自潔凈搬運(yùn)方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種自潔凈搬運(yùn)方法，包括：(1)、提供至少一個能夠在指定位置之間往復(fù)移動的可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置；(2)、當(dāng)可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置到達(dá)一指定位置準(zhǔn)備裝載貨物之前，可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置利用其自帶的潔凈氣源吹掃系統(tǒng)對附近環(huán)境進(jìn)行潔凈吹掃；(3)、當(dāng)可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置自帶的探測系統(tǒng)探測到附近環(huán)境滿足凈化要求之后，開啟可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置的艙門并將貨物接收于其內(nèi)；(4)、關(guān)閉可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置的艙門之后停止?jié)崈魵庠创祾呦到y(tǒng)對附近環(huán)境的吹掃；以及(5)、可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置將貨物從一指定位置運(yùn)送至另一指定位置。
【專利說明】自潔凈搬運(yùn)方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種工件搬運(yùn)方法，尤其涉及一種在平板顯示和微電子加工生產(chǎn)中搬運(yùn)基底材料的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著平板顯示行業(yè)的快速發(fā)展和進(jìn)一步技術(shù)要求，自動化搬運(yùn)技術(shù)得到不斷提升。目前平板顯示生產(chǎn)貨物搬運(yùn)過程中，存在著這樣一個客觀事實，儲料器(Stocker)之間的貨物搬運(yùn)采用AGV或RGV等非密閉搬運(yùn)系統(tǒng)，由于基板直接與周圍環(huán)境接觸，因此對環(huán)境的凈化等級要求極高，同時上道工序殘留在基板上的化學(xué)物質(zhì)容易直接擴(kuò)散至開敞的環(huán)境中，形成交叉污染，降低良品率。
[0003]同時，隨著技術(shù)提升的要求，基板的加工尺寸不斷增大，維持高凈化等級的設(shè)備投入和運(yùn)維費用亦巨幅增加。因此，對平板顯示生產(chǎn)中自動化搬運(yùn)系統(tǒng)的自凈化技術(shù)提出革命性的要求。
[0004]因此，業(yè)內(nèi)急需解決如下問題:以儲料器之間的貨物搬運(yùn)為例，利用自潔凈搬運(yùn)方法來替代開敞式搬運(yùn)系統(tǒng)，以降低對周圍環(huán)境的潔凈等級要求，削減凈化系統(tǒng)的初始投資和運(yùn)維費用，降低產(chǎn)品的生產(chǎn)成本；同時利用密閉的搬運(yùn)系統(tǒng)，避免基板上殘留的化學(xué)物質(zhì)向環(huán)境擴(kuò)散，避免交叉污染，提高良品率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的首要目的在于:提供一種自潔凈搬運(yùn)方法，在較低的的凈化等級環(huán)境下進(jìn)行儲料器之間的貨物搬運(yùn)，同時避免殘留的化學(xué)物質(zhì)擴(kuò)散至環(huán)境中，從而實現(xiàn)避免交叉污染，提高良品率的目的。
[0006]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:利用一種封閉式自凈化搬運(yùn)系統(tǒng)，將儲料器中的貨物搬運(yùn)至微凈化的搬運(yùn)艙內(nèi)，通過搬運(yùn)艙的氣體保護(hù)和自帶的凈化潔凈氣源吹掃系統(tǒng)，形成局部凈化微環(huán)境，保證搬運(yùn)路徑的凈化要求，從而降低整個生產(chǎn)環(huán)境的凈化等級，同時利用本搬運(yùn)系統(tǒng)的封閉特性，防止殘留在基板上的化學(xué)物質(zhì)向環(huán)境擴(kuò)散。
