處理設(shè)備(processingfacility)的制作方法
處理設(shè)備(processing facility)的制作方法
【專利摘要】處理設(shè)備具備管理運送車(3)的運送管理單元(HC)，該運送車(3)沿著經(jīng)由多個處理裝置(1)和貯存處理對象物的貯存裝置(Q)的運送線行駛而運送處理對象物。運送管理單元(HC)實行以下預(yù)備運送控制：監(jiān)視從處理裝置(1)對主管理單元(JC)發(fā)送的處理進(jìn)行信息，在多個處理裝置(1)之中，將處理對象物的處理結(jié)束或臨近結(jié)束的處理裝置(1)在從主管理單元(JC)發(fā)送運送指令信息以前作為預(yù)備運送起點選出，為了從該處理裝置(1)運出處理對象物，使運送車(3)相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置(1)行駛。
【專利說明】處理設(shè)備(PROCESSING FACILITY)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及處理設(shè)備，其設(shè)有運送車，該運送車沿著經(jīng)由對處理對象物進(jìn)行不同工序的處理的多個處理裝置和貯存前述處理對象物的貯存裝置的運送線行駛而運送前述處理對象物，前述多個處理裝置中的每一個構(gòu)成為對主管理單元發(fā)送處理進(jìn)行信息，該處理進(jìn)行信息包含要求前述處理對象物的運入的運入要求信息和要求前述處理對象物的運出的運出要求信息，前述主管理單元構(gòu)成為:如果前述運入要求信息和前述運出要求信息被發(fā)送，則制作表示前述處理對象物的運送起點和運送終點的運送指令信息，對運送管理單元發(fā)送該運送指令信息，前述運送管理單元構(gòu)成為基于前述運送指令信息而控制前述運送車的行駛。
【背景技術(shù)】
[0002]如上所述的處理設(shè)備為例如用于對半導(dǎo)體基板依次進(jìn)行洗凈工序、干燥工序、蝕刻工序等不同的多個工序的處理的設(shè)備。作為多個處理裝置，一般而言，每個裝備有對處理對象物進(jìn)行不同工序的處理的多種處理裝置。
[0003]例如，在處理設(shè)備為對半導(dǎo)體基板進(jìn)行處理的設(shè)備的情況下，收納多塊半導(dǎo)體基板的半導(dǎo)體收納容器相當(dāng)于處理對象物。即，處理半導(dǎo)體基板的處理裝置從半導(dǎo)體收納容器依次取出半導(dǎo)體基板而處理，將處理完的半導(dǎo)體基板依次收納于半導(dǎo)體收納容器。
[0004]而且，在該處理設(shè)備中，處理對象物由運送車依次運送至進(jìn)行不同工序的處理的多個處理裝置。
[0005]S卩，處理裝置在運轉(zhuǎn)開始時或處理對象物剛被運出后不存在處理對象物時，對主管理單元發(fā)送處理對象物的運入要求信息作為處理進(jìn)行信息。
[0006]主管理單元如果接受運入要求信息，則選出用于運入發(fā)送了運入要求信息的處理裝置的處理對象物。該處理對象物的選出多數(shù)從貯存于貯存裝置的處理對象物之中選出，在選出貯存于貯存裝置的處理對象物的情況下，主管理單元對貯存裝置指示該處理對象物的出庫。
[0007]主管理單元如果選出處理對象物，則制作將接收該處理對象物的部位作為運送起點且將發(fā)送了處理對象物的運入要求信息的處理裝置作為運送終點的運送指令信息，對運送管理單元發(fā)送該運送指令信息。
[0008]運送管理單元如果接受運送指令信息，則為了將運送起點的處理對象物運送至運送終點的處理裝置而控制運送車的行駛。即，使運送車行駛至接收處理對象物的部位，接收處理對象物，接著使運送車行駛至作為運送終點的處理裝置，將處理對象物交付至作為運送終點的處理裝置。
[0009]一般而言，裝備有多臺運送車，非作業(yè)中等的能夠運送的運送車被選作用于運送處理對象物的運送車。
[0010]而且，處理裝置一般而言對主管理單元發(fā)送針對處理中的處理對象物的處理的進(jìn)展信息作為處理進(jìn)行信息，如果針對處理對象物的處理結(jié)束，則對主管理單元發(fā)送處理對象物的運出要求信息作為處理進(jìn)行信息。
[0011]主管理單元如果接受運出要求信息，則將發(fā)送運出要求信息的處理裝置作為運送起點，制作將應(yīng)當(dāng)運送來自該處理裝置的處理對象物的部位作為運送終點的運送指令信息，對運送管理單元發(fā)送。
[0012]在設(shè)定作為應(yīng)當(dāng)運送來自處理裝置的處理對象物的部位的運送終點時，主管理單元基于關(guān)于該處理對象物的多個處理工序的進(jìn)行信息而對運送的處理對象物確認(rèn)接著處理的工序為哪種工序，確認(rèn)多個處理裝置的現(xiàn)在的處理狀況，而且確認(rèn)貯存裝置的處理對象物的貯存狀況，然后參考提高多個處理裝置的運行率等條件并同時將適當(dāng)?shù)牟课辉O(shè)定為應(yīng)當(dāng)運送處理對象物的部位。
[0013]在實際的運行中，被設(shè)定為應(yīng)當(dāng)運送處理對象物的部位的部位多數(shù)考慮定于貯存裝置，但也存在貯存裝置以外的部位被定為應(yīng)當(dāng)運送部位的情況。
[0014]例如，在運送指令信息的制作中或其之前，從其它處理裝置對主管理單元發(fā)送運入要求信息而且該處理裝置為對處理對象物進(jìn)行接著進(jìn)行的工序的處理的處理裝置的情況下，有時候也將該處理裝置定為應(yīng)當(dāng)運送處理對象物的部位。
[0015]另外，作為貯存裝置以外的部位被定為應(yīng)當(dāng)運送部位的其它示例，在與處理裝置對應(yīng)而裝備有處理對象物的暫時放置部的情況下，有時候即使進(jìn)行接著進(jìn)行的工序的處理的處理裝置在現(xiàn)在處理中，該處理裝置的暫時放置部也被定為應(yīng)當(dāng)運送部位。
[0016]在運送指令信息的制作中，其它處理裝置被定為應(yīng)當(dāng)運送處理對象物的部位，相當(dāng)于針對上述發(fā)送運入要求信息的處理裝置而運入處理對象物。
[0017]另外，在與處理裝置對應(yīng)而裝備暫時放置部的情況下，在選出針對上述發(fā)送運入要求信息的處理裝置而運入的處理對象物時，當(dāng)處理對象物存在于與該處理裝置對應(yīng)的暫時放置部時，該處理對象物優(yōu)先被選出。
[0018]S卩，在發(fā)送運入要求信息的處理裝置中，如上所述，貯存于貯存裝置的處理對象物被運入的情況較多，但也存在運入來自其它處理裝置或暫時放置部的處理對象物的情況。
[0019]主管理單元如果確定作為應(yīng)當(dāng)運送處理對象物的部位的運送終點，則制作將接收該處理對象物的處理裝置作為運送起點且將應(yīng)當(dāng)運送處理對象物的部位作為運送終點的運送指令信息，對運送管理單元發(fā)送該運送指令信息。
[0020]在這樣的處理設(shè)備中，一直以來，運送管理單元構(gòu)成為:如果從主管理單元發(fā)送基于來自處理裝置的運出要求信息制作的運送指令信息，則為了運送發(fā)送了運出要求信息的處理裝置的處理對象物而開始運送車的行駛控制。
[0021]S卩，一直以來，運送管理單元構(gòu)成為:如果從主管理單元接受運送指令信息，則開始運送車的行駛控制，使運送車行駛至接收處理對象物的運送起點的處理裝置，接收處理對象物，接著使運送車行駛至應(yīng)當(dāng)運送處理對象物的部位，交付處理對象物(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
[0022]在專利文獻(xiàn)I的處理設(shè)備中，主計算機(jī)相當(dāng)于主管理單元，庫存相當(dāng)于貯存裝置，運送裝置相當(dāng)于運送管理單元和運送車。另外，處理動工可能信號相當(dāng)于運入要求信息，處理結(jié)束報告信號相當(dāng)于運出要求信息。
[0023]在專利文獻(xiàn)I的處理設(shè)備中，運送管理單元如果從主管理單元發(fā)送基于運出要求信息制作的運送指令信息，則開始運送車的行駛控制，因而有可能在發(fā)送了運出要求信息的處理裝置結(jié)束處理對象物的處理之后，等待運送車到達(dá)的時間變長。
[0024]S卩，如果從處理裝置對主管理單元發(fā)送作為處理進(jìn)行信息的運出要求信息，則主管理單元制作將發(fā)送運出要求信息的處理裝置作為運送起點且將應(yīng)當(dāng)運送來自該處理裝置的處理對象物的部位作為運送終點的運送指令信息，對運送管理單元發(fā)送。在確定作為應(yīng)當(dāng)運送來自處理裝置的處理對象物的部位的運送終點時，主管理單元基于關(guān)于該處理對象物的多個處理工序的進(jìn)行信息對運送的處理對象物確認(rèn)接著處理的工序為哪種工序，確認(rèn)多個處理裝置的處理狀況，并且確認(rèn)貯存裝置的處理對象物的貯存狀況，然后參考提高多個處理裝置的運行率等條件并同時將適當(dāng)?shù)牟课辉O(shè)定為應(yīng)當(dāng)運送處理對象物的部位。因此，在基于運送要求信息而制作運送指令信息時，需要相當(dāng)長的時間(例如，30?60秒)。
[0025]所以，直到運送車到達(dá)發(fā)送了運出要求信息的處理裝置為止所需的時間是將主管理單元制作運送指令信息的時間和運送車從現(xiàn)在位置行駛至發(fā)送了運出要求信息的處理裝置的時間相加后的時間。因此，在發(fā)送了運出要求信息的處理裝置結(jié)束處理對象物的處理之后，等待運送車到達(dá)的時間可能變長，難以提高設(shè)備的處理作業(yè)效率。
[0026]作為消除這樣的處理設(shè)備的問題點的現(xiàn)有示例，存在如下構(gòu)成的處理裝置:如果成為針對現(xiàn)在處理中的處理對象物的處理不久結(jié)束的時刻，則對作為主管理單元的中間計算機(jī)發(fā)送表示該處理何時結(jié)束的結(jié)束預(yù)告信號。在該構(gòu)成中，中間計算機(jī)如果接受該結(jié)束預(yù)告信號，則制作將發(fā)送了結(jié)束預(yù)告信號的處理裝置作為運送起點且將應(yīng)當(dāng)運送存在于該處理裝置的處理對象物的部位作為運送終點的運送指令信息，對作為運送管理單元的自動運送車控制器發(fā)送該運送指令信息(例如，參照專利文獻(xiàn)2)。
[0027]在先技術(shù)文獻(xiàn) 專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1:日本特開2005-19911號公報；
專利文獻(xiàn)2:日本特開2000-156398號公報。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0028]發(fā)明要解決的問題
在上述專利文獻(xiàn)2的處理設(shè)備中，如果成為針對現(xiàn)在處理中的處理對象物的處理不久結(jié)束的時刻，則處理裝置對作為主管理單元的中間計算機(jī)發(fā)送表示該處理何時結(jié)束的結(jié)束預(yù)告信號。由此，在處理裝置中針對現(xiàn)在處理中的處理對象物的處理結(jié)束以前，能夠使作為主管理單元的中間計算機(jī)開始運送指令信息的制作，能夠使在發(fā)送了結(jié)束預(yù)告信號的處理裝置結(jié)束處理對象物的處理之后等待作為運送車的自動運送車到達(dá)的時間減少。結(jié)果，能夠使處理設(shè)備的處理作業(yè)效率提高。
[0029]然而，如果成為針對現(xiàn)在處理中的處理對象物的處理不久結(jié)束的時刻，則在處理裝置對作為主管理單元的中間計算機(jī)發(fā)送表示該處理何時結(jié)束的結(jié)束預(yù)告信號的構(gòu)成中，存在著處理裝置的控制負(fù)荷增加的不良狀況。
[0030]S卩，在處理裝置中裝備有為了實行處理對象物的處理而具備的控制機(jī)器類的工作的控制器，在該控制器中實行機(jī)器類的控制工作和與主管理單元的通信控制。即，該控制器管理機(jī)器類的控制工作并進(jìn)行與主管理單元之間的通信，因而其作業(yè)負(fù)荷大，如果欲使這樣的控制器發(fā)送結(jié)束預(yù)告信號，則處理裝置的控制負(fù)荷增加。因此，作為裝備于處理裝置的控制器，存在著需要具備大容量的高價控制器的缺點，希望避免處理裝置的控制負(fù)荷的增加。
[0031]本發(fā)明是鑒于上述實情做出的，其目的在于提供一種處理設(shè)備，該處理設(shè)備能夠避免處理裝置的控制負(fù)荷的增加，同時還謀求處理作業(yè)效率的提高。
[0032]用于解決問題的方案
本發(fā)明的處理設(shè)備設(shè)有運送車，該運送車沿著運送線行駛而運送處理對象物，該運送線經(jīng)由對前述處理對象物進(jìn)行不同工序的處理的多個處理裝置和貯存前述處理對象物的貯存裝置，
前述多個處理裝置中的每一個構(gòu)成為對主管理單元發(fā)送處理進(jìn)行信息，該處理進(jìn)行信息包含要求前述處理對象物的運入的運入要求信息、以及要求前述處理對象物的運出的運出要求信息，
前述主管理單元構(gòu)成為:如果前述運入要求信息和前述運出要求信息被發(fā)送，則制作表示前述處理對象物的運送起點和運送終點的運送指令信息，對運送管理單元發(fā)送該運送指令信息，
前述運送管理單元構(gòu)成為基于前述運送指令信息來控制前述運送車的行駛，該處理設(shè)備的第一特征構(gòu)成在于以下這點:
