在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置制造方法
【專利摘要】一種在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置，包括電驅(qū)動件、糾偏執(zhí)行機構(gòu)和控制系統(tǒng)，糾偏執(zhí)行機構(gòu)設(shè)置于真空環(huán)境中，電驅(qū)動件和控制系統(tǒng)設(shè)置于常壓環(huán)境中，糾偏執(zhí)行機構(gòu)包括導向輪機構(gòu)、糾偏傳感器和連接桿，電驅(qū)動件和導向輪機構(gòu)通過連接桿連接，電驅(qū)動件與糾偏傳感器均與控制系統(tǒng)電連接，糾偏傳感器檢測卷性材料的偏移方向并輸出相應(yīng)的偏移信號，控制系統(tǒng)接收糾偏傳感器輸出的偏移信號而控制電驅(qū)動件驅(qū)動連接桿的運動，通過連接桿的運動而調(diào)整導向輪機構(gòu)的方向，從而達到卷性材料張力調(diào)整等糾偏的目的；同時避免電驅(qū)動件受到真空等離子的腐蝕作用，也解決了電驅(qū)動件設(shè)置于真空環(huán)境中散熱不好的問題，提高了糾偏裝置的使用壽命。
【專利說明】在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及等離子處理設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，特別是涉及一種在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]等離子處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面活化和改性等場合。通過等離子處理設(shè)備的處理，能夠改善材料的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆和鍍等操作，增強粘合力與鍵合力，同時可以去除油污、油脂和有機污染物。
[0003]卷性等離子處理設(shè)備是用來處理柔性卷是電路板和卷性電子材料，如電路板覆蓋膜等。一般的卷性等離子處理設(shè)備有兩種，一種是沒有調(diào)整張力的糾偏裝置，從而導致收料齊整度不夠，使產(chǎn)品的質(zhì)量受到影響；另一種是有調(diào)整張力的糾偏裝置，然而由于卷性等離子處理設(shè)備是在真空等離子環(huán)境中工作，糾偏裝置會受到等離子的腐蝕作用，從而降低糾偏裝置的使用壽命。
實用新型內(nèi)容
[0004]基于此，有必要針對等離子造成對糾偏裝置腐蝕而影響其使用壽命的問題，提供一種解決上述問題的在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置。
[0005]一種在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置，包括電驅(qū)動件、糾偏執(zhí)行機構(gòu)和控制系統(tǒng)，所述糾偏執(zhí)行機構(gòu)設(shè)置于隔離框架形成的真空環(huán)境中，所述電驅(qū)動件和所述控制系統(tǒng)設(shè)置于常壓環(huán)境中 ，所述糾偏執(zhí)行機構(gòu)包括導向輪機構(gòu)、糾偏傳感器和連接桿，所述電驅(qū)動件和所述導向輪機構(gòu)通過所述連接桿連接，所述電驅(qū)動件與所述糾偏傳感器均與所述控制系統(tǒng)電連接，所述糾偏傳感器檢測卷性材料的偏移方向并輸出相應(yīng)的偏移信號，所述控制系統(tǒng)接收所述糾偏傳感器輸出的偏移信號而控制所述電驅(qū)動件調(diào)整所述導向輪機構(gòu)的方向，以使所述糾偏執(zhí)行機構(gòu)調(diào)整卷性材料的位置。
[0006]在其中一個實施例中，所述導向輪機構(gòu)包括:
[0007]導正棍；
[0008]固定板,安裝有第一固定座和第二固定座和第一固定桿和第二固定桿，所述第一固定桿和所述第二固定桿分別固定安裝于所述第一固定座和所述第二固定座；
[0009]軸承，所述軸承包括第一直線軸承、第二直線軸承、第一萬向軸承、第二萬向軸承和第三萬向軸承，所述第一直線軸承和第二直線軸承固定于所述固定板，所述連接桿滑設(shè)于所述第一直線軸承和所述第二直線軸承內(nèi)，所述第一萬向軸承固定套設(shè)于所述連接桿并設(shè)置于所述第一直線軸承和所述第二直線軸承之間，且所述第一萬向軸承與所述導正棍固定連接，所述第二萬向軸承和所述第三萬向軸承均固定安裝于所述導正棍，所述第一固定桿和所述第二固定桿分別滑設(shè)于所述第二萬向軸承和所述第三萬向軸承內(nèi)，且所述第一萬向軸承、所述第二萬向軸承和所述第三萬向軸承呈三角形形狀設(shè)置。[0010]在其中一個實施例中，所述導正棍包括底板、兩側(cè)板和兩導向軸,所述兩側(cè)板固定安裝于所述底板兩側(cè)；所述兩導向軸均安裝于所述兩側(cè)板，且分別安裝于所述兩側(cè)板的兩端；所述三個萬向軸承均固定安裝于所述底板一側(cè)。