[0007]根據(jù)本發(fā)明，提供一種自潔凈搬運(yùn)方法，包括:⑴、提供至少一個能夠在指定位置之間往復(fù)移動的可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置；(2)、當(dāng)可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置到達(dá)一指定位置準(zhǔn)備裝載貨物之前，可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置利用其自帶的潔凈氣源吹掃系統(tǒng)對附近環(huán)境進(jìn)行潔凈吹掃；(3)、當(dāng)可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置自帶的探測系統(tǒng)探測到附近環(huán)境滿足凈化要求之后，開啟可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置的艙門并將貨物接收于其內(nèi)；(4)、關(guān)閉可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置的艙門之后停止?jié)崈魵庠创祾呦到y(tǒng)對附近環(huán)境的吹掃；以及(5)、可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置將貨物從一指定位置運(yùn)送至另一指定位置。
[0008]可選擇地，潔凈氣源吹掃系統(tǒng)還可以用于向可移動潔凈搬運(yùn)艙內(nèi)提供凈化氣體。
[0009]可選擇地，潔凈氣源吹掃系統(tǒng)可以主要對可移動潔凈搬運(yùn)艙的艙門附近進(jìn)行潔凈吹掃。[0010]優(yōu)選地，可移動潔凈搬運(yùn)艙內(nèi)的氣壓可以設(shè)定為略小于儲料器內(nèi)的氣壓但略高于周邊環(huán)境氣壓。從而形成帶有過濾系統(tǒng)的封閉的微潔凈環(huán)境，其艙內(nèi)氣壓略高于周邊環(huán)境，但略小于儲料器內(nèi)氣壓，保證貨物在搬運(yùn)過程中不被污染，同時防止有害物質(zhì)向環(huán)境擴(kuò)散。
[0011]本發(fā)明的有益效果是:利用自潔凈搬運(yùn)方法來替代開敞式搬運(yùn)系統(tǒng)，以降低對周圍環(huán)境的潔凈等級要求，最大程度上實現(xiàn)削減凈化系統(tǒng)的初始投資和運(yùn)維費用，降低產(chǎn)品的生產(chǎn)成本；同時利用密閉的搬運(yùn)系統(tǒng)，避免基板上殘留的化學(xué)物質(zhì)向環(huán)境擴(kuò)散，避免交叉污染，提聞良品率。
【具體實施方式】
[0012]本發(fā)明提出一種自潔凈搬運(yùn)方法，其包括以下步驟:(I)、提供至少一個能夠在指定位置之間往復(fù)移動的可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置，比如安裝了潔凈搬運(yùn)倉的小車；(2)、當(dāng)可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置到達(dá)一指定位置準(zhǔn)備裝載貨物之前，可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置利用其自帶的潔凈氣源吹掃系統(tǒng)對附近環(huán)境進(jìn)行潔凈吹掃；可選擇地，潔凈氣源吹掃系統(tǒng)可以主要對可移動潔凈搬運(yùn)艙的艙門附近進(jìn)行潔凈吹掃；可選擇地，潔凈氣源吹掃系統(tǒng)還可以用于向可移動潔凈搬運(yùn)艙內(nèi)提供凈化氣體；優(yōu)選地，可移動潔凈搬運(yùn)艙內(nèi)的氣壓可以設(shè)定為略小于儲料器內(nèi)的氣壓但略高于周邊環(huán)境氣壓，從而保證貨物在搬運(yùn)過程中不被污染，同時防止有害物質(zhì)向環(huán)境擴(kuò)散；(3)、當(dāng)可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置自帶的探測系統(tǒng)探測到附近環(huán)境滿足凈化要求之后，開啟可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置的艙門并將貨物接收于其內(nèi)，比如采用設(shè)置于可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置內(nèi)的機(jī)械手裝置；(4)、關(guān)閉可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置的艙門之后停止?jié)崈魵庠创祾呦到y(tǒng)對附近環(huán)境的吹掃；以及(5)、可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置將貨物從一指定位置運(yùn)送至另一指定位置。