前述運送管理單元構(gòu)成為實行以下預(yù)備運送控制:監(jiān)視從前述處理裝置對前述主管理單元發(fā)送的前述處理進(jìn)行信息，在多個前述處理裝置之中，將前述處理對象物的處理結(jié)束或臨近結(jié)束的處理裝置在從前述主管理單元發(fā)送前述運送指令信息以前作為預(yù)備運送起點選出，使前述運送車相對于作為前述預(yù)備運送起點選出的前述處理裝置而行駛。
[0033]S卩，運送管理單元實行以下預(yù)備運送控制:監(jiān)視從處理裝置對主管理單元發(fā)送的處理進(jìn)行信息，在多個處理裝置之中，將處理對象物的處理結(jié)束或臨近結(jié)束的處理裝置在從主管理單元發(fā)送運送指令信息以前作為預(yù)備運送起點選出，使運送車相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置而行駛。
[0034]S卩，例如，如果從處理裝置對主管理單元發(fā)送作為處理進(jìn)行信息的運出要求信息，那么能夠?qū)l(fā)送該運出要求信息的處理裝置作為處理對象物的處理結(jié)束的處理裝置，在從主管理單元發(fā)送運送指令信息以前作為預(yù)備運送起點的處理裝置選出。
[0035]另外，在處理裝置構(gòu)成為對主管理單元發(fā)送處理進(jìn)展信息作為處理進(jìn)行信息的情況下，由于能夠基于該處理進(jìn)展信息認(rèn)知該處理裝置中的處理的進(jìn)展?fàn)顩r，因而能夠?qū)⑻幚韺ο笪锏奶幚砼R近結(jié)束的處理裝置在從主管理單元發(fā)送運送指令信息以前作為預(yù)備運送起點的處理裝置選出。
[0036]而且，運送管理單元如果選出作為預(yù)備運送起點的處理裝置，則為了從該處理裝置運出處理對象物而開始使運送車相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置而行駛。
[0037]另外，在運送車到達(dá)處理裝置之后，運送管理單元以如下方式控制運送車的行駛:基于在主管理單元制作并發(fā)送的運送指令信息來設(shè)定運送終點，將從處理裝置接收的處理對象物運送至運送終點。
[0038]運送管理單元在運送車向著處理裝置行駛的途中接受在主管理單元制作的運送指令信息?；蛘?，當(dāng)運送車在運送指令信息的接受前到達(dá)處理裝置時，使運送車待機(jī)，并同時接受運送指令信息。[0039]這樣，運送管理單元如果選出作為預(yù)備運送起點的處理裝置，則為了從該處理裝置運出處理對象物而開始使運送車相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置而行駛。因此，能夠使在處理裝置結(jié)束處理對象物的處理之后等待運送車到達(dá)的時間減少，結(jié)果，能夠提高處理設(shè)備的處理作業(yè)效率。
[0040]添加說明的話，如果從處理裝置對主管理單元發(fā)送作為處理進(jìn)行信息的運出要求信息，則主管理單元制作將發(fā)送運出要求信息的處理裝置作為運送起點且將應(yīng)當(dāng)運送來自該處理裝置的處理對象物的部位作為運送終點的運送指令信息，對運送管理單元發(fā)送。此時，由于花費用于將適當(dāng)?shù)牟课辉O(shè)定為應(yīng)當(dāng)運送處理對象物的部位的時間，因而在基于運送要求信息來制作運送指令信息時，需要相當(dāng)長的時間(例如，30?60秒)。
[0041]這樣，在主管理單元基于運出要求信息來制作運送指令信息時，需要長時間，但是依照上述第一特征構(gòu)成，運送管理單元實行預(yù)備運送控制，在從主管理單元接受運送指令信息之前，使運送車向著成為運送起點的處理裝置行駛。所以，能夠利用主管理單元制作運送指令信息所需的時間使運送車向著成為運送起點的處理裝置行駛，能夠使在處理裝置結(jié)束處理對象物的處理之后等待運送車到達(dá)的時間減少。結(jié)果，能夠提高處理設(shè)備的處理作業(yè)效率。
[0042]另外，處理裝置構(gòu)成為僅對主管理單元發(fā)送處理進(jìn)行信息，因而處理裝置的控制負(fù)荷不會因運送管理單元所實行的預(yù)備運送控制而增加。
[0043]另一方面，運送管理單元的控制負(fù)荷由于監(jiān)視從處理裝置對主管理單元發(fā)送的處理進(jìn)行信息并同時實行預(yù)備運送控制而增加，但運送管理單元的控制負(fù)荷與管理大量信息所需的主管理單元或處理裝置相比是本來很小的負(fù)荷。因此，作為構(gòu)成運送管理單元的控制器，即使欲實行預(yù)備運送控制，也能夠用容量小的廉價裝置實現(xiàn)。
[0044]總之，依照本申請發(fā)明的第一特征構(gòu)成，能夠提供以下處理設(shè)備:其能夠避免處理裝置的控制負(fù)荷的增加并同時還謀求處理作業(yè)效率的提高。
[0045]本發(fā)明的處理設(shè)備的第二特征構(gòu)成除了上述第一特征構(gòu)成之外在于以下這點: 前述運送管理單元構(gòu)成為:基于作為前述處理進(jìn)行信息的前述運出要求信息，將前述
處理對象物的處理結(jié)束的處理裝置作為前述預(yù)備運送起點選出。
[0046]S卩，運送管理單元基于從處理裝置對主管理單元作為處理進(jìn)行信息發(fā)送的運出要求信息，將處理對象物的處理結(jié)束的處理裝置作為預(yù)備運送起點選出。
[0047]而且，從處理裝置對主管理單元作為處理進(jìn)行信息發(fā)送的運出要求信息是處理裝置直接要求處理對象物的運出的信息，因而如果存在該運出要求信息，那么能夠直接將運出處理對象物的處理裝置作為預(yù)備運送起點選出。因此，運送管理單元僅僅監(jiān)視運出要求信息的有無即可，能夠通過實行預(yù)備運送控制而抑制運送管理單元的控制負(fù)荷增加。
[0048]總之，依照本發(fā)明的第二特征構(gòu)成，能夠提供以下處理設(shè)備:除了上述第一特征構(gòu)成的作用效果之外，能夠抑制預(yù)備運送控制的實行引起的運送管理單元的控制負(fù)荷的增加。
[0049]本發(fā)明的處理設(shè)備的第三特征構(gòu)成除了上述第一特征構(gòu)成之外在于以下這點: 前述多個處理裝置構(gòu)成為對前述主管理單元發(fā)送前述處理對象物的處理進(jìn)展信息作
為前述處理進(jìn)行信息，
前述運送管理單元構(gòu)成為:基于作為前述處理進(jìn)行信息的前述處理進(jìn)展信息，將前述處理對象物的處理為臨近結(jié)束的處理裝置作為前述預(yù)備運送起點選出。
[0050]S卩，運送管理單元基于從處理裝置對主管理單元作為處理進(jìn)行信息發(fā)送的處理進(jìn)展信息，將處理對象物的處理為臨近結(jié)束的狀態(tài)的處理裝置作為預(yù)備運送起點選出。
[0051]S卩，處理進(jìn)展信息為表示處理裝置針對處理對象物的處理的進(jìn)展?fàn)顩r的信息，因而能夠基于該處理進(jìn)展信息來判斷處理裝置針對處理對象物的處理是否臨近結(jié)束，能夠?qū)⑴R近結(jié)束的處理裝置作為預(yù)備運送起點選出。
[0052]這樣，由于能夠?qū)⑨槍μ幚韺ο笪锏奶幚砼R近結(jié)束的處理裝置作為預(yù)備運送起點選出，因而能夠使用將從該臨近結(jié)束的時刻直到處理裝置完成處理的時刻的時間和主管理單元制作運送指令信息所需的時間相加后的時間用作用于使運送車行駛至預(yù)備運送起點的處理裝置的時間。因此，能夠使在處理裝置結(jié)束處理對象物的處理之后等待運送車到達(dá)的時間確實減少。
[0053]總之，依照本發(fā)明的第三特征構(gòu)成，能夠提供以下處理設(shè)備:除了上述第一特征構(gòu)成的作用效果之外，能夠使在處理裝置結(jié)束處理對象物的處理之后等待運送車的到達(dá)的時間確實減少。
[0054]本發(fā)明的處理設(shè)備的第四特征構(gòu)成除了上述第三特征構(gòu)成之外在于以下這點: 前述運送管理單元構(gòu)成為:將前述處理對象物的處理的進(jìn)展?fàn)顩r為比該處理的完成時
刻靠前的預(yù)定進(jìn)展?fàn)顩r的處理裝置作為前述處理對象物的處理為臨近結(jié)束的狀態(tài)的處理裝置，將該處理裝置作為前述預(yù)備運送起點選出。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0055]圖1是本發(fā)明的第一實施方式所涉及的處理設(shè)備的概略平面圖。
[0056]圖2是示出本發(fā)明的第一實施方式所涉及的運送車的正面圖。
[0057]圖3是示出本發(fā)明的第一實施方式所涉及的控制構(gòu)成的框圖。
[0058]圖4是示出本發(fā)明的第一實施方式所涉及的通信狀態(tài)的時間表。
[0059]圖5是示出本發(fā)明的第二實施方式所涉及的控制構(gòu)成的框圖。
【具體實施方式】
[0060][第一實施方式]
基于【專利附圖】
【附圖說明】本發(fā)明的第一實施方式。
[0061]如圖1和圖2所示，以經(jīng)由多個處理裝置I和貯存裝置Q(在本例中，多個貯存裝置Q)的狀態(tài)在頂板側(cè)設(shè)置有行駛軌道2。構(gòu)成有處理設(shè)備，該處理設(shè)備裝備有沿著沿該行駛軌道2形成的運送線S行駛的頂板運送式的運送車3 (在本例中，多臺運送車3)，由運送車3運送并處理在收納容器內(nèi)收納了多塊半導(dǎo)體基板的處理對象物4。
[0062]如圖2所示，行駛軌道2由懸掛支撐用托架5以固定狀態(tài)設(shè)置于頂板部，另外，運送車3構(gòu)成為以懸掛支撐于行駛軌道2的狀態(tài)沿著運送線S行駛(在本例中，在一個方向上行駛)。而且，運送車3構(gòu)成為在停止于針對處理裝置I或貯存裝置Q的移載部位的狀態(tài)下進(jìn)行處理對象物4的接收或交付。
[0063]多個處理裝置I是進(jìn)行半導(dǎo)體基板的洗凈處理、干燥處理、蝕刻處理等不同的多個工序的處理的多種裝置，在本實施方式中，在多個處理裝置I之中，存在有多個進(jìn)行相同工序的處理的處理裝置。
[0064]另外，在多個處理裝置I中的每一個中，如圖1和圖2所示，設(shè)有移載工位1A。
[0065]該移載工位IA是用于進(jìn)行從運送車3接收在處理裝置I進(jìn)行處理的處理對象物4或?qū)⒃谔幚硌b置I進(jìn)行了處理的處理對象物4交付(移載)至運送車3的載置部。雖然未例示，但在處理裝置I中裝備有基板移載裝置，其從載置于移載工位IA的處理對象物4中的收納容器取出半導(dǎo)體基板，將處理后的半導(dǎo)體基板收納于收納容器。
[0066]貯存裝置Q是用于暫時保管處理對象物4的裝置，與處理裝置I同樣，在貯存裝置Q中，也如圖1所示設(shè)有移載工位Qa。
[0067]例如，貯存裝置Q沿縱橫具備多個處理對象物4的收納部而構(gòu)成。雖然未例示，但在貯存裝置Q中裝備有運送單元，其在移載工位Qa與收納部之間運送處理對象物4。
[0068]在運送車3中，如圖2所示，具備在行駛軌道2上行駛的行駛驅(qū)動部3A、以及以位于行駛軌道2下方的狀態(tài)懸掛支撐于行駛驅(qū)動部3A的支撐部3B。在支撐部3B，升降操作自如地具備以懸掛狀態(tài)把持處理對象物4的把持部6。
[0069]把持部6構(gòu)成為:利用由金屬絲或帶等構(gòu)成的索狀體7相對于支撐部3B被懸掛支撐，通過索狀體7的卷繞而上升，通過索狀體7的放出而下降。另外，把持部6構(gòu)成為自如切換為把持作用狀態(tài)和把持解除狀態(tài)。
[0070]所以，運送車3構(gòu)成為:在停止于針對處理裝置I和貯存裝置Q的移載部位的狀態(tài)下，使把持部6升降且將把持部6切換為把持作用狀態(tài)和把持解除狀態(tài)，由此，相對于處理裝置I的移載工位IA或貯存裝置Q的移載工位Qa而進(jìn)行交付處理對象物4或從這些移載工位1A、Qa接收處理對象物4。
[0071]運送線S以具備以下構(gòu)件的狀態(tài)形成:環(huán)狀的主路徑10 ;多個環(huán)狀的副路徑11 ；以及連結(jié)路徑12，其用于連結(jié)主路徑10和副路徑11而進(jìn)行運送車3的從主路徑10向副路徑11的分支行駛或從副路徑11向主路徑10的匯合行駛。
[0072]而且，處理裝置I以沿著環(huán)狀副路徑11的路徑方向并列的狀態(tài)設(shè)置，貯存裝置Q以位于環(huán)狀主路徑10與環(huán)狀副路徑11的連結(jié)部位的狀態(tài)設(shè)置。
[0073]所以，在本實施方式的處理設(shè)備中，為了對處理對象物4中的半導(dǎo)體基板依次進(jìn)行多個不同的處理工序，相對于進(jìn)行不同工序的處理的多種處理裝置I依次運送處理對象物4。而且，在進(jìn)行處理對象物4的接下來工序的處理的處理裝置I實行針對其它處理對象物4的處理的情況下等，將處理對象物4暫時貯存于貯存裝置Q。
[0074]接著，說明用于運送處理對象物4的控制構(gòu)成。
[0075]如圖3所示，設(shè)有作為管理處理設(shè)備全體的主管理單元的上位控制器JC、以及作為管理運送車3的運送管理單元的運送控制器HC。
[0076]在本實施方式中，運送控制器HC構(gòu)成為除了運送車3之外還管理多個貯存裝置Q。
