具有缺陷檢測(cè)功能的工件傳輸裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種具有缺陷檢測(cè)功能的工件傳輸裝置，涉及半導(dǎo)體加工制造【技術(shù)領(lǐng)域】。該工件傳輸裝置，用于連接工件提供裝置和工件處理裝置。其中，所述工件傳輸裝置包括：設(shè)置在所述工件提供裝置和工件處理裝置之間的支撐組件；設(shè)置在所述支撐組件上，用于接受工件提供裝置提供的工件，并將所述工件傳送到所述工件處理裝置的傳動(dòng)組件；設(shè)置在所述支撐組件上、用于為所述傳動(dòng)組件提供傳送動(dòng)力的動(dòng)力組件；設(shè)置在所述傳動(dòng)組件側(cè)，用于對(duì)所述工件進(jìn)行缺陷檢測(cè)處理的缺陷檢測(cè)組件。本發(fā)明的技術(shù)方案對(duì)工件采用傳送的方式，另外在傳送過程中還可以對(duì)工件進(jìn)行缺陷檢測(cè)處理，能夠減少工件傳遞和缺陷檢測(cè)處理的時(shí)間消耗，提高工件處理效率。
【專利說明】具有缺陷檢測(cè)功能的工件傳輸裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工制造【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是指一種具有缺陷檢測(cè)功能的工件傳輸裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體器件(如集成電路、LED等)處理加工過程中，在一個(gè)加工工位對(duì)工件完成相應(yīng)處理后，往往需要從當(dāng)前加工工位轉(zhuǎn)移到另外一個(gè)加工工位進(jìn)行下一步處理，現(xiàn)有技術(shù)中一般是由工件處理裝置在加工工位之間搬運(yùn)工件，由于加工工位之間存在一定距離，而工件處理裝置的運(yùn)動(dòng)速度有限，因此工件的傳輸和處理效率比較低，進(jìn)而導(dǎo)致工件的生產(chǎn)成本比較高。
[0003]另外，在工件進(jìn)入工件處理裝置之前，還需要對(duì)工件進(jìn)行各種預(yù)處理，進(jìn)一步增加了時(shí)間消耗。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種具有缺陷檢測(cè)功能的工件傳輸裝置，對(duì)工件采用傳送的方式，并在傳送過程中對(duì)工件進(jìn)行缺陷檢測(cè)處理，能夠減少工件傳遞和預(yù)處理的時(shí)間消耗，提高工件處理效率。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的實(shí)施例提供技術(shù)方案如下:
[0006]一方面，提供一種工件傳輸裝置，用于連接工件提供裝置和工件處理裝置，所述工件傳輸裝置包括:
[0007]設(shè)置在所述工件提供裝置和工件處理裝置之間的支撐組件；
[0008]設(shè)置在所述支撐組件上，用于接受工件提供裝置提供的工件，并將所述工件傳送到所述工件處理裝置的傳動(dòng)組件；
[0009]設(shè)置在所述支撐組件上、用于為所述傳動(dòng)組件提供傳送動(dòng)力的動(dòng)力組件；
[0010]設(shè)置在所述傳動(dòng)組件側(cè)，用于對(duì)所述工件進(jìn)行缺陷檢測(cè)處理的缺陷檢測(cè)組件。
[0011 ] 具體地,所述傳動(dòng)組件包括:
[0012]設(shè)置在所述支撐組件上的導(dǎo)軌；
[0013]設(shè)置在所述導(dǎo)軌上、能夠沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)的滑塊；
[0014]固定在所述滑塊上、用于承載所述工件的工件支具；
[0015]設(shè)置在所述導(dǎo)軌內(nèi)側(cè)、用于帶動(dòng)所述工件支具旋轉(zhuǎn)從而帶動(dòng)所述滑塊沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)的同步帶。
[0016]進(jìn)一步地，所述導(dǎo)軌為圓形導(dǎo)軌、橢圓形導(dǎo)軌或直曲導(dǎo)軌。
