旋轉(zhuǎn)電機的殼體、主動齒輪的中心軸和從動齒輪的中心軸均與支撐箱體保持固定，主動齒輪套裝固定在旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸上，從動齒輪套裝固定在驅(qū)動軸上；支撐軸的兩端與支撐箱體固定，在支撐軸上套裝軸滾動輪；在驅(qū)動軸上套裝固定有A磁鐵，在滾動輪的滾動圈外側(cè)上套裝固定有B磁鐵，所述B磁鐵位于A磁鐵的正上方、并與A磁鐵之間存在間隙。本實用新型提供的磁性懸浮導軌，避免對晶圓片進行直接傳動件與其他輔助傳動件的接觸、降低了傳動的噪聲，并避免直接傳動件上靜電的產(chǎn)品，提高晶圓片運輸?shù)目煽啃浴?br> 文檔編號B65G54/02GK203112145SQ201220591630
公開日2013年8月7日 申請日期2012年11月12日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月12日
發(fā)明者徐竹林, 管選偉 申請人:蘇州華林科納半導體設備技術(shù)有限公司