[0077]上位控制器JC、運送控制器HC和多個處理裝置I使用通信LAN等而以能夠相互通信的方式連接。運送控制器HC和運送車3構(gòu)成為通過無線通信等而以能夠相互通信的方式構(gòu)成，運送控制器HC和貯存裝置Q通過通信線纜等而以能夠相互通信的方式連接。
[0078]在多個處理裝置I中裝備有控制器，其控制機(jī)器類的工作，并且實行與上位控制器JC之間的通信。
[0079]所以，處理裝置I通信是指該控制器實行通信控制。即，從處理裝置I對上位控制器JC的信息(例如，處理進(jìn)行信息)的發(fā)送由被處理裝置I控制的該控制器實行。
[0080]另外，在多個貯存裝置Q中，裝備有控制器，其控制上述運送單元的工作，并且實行與運送控制器HC之間的通信。
[0081 ] 所以，貯存裝置Q通信是指該控制器實行通信控制，貯存裝置Q將處理對象物4入庫和出庫是指該控制器控制運送單元的工作。
[0082]再者，在多個運送車3中裝備有控制器，其控制行駛工作、把持部6的升降工作、以及將把持部6切換為把持作用狀態(tài)和把持解除狀態(tài)的把持狀態(tài)切換工作,而且實行與運送控制器HC之間的通信。
[0083]所以，運送車3通信是指該控制器實行通信控制，運送車3行駛是指該控制器實行行駛控制。再者，運送車3移載處理對象物4是指該控制器實行把持部6的升降工作、以及把持部6的把持狀態(tài)切換工作。
[0084]多個處理裝置I中的每一個構(gòu)成為:基于針對處理對象物4的處理進(jìn)展?fàn)顩r，對上位控制器JC發(fā)送處理進(jìn)行信息，該處理進(jìn)行信息包含要求處理對象物4的運入的運入要求信息和要求處理對象物4的運出的運出要求信息。
[0085]S卩，處理裝置I在運轉(zhuǎn)開始時或處理對象物4剛被運出后不存在處理對象物4時，對上位控制器JC發(fā)送處理對象物4的運入要求信息作為處理進(jìn)行信息。
[0086]另外，多個處理裝置I中的每一個構(gòu)成為:基于針對處理對象物4的處理進(jìn)展?fàn)顩r，對上位控制器JC發(fā)送針對處理中的處理對象物4的處理的進(jìn)展信息(處理進(jìn)展信息)作為處理進(jìn)行信息。再者，多個處理裝置I中的每一個構(gòu)成為:如果針對處理對象物4的處理結(jié)束，則對上位控制器JC發(fā)送處理對象物4的運出要求信息作為處理進(jìn)行信息。
[0087]例如，處理裝置I所發(fā)送的處理的進(jìn)展信息是指以下信息:打開處理對象物4中的收納容器的蓋，開始從收納容器取出半導(dǎo)體基板，半導(dǎo)體基板的取出結(jié)束，將處理結(jié)束的第一塊半導(dǎo)體基板收納于收納容器，將處理結(jié)束的第η塊(η為2以上的整數(shù))半導(dǎo)體基板收納于收納容器，將處理結(jié)束的最后的半導(dǎo)體基板收納于收納容器，閉合收納容器的蓋，等
坐寸ο
[0088]在本實施方式中，將從處理裝置I中的處理(全體處理)的開始時刻直到該處理的完成時刻(結(jié)束時刻)的處理期間分為多個階段(進(jìn)展階段)來管理，并且與現(xiàn)在的進(jìn)展?fàn)顩r對應(yīng)的進(jìn)展階段的信息被包含于處理進(jìn)展信息。多個進(jìn)展階段中的每一個例如基于處理對象物4的構(gòu)成或處理裝置I中的處理的內(nèi)容等而設(shè)定。在上述示例中，在相互不同的多個(在本例中，七個)進(jìn)展階段實行以下各個工序:打開處理對象物4中的收納容器的蓋的工序，開始從收納容器取出半導(dǎo)體基板的工序，半導(dǎo)體基板的取出結(jié)束的工序，將處理結(jié)束的第一塊半導(dǎo)體基板收納于收納容器的工序，將處理結(jié)束的第η塊半導(dǎo)體基板收納于收納容器的工序，將處理結(jié)束的最后的半導(dǎo)體基板收納于收納容器的工序，閉合收納容器的蓋的工序。
[0089]在此，將包含處理裝置I中的全體處理的開始時刻的最初進(jìn)展階段作為“開始階段”，將包含處理裝置I中的全體處理的完成時刻的最后進(jìn)展階段作為“完成階段”，將“開始階段”與“完成階段”之間的進(jìn)展階段作為“中途階段”。在上述示例中，開始階段為實行將處理對象物4中的收納容器的蓋打開的工序的進(jìn)展階段，完成階段為實行將收納容器的蓋閉合的工序的進(jìn)展階段。[0090]上位控制器JC管理關(guān)于處理對象物4的多個處理工序的進(jìn)行信息、多個處理裝置I的處理狀況、以及貯存裝置Q中的處理對象物4的貯存狀況。而且，上位控制器JC構(gòu)成為:如果從多個處理裝置I發(fā)送運入要求信息和運出要求信息(即，如果接受運入要求信息和運出要求信息)，則基于關(guān)于處理對象物4的多個處理工序的進(jìn)行信息、多個處理裝置I的處理狀況、以及貯存裝置Q中的處理對象物4的貯存狀況等，制作表示處理對象物4的運送起點和運送終點的運送指令信息，對運送控制器HC發(fā)送該運送指令信息。
[0091]S卩，上位控制器JC如果接受運入要求信息，則選出用于運入發(fā)送了運入要求信息的處理裝置I的處理對象物4。該處理對象物4的選出多數(shù)從貯存于貯存裝置Q的處理對象物4之中選出，在將貯存于貯存裝置Q的處理對象物4選出的情況下，上位控制器JC對貯存裝置Q指示該處理對象物4的出庫。即，上位控制器JC對貯存裝置Q發(fā)送出庫指令信肩、O
[0092]此外，在本實施方式中，由于運送控制器HC構(gòu)成為管理貯存裝置Q，因而上位控制器JC在對貯存裝置Q指示處理對象物4的出庫的情況下，對運送控制器HC指示處理對象物4從貯存裝置Q的出庫。即，上位控制器JC對運送控制器HC發(fā)送出庫指令信息。基于該指令，運送控制器HC對貯存裝置Q指示出庫。
[0093]上位控制器JC如果選出應(yīng)當(dāng)運送的處理對象物4，則制作將接收該處理對象物4的部位作為運送起點且將發(fā)送了處理對象物4的運入要求信息的處理裝置I作為運送終點的運送指令信息，對運送控制器HC發(fā)送該運送指令信息。
[0094]運送控制器HC如果接受運送指令信息，則為了將運送起點的處理對象物4運送至運送終點的處理裝置I而控制運送車3的行駛。S卩，使運送車3行駛至接收處理對象物4的部位，接收處理對象物4，接著使運送車3行駛至作為運送終點的處理裝置I，將處理對象物4交付至作為運送終點的處理裝置I。
[0095]一般而言，裝備有多臺運送車3，非作業(yè)中等的能夠運送的運送車3被選擇作為用于運送處理對象物4的運送車3。
[0096]上位控制器JC如果接受運出要求信息，則將發(fā)送了運出要求信息的處理裝置I作為運送起點，制作將應(yīng)當(dāng)運送來自該處理裝置I的處理對象物4的部位作為運送終點的運送指令信息，對運送控制器HC發(fā)送。
[0097]在設(shè)定作為應(yīng)當(dāng)運送來自處理裝置I的處理對象物4的部位的運送終點時，上位控制器JC基于關(guān)于該處理對象物4的多個處理工序的進(jìn)行信息對運送的處理對象物4確認(rèn)接著處理的工序為哪種工序，確認(rèn)多個處理裝置I的現(xiàn)在的處理狀況，而且確認(rèn)貯存裝置Q的處理對象物4的貯存狀況，然后參考提高多個處理裝置I的運行率等條件并同時將適當(dāng)?shù)牟课辉O(shè)定為應(yīng)當(dāng)運送處理對象物4的部位。
[0098]在實際的運行中，應(yīng)當(dāng)運送處理對象物4的部位多數(shù)被定于貯存裝置Q，但也存在貯存裝置Q以外的部位被定為應(yīng)當(dāng)運送部位的情況。
[0099]例如，也存在以下情況:在運送指令信息的制作中或其之前從其它處理裝置I對上位控制器JC發(fā)送運入要求信息而且該處理裝置I為對處理對象物4進(jìn)行接著進(jìn)行的工序的處理的處理裝置I的情況下，該處理裝置I被定為應(yīng)當(dāng)運送處理對象物4的部位。
[0100]而且，上位控制器JC如果確定應(yīng)當(dāng)運送處理對象物4的部位，則制作將接收該處理對象物4的處理裝置I作為運送起點且將應(yīng)當(dāng)運送處理對象物4的部位作為運送終點的運送指令信息，對運送控制器HC發(fā)送該運送指令信息。
[0101]運送控制器HC構(gòu)成為:監(jiān)視從處理裝置I對上位控制器JC發(fā)送的處理進(jìn)行信息，實行預(yù)備運送控制。在此，“預(yù)備運送控制”是以下控制:在多個處理裝置I之中，將處理對象物4的處理結(jié)束的處理裝置I在從上位控制器JC發(fā)送運送指令信息以前作為預(yù)備運送起點選出，使運送車3相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置I而行駛。
[0102]S卩，如果從處理裝置I對上位控制器JC發(fā)送作為處理進(jìn)行信息的運出要求信息，則運送控制器HC將發(fā)送該運出要求信息的處理裝置I作為處理對象物4的處理結(jié)束的處理裝置I (換言之，判定為處理對象物4的處理結(jié)束的處理裝置I)，在從上位控制器JC發(fā)送運送指令信息以前，作為預(yù)備運送起點的處理裝置I而選出。
[0103]上位控制器JC與各處理裝置I之間的通信以從發(fā)送起點發(fā)送包含發(fā)送終點、發(fā)送起點和傳達(dá)信息的通信信息的方式進(jìn)行。運送控制器HC構(gòu)成為:監(jiān)視在上位控制器JC與各處理裝置I之間通信的通信信息，選出發(fā)送起點為處理裝置1、發(fā)送終點為上位控制器JC且傳達(dá)信息為運出要求信息的通信信息，由此選出發(fā)送運出要求信息的處理裝置I。
[0104]而且，運送控制器HC如果選出作為預(yù)備運送起點的處理裝置1，則為了從該處理裝置I運出處理對象物4而開始使運送車3相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置I行駛。
[0105]關(guān)于使多個運送車3中的任一運送車3行駛至作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置I，選擇多個運送車3之中的接近作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置I的運送車3 (例如，最近的運送車3)，其為未分配運送作業(yè)的運送車3。
[0106]另外，運送控制器HC在使運送車3相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置I的行駛開始之后，進(jìn)行運送車3是否到達(dá)處理裝置I的確認(rèn)、到達(dá)處理裝置I的運送車3結(jié)束了從處理裝置I接收處理對象物4的確認(rèn)等。如果運送車3從處理裝置I接收處理對象物4，則運送控制器HC以如下方式控制運送車3的行駛:基于從上位控制器JC發(fā)送的運送指令信息指定運送終點，將從處理裝置I接收的處理對象物4運送至運送終點。
[0107]運送控制器HC在運送車3向著處理裝置I行駛的途中接受在上位控制器JC制作的運送指令信息?；蛘撸?dāng)運送車3在運送指令信息的接受前到達(dá)處理裝置I時，使運送車3待機(jī)，并接受運送指令信息。
[0108]這樣，運送控制器HC如果選出作為預(yù)備運送起點的處理裝置1，則為了從該處理裝置I運出處理對象物4而開始使運送車3相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置I行駛。因此，能夠使在處理裝置I結(jié)束處理對象物4的處理之后等待運送車3到達(dá)的時間減少，結(jié)果，能夠提高處理設(shè)備的處理作業(yè)效率。
[0109]接著，基于圖4說明上位控制器JC、處理裝置I和運送控制器HC之間的通信流程。
[0110]此外，在以下的說明中，僅僅說明通信內(nèi)容的概要，通信內(nèi)容的細(xì)節(jié)省略。
[0111]另外，在上位控制器JC、處理裝置I和運送控制器HC之間的通信中，如果接受所發(fā)送的通信信息，則對發(fā)送起點發(fā)送表示已接受的應(yīng)答信息，由此確認(rèn)所發(fā)送的通信信息被適當(dāng)?shù)亟邮埽趹?yīng)答信息未被發(fā)送的情況下，進(jìn)行再次發(fā)送通信信息，但在以下的說明中，關(guān)于應(yīng)答信息的發(fā)送的記載省略。
[0112]首先，如果從處理裝置I對上位控制器JC發(fā)送運入要求信息，則上位控制器JC如上所述將運送至發(fā)送了運入要求信息的處理裝置I的處理對象物4的運送起點選出。[0113]然后，制作將接收該選出的處理對象物4的部位作為運送起點且將發(fā)送了處理對象物4的運入要求信息的處理裝置I作為運送終點的運送指令信息，對運送控制器HC發(fā)送該運送指令信息。
[0114]在運送起點為貯存裝置Q的情況下，上位控制器JC如上所述對運送控制器HC發(fā)送出庫指令信息。
[0115]運送控制器HC如果發(fā)送運送指令信息，則使選擇的運送車3行駛至運送起點，且在運送起點接收了處理對象物4之后使運送車3行駛至運送終點。如果運送車3到達(dá)運送終點，則將處理對象物4交付運送終點。
[0116]然后，如果處理對象物4的運送完成，則運送控制器HC對上位控制器JC發(fā)送表示運送已完成的運送完成信息。
[0117]上位控制器JC如果接受運送完成信息，則對處理裝置I發(fā)送處理開始指示信息。接受了處理開始信息的處理裝置I開始處理，然后對上位控制器JC發(fā)送上述處理的進(jìn)展信
肩、O