[0017]進(jìn)一步地，所述傳動(dòng)組件由動(dòng)力組件驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)和準(zhǔn)確的工件傳輸。
[0018]進(jìn)一步地,所述動(dòng)力組件包括:
[0019]電機(jī)；
[0020]與所述電機(jī)連接的第一輪軸、以及與所述第一輪軸對(duì)應(yīng)連接的第一帶輪；
[0021]與所述第一輪軸相對(duì)設(shè)置的第二輪軸、以及與所述第二輪軸對(duì)應(yīng)連接的第二帶輪；
[0022]其中，所述第一帶輪和第二帶輪與所述同步帶嚙合，所述第一帶輪能夠在所述電機(jī)的作用下旋轉(zhuǎn)，通過與所述同步帶的嚙合帶動(dòng)所述同步帶轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而傳動(dòng)所述第二帶輪旋轉(zhuǎn)。
[0023]進(jìn)一步地，所述第一輪軸通過聯(lián)軸器與所述電機(jī)連接。
[0024]進(jìn)一步地，所述支撐組件包括:
[0025]支撐基板；
[0026]設(shè)置在所述支撐基板上的上支板立柱；
[0027]設(shè)置在所述上支板立柱上的上支板；
[0028]其中，所述電機(jī)固定在所述上支板上，所述第一輪軸和第二輪軸設(shè)置在所述上支板和支撐基板之間。
[0029]具體地,所述傳動(dòng)組件包括:
[0030]設(shè)置在所述支撐組件上的導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌為圓形導(dǎo)軌、橢圓形導(dǎo)軌或直曲導(dǎo)軌；
[0031]位于所述導(dǎo)軌上、能夠沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)的滑塊；
[0032]固定在所述滑塊上，用于承載所述工件的工件支具；
[0033]所述動(dòng)力組件包括:
[0034]設(shè)置在所述支撐組件上，以所述導(dǎo)軌為定子，以所述滑塊為動(dòng)子的電機(jī)。進(jìn)一步地，所述滑塊作為電機(jī)動(dòng)子能夠帶動(dòng)工件支具實(shí)現(xiàn)自動(dòng)和準(zhǔn)確的工件傳輸。
[0035]進(jìn)一步地，所述支撐組件包括:
[0036]支撐基板；
[0037]其中，所述電機(jī)固定在所述支撐基板上。
[0038]其中，所述缺陷檢測(cè)組件包括:
[0039]設(shè)置在所述導(dǎo)軌外側(cè)的相機(jī)固定座；
[0040]固定在所述相機(jī)固定座上、用于獲取工件的圖像數(shù)據(jù)的相機(jī)；
[0041]與所述相機(jī)連接、位于所述導(dǎo)軌上方的鏡頭。
[0042]進(jìn)一步地,所述缺陷檢測(cè)組件還包括:
[0043]用于對(duì)相機(jī)獲取的工件圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行處理以完成缺陷檢測(cè)的計(jì)算裝置。
[0044]本發(fā)明的實(shí)施例具有以下有益效果:
[0045]上述方案中，對(duì)工件采用傳送的方式，能夠減少工件的傳遞時(shí)間，提高工件處理效率。另外在傳送過程中還可以對(duì)工件進(jìn)行缺陷檢測(cè)處理，進(jìn)一步節(jié)省工件的生產(chǎn)時(shí)間，提高工件的生產(chǎn)效率，從而最終能夠降低工件的生產(chǎn)成本。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0046]圖1為本發(fā)明實(shí)施例一的工件傳輸裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0047]圖2為圖1所示工件傳輸裝置的爆炸示意圖；
[0048]圖3為本發(fā)明實(shí)施例一的工件傳輸裝置的另一結(jié)構(gòu)示意圖；