[0013]作為一種非限制性示例實施方式，首先，當(dāng)可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置到達(dá)指定位置后，系統(tǒng)發(fā)送開啟信號至潔凈氣源吹掃系統(tǒng)。潔凈氣源吹掃系統(tǒng)利用自帶潔凈氣源對附近環(huán)境進(jìn)行潔凈吹掃，保證搬運(yùn)艙和周邊環(huán)境凈化等級。搬運(yùn)艙內(nèi)氣壓略高于周邊環(huán)境，但略小于儲料器室內(nèi)氣壓，以保證搬運(yùn)搬運(yùn)過程中搬運(yùn)艙不被污染，同時不污染儲料器。當(dāng)潔凈探測器探測附近環(huán)境滿足凈化要求后，發(fā)送開啟信號至艙門開關(guān)裝置。艙門開關(guān)裝置接收到開啟信號后，潔凈搬運(yùn)艙艙門打開，同時機(jī)械手伸出搬運(yùn)艙，機(jī)械手上安裝的可轉(zhuǎn)動托盤可以調(diào)整貨物擺放角度。接收到貨物后，機(jī)械手收回搬運(yùn)艙內(nèi)，同時發(fā)出關(guān)閉信號至艙門開關(guān)裝置。艙門開關(guān)裝置接收到關(guān)閉信號后，艙門關(guān)閉，使搬運(yùn)艙完全封閉。待搬運(yùn)艙完全封閉后，發(fā)出關(guān)閉信號至潔凈氣源吹掃系統(tǒng)。潔凈氣源吹掃系統(tǒng)接收到關(guān)閉信號后，切斷潔凈氣源。之后，可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置將貨物從一指定位置運(yùn)送至另一指定位置。
[0014]可替代地，可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置可以為基于軌道或傳送帶的運(yùn)輸裝置。
[0015]可替代地，貨物可以通過人工裝載于可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置的艙內(nèi)。
[0016]盡管在此已詳細(xì)描述本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，但要理解的是本發(fā)明并不局限于這里詳細(xì)描述和示出的具體結(jié)構(gòu)，在不偏離本發(fā)明的實質(zhì)和范圍的情況下可由本領(lǐng)域的技術(shù)人員實現(xiàn)其它的變型和變體。
【權(quán)利要求】
1.一種自潔凈搬運(yùn)方法，包括: (1)、提供至少一個能夠在指定位置之間往復(fù)移動的可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置； (2)、當(dāng)所述可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置到達(dá)一指定位置準(zhǔn)備裝載貨物之前，所述可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置利用其自帶的潔凈氣源吹掃系統(tǒng)對附近環(huán)境進(jìn)行潔凈吹掃； (3)、當(dāng)所述可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置自帶的探測系統(tǒng)探測到附近環(huán)境滿足凈化要求之后，開啟所述可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置的艙門并將貨物接收于其內(nèi)； (4)、關(guān)閉所述可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置的艙門之后停止所述潔凈氣源吹掃系統(tǒng)對附近環(huán)境的吹掃；以及 (5)、所述可移動潔凈搬運(yùn)艙裝置將所述貨物從所述一指定位置運(yùn)送至另一指定位置。
2.如權(quán)利要求1所述的自潔凈搬運(yùn)方法，其特征在于，所述潔凈氣源吹掃系統(tǒng)還用于向所述可移動潔凈搬運(yùn)艙內(nèi)提供凈化氣體。
3.如權(quán)利要求1所述的自潔凈搬運(yùn)方法，其特征在于，所述潔凈氣源吹掃系統(tǒng)主要對所述可移動潔凈搬運(yùn)艙的艙門附近進(jìn)行潔凈吹掃。
4.如權(quán)利要求1-3中任一項所述的自潔凈搬運(yùn)方法，其特征在于，所述可移動潔凈搬運(yùn)艙內(nèi)的氣壓設(shè)定為小于儲料器內(nèi)的氣壓但高于周邊環(huán)境氣壓。
【文檔編號】B65G49/06GK103625926SQ201310015102
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年1月16日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月16日
【發(fā)明者】杜曉陽, 徐剛 申請人:世源科技工程有限公司