[0118]上位控制器JC基于從處理裝置I發(fā)送的處理的進(jìn)展信息而進(jìn)行管理處理裝置I的處理狀況的管理處理。
[0119]如果針對現(xiàn)在處理中的處理對象物4的處理結(jié)束，則處理裝置I對上位控制器JC發(fā)送作為處理進(jìn)行信息的運出要求信息。
[0120]上位控制器JC如果從處理裝置I發(fā)送運出要求信息，則設(shè)定運送終點作為應(yīng)當(dāng)運送來自發(fā)送運出要求信息的處理裝置I的處理對象物4的部位。
[0121]然后，如果設(shè)定運送終點，則上位控制器JC制作將發(fā)送運出要求信息的處理裝置I作為運送起點且將應(yīng)當(dāng)運送來自該處理裝置I的處理對象物4的部位作為運送終點的運送指令信息，對運送控制器HC發(fā)送該運送指令信息。
[0122]如果處理裝置I對上位控制器JC發(fā)送運出要求信息，則監(jiān)視在上位控制器JC與各處理裝置I之間通信的通信信息的運送控制器HC將發(fā)送運出要求信息的處理裝置I作為預(yù)備運送起點選出。
[0123]然后，運送控制器HC如果選出作為預(yù)備運送起點的處理裝置1，則為了從該處理裝置I運出處理對象物4而開始使運送車3相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置I行駛。
[0124]然后，如果運送車3相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置I到達(dá)，運送車3從處理裝置I接收處理對象物4，則運送控制器HC以如下方式控制運送車3的行駛:基于從上位控制器JC發(fā)送的運送指令信息而指定運送終點，將從處理裝置I接收的處理對象物4運送至運送終點。
[0125]運送控制器HC在運送車3向著處理裝置I行駛的途中接受在上位控制器JC制作的運送指令信息?；蛘?，當(dāng)運送車3在運送指令信息的接受前到達(dá)處理裝置I時，使運送車3待機(jī),并同時接受運送指令信息。
[0126]處理對象物4已被運出的處理裝置I對上位控制器JC發(fā)送運入要求信息，另外，如果處理對象物4的運送完成，則運送控制器HC對上位控制器JC發(fā)送表示運送已完成的運送完成信息。
[0127]接受了運入要求信息或運送完成信息的上位控制器JC如前所述將運送至發(fā)送了運入要求信息的處理裝置I的處理對象物4的運送起點選出，制作將接收該選出的處理對象物4的部位作為運送起點且將發(fā)送了處理對象物4的運入要求信息的處理裝置I作為運送終點的運送指令信息，對運送控制器HC發(fā)送該運送指令信息。
[0128][第二實施方式]
接著，說明第二實施方式。該第二實施方式中，運送控制器HC的構(gòu)成與第一實施方式不同，但是其它構(gòu)成與第一實施方式相同。因此，在以下的說明中，僅僅說明與第一實施方式不同的部分。
[0129]如圖5所示，在該第二實施方式中，運送控制器HC由與上位控制器JC通信的物流控制器15、與該物流控制器15通信且管理運送車3的運轉(zhuǎn)的運送控制控制器16、以及與物流控制器15通信且管理貯存裝置Q的運轉(zhuǎn)的貯存控制器17構(gòu)成。
[0130]物流控制器15對運送控制控制器16發(fā)送從上位控制器JC發(fā)送的運送指令信息，對貯存控制器17發(fā)送從上位控制器JC發(fā)送的出庫指令信息等與貯存裝置Q相關(guān)的信息。
[0131]另外，物流控制器15監(jiān)視從處理裝置I對上位控制器JC發(fā)送的處理進(jìn)行信息，在多個處理裝置I之中，將處理對象物4的處理結(jié)束的處理裝置I在從上位控制器JC發(fā)送運送指令信息以前作為預(yù)備運送起點選出，向運送控制控制器16指示使運送車3相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置I行駛的預(yù)備行駛指令。
[0132]運送控制控制器16如果從物流控制器15被指示預(yù)備行駛指令，則開始使運送車3向著被指示的處理裝置I行駛。另外，運送控制控制器16如果從物流控制器15發(fā)送運送指令信息，則為了將從通過預(yù)備行駛指令行駛的處理裝置I接收的處理對象物4運送至通過運送指令信息指定的運送終點而控制運送車3的行駛。
[0133]該第二實施方式為在構(gòu)成使處理裝置1、貯存裝置Q和運送車3的設(shè)置數(shù)量增加的大型設(shè)備的情況下優(yōu)選的構(gòu)成。
[0134]而且，在這樣構(gòu)成大型設(shè)備的情況下，也可以裝備與上位控制器JC通信且與多個處理裝置I中的每一個通信的中繼控制器，經(jīng)由該中繼控制器進(jìn)行在上位控制器JC與多個處理裝置I中的每一個之間的通信。
[0135][其它實施方式]
接著，列舉其它實施方式。
[0136](I)在上述第一和第二實施方式中，列舉了基于運出要求信息而將作為預(yù)備運送起點的處理裝置I選出的情況，但是在處理裝置I發(fā)送處理進(jìn)展信息作為處理進(jìn)行信息的情況下，能夠基于該處理進(jìn)展信息而認(rèn)知該處理裝置I中的處理的進(jìn)展?fàn)顩r。因此，也可以以下方式實施:運送管理單元(運送控制器He)基于作為處理進(jìn)行信息的處理進(jìn)展信息，將處理對象物4的處理臨近結(jié)束的處理裝置I在從主管理單元(上位控制器JC)發(fā)送運送指令信息以前作為預(yù)備運送起點的處理裝置I選出。
[0137]S卩，在上述第一和第二實施方式中，作為處理進(jìn)展信息，從處理裝置I發(fā)送以下信息:打開處理對象物4中的收納容器的蓋，開始從收納容器取出半導(dǎo)體基板，半導(dǎo)體基板的取出結(jié)束，將處理結(jié)束的第一塊半導(dǎo)體基板收納于收納容器，將處理結(jié)束的第η塊半導(dǎo)體基板收納于收納容器，將處理結(jié)束的最后的半導(dǎo)體基板收納于收納容器，閉合收納容器的蓋，等等。在此情況下，例如，也可以以下方式實施:運送管理單元預(yù)先監(jiān)視將處理結(jié)束的最后的半導(dǎo)體基板收納于收納容器的信息，將發(fā)送該信息的處理裝置I作為處理對象物4的處理臨近結(jié)束的處理裝置I而檢測出(換言之，判定為處理對象物4的處理臨近結(jié)束的處理裝置I)，在從主管理單元發(fā)送運送指令信息以前，作為預(yù)備運送起點的處理裝置I選出。
[0138]在此，在上述第一和第二實施方式中，處理裝置I的處理期間分為多個進(jìn)展階段被管理。另外，在上述示例中，發(fā)送將處理結(jié)束的最后的半導(dǎo)體基板收納于收納容器的信息的處理裝置I被判定為處理對象物4的處理臨近結(jié)束的處理裝置I。在此情況下，處于實行將處理結(jié)束的最后的半導(dǎo)體基板收納于收納容器的工序的進(jìn)展階段的處理裝置I被判定為處理對象物4的處理臨近結(jié)束的處理裝置I。而且，在此情況下，用于判定處理對象物4的處理為臨近結(jié)束的狀態(tài)的進(jìn)展階段(以下，稱為“特定進(jìn)展階段”)成為完成階段的前一個的中途階段。即，與特定進(jìn)展階段對應(yīng)的進(jìn)展?fàn)顩r成為比處理對象物4中的處理的完成時刻靠前的預(yù)定進(jìn)展?fàn)顩r。所以，在此情況下，運送管理單元成為以下構(gòu)成:將處理對象物4的處理的進(jìn)展?fàn)顩r為比該處理的完成時刻靠前的預(yù)定進(jìn)展?fàn)顩r(以下，稱為“特定進(jìn)展?fàn)顩r”)的處理裝置I判定為處理對象物4的處理臨近結(jié)束的狀態(tài)的處理裝置I。換言之，運送管理單元成為以下構(gòu)成:將處理對象物4的處理的進(jìn)展階段為特定進(jìn)展階段的處理裝置I判定為處理對象物4的處理臨近結(jié)束的狀態(tài)的處理裝置I。
[0139]此外，不僅僅完成階段的前一個的中途階段，還能夠為完成階段的前兩個以上的中途階段被設(shè)定為特定進(jìn)展階段的構(gòu)成。另外，在特定進(jìn)展階段具有某一程度的時間長度的情況下，還能夠?qū)⑻囟ㄟM(jìn)展?fàn)顩r作為與特定進(jìn)展階段中的特定時刻(例如，特定進(jìn)展階段的開始時刻或結(jié)束時刻)對應(yīng)的進(jìn)展?fàn)顩r。在此情況下，能夠?qū)⑼瓿呻A段設(shè)定為特定進(jìn)展階段，例如，能夠為以下構(gòu)成:與完成階段的開始時刻對應(yīng)的進(jìn)展?fàn)顩r被設(shè)定為特定進(jìn)展?fàn)顩r。
[0140](2)在上述第一和第二實施方式中，列舉了沿著設(shè)置于頂板側(cè)的行駛軌道2行駛的懸掛式運送車3，但是作為運送車3，能夠適用在地面行駛的地面行駛式的臺車等各種方式的運送車。
[0141](3)在上述第一和第二實施方式中，列舉了運送線S由環(huán)狀主路徑10、多個環(huán)狀副路徑11、連結(jié)主路徑10和副路徑11的多個連結(jié)路徑12構(gòu)成的情況，但是運送線S的具體構(gòu)成能夠進(jìn)行各種變更。
[0142](4)在上述第一和第二實施方式中，列舉了將收納半導(dǎo)體基板的收納容器作為處理對象物4來運送的情況，但是作為處理對象物4，并不限于收納半導(dǎo)體基板的收納容器，本發(fā)明能夠適用于將各種處理物作為處理對象物運送。
[0143](5)雖然在上述第一和第二實施方式中未列舉，但是也可與處理裝置I對應(yīng)而以裝備處理對象物4的暫時放置部的方式實施。在此情況下，在基于運出要求信息來設(shè)定處理對象物4的運送終點時，即使進(jìn)行接著進(jìn)行的工序的處理的處理裝置I在現(xiàn)在處理中，也能夠?qū)⒃撎幚硌b置I的暫時放置部定為應(yīng)當(dāng)運送部位。
[0144]在此情況下，在裝備暫時放置部的處理裝置I發(fā)送了運入要求信息時，當(dāng)處理對象物4存在于與該處理裝置I對應(yīng)的暫時放置部時，該處理對象物4作為運送起點的處理對象物被優(yōu)先選出。
[0145]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
本發(fā)明能夠優(yōu)選地利用于設(shè)有運送車的處理設(shè)備，該運送車沿著經(jīng)由多個處理裝置和貯存處理對象物的貯存裝置的運送線行駛而運送處理對象物。[0146]符號說明
I處理裝置
3運送車
4處理對象物
HC運送控制器(運送管理單元)
JC上位控制器(主管理單元)
Q貯存裝置
5運送線。
【權(quán)利要求】
1.一種處理設(shè)備，設(shè)有運送車，該運送車沿著運送線行駛而運送處理對象物，該運送線經(jīng)由對所述處理對象物進(jìn)行不同工序的處理的多個處理裝置和貯存所述處理對象物的貯存裝置， 所述多個處理裝置中的每一個構(gòu)成為對主管理單元發(fā)送處理進(jìn)行信息，該處理進(jìn)行信息包含要求所述處理對象物的運入的運入要求信息、以及要求所述處理對象物的運出的運出要求信息， 所述主管理單元構(gòu)成為:如果所述運入要求信息和所述運出要求信息被發(fā)送，則制作表示所述處理對象物的運送起點和運送終點的運送指令信息，對運送管理單元發(fā)送該運送指令信息， 所述運送管理單元構(gòu)成為基于所述運送指令信息來控制所述運送車的行駛，其中， 所述運送管理單元構(gòu)成為實行以下預(yù)備運送控制:監(jiān)視從所述處理裝置對所述主管理單元發(fā)送的所述處理進(jìn)行信息，在多個所述處理裝置之中，將所述處理對象物的處理結(jié)束或臨近結(jié)束的處理裝置在從所述主管理單元發(fā)送所述運送指令信息以前作為預(yù)備運送起點選出，使所述運送車相對于作為所述預(yù)備運送起點選出的所述處理裝置而行駛。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理設(shè)備，其特征在于，所述運送管理單元構(gòu)成為:基于作為所述處理進(jìn)行信息的所述運出要求信息，將所述處理對象物的處理為結(jié)束狀態(tài)的處理裝置作為所述預(yù)備運送起點選出。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理設(shè)備，其特征在于， 所述多個處理裝置構(gòu)成為對所述主管理單元發(fā)送所述處理對象物的處理進(jìn)展信息作為所述處理進(jìn)行信息， 所述運送管理單元構(gòu)成為:基于作為所述處理進(jìn)行信息的所述處理進(jìn)展信息，將所述處理對象物的處理為臨近結(jié)束的狀態(tài)的處理裝置作為所述預(yù)備運送起點選出。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的處理設(shè)備，其特征在于，所述運送管理單元構(gòu)成為:將所述處理對象物的處理的進(jìn)展?fàn)顩r為比該處理的完成時刻靠前的預(yù)定進(jìn)展?fàn)顩r的處理裝置作為所述處理對象物的處理為臨近結(jié)束的狀態(tài)的處理裝置，將該處理裝置作為所述預(yù)備運送起點選出。
【文檔編號】B65G1/00GK103703424SQ201280037374
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2012年7月4日 優(yōu)先權(quán)日:2011年7月28日