[0049]圖4為本發(fā)明實(shí)施例二的工件傳輸裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0050]為使本發(fā)明的實(shí)施例要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0051]本發(fā)明的實(shí)施例針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中工件的傳輸方式導(dǎo)致工件處理效率比較低的問題，提供一種具有缺陷檢測(cè)功能的工件傳輸裝置，對(duì)工件采用傳送的方式，并在傳送過程中對(duì)工件進(jìn)行缺陷檢測(cè)處理，能夠減少工件傳遞和預(yù)處理的時(shí)間消耗，提高工件處理效率。
[0052]本發(fā)明實(shí)施例的工件傳輸裝置，用于連接工件提供裝置和工件處理裝置，所述工件傳輸裝置包括:
[0053]設(shè)置在所述工件提供裝置和工件處理裝置之間的支撐組件；
[0054]設(shè)置在所述支撐組件上，用于接受工件提供裝置提供的工件，并將所述工件傳送到所述工件處理裝置的傳動(dòng)組件；
[0055]設(shè)置在所述支撐組件上、用于為所述傳動(dòng)組件提供傳送動(dòng)力的動(dòng)力組件；
[0056]設(shè)置在所述傳動(dòng)組件側(cè)，用于對(duì)所述工件進(jìn)行缺陷檢測(cè)處理的缺陷檢測(cè)組件。
[0057]具體地,所述傳動(dòng)組件包括:
[0058]設(shè)置在所述支撐組件上的導(dǎo)軌；
[0059]設(shè)置在所述導(dǎo)軌上、能夠沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)的滑塊；
[0060]固定在所述滑塊上、用于承載所述工件的工件支具；
[0061]設(shè)置在所述導(dǎo)軌內(nèi)側(cè)、用于帶動(dòng)所述工件支具旋轉(zhuǎn)從而帶動(dòng)所述滑塊沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)的同步帶。
[0062]進(jìn)一步地，所述導(dǎo)軌為圓形導(dǎo)軌、橢圓形導(dǎo)軌或直曲導(dǎo)軌。
[0063]進(jìn)一步地,所述動(dòng)力組件包括:
[0064]電機(jī)；
[0065]與所述電機(jī)連接的第一輪軸、以及與所述第一輪軸對(duì)應(yīng)連接的第一帶輪；
[0066]與所述第一輪軸相對(duì)設(shè)置的第二輪軸、以及與所述第二輪軸對(duì)應(yīng)連接的第二帶輪；
[0067]其中，所述第一帶輪和第二帶輪與所述同步帶嚙合，所述第一帶輪能夠在所述電機(jī)的作用下旋轉(zhuǎn)，通過與所述同步帶的嚙合帶動(dòng)所述同步帶轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而傳動(dòng)所述第二帶輪旋轉(zhuǎn)。
[0068]進(jìn)一步地，所述第一輪軸通過聯(lián)軸器與所述電機(jī)連接。
[0069]進(jìn)一步地，所述支撐組件包括:
[0070]支撐基板；
[0071]設(shè)置在所述支撐基板上的上支板立柱；
[0072]設(shè)置在所述上支板立柱上的上支板；
[0073]其中，所述電機(jī)固定在所述上支板上，所述第一輪軸和第二輪軸設(shè)置在所述上支板和支撐基板之間。
[0074]具體地,所述傳動(dòng)組件包括:
[0075]設(shè)置在所述支撐組件上的導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌為圓形導(dǎo)軌、橢圓形導(dǎo)軌或直曲導(dǎo)軌；
[0076]位于所述導(dǎo)軌上、能夠沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)的滑塊；
[0077]固定在所述滑塊上，用于承載所述工件的工件支具；
[0078]所述動(dòng)力組件包括:
[0079]設(shè)置在所述支撐組件上，以所述導(dǎo)軌為定子，以所述滑塊為動(dòng)子的電機(jī)。
[0080]進(jìn)一步地，所述滑塊作為電機(jī)動(dòng)子能夠帶動(dòng)工件支具實(shí)現(xiàn)自動(dòng)和準(zhǔn)確的工件傳輸。
[0081]進(jìn)一步地，所述支撐組件包括:
[0082]支撐基板；
[0083]其中，所述電機(jī)固定在所述支撐基板上。
[0084]具體地,所述缺陷檢測(cè)組件包括:
[0085]設(shè)置在所述導(dǎo)軌外側(cè)的相機(jī)固定座；
[0086]固定在所述相機(jī)固定座上、用于獲取工件的圖像數(shù)據(jù)的相機(jī)；
[0087]與所述相機(jī)連接、位于所述導(dǎo)軌上方的鏡頭。
[0088]進(jìn)一步地,所述缺陷檢測(cè)組件還包括:
[0089]用于對(duì)相機(jī)獲取的工件圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行處理以完成缺陷檢測(cè)的計(jì)算裝置，例如工業(yè)計(jì)算機(jī)或嵌入式計(jì)算設(shè)備。
[0090]本發(fā)明的具有缺陷檢測(cè)功能的工件傳輸裝置，對(duì)工件采用傳送的方式，能夠減少工件的傳遞時(shí)間，提高工件處理效率。另外在傳送過程中還可以對(duì)工件進(jìn)行缺陷檢測(cè)處理，進(jìn)一步節(jié)省工件的生產(chǎn)時(shí)間，提高工件的生產(chǎn)效率，從而最終能夠降低工件的生產(chǎn)成本。
[0091]下面結(jié)合具體的實(shí)施例以及附圖對(duì)本發(fā)明的具有缺陷檢測(cè)功能的工件傳輸裝置進(jìn)行進(jìn)一步地說明:
[0092]實(shí)施例一
[0093]如圖1?圖3所示，本發(fā)明的工件傳輸裝置中，包括有支撐組件、傳動(dòng)組件、動(dòng)力組件和用于對(duì)所述工件進(jìn)行缺陷檢測(cè)處理的缺陷檢測(cè)組件3。
[0094]其中，支撐組件包括:設(shè)置在整機(jī)臺(tái)板14上的支撐基板16 ;固定設(shè)置在支撐基板16上的上支板立柱7 ;通過螺釘固定在上支板立柱7上的上支板5。
[0095]傳動(dòng)組件包括:設(shè)置在支撐基板16上方的導(dǎo)軌10 ;設(shè)置在導(dǎo)軌10上、能夠沿導(dǎo)軌10滑動(dòng)的滑塊11 ;固定在滑塊11上的工件支具2 ;設(shè)置在導(dǎo)軌10內(nèi)側(cè)的同步帶17，工件支具2通過螺釘夾緊在同步帶17上，這樣同步帶17能夠帶動(dòng)工件支具2旋轉(zhuǎn)從而帶動(dòng)滑塊11沿導(dǎo)軌10滑動(dòng)。其中導(dǎo)軌10可以為圓形導(dǎo)軌、橢圓形導(dǎo)軌或直曲導(dǎo)軌，本實(shí)施例中，具體地，導(dǎo)軌10可以為橢圓形直曲導(dǎo)軌。
[0096]動(dòng)力組件包括:固定在上支板5上的電機(jī)13 ;通過聯(lián)軸器9與電機(jī)13連接的第一輪軸15，與第一輪軸15對(duì)應(yīng)連接的第一帶輪8 ;與第一輪軸15相對(duì)設(shè)置的第二輪軸4 ;與第二輪軸4對(duì)應(yīng)連接的第二帶輪6。其中,第一輪軸15和第二輪軸4位于上支板5和支撐基板16之間,第一帶輪8和第二帶輪6與同步帶17哨合。當(dāng)然,應(yīng)當(dāng)理解的是,還可以采用本領(lǐng)域技術(shù)人員容易想到的其他安裝結(jié)構(gòu)來安裝第一帶輪8和第二帶輪6，均不影響本實(shí)施例技術(shù)方案的實(shí)施。
[0097]缺陷檢測(cè)組件3包括:設(shè)置在導(dǎo)軌10外側(cè)的相機(jī)固定座33 ;固定在相機(jī)固定座33上的相機(jī)31 ;與相機(jī)31連接、位于導(dǎo)軌10上方的鏡頭32 ;通過線路與相機(jī)31連接、用于對(duì)工件的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行處理的計(jì)算機(jī)。
[0098]在本實(shí)施例的工件傳輸裝置工作時(shí)，電機(jī)13旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過第一輪軸15帶動(dòng)第一帶輪8旋轉(zhuǎn)，第一帶輪8通過與同步帶17的嚙合帶動(dòng)同步帶17轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而傳動(dòng)第二帶輪6旋轉(zhuǎn)，工件支具2通過螺釘夾緊在同步帶17上，同步帶17轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)工件支具2旋轉(zhuǎn)，工件支具2帶動(dòng)滑塊11沿導(dǎo)軌10滑動(dòng)，在工件支具2旋轉(zhuǎn)至鏡頭32下方時(shí)，相機(jī)31觸發(fā)拍攝，相機(jī)31完成拍攝后通過線路將工件的圖像數(shù)據(jù)傳至計(jì)算機(jī)中，計(jì)算機(jī)在下一個(gè)工件支具到來之前，對(duì)工件的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，完成對(duì)工件的缺陷識(shí)別與判定。