【發(fā)明者】鈴木正美 申請人:株式會社大福
【專利摘要】處理設(shè)備具備管理運送車(3)的運送管理單元(HC)，該運送車(3)沿著經(jīng)由多個處理裝置(1)和貯存處理對象物的貯存裝置(Q)的運送線行駛而運送處理對象物。運送管理單元(HC)實行以下預(yù)備運送控制：監(jiān)視從處理裝置(1)對主管理單元(JC)發(fā)送的處理進(jìn)行信息，在多個處理裝置(1)之中，將處理對象物的處理結(jié)束或臨近結(jié)束的處理裝置(1)在從主管理單元(JC)發(fā)送運送指令信息以前作為預(yù)備運送起點選出，為了從該處理裝置(1)運出處理對象物，使運送車(3)相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置(1)行駛。
【專利說明】處理設(shè)備(PROCESSING FACILITY)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及處理設(shè)備，其設(shè)有運送車，該運送車沿著經(jīng)由對處理對象物進(jìn)行不同工序的處理的多個處理裝置和貯存前述處理對象物的貯存裝置的運送線行駛而運送前述處理對象物，前述多個處理裝置中的每一個構(gòu)成為對主管理單元發(fā)送處理進(jìn)行信息，該處理進(jìn)行信息包含要求前述處理對象物的運入的運入要求信息和要求前述處理對象物的運出的運出要求信息，前述主管理單元構(gòu)成為:如果前述運入要求信息和前述運出要求信息被發(fā)送，則制作表示前述處理對象物的運送起點和運送終點的運送指令信息，對運送管理單元發(fā)送該運送指令信息，前述運送管理單元構(gòu)成為基于前述運送指令信息而控制前述運送車的行駛。
【背景技術(shù)】
[0002]如上所述的處理設(shè)備為例如用于對半導(dǎo)體基板依次進(jìn)行洗凈工序、干燥工序、蝕刻工序等不同的多個工序的處理的設(shè)備。作為多個處理裝置，一般而言，每個裝備有對處理對象物進(jìn)行不同工序的處理的多種處理裝置。
[0003]例如，在處理設(shè)備為對半導(dǎo)體基板進(jìn)行處理的設(shè)備的情況下，收納多塊半導(dǎo)體基板的半導(dǎo)體收納容器相當(dāng)于處理對象物。即，處理半導(dǎo)體基板的處理裝置從半導(dǎo)體收納容器依次取出半導(dǎo)體基板而處理，將處理完的半導(dǎo)體基板依次收納于半導(dǎo)體收納容器。
[0004]而且，在該處理設(shè)備中，處理對象物由運送車依次運送至進(jìn)行不同工序的處理的多個處理裝置。
[0005]S卩，處理裝置在運轉(zhuǎn)開始時或處理對象物剛被運出后不存在處理對象物時，對主管理單元發(fā)送處理對象物的運入要求信息作為處理進(jìn)行信息。
[0006]主管理單元如果接受運入要求信息，則選出用于運入發(fā)送了運入要求信息的處理裝置的處理對象物。該處理對象物的選出多數(shù)從貯存于貯存裝置的處理對象物之中選出，在選出貯存于貯存裝置的處理對象物的情況下，主管理單元對貯存裝置指示該處理對象物的出庫。
[0007]主管理單元如果選出處理對象物，則制作將接收該處理對象物的部位作為運送起點且將發(fā)送了處理對象物的運入要求信息的處理裝置作為運送終點的運送指令信息，對運送管理單元發(fā)送該運送指令信息。
[0008]運送管理單元如果接受運送指令信息，則為了將運送起點的處理對象物運送至運送終點的處理裝置而控制運送車的行駛。即，使運送車行駛至接收處理對象物的部位，接收處理對象物，接著使運送車行駛至作為運送終點的處理裝置，將處理對象物交付至作為運送終點的處理裝置。
[0009]一般而言，裝備有多臺運送車，非作業(yè)中等的能夠運送的運送車被選作用于運送處理對象物的運送車。
[0010]而且，處理裝置一般而言對主管理單元發(fā)送針對處理中的處理對象物的處理的進(jìn)展信息作為處理進(jìn)行信息，如果針對處理對象物的處理結(jié)束，則對主管理單元發(fā)送處理對象物的運出要求信息作為處理進(jìn)行信息。
[0011]主管理單元如果接受運出要求信息，則將發(fā)送運出要求信息的處理裝置作為運送起點，制作將應(yīng)當(dāng)運送來自該處理裝置的處理對象物的部位作為運送終點的運送指令信息，對運送管理單元發(fā)送。
[0012]在設(shè)定作為應(yīng)當(dāng)運送來自處理裝置的處理對象物的部位的運送終點時，主管理單元基于關(guān)于該處理對象物的多個處理工序的進(jìn)行信息而對運送的處理對象物確認(rèn)接著處理的工序為哪種工序，確認(rèn)多個處理裝置的現(xiàn)在的處理狀況，而且確認(rèn)貯存裝置的處理對象物的貯存狀況，然后參考提高多個處理裝置的運行率等條件并同時將適當(dāng)?shù)牟课辉O(shè)定為應(yīng)當(dāng)運送處理對象物的部位。
[0013]在實際的運行中，被設(shè)定為應(yīng)當(dāng)運送處理對象物的部位的部位多數(shù)考慮定于貯存裝置，但也存在貯存裝置以外的部位被定為應(yīng)當(dāng)運送部位的情況。
[0014]例如，在運送指令信息的制作中或其之前，從其它處理裝置對主管理單元發(fā)送運入要求信息而且該處理裝置為對處理對象物進(jìn)行接著進(jìn)行的工序的處理的處理裝置的情況下，有時候也將該處理裝置定為應(yīng)當(dāng)運送處理對象物的部位。
[0015]另外，作為貯存裝置以外的部位被定為應(yīng)當(dāng)運送部位的其它示例，在與處理裝置對應(yīng)而裝備有處理對象物的暫時放置部的情況下，有時候即使進(jìn)行接著進(jìn)行的工序的處理的處理裝置在現(xiàn)在處理中，該處理裝置的暫時放置部也被定為應(yīng)當(dāng)運送部位。
[0016]在運送指令信息的制作中，其它處理裝置被定為應(yīng)當(dāng)運送處理對象物的部位，相當(dāng)于針對上述發(fā)送運入要求信息的處理裝置而運入處理對象物。
[0017]另外，在與處理裝置對應(yīng)而裝備暫時放置部的情況下，在選出針對上述發(fā)送運入要求信息的處理裝置而運入的處理對象物時，當(dāng)處理對象物存在于與該處理裝置對應(yīng)的暫時放置部時，該處理對象物優(yōu)先被選出。
[0018]S卩，在發(fā)送運入要求信息的處理裝置中，如上所述，貯存于貯存裝置的處理對象物被運入的情況較多，但也存在運入來自其它處理裝置或暫時放置部的處理對象物的情況。
[0019]主管理單元如果確定作為應(yīng)當(dāng)運送處理對象物的部位的運送終點，則制作將接收該處理對象物的處理裝置作為運送起點且將應(yīng)當(dāng)運送處理對象物的部位作為運送終點的運送指令信息，對運送管理單元發(fā)送該運送指令信息。
[0020]在這樣的處理設(shè)備中，一直以來，運送管理單元構(gòu)成為:如果從主管理單元發(fā)送基于來自處理裝置的運出要求信息制作的運送指令信息，則為了運送發(fā)送了運出要求信息的處理裝置的處理對象物而開始運送車的行駛控制。
[0021]S卩，一直以來，運送管理單元構(gòu)成為:如果從主管理單元接受運送指令信息，則開始運送車的行駛控制，使運送車行駛至接收處理對象物的運送起點的處理裝置，接收處理對象物，接著使運送車行駛至應(yīng)當(dāng)運送處理對象物的部位，交付處理對象物(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
[0022]在專利文獻(xiàn)I的處理設(shè)備中，主計算機(jī)相當(dāng)于主管理單元，庫存相當(dāng)于貯存裝置，運送裝置相當(dāng)于運送管理單元和運送車。另外，處理動工可能信號相當(dāng)于運入要求信息，處理結(jié)束報告信號相當(dāng)于運出要求信息。
[0023]在專利文獻(xiàn)I的處理設(shè)備中，運送管理單元如果從主管理單元發(fā)送基于運出要求信息制作的運送指令信息，則開始運送車的行駛控制，因而有可能在發(fā)送了運出要求信息的處理裝置結(jié)束處理對象物的處理之后，等待運送車到達(dá)的時間變長。
[0024]S卩，如果從處理裝置對主管理單元發(fā)送作為處理進(jìn)行信息的運出要求信息，則主管理單元制作將發(fā)送運出要求信息的處理裝置作為運送起點且將應(yīng)當(dāng)運送來自該處理裝置的處理對象物的部位作為運送終點的運送指令信息，對運送管理單元發(fā)送。在確定作為應(yīng)當(dāng)運送來自處理裝置的處理對象物的部位的運送終點時，主管理單元基于關(guān)于該處理對象物的多個處理工序的進(jìn)行信息對運送的處理對象物確認(rèn)接著處理的工序為哪種工序，確認(rèn)多個處理裝置的處理狀況，并且確認(rèn)貯存裝置的處理對象物的貯存狀況，然后參考提高多個處理裝置的運行率等條件并同時將適當(dāng)?shù)牟课辉O(shè)定為應(yīng)當(dāng)運送處理對象物的部位。因此，在基于運送要求信息而制作運送指令信息時，需要相當(dāng)長的時間(例如，30?60秒)。
[0025]所以，直到運送車到達(dá)發(fā)送了運出要求信息的處理裝置為止所需的時間是將主管理單元制作運送指令信息的時間和運送車從現(xiàn)在位置行駛至發(fā)送了運出要求信息的處理裝置的時間相加后的時間。因此，在發(fā)送了運出要求信息的處理裝置結(jié)束處理對象物的處理之后，等待運送車到達(dá)的時間可能變長，難以提高設(shè)備的處理作業(yè)效率。
[0026]作為消除這樣的處理設(shè)備的問題點的現(xiàn)有示例，存在如下構(gòu)成的處理裝置:如果成為針對現(xiàn)在處理中的處理對象物的處理不久結(jié)束的時刻，則對作為主管理單元的中間計算機(jī)發(fā)送表示該處理何時結(jié)束的結(jié)束預(yù)告信號。在該構(gòu)成中，中間計算機(jī)如果接受該結(jié)束預(yù)告信號，則制作將發(fā)送了結(jié)束預(yù)告信號的處理裝置作為運送起點且將應(yīng)當(dāng)運送存在于該處理裝置的處理對象物的部位作為運送終點的運送指令信息，對作為運送管理單元的自動運送車控制器發(fā)送該運送指令信息(例如，參照專利文獻(xiàn)2)。
[0027]在先技術(shù)文獻(xiàn) 專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1:日本特開2005-19911號公報；
專利文獻(xiàn)2:日本特開2000-156398號公報。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0028]發(fā)明要解決的問題
在上述專利文獻(xiàn)2的處理設(shè)備中，如果成為針對現(xiàn)在處理中的處理對象物的處理不久結(jié)束的時刻，則處理裝置對作為主管理單元的中間計算機(jī)發(fā)送表示該處理何時結(jié)束的結(jié)束預(yù)告信號。由此，在處理裝置中針對現(xiàn)在處理中的處理對象物的處理結(jié)束以前，能夠使作為主管理單元的中間計算機(jī)開始運送指令信息的制作，能夠使在發(fā)送了結(jié)束預(yù)告信號的處理裝置結(jié)束處理對象物的處理之后等待作為運送車的自動運送車到達(dá)的時間減少。結(jié)果，能夠使處理設(shè)備的處理作業(yè)效率提高。
[0029]然而，如果成為針對現(xiàn)在處理中的處理對象物的處理不久結(jié)束的時刻，則在處理裝置對作為主管理單元的中間計算機(jī)發(fā)送表示該處理何時結(jié)束的結(jié)束預(yù)告信號的構(gòu)成中，存在著處理裝置的控制負(fù)荷增加的不良狀況。
[0030]S卩，在處理裝置中裝備有為了實行處理對象物的處理而具備的控制機(jī)器類的工作的控制器，在該控制器中實行機(jī)器類的控制工作和與主管理單元的通信控制。即，該控制器管理機(jī)器類的控制工作并進(jìn)行與主管理單元之間的通信，因而其作業(yè)負(fù)荷大，如果欲使這樣的控制器發(fā)送結(jié)束預(yù)告信號，則處理裝置的控制負(fù)荷增加。因此，作為裝備于處理裝置的控制器，存在著需要具備大容量的高價控制器的缺點，希望避免處理裝置的控制負(fù)荷的增加。
[0031]本發(fā)明是鑒于上述實情做出的，其目的在于提供一種處理設(shè)備，該處理設(shè)備能夠避免處理裝置的控制負(fù)荷的增加，同時還謀求處理作業(yè)效率的提高。
[0032]用于解決問題的方案
本發(fā)明的處理設(shè)備設(shè)有運送車，該運送車沿著運送線行駛而運送處理對象物，該運送線經(jīng)由對前述處理對象物進(jìn)行不同工序的處理的多個處理裝置和貯存前述處理對象物的貯存裝置，
前述多個處理裝置中的每一個構(gòu)成為對主管理單元發(fā)送處理進(jìn)行信息，該處理進(jìn)行信息包含要求前述處理對象物的運入的運入要求信息、以及要求前述處理對象物的運出的運出要求信息，
前述主管理單元構(gòu)成為:如果前述運入要求信息和前述運出要求信息被發(fā)送，則制作表示前述處理對象物的運送起點和運送終點的運送指令信息，對運送管理單元發(fā)送該運送指令信息，
前述運送管理單元構(gòu)成為基于前述運送指令信息來控制前述運送車的行駛，該處理設(shè)備的第一特征構(gòu)成在于以下這點:
前述運送管理單元構(gòu)成為實行以下預(yù)備運送控制:監(jiān)視從前述處理裝置對前述主管理單元發(fā)送的前述處理進(jìn)行信息，在多個前述處理裝置之中，將前述處理對象物的處理結(jié)束或臨近結(jié)束的處理裝置在從前述主管理單元發(fā)送前述運送指令信息以前作為預(yù)備運送起點選出，使前述運送車相對于作為前述預(yù)備運送起點選出的前述處理裝置而行駛。
[0033]S卩，運送管理單元實行以下預(yù)備運送控制:監(jiān)視從處理裝置對主管理單元發(fā)送的處理進(jìn)行信息，在多個處理裝置之中，將處理對象物的處理結(jié)束或臨近結(jié)束的處理裝置在從主管理單元發(fā)送運送指令信息以前作為預(yù)備運送起點選出，使運送車相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置而行駛。
[0034]S卩，例如，如果從處理裝置對主管理單元發(fā)送作為處理進(jìn)行信息的運出要求信息，那么能夠?qū)l(fā)送該運出要求信息的處理裝置作為處理對象物的處理結(jié)束的處理裝置，在從主管理單元發(fā)送運送指令信息以前作為預(yù)備運送起點的處理裝置選出。
[0035]另外，在處理裝置構(gòu)成為對主管理單元發(fā)送處理進(jìn)展信息作為處理進(jìn)行信息的情況下，由于能夠基于該處理進(jìn)展信息認(rèn)知該處理裝置中的處理的進(jìn)展?fàn)顩r，因而能夠?qū)⑻幚韺ο笪锏奶幚砼R近結(jié)束的處理裝置在從主管理單元發(fā)送運送指令信息以前作為預(yù)備運送起點的處理裝置選出。
[0036]而且，運送管理單元如果選出作為預(yù)備運送起點的處理裝置，則為了從該處理裝置運出處理對象物而開始使運送車相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置而行駛。
[0037]另外，在運送車到達(dá)處理裝置之后，運送管理單元以如下方式控制運送車的行駛:基于在主管理單元制作并發(fā)送的運送指令信息來設(shè)定運送終點，將從處理裝置接收的處理對象物運送至運送終點。
[0038]運送管理單元在運送車向著處理裝置行駛的途中接受在主管理單元制作的運送指令信息?；蛘?，當(dāng)運送車在運送指令信息的接受前到達(dá)處理裝置時，使運送車待機(jī)，并同時接受運送指令信息。[0039]這樣，運送管理單元如果選出作為預(yù)備運送起點的處理裝置，則為了從該處理裝置運出處理對象物而開始使運送車相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置而行駛。因此，能夠使在處理裝置結(jié)束處理對象物的處理之后等待運送車到達(dá)的時間減少，結(jié)果，能夠提高處理設(shè)備的處理作業(yè)效率。
[0040]添加說明的話，如果從處理裝置對主管理單元發(fā)送作為處理進(jìn)行信息的運出要求信息，則主管理單元制作將發(fā)送運出要求信息的處理裝置作為運送起點且將應(yīng)當(dāng)運送來自該處理裝置的處理對象物的部位作為運送終點的運送指令信息，對運送管理單元發(fā)送。此時，由于花費用于將適當(dāng)?shù)牟课辉O(shè)定為應(yīng)當(dāng)運送處理對象物的部位的時間，因而在基于運送要求信息來制作運送指令信息時，需要相當(dāng)長的時間(例如，30?60秒)。
[0041]這樣，在主管理單元基于運出要求信息來制作運送指令信息時，需要長時間，但是依照上述第一特征構(gòu)成，運送管理單元實行預(yù)備運送控制，在從主管理單元接受運送指令信息之前，使運送車向著成為運送起點的處理裝置行駛。所以，能夠利用主管理單元制作運送指令信息所需的時間使運送車向著成為運送起點的處理裝置行駛，能夠使在處理裝置結(jié)束處理對象物的處理之后等待運送車到達(dá)的時間減少。結(jié)果，能夠提高處理設(shè)備的處理作業(yè)效率。
[0042]另外，處理裝置構(gòu)成為僅對主管理單元發(fā)送處理進(jìn)行信息，因而處理裝置的控制負(fù)荷不會因運送管理單元所實行的預(yù)備運送控制而增加。
[0043]另一方面，運送管理單元的控制負(fù)荷由于監(jiān)視從處理裝置對主管理單元發(fā)送的處理進(jìn)行信息并同時實行預(yù)備運送控制而增加，但運送管理單元的控制負(fù)荷與管理大量信息所需的主管理單元或處理裝置相比是本來很小的負(fù)荷。因此，作為構(gòu)成運送管理單元的控制器，即使欲實行預(yù)備運送控制，也能夠用容量小的廉價裝置實現(xiàn)。
[0044]總之，依照本申請發(fā)明的第一特征構(gòu)成，能夠提供以下處理設(shè)備:其能夠避免處理裝置的控制負(fù)荷的增加并同時還謀求處理作業(yè)效率的提高。
[0045]本發(fā)明的處理設(shè)備的第二特征構(gòu)成除了上述第一特征構(gòu)成之外在于以下這點: 前述運送管理單元構(gòu)成為:基于作為前述處理進(jìn)行信息的前述運出要求信息，將前述
處理對象物的處理結(jié)束的處理裝置作為前述預(yù)備運送起點選出。
[0046]S卩，運送管理單元基于從處理裝置對主管理單元作為處理進(jìn)行信息發(fā)送的運出要求信息，將處理對象物的處理結(jié)束的處理裝置作為預(yù)備運送起點選出。
[0047]而且，從處理裝置對主管理單元作為處理進(jìn)行信息發(fā)送的運出要求信息是處理裝置直接要求處理對象物的運出的信息，因而如果存在該運出要求信息，那么能夠直接將運出處理對象物的處理裝置作為預(yù)備運送起點選出。因此，運送管理單元僅僅監(jiān)視運出要求信息的有無即可，能夠通過實行預(yù)備運送控制而抑制運送管理單元的控制負(fù)荷增加。
[0048]總之，依照本發(fā)明的第二特征構(gòu)成，能夠提供以下處理設(shè)備:除了上述第一特征構(gòu)成的作用效果之外，能夠抑制預(yù)備運送控制的實行引起的運送管理單元的控制負(fù)荷的增加。
[0049]本發(fā)明的處理設(shè)備的第三特征構(gòu)成除了上述第一特征構(gòu)成之外在于以下這點: 前述多個處理裝置構(gòu)成為對前述主管理單元發(fā)送前述處理對象物的處理進(jìn)展信息作
為前述處理進(jìn)行信息，
前述運送管理單元構(gòu)成為:基于作為前述處理進(jìn)行信息的前述處理進(jìn)展信息，將前述處理對象物的處理為臨近結(jié)束的處理裝置作為前述預(yù)備運送起點選出。
[0050]S卩，運送管理單元基于從處理裝置對主管理單元作為處理進(jìn)行信息發(fā)送的處理進(jìn)展信息，將處理對象物的處理為臨近結(jié)束的狀態(tài)的處理裝置作為預(yù)備運送起點選出。
[0051]S卩，處理進(jìn)展信息為表示處理裝置針對處理對象物的處理的進(jìn)展?fàn)顩r的信息，因而能夠基于該處理進(jìn)展信息來判斷處理裝置針對處理對象物的處理是否臨近結(jié)束，能夠?qū)⑴R近結(jié)束的處理裝置作為預(yù)備運送起點選出。
[0052]這樣，由于能夠?qū)⑨槍μ幚韺ο笪锏奶幚砼R近結(jié)束的處理裝置作為預(yù)備運送起點選出，因而能夠使用將從該臨近結(jié)束的時刻直到處理裝置完成處理的時刻的時間和主管理單元制作運送指令信息所需的時間相加后的時間用作用于使運送車行駛至預(yù)備運送起點的處理裝置的時間。因此，能夠使在處理裝置結(jié)束處理對象物的處理之后等待運送車到達(dá)的時間確實減少。
[0053]總之，依照本發(fā)明的第三特征構(gòu)成，能夠提供以下處理設(shè)備:除了上述第一特征構(gòu)成的作用效果之外，能夠使在處理裝置結(jié)束處理對象物的處理之后等待運送車的到達(dá)的時間確實減少。
[0054]本發(fā)明的處理設(shè)備的第四特征構(gòu)成除了上述第三特征構(gòu)成之外在于以下這點: 前述運送管理單元構(gòu)成為:將前述處理對象物的處理的進(jìn)展?fàn)顩r為比該處理的完成時
刻靠前的預(yù)定進(jìn)展?fàn)顩r的處理裝置作為前述處理對象物的處理為臨近結(jié)束的狀態(tài)的處理裝置，將該處理裝置作為前述預(yù)備運送起點選出。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0055]圖1是本發(fā)明的第一實施方式所涉及的處理設(shè)備的概略平面圖。
[0056]圖2是示出本發(fā)明的第一實施方式所涉及的運送車的正面圖。
[0057]圖3是示出本發(fā)明的第一實施方式所涉及的控制構(gòu)成的框圖。
[0058]圖4是示出本發(fā)明的第一實施方式所涉及的通信狀態(tài)的時間表。
[0059]圖5是示出本發(fā)明的第二實施方式所涉及的控制構(gòu)成的框圖。
【具體實施方式】
[0060][第一實施方式]
基于【專利附圖】
【附圖說明】本發(fā)明的第一實施方式。
[0061]如圖1和圖2所示，以經(jīng)由多個處理裝置I和貯存裝置Q(在本例中，多個貯存裝置Q)的狀態(tài)在頂板側(cè)設(shè)置有行駛軌道2。構(gòu)成有處理設(shè)備，該處理設(shè)備裝備有沿著沿該行駛軌道2形成的運送線S行駛的頂板運送式的運送車3 (在本例中，多臺運送車3)，由運送車3運送并處理在收納容器內(nèi)收納了多塊半導(dǎo)體基板的處理對象物4。
[0062]如圖2所示，行駛軌道2由懸掛支撐用托架5以固定狀態(tài)設(shè)置于頂板部，另外，運送車3構(gòu)成為以懸掛支撐于行駛軌道2的狀態(tài)沿著運送線S行駛(在本例中，在一個方向上行駛)。而且，運送車3構(gòu)成為在停止于針對處理裝置I或貯存裝置Q的移載部位的狀態(tài)下進(jìn)行處理對象物4的接收或交付。
[0063]多個處理裝置I是進(jìn)行半導(dǎo)體基板的洗凈處理、干燥處理、蝕刻處理等不同的多個工序的處理的多種裝置，在本實施方式中，在多個處理裝置I之中，存在有多個進(jìn)行相同工序的處理的處理裝置。
[0064]另外，在多個處理裝置I中的每一個中，如圖1和圖2所示，設(shè)有移載工位1A。
[0065]該移載工位IA是用于進(jìn)行從運送車3接收在處理裝置I進(jìn)行處理的處理對象物4或?qū)⒃谔幚硌b置I進(jìn)行了處理的處理對象物4交付(移載)至運送車3的載置部。雖然未例示，但在處理裝置I中裝備有基板移載裝置，其從載置于移載工位IA的處理對象物4中的收納容器取出半導(dǎo)體基板，將處理后的半導(dǎo)體基板收納于收納容器。
[0066]貯存裝置Q是用于暫時保管處理對象物4的裝置，與處理裝置I同樣，在貯存裝置Q中，也如圖1所示設(shè)有移載工位Qa。
[0067]例如，貯存裝置Q沿縱橫具備多個處理對象物4的收納部而構(gòu)成。雖然未例示，但在貯存裝置Q中裝備有運送單元，其在移載工位Qa與收納部之間運送處理對象物4。
[0068]在運送車3中，如圖2所示，具備在行駛軌道2上行駛的行駛驅(qū)動部3A、以及以位于行駛軌道2下方的狀態(tài)懸掛支撐于行駛驅(qū)動部3A的支撐部3B。在支撐部3B，升降操作自如地具備以懸掛狀態(tài)把持處理對象物4的把持部6。
[0069]把持部6構(gòu)成為:利用由金屬絲或帶等構(gòu)成的索狀體7相對于支撐部3B被懸掛支撐，通過索狀體7的卷繞而上升，通過索狀體7的放出而下降。另外，把持部6構(gòu)成為自如切換為把持作用狀態(tài)和把持解除狀態(tài)。
[0070]所以，運送車3構(gòu)成為:在停止于針對處理裝置I和貯存裝置Q的移載部位的狀態(tài)下，使把持部6升降且將把持部6切換為把持作用狀態(tài)和把持解除狀態(tài)，由此，相對于處理裝置I的移載工位IA或貯存裝置Q的移載工位Qa而進(jìn)行交付處理對象物4或從這些移載工位1A、Qa接收處理對象物4。
[0071]運送線S以具備以下構(gòu)件的狀態(tài)形成:環(huán)狀的主路徑10 ;多個環(huán)狀的副路徑11 ；以及連結(jié)路徑12，其用于連結(jié)主路徑10和副路徑11而進(jìn)行運送車3的從主路徑10向副路徑11的分支行駛或從副路徑11向主路徑10的匯合行駛。
[0072]而且，處理裝置I以沿著環(huán)狀副路徑11的路徑方向并列的狀態(tài)設(shè)置，貯存裝置Q以位于環(huán)狀主路徑10與環(huán)狀副路徑11的連結(jié)部位的狀態(tài)設(shè)置。
[0073]所以，在本實施方式的處理設(shè)備中，為了對處理對象物4中的半導(dǎo)體基板依次進(jìn)行多個不同的處理工序，相對于進(jìn)行不同工序的處理的多種處理裝置I依次運送處理對象物4。而且，在進(jìn)行處理對象物4的接下來工序的處理的處理裝置I實行針對其它處理對象物4的處理的情況下等，將處理對象物4暫時貯存于貯存裝置Q。
[0074]接著，說明用于運送處理對象物4的控制構(gòu)成。
[0075]如圖3所示，設(shè)有作為管理處理設(shè)備全體的主管理單元的上位控制器JC、以及作為管理運送車3的運送管理單元的運送控制器HC。
[0076]在本實施方式中，運送控制器HC構(gòu)成為除了運送車3之外還管理多個貯存裝置Q。
[0077]上位控制器JC、運送控制器HC和多個處理裝置I使用通信LAN等而以能夠相互通信的方式連接。運送控制器HC和運送車3構(gòu)成為通過無線通信等而以能夠相互通信的方式構(gòu)成，運送控制器HC和貯存裝置Q通過通信線纜等而以能夠相互通信的方式連接。