之后，下一個(gè)工件支具2又被旋轉(zhuǎn)到鏡頭32下方，再完成缺陷檢測(cè)動(dòng)作。如此反復(fù)進(jìn)行，實(shí)現(xiàn)對(duì)工件的缺陷檢測(cè)處理后，將工件傳送至工件處理裝置。在檢測(cè)出工件存在缺陷后，可以將工件從工件支具上取下，不再將工件傳送至工件處理裝置，或者通知工件處理裝置注意存在缺陷的工件。
[0099]其中，導(dǎo)軌10的一端靠近工件提供裝置，另一端靠近工件處理裝置。在工件提供裝置端，工件提供裝置將待處理的工件放置在工件支具2上，通過工件傳輸裝置將工件傳送到工件處理裝置端；在工件處理裝置端，工件處理裝置將工件從工件支具2上取下，并對(duì)工件進(jìn)行處理。
[0100]本實(shí)施例中所述的工件包括但不限于晶片、芯片等。
[0101]本實(shí)施例的工件傳輸裝置在進(jìn)行安裝時(shí)，各部分結(jié)構(gòu)可用螺釘進(jìn)行連接，例如:用螺釘將支撐基板16固定在整機(jī)臺(tái)板14上，調(diào)平導(dǎo)軌10和滑塊11，使滑塊11的上基準(zhǔn)面在要求的誤差范圍內(nèi)；用螺釘連接上支板立柱7與支撐基板16，用螺釘連接上支板立柱7與上支板5 ;通過軸承及軸承壓蓋安裝第一帶輪8、第二帶輪6、第一輪軸15和第二輪軸4到上支板5與支撐基板16，用螺釘連接電機(jī)13到上支板5，通過聯(lián)軸器9連接電機(jī)軸和第一輪軸15，安裝同步帶17與第一帶輪8、第二帶輪6，用螺釘連接工件支具2到滑塊11，用螺釘夾緊同步帶17與工件支具2，通過同步帶17的驅(qū)動(dòng)可以帶動(dòng)工件支具2及滑塊11沿導(dǎo)軌10運(yùn)動(dòng)。
[0102]本實(shí)施例中，工件在工件提供裝置端被裝載到工件支具上，并經(jīng)過配置在導(dǎo)軌外側(cè)的缺陷檢測(cè)組件接受缺陷檢測(cè)處理，然后在工件處理裝置端被工件處理裝置獲取進(jìn)行下一步操作。這樣的方式一方面保證工件處理裝置可以在較短的距離獲得工件；另一方面由于多個(gè)工件在工件傳輸裝置上可以并行接受缺陷檢測(cè)處理，能夠進(jìn)一步節(jié)省工件的加工時(shí)間，使得工件處理裝置能夠持續(xù)不斷地獲得已經(jīng)完成缺陷檢測(cè)處理的工件，提高了工件的生產(chǎn)效率，最終能夠降低工件的生產(chǎn)成本。
[0103]實(shí)施例二
[0104]本發(fā)明的工件傳輸裝置中，包括有支撐組件、傳動(dòng)組件、動(dòng)力組件和用于對(duì)所述工件進(jìn)行缺陷檢測(cè)處理的缺陷檢測(cè)組件。
[0105]其中，支撐組件包括設(shè)置在整機(jī)臺(tái)板上的支撐基板。
[0106]如圖4所示，傳動(dòng)組件包括:固定設(shè)置在支撐基板上的導(dǎo)軌21 ;設(shè)置在導(dǎo)軌21上，能夠沿導(dǎo)軌21滑動(dòng)的滑塊22 ;固定在滑塊22上的工件支具23。
[0107]動(dòng)力組件包括:固定設(shè)置在支撐基板上，以導(dǎo)軌21為定子、以滑塊22為動(dòng)子的電機(jī)。電機(jī)可以驅(qū)動(dòng)所有動(dòng)子滑塊22沿定子導(dǎo)軌21移動(dòng)，從而帶動(dòng)工件支具23移動(dòng)。其中導(dǎo)軌21可以為圓形導(dǎo)軌、橢圓形導(dǎo)軌或直曲導(dǎo)軌。本實(shí)施例中，具體地，如圖4所示，導(dǎo)軌21可以為橢圓形直曲導(dǎo)軌。
[0108]缺陷檢測(cè)組件包括:設(shè)置在導(dǎo)軌21外側(cè)的相機(jī)固定座；固定在相機(jī)固定座上的相機(jī)；與相機(jī)連接、位于導(dǎo)軌21上方的鏡頭；通過線路與相機(jī)連接、用于對(duì)工件的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行處理的計(jì)算機(jī)。
[0109]在本實(shí)施例的工件傳輸裝置工作時(shí)，電機(jī)動(dòng)子滑塊22帶動(dòng)工件支具23從而帶動(dòng)工件由工件提供裝置端移動(dòng)到工件處理裝置端。在工件提供裝置端，工件提供裝置24將待處理的工件放置在動(dòng)子滑塊22上的工件支具23中，工件支具23在電機(jī)的帶動(dòng)下沿導(dǎo)軌21移動(dòng)，在工件支具23旋轉(zhuǎn)至鏡頭下方時(shí)，相機(jī)觸發(fā)拍攝，相機(jī)完成拍攝后通過線路將工件的圖像數(shù)據(jù)傳至計(jì)算機(jī)中，計(jì)算機(jī)在下一個(gè)工件支具到來之前，對(duì)工件的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，完成對(duì)工件的缺陷識(shí)別與判定。之后，下一個(gè)工件支具23又被旋轉(zhuǎn)到鏡頭下方，再完成缺陷檢測(cè)動(dòng)作。如此反復(fù)進(jìn)行，實(shí)現(xiàn)對(duì)工件的缺陷檢測(cè)處理后，將工件傳送至工件處理裝置25。在工件處理裝置端，工件處理裝置25將工件從工件支具中取下，并對(duì)工件進(jìn)行處理。在檢測(cè)出工件存在缺陷后，可以將工件從工件支具上取下，不再將工件傳送至工件處理裝置，或者通知工件處理裝置注意存在缺陷的工件。
[0110]本實(shí)施例中所述的工件包括但不限于晶片、芯片等。
[0111]本實(shí)施例的工件傳輸裝置在進(jìn)行安裝時(shí)，直曲定子導(dǎo)軌21可用螺釘固定在支撐基板上或者直接連接在整機(jī)臺(tái)板上，以使整個(gè)傳輸裝置固定。承載工件用的工件支具23，與動(dòng)子滑塊22的連接可以用螺釘連接或其他連接方式，例如磁力連接。工件提供裝置24、工件處理裝置25和缺陷檢測(cè)組件用螺釘固定在整機(jī)臺(tái)板上。
[0112]本實(shí)施例中，工件在工件提供裝置端被裝載到工件支具上，并經(jīng)過配置在導(dǎo)軌外側(cè)的缺陷檢測(cè)組件接受缺陷檢測(cè)處理，然后在工件處理裝置端被工件處理裝置獲取進(jìn)行下一步操作。這樣的方式一方面保證工件處理裝置可以在較短的距離獲得工件；另一方面由于多個(gè)工件在工件傳輸裝置上可以并行接受缺陷檢測(cè)處理，能夠進(jìn)一步節(jié)省工件的加工時(shí)間，使得工件處理裝置能夠持續(xù)不斷地獲得已經(jīng)完成缺陷檢測(cè)處理的工件，提高了工件的生產(chǎn)效率，最終能夠降低工件的生產(chǎn)成本。
[0113]以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以作出若干變形、改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些變形、改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種具有缺陷檢測(cè)功能的工件傳輸裝置，用于連接工件提供裝置和工件處理裝置，其特征在于，所述工件傳輸裝置包括: 設(shè)置在所述工件提供裝置和工件處理裝置之間的支撐組件； 設(shè)置在所述支撐組件上，用于接受工件提供裝置提供的工件，并將所述工件傳送到所述工件處理裝置的傳動(dòng)組件； 設(shè)置在所述支撐組件上、用于為所述傳動(dòng)組件提供傳送動(dòng)力的動(dòng)力組件； 設(shè)置在所述傳動(dòng)組件側(cè)，用于對(duì)所述工件進(jìn)行缺陷檢測(cè)處理的缺陷檢測(cè)組件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)組件包括: 設(shè)置在所述支撐組件上的導(dǎo)軌； 設(shè)置在所述導(dǎo)軌上、能夠沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)的滑塊； 固定在所述滑塊上、用于承載所述工件的工件支具； 設(shè)置在所述導(dǎo)軌內(nèi)側(cè)、用于帶動(dòng)所述工件支具旋轉(zhuǎn)從而帶動(dòng)所述滑塊沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)的同步帶。