[0078]在多個處理裝置I中裝備有控制器，其控制機(jī)器類的工作，并且實行與上位控制器JC之間的通信。
[0079]所以，處理裝置I通信是指該控制器實行通信控制。即，從處理裝置I對上位控制器JC的信息(例如，處理進(jìn)行信息)的發(fā)送由被處理裝置I控制的該控制器實行。
[0080]另外，在多個貯存裝置Q中，裝備有控制器，其控制上述運送單元的工作，并且實行與運送控制器HC之間的通信。
[0081 ] 所以，貯存裝置Q通信是指該控制器實行通信控制，貯存裝置Q將處理對象物4入庫和出庫是指該控制器控制運送單元的工作。
[0082]再者，在多個運送車3中裝備有控制器，其控制行駛工作、把持部6的升降工作、以及將把持部6切換為把持作用狀態(tài)和把持解除狀態(tài)的把持狀態(tài)切換工作,而且實行與運送控制器HC之間的通信。
[0083]所以，運送車3通信是指該控制器實行通信控制，運送車3行駛是指該控制器實行行駛控制。再者，運送車3移載處理對象物4是指該控制器實行把持部6的升降工作、以及把持部6的把持狀態(tài)切換工作。
[0084]多個處理裝置I中的每一個構(gòu)成為:基于針對處理對象物4的處理進(jìn)展?fàn)顩r，對上位控制器JC發(fā)送處理進(jìn)行信息，該處理進(jìn)行信息包含要求處理對象物4的運入的運入要求信息和要求處理對象物4的運出的運出要求信息。
[0085]S卩，處理裝置I在運轉(zhuǎn)開始時或處理對象物4剛被運出后不存在處理對象物4時，對上位控制器JC發(fā)送處理對象物4的運入要求信息作為處理進(jìn)行信息。
[0086]另外，多個處理裝置I中的每一個構(gòu)成為:基于針對處理對象物4的處理進(jìn)展?fàn)顩r，對上位控制器JC發(fā)送針對處理中的處理對象物4的處理的進(jìn)展信息(處理進(jìn)展信息)作為處理進(jìn)行信息。再者，多個處理裝置I中的每一個構(gòu)成為:如果針對處理對象物4的處理結(jié)束，則對上位控制器JC發(fā)送處理對象物4的運出要求信息作為處理進(jìn)行信息。
[0087]例如，處理裝置I所發(fā)送的處理的進(jìn)展信息是指以下信息:打開處理對象物4中的收納容器的蓋，開始從收納容器取出半導(dǎo)體基板，半導(dǎo)體基板的取出結(jié)束，將處理結(jié)束的第一塊半導(dǎo)體基板收納于收納容器，將處理結(jié)束的第η塊(η為2以上的整數(shù))半導(dǎo)體基板收納于收納容器，將處理結(jié)束的最后的半導(dǎo)體基板收納于收納容器，閉合收納容器的蓋，等
坐寸ο
[0088]在本實施方式中，將從處理裝置I中的處理(全體處理)的開始時刻直到該處理的完成時刻(結(jié)束時刻)的處理期間分為多個階段(進(jìn)展階段)來管理，并且與現(xiàn)在的進(jìn)展?fàn)顩r對應(yīng)的進(jìn)展階段的信息被包含于處理進(jìn)展信息。多個進(jìn)展階段中的每一個例如基于處理對象物4的構(gòu)成或處理裝置I中的處理的內(nèi)容等而設(shè)定。在上述示例中，在相互不同的多個(在本例中，七個)進(jìn)展階段實行以下各個工序:打開處理對象物4中的收納容器的蓋的工序，開始從收納容器取出半導(dǎo)體基板的工序，半導(dǎo)體基板的取出結(jié)束的工序，將處理結(jié)束的第一塊半導(dǎo)體基板收納于收納容器的工序，將處理結(jié)束的第η塊半導(dǎo)體基板收納于收納容器的工序，將處理結(jié)束的最后的半導(dǎo)體基板收納于收納容器的工序，閉合收納容器的蓋的工序。
[0089]在此，將包含處理裝置I中的全體處理的開始時刻的最初進(jìn)展階段作為“開始階段”，將包含處理裝置I中的全體處理的完成時刻的最后進(jìn)展階段作為“完成階段”，將“開始階段”與“完成階段”之間的進(jìn)展階段作為“中途階段”。在上述示例中，開始階段為實行將處理對象物4中的收納容器的蓋打開的工序的進(jìn)展階段，完成階段為實行將收納容器的蓋閉合的工序的進(jìn)展階段。[0090]上位控制器JC管理關(guān)于處理對象物4的多個處理工序的進(jìn)行信息、多個處理裝置I的處理狀況、以及貯存裝置Q中的處理對象物4的貯存狀況。而且，上位控制器JC構(gòu)成為:如果從多個處理裝置I發(fā)送運入要求信息和運出要求信息(即，如果接受運入要求信息和運出要求信息)，則基于關(guān)于處理對象物4的多個處理工序的進(jìn)行信息、多個處理裝置I的處理狀況、以及貯存裝置Q中的處理對象物4的貯存狀況等，制作表示處理對象物4的運送起點和運送終點的運送指令信息，對運送控制器HC發(fā)送該運送指令信息。
[0091]S卩，上位控制器JC如果接受運入要求信息，則選出用于運入發(fā)送了運入要求信息的處理裝置I的處理對象物4。該處理對象物4的選出多數(shù)從貯存于貯存裝置Q的處理對象物4之中選出，在將貯存于貯存裝置Q的處理對象物4選出的情況下，上位控制器JC對貯存裝置Q指示該處理對象物4的出庫。即，上位控制器JC對貯存裝置Q發(fā)送出庫指令信肩、O
[0092]此外，在本實施方式中，由于運送控制器HC構(gòu)成為管理貯存裝置Q，因而上位控制器JC在對貯存裝置Q指示處理對象物4的出庫的情況下，對運送控制器HC指示處理對象物4從貯存裝置Q的出庫。即，上位控制器JC對運送控制器HC發(fā)送出庫指令信息。基于該指令，運送控制器HC對貯存裝置Q指示出庫。
[0093]上位控制器JC如果選出應(yīng)當(dāng)運送的處理對象物4，則制作將接收該處理對象物4的部位作為運送起點且將發(fā)送了處理對象物4的運入要求信息的處理裝置I作為運送終點的運送指令信息，對運送控制器HC發(fā)送該運送指令信息。
[0094]運送控制器HC如果接受運送指令信息，則為了將運送起點的處理對象物4運送至運送終點的處理裝置I而控制運送車3的行駛。S卩，使運送車3行駛至接收處理對象物4的部位，接收處理對象物4，接著使運送車3行駛至作為運送終點的處理裝置I，將處理對象物4交付至作為運送終點的處理裝置I。
[0095]一般而言，裝備有多臺運送車3，非作業(yè)中等的能夠運送的運送車3被選擇作為用于運送處理對象物4的運送車3。
[0096]上位控制器JC如果接受運出要求信息，則將發(fā)送了運出要求信息的處理裝置I作為運送起點，制作將應(yīng)當(dāng)運送來自該處理裝置I的處理對象物4的部位作為運送終點的運送指令信息，對運送控制器HC發(fā)送。
[0097]在設(shè)定作為應(yīng)當(dāng)運送來自處理裝置I的處理對象物4的部位的運送終點時，上位控制器JC基于關(guān)于該處理對象物4的多個處理工序的進(jìn)行信息對運送的處理對象物4確認(rèn)接著處理的工序為哪種工序，確認(rèn)多個處理裝置I的現(xiàn)在的處理狀況，而且確認(rèn)貯存裝置Q的處理對象物4的貯存狀況，然后參考提高多個處理裝置I的運行率等條件并同時將適當(dāng)?shù)牟课辉O(shè)定為應(yīng)當(dāng)運送處理對象物4的部位。
[0098]在實際的運行中，應(yīng)當(dāng)運送處理對象物4的部位多數(shù)被定于貯存裝置Q，但也存在貯存裝置Q以外的部位被定為應(yīng)當(dāng)運送部位的情況。
[0099]例如，也存在以下情況:在運送指令信息的制作中或其之前從其它處理裝置I對上位控制器JC發(fā)送運入要求信息而且該處理裝置I為對處理對象物4進(jìn)行接著進(jìn)行的工序的處理的處理裝置I的情況下，該處理裝置I被定為應(yīng)當(dāng)運送處理對象物4的部位。
[0100]而且，上位控制器JC如果確定應(yīng)當(dāng)運送處理對象物4的部位，則制作將接收該處理對象物4的處理裝置I作為運送起點且將應(yīng)當(dāng)運送處理對象物4的部位作為運送終點的運送指令信息，對運送控制器HC發(fā)送該運送指令信息。
[0101]運送控制器HC構(gòu)成為:監(jiān)視從處理裝置I對上位控制器JC發(fā)送的處理進(jìn)行信息，實行預(yù)備運送控制。在此，“預(yù)備運送控制”是以下控制:在多個處理裝置I之中，將處理對象物4的處理結(jié)束的處理裝置I在從上位控制器JC發(fā)送運送指令信息以前作為預(yù)備運送起點選出，使運送車3相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置I而行駛。
[0102]S卩，如果從處理裝置I對上位控制器JC發(fā)送作為處理進(jìn)行信息的運出要求信息，則運送控制器HC將發(fā)送該運出要求信息的處理裝置I作為處理對象物4的處理結(jié)束的處理裝置I (換言之，判定為處理對象物4的處理結(jié)束的處理裝置I)，在從上位控制器JC發(fā)送運送指令信息以前，作為預(yù)備運送起點的處理裝置I而選出。
[0103]上位控制器JC與各處理裝置I之間的通信以從發(fā)送起點發(fā)送包含發(fā)送終點、發(fā)送起點和傳達(dá)信息的通信信息的方式進(jìn)行。運送控制器HC構(gòu)成為:監(jiān)視在上位控制器JC與各處理裝置I之間通信的通信信息，選出發(fā)送起點為處理裝置1、發(fā)送終點為上位控制器JC且傳達(dá)信息為運出要求信息的通信信息，由此選出發(fā)送運出要求信息的處理裝置I。
[0104]而且，運送控制器HC如果選出作為預(yù)備運送起點的處理裝置1，則為了從該處理裝置I運出處理對象物4而開始使運送車3相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置I行駛。
[0105]關(guān)于使多個運送車3中的任一運送車3行駛至作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置I，選擇多個運送車3之中的接近作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置I的運送車3 (例如，最近的運送車3)，其為未分配運送作業(yè)的運送車3。
[0106]另外，運送控制器HC在使運送車3相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置I的行駛開始之后，進(jìn)行運送車3是否到達(dá)處理裝置I的確認(rèn)、到達(dá)處理裝置I的運送車3結(jié)束了從處理裝置I接收處理對象物4的確認(rèn)等。如果運送車3從處理裝置I接收處理對象物4，則運送控制器HC以如下方式控制運送車3的行駛:基于從上位控制器JC發(fā)送的運送指令信息指定運送終點，將從處理裝置I接收的處理對象物4運送至運送終點。
[0107]運送控制器HC在運送車3向著處理裝置I行駛的途中接受在上位控制器JC制作的運送指令信息?；蛘撸?dāng)運送車3在運送指令信息的接受前到達(dá)處理裝置I時，使運送車3待機(jī)，并接受運送指令信息。
[0108]這樣，運送控制器HC如果選出作為預(yù)備運送起點的處理裝置1，則為了從該處理裝置I運出處理對象物4而開始使運送車3相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置I行駛。因此，能夠使在處理裝置I結(jié)束處理對象物4的處理之后等待運送車3到達(dá)的時間減少，結(jié)果，能夠提高處理設(shè)備的處理作業(yè)效率。
[0109]接著，基于圖4說明上位控制器JC、處理裝置I和運送控制器HC之間的通信流程。
[0110]此外，在以下的說明中，僅僅說明通信內(nèi)容的概要，通信內(nèi)容的細(xì)節(jié)省略。
[0111]另外，在上位控制器JC、處理裝置I和運送控制器HC之間的通信中，如果接受所發(fā)送的通信信息，則對發(fā)送起點發(fā)送表示已接受的應(yīng)答信息，由此確認(rèn)所發(fā)送的通信信息被適當(dāng)?shù)亟邮埽趹?yīng)答信息未被發(fā)送的情況下，進(jìn)行再次發(fā)送通信信息，但在以下的說明中，關(guān)于應(yīng)答信息的發(fā)送的記載省略。
[0112]首先，如果從處理裝置I對上位控制器JC發(fā)送運入要求信息，則上位控制器JC如上所述將運送至發(fā)送了運入要求信息的處理裝置I的處理對象物4的運送起點選出。[0113]然后，制作將接收該選出的處理對象物4的部位作為運送起點且將發(fā)送了處理對象物4的運入要求信息的處理裝置I作為運送終點的運送指令信息，對運送控制器HC發(fā)送該運送指令信息。
[0114]在運送起點為貯存裝置Q的情況下，上位控制器JC如上所述對運送控制器HC發(fā)送出庫指令信息。
[0115]運送控制器HC如果發(fā)送運送指令信息，則使選擇的運送車3行駛至運送起點，且在運送起點接收了處理對象物4之后使運送車3行駛至運送終點。如果運送車3到達(dá)運送終點，則將處理對象物4交付運送終點。
[0116]然后，如果處理對象物4的運送完成，則運送控制器HC對上位控制器JC發(fā)送表示運送已完成的運送完成信息。
[0117]上位控制器JC如果接受運送完成信息，則對處理裝置I發(fā)送處理開始指示信息。接受了處理開始信息的處理裝置I開始處理，然后對上位控制器JC發(fā)送上述處理的進(jìn)展信
肩、O
[0118]上位控制器JC基于從處理裝置I發(fā)送的處理的進(jìn)展信息而進(jìn)行管理處理裝置I的處理狀況的管理處理。
[0119]如果針對現(xiàn)在處理中的處理對象物4的處理結(jié)束，則處理裝置I對上位控制器JC發(fā)送作為處理進(jìn)行信息的運出要求信息。
[0120]上位控制器JC如果從處理裝置I發(fā)送運出要求信息，則設(shè)定運送終點作為應(yīng)當(dāng)運送來自發(fā)送運出要求信息的處理裝置I的處理對象物4的部位。
[0121]然后，如果設(shè)定運送終點，則上位控制器JC制作將發(fā)送運出要求信息的處理裝置I作為運送起點且將應(yīng)當(dāng)運送來自該處理裝置I的處理對象物4的部位作為運送終點的運送指令信息，對運送控制器HC發(fā)送該運送指令信息。
[0122]如果處理裝置I對上位控制器JC發(fā)送運出要求信息，則監(jiān)視在上位控制器JC與各處理裝置I之間通信的通信信息的運送控制器HC將發(fā)送運出要求信息的處理裝置I作為預(yù)備運送起點選出。
[0123]然后，運送控制器HC如果選出作為預(yù)備運送起點的處理裝置1，則為了從該處理裝置I運出處理對象物4而開始使運送車3相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置I行駛。
[0124]然后，如果運送車3相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置I到達(dá)，運送車3從處理裝置I接收處理對象物4，則運送控制器HC以如下方式控制運送車3的行駛:基于從上位控制器JC發(fā)送的運送指令信息而指定運送終點，將從處理裝置I接收的處理對象物4運送至運送終點。
[0125]運送控制器HC在運送車3向著處理裝置I行駛的途中接受在上位控制器JC制作的運送指令信息?；蛘?，當(dāng)運送車3在運送指令信息的接受前到達(dá)處理裝置I時，使運送車3待機(jī),并同時接受運送指令信息。
[0126]處理對象物4已被運出的處理裝置I對上位控制器JC發(fā)送運入要求信息，另外，如果處理對象物4的運送完成，則運送控制器HC對上位控制器JC發(fā)送表示運送已完成的運送完成信息。
[0127]接受了運入要求信息或運送完成信息的上位控制器JC如前所述將運送至發(fā)送了運入要求信息的處理裝置I的處理對象物4的運送起點選出，制作將接收該選出的處理對象物4的部位作為運送起點且將發(fā)送了處理對象物4的運入要求信息的處理裝置I作為運送終點的運送指令信息，對運送控制器HC發(fā)送該運送指令信息。
[0128][第二實施方式]
接著，說明第二實施方式。該第二實施方式中，運送控制器HC的構(gòu)成與第一實施方式不同，但是其它構(gòu)成與第一實施方式相同。因此，在以下的說明中，僅僅說明與第一實施方式不同的部分。
[0129]如圖5所示，在該第二實施方式中，運送控制器HC由與上位控制器JC通信的物流控制器15、與該物流控制器15通信且管理運送車3的運轉(zhuǎn)的運送控制控制器16、以及與物流控制器15通信且管理貯存裝置Q的運轉(zhuǎn)的貯存控制器17構(gòu)成。
[0130]物流控制器15對運送控制控制器16發(fā)送從上位控制器JC發(fā)送的運送指令信息，對貯存控制器17發(fā)送從上位控制器JC發(fā)送的出庫指令信息等與貯存裝置Q相關(guān)的信息。
[0131]另外，物流控制器15監(jiān)視從處理裝置I對上位控制器JC發(fā)送的處理進(jìn)行信息，在多個處理裝置I之中，將處理對象物4的處理結(jié)束的處理裝置I在從上位控制器JC發(fā)送運送指令信息以前作為預(yù)備運送起點選出，向運送控制控制器16指示使運送車3相對于作為預(yù)備運送起點選出的處理裝置I行駛的預(yù)備行駛指令。
[0132]運送控制控制器16如果從物流控制器15被指示預(yù)備行駛指令，則開始使運送車3向著被指示的處理裝置I行駛。另外，運送控制控制器16如果從物流控制器15發(fā)送運送指令信息，則為了將從通過預(yù)備行駛指令行駛的處理裝置I接收的處理對象物4運送至通過運送指令信息指定的運送終點而控制運送車3的行駛。
[0133]該第二實施方式為在構(gòu)成使處理裝置1、貯存裝置Q和運送車3的設(shè)置數(shù)量增加的大型設(shè)備的情況下優(yōu)選的構(gòu)成。
[0134]而且，在這樣構(gòu)成大型設(shè)備的情況下，也可以裝備與上位控制器JC通信且與多個處理裝置I中的每一個通信的中繼控制器，經(jīng)由該中繼控制器進(jìn)行在上位控制器JC與多個處理裝置I中的每一個之間的通信。
[0135][其它實施方式]
接著，列舉其它實施方式。
[0136](I)在上述第一和第二實施方式中，列舉了基于運出要求信息而將作為預(yù)備運送起點的處理裝置I選出的情況，但是在處理裝置I發(fā)送處理進(jìn)展信息作為處理進(jìn)行信息的情況下，能夠基于該處理進(jìn)展信息而認(rèn)知該處理裝置I中的處理的進(jìn)展?fàn)顩r。因此，也可以以下方式實施:運送管理單元(運送控制器He)基于作為處理進(jìn)行信息的處理進(jìn)展信息，將處理對象物4的處理臨近結(jié)束的處理裝置I在從主管理單元(上位控制器JC)發(fā)送運送指令信息以前作為預(yù)備運送起點的處理裝置I選出。
[0137]S卩，在上述第一和第二實施方式中，作為處理進(jìn)展信息，從處理裝置I發(fā)送以下信息:打開處理對象物4中的收納容器的蓋，開始從收納容器取出半導(dǎo)體基板，半導(dǎo)體基板的取出結(jié)束，將處理結(jié)束的第一塊半導(dǎo)體基板收納于收納容器，將處理結(jié)束的第η塊半導(dǎo)體基板收納于收納容器，將處理結(jié)束的最后的半導(dǎo)體基板收納于收納容器，閉合收納容器的蓋，等等。在此情況下，例如，也可以以下方式實施:運送管理單元預(yù)先監(jiān)視將處理結(jié)束的最后的半導(dǎo)體基板收納于收納容器的信息，將發(fā)送該信息的處理裝置I作為處理對象物4的處理臨近結(jié)束的處理裝置I而檢測出(換言之，判定為處理對象物4的處理臨近結(jié)束的處理裝置I)，在從主管理單元發(fā)送運送指令信息以前，作為預(yù)備運送起點的處理裝置I選出。
[0138]在此，在上述第一和第二實施方式中，處理裝置I的處理期間分為多個進(jìn)展階段被管理。另外，在上述示例中，發(fā)送將處理結(jié)束的最后的半導(dǎo)體基板收納于收納容器的信息的處理裝置I被判定為處理對象物4的處理臨近結(jié)束的處理裝置I。在此情況下，處于實行將處理結(jié)束的最后的半導(dǎo)體基板收納于收納容器的工序的進(jìn)展階段的處理裝置I被判定為處理對象物4的處理臨近結(jié)束的處理裝置I。而且，在此情況下，用于判定處理對象物4的處理為臨近結(jié)束的狀態(tài)的進(jìn)展階段(以下，稱為“特定進(jìn)展階段”)成為完成階段的前一個的中途階段。即，與特定進(jìn)展階段對應(yīng)的進(jìn)展?fàn)顩r成為比處理對象物4中的處理的完成時刻靠前的預(yù)定進(jìn)展?fàn)顩r。所以，在此情況下，運送管理單元成為以下構(gòu)成:將處理對象物4的處理的進(jìn)展?fàn)顩r為比該處理的完成時刻靠前的預(yù)定進(jìn)展?fàn)顩r(以下，稱為“特定進(jìn)展?fàn)顩r”)的處理裝置I判定為處理對象物4的處理臨近結(jié)束的狀態(tài)的處理裝置I。換言之，運送管理單元成為以下構(gòu)成:將處理對象物4的處理的進(jìn)展階段為特定進(jìn)展階段的處理裝置I判定為處理對象物4的處理臨近結(jié)束的狀態(tài)的處理裝置I。
[0139]此外，不僅僅完成階段的前一個的中途階段，還能夠為完成階段的前兩個以上的中途階段被設(shè)定為特定進(jìn)展階段的構(gòu)成。另外，在特定進(jìn)展階段具有某一程度的時間長度的情況下，還能夠?qū)⑻囟ㄟM(jìn)展?fàn)顩r作為與特定進(jìn)展階段中的特定時刻(例如，特定進(jìn)展階段的開始時刻或結(jié)束時刻)對應(yīng)的進(jìn)展?fàn)顩r。在此情況下，能夠?qū)⑼瓿呻A段設(shè)定為特定進(jìn)展階段，例如，能夠為以下構(gòu)成:與完成階段的開始時刻對應(yīng)的進(jìn)展?fàn)顩r被設(shè)定為特定進(jìn)展?fàn)顩r。
[0140](2)在上述第一和第二實施方式中，列舉了沿著設(shè)置于頂板側(cè)的行駛軌道2行駛的懸掛式運送車3，但是作為運送車3，能夠適用在地面行駛的地面行駛式的臺車等各種方式的運送車。
[0141](3)在上述第一和第二實施方式中，列舉了運送線S由環(huán)狀主路徑10、多個環(huán)狀副路徑11、連結(jié)主路徑10和副路徑11的多個連結(jié)路徑12構(gòu)成的情況，但是運送線S的具體構(gòu)成能夠進(jìn)行各種變更。
[0142](4)在上述第一和第二實施方式中，列舉了將收納半導(dǎo)體基板的收納容器作為處理對象物4來運送的情況，但是作為處理對象物4，并不限于收納半導(dǎo)體基板的收納容器，本發(fā)明能夠適用于將各種處理物作為處理對象物運送。
[0143](5)雖然在上述第一和第二實施方式中未列舉，但是也可與處理裝置I對應(yīng)而以裝備處理對象物4的暫時放置部的方式實施。在此情況下，在基于運出要求信息來設(shè)定處理對象物4的運送終點時，即使進(jìn)行接著進(jìn)行的工序的處理的處理裝置I在現(xiàn)在處理中，也能夠?qū)⒃撎幚硌b置I的暫時放置部定為應(yīng)當(dāng)運送部位。
[0144]在此情況下，在裝備暫時放置部的處理裝置I發(fā)送了運入要求信息時，當(dāng)處理對象物4存在于與該處理裝置I對應(yīng)的暫時放置部時，該處理對象物4作為運送起點的處理對象物被優(yōu)先選出。
[0145]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
本發(fā)明能夠優(yōu)選地利用于設(shè)有運送車的處理設(shè)備，該運送車沿著經(jīng)由多個處理裝置和貯存處理對象物的貯存裝置的運送線行駛而運送處理對象物。[0146]符號說明
I處理裝置
3運送車
4處理對象物
HC運送控制器(運送管理單元)
JC上位控制器(主管理單元)
Q貯存裝置
5運送線。
【權(quán)利要求】
1.一種處理設(shè)備，設(shè)有運送車，該運送車沿著運送線行駛而運送處理對象物，該運送線經(jīng)由對所述處理對象物進(jìn)行不同工序的處理的多個處理裝置和貯存所述處理對象物的貯存裝置， 所述多個處理裝置中的每一個構(gòu)成為對主管理單元發(fā)送處理進(jìn)行信息，該處理進(jìn)行信息包含要求所述處理對象物的運入的運入要求信息、以及要求所述處理對象物的運出的運出要求信息， 所述主管理單元構(gòu)成為:如果所述運入要求信息和所述運出要求信息被發(fā)送，則制作表示所述處理對象物的運送起點和運送終點的運送指令信息，對運送管理單元發(fā)送該運送指令信息， 所述運送管理單元構(gòu)成為基于所述運送指令信息來控制所述運送車的行駛，其中， 所述運送管理單元構(gòu)成為實行以下預(yù)備運送控制:監(jiān)視從所述處理裝置對所述主管理單元發(fā)送的所述處理進(jìn)行信息，在多個所述處理裝置之中，將所述處理對象物的處理結(jié)束或臨近結(jié)束的處理裝置在從所述主管理單元發(fā)送所述運送指令信息以前作為預(yù)備運送起點選出，使所述運送車相對于作為所述預(yù)備運送起點選出的所述處理裝置而行駛。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理設(shè)備，其特征在于，所述運送管理單元構(gòu)成為:基于作為所述處理進(jìn)行信息的所述運出要求信息，將所述處理對象物的處理為結(jié)束狀態(tài)的處理裝置作為所述預(yù)備運送起點選出。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理設(shè)備，其特征在于， 所述多個處理裝置構(gòu)成為對所述主管理單元發(fā)送所述處理對象物的處理進(jìn)展信息作為所述處理進(jìn)行信息， 所述運送管理單元構(gòu)成為:基于作為所述處理進(jìn)行信息的所述處理進(jìn)展信息，將所述處理對象物的處理為臨近結(jié)束的狀態(tài)的處理裝置作為所述預(yù)備運送起點選出。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的處理設(shè)備，其特征在于，所述運送管理單元構(gòu)成為:將所述處理對象物的處理的進(jìn)展?fàn)顩r為比該處理的完成時刻靠前的預(yù)定進(jìn)展?fàn)顩r的處理裝置作為所述處理對象物的處理為臨近結(jié)束的狀態(tài)的處理裝置，將該處理裝置作為所述預(yù)備運送起點選出。
【文檔編號】B65G1/00GK103703424SQ201280037374
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2012年7月4日 優(yōu)先權(quán)日:2011年7月28日
【發(fā)明者】鈴木正美 申請人:株式會社大福
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