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述導(dǎo)軌為圓形導(dǎo)軌、橢圓形導(dǎo)軌或直曲導(dǎo)軌。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)組件由動(dòng)力組件驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)和準(zhǔn)確的工件傳輸。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述動(dòng)力組件包括: 電機(jī)； 與所述電機(jī)連接的第一輪軸、以及與所述第一輪軸對(duì)應(yīng)連接的第一帶輪； 與所述第一輪軸相對(duì)設(shè)置的第二輪軸、以及與所述第二輪軸對(duì)應(yīng)連接的第二帶輪；其中，所述第一帶輪和第二帶輪與所述同步帶嚙合，所述第一帶輪能夠在所述電機(jī)的作用下旋轉(zhuǎn)，通過與所述同步帶的嚙合帶動(dòng)所述同步帶轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而傳動(dòng)所述第二帶輪旋轉(zhuǎn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述第一輪軸通過聯(lián)軸器與所述電機(jī)連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述支撐組件包括: 支撐基板； 設(shè)置在所述支撐基板上的上支板立柱； 設(shè)置在所述上支板立柱上的上支板； 其中，所述電機(jī)固定在所述上支板上，所述第一輪軸和第二輪軸設(shè)置在所述上支板和支撐基板之間。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)組件包括: 設(shè)置在所述支撐組件上的導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌為圓形導(dǎo)軌、橢圓形導(dǎo)軌或直曲導(dǎo)軌； 位于所述導(dǎo)軌上、能夠沿所述導(dǎo)軌滑動(dòng)的滑塊； 固定在所述滑塊上，用于承載所述工件的工件支具； 所述動(dòng)力組件包括: 設(shè)置在所述支撐組件上，以所述導(dǎo)軌為定子，以所述滑塊為動(dòng)子的電機(jī)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述滑塊作為電機(jī)動(dòng)子能夠帶動(dòng)工件支具實(shí)現(xiàn)自動(dòng)和準(zhǔn)確的工件傳輸。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述支撐組件包括:支撐基板；其中，所述電機(jī)固定在所述支撐基板上。
11.根據(jù)權(quán)利要求2或8所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述缺陷檢測(cè)組件包括:設(shè)置在所述導(dǎo)軌外側(cè)的相機(jī)固定座；固定在所述相機(jī)固定座上、用于獲取工件的圖像數(shù)據(jù)的相機(jī)；與所述相機(jī)連接、位于所述導(dǎo)軌上方的鏡頭。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的工件傳輸裝置，其特征在于，所述缺陷檢測(cè)組件還包括:用于對(duì)相機(jī)獲取的工件圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行處理以完成缺陷檢測(cè)的計(jì)算裝置。
【文檔編號(hào)】B65G21/00GK104176441SQ201310203131
【公開日】2014年12月3日 申請(qǐng)日期:2013年5月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月28日
【發(fā)明者】唐亮, 王小捷, 李向東, 韓微微 申請(qǐng)人:北京中電科電子裝備有限公司