[0011]在其中一個實施例中，所述第一萬向軸承、所述第二萬向軸承和所述第三萬向軸承呈正三角形形狀設(shè)置，且所述第一萬向軸承、所述第二萬向軸承和所述第三萬向軸承構(gòu)成的正三角形位于所述底板的中心。
[0012]在其中一個實施例中，所述導向輪機構(gòu)不工作時，所述第一萬向軸承位于所述第一直線軸承和所述第二直線軸承中間。
[0013]在其中一個實施例中，所述電驅(qū)動件包括電機和驅(qū)動缸，所述驅(qū)動缸安裝于所述電機，所述驅(qū)動缸與所述連接桿通過密封法蘭密封連接。
[0014]在其中一個實施例中，所述驅(qū)動缸為直線式驅(qū)動缸或者旋轉(zhuǎn)式驅(qū)動缸。
[0015]在其中一個實施例中，還包括安裝架，所述糾偏傳感器通過所述安裝架安裝于所述導向輪機構(gòu)。
[0016]上述在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置，卷性材料經(jīng)過真空等離子的處理后經(jīng)過導向輪機構(gòu)，當卷性材料各處的張力發(fā)生變化產(chǎn)生偏移或者卷性材料兩端位置偏移時，通過糾偏傳感器采集卷性材料的偏移方向并輸出相應(yīng)的偏移信號，控制系統(tǒng)接收糾偏傳感器輸出的偏移信號而控制電驅(qū)動件驅(qū)動連接桿的運動，通過連接桿的運動而調(diào)整導向輪機構(gòu)的方向，從而達到卷性材料張力調(diào)整等糾偏的目的；同時由于電驅(qū)動件與控制系統(tǒng)設(shè)置于常壓環(huán)境中，避免設(shè)置于真空等離子環(huán)境中而受到等離子的腐蝕作用，也解決了電驅(qū)動件設(shè)置于真空環(huán)境中散熱不好的問題，提高了糾偏裝置的使用壽命。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1為在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置另一視角結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3為在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置工作狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖4為圖2中C的放大示意圖；
[0021]圖5為導正棍的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖6為在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置另一視角結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖7為在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置另一視角結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖8為在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置另一工作狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖9為糾偏傳感器安裝于安裝架的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖10為在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏方法流程圖。
【具體實施方式】
[0027]請參閱圖1至圖3，一種在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置100，包括電驅(qū)動件110、糾偏執(zhí)行機構(gòu)和控制系統(tǒng)160，所述糾偏執(zhí)行機構(gòu)設(shè)置于真空環(huán)境中，所述電驅(qū)動件110和所述控制系統(tǒng)160設(shè)置于常壓環(huán)境中。糾偏執(zhí)行機構(gòu)通過隔離框架500與常壓環(huán)境隔離，而設(shè)置于真空腔室200中。糾偏執(zhí)行機構(gòu)安裝于位于真空腔室中隔離框架500的一端，電驅(qū)動件110安裝于位于常壓環(huán)境中隔離框架500的另一端。[0028]所述糾偏執(zhí)行機構(gòu)包括導向輪機構(gòu)120、糾偏傳感器140和連接桿130，所述電驅(qū)動件110和所述導向輪機構(gòu)120通過所述連接桿130連接，所述電驅(qū)動件110與所述糾偏傳感器140均與所述控制系統(tǒng)160電連接，所述糾偏傳感器140檢測卷性材料400的偏移方向并輸出相應(yīng)的偏移信號，所述控制系統(tǒng)160接收所述糾偏傳感器140輸出的偏移信號而控制所述電驅(qū)動件110調(diào)整所述導向輪機構(gòu)120的方向，以使所述糾偏執(zhí)行機構(gòu)調(diào)整卷性材料400的位置。
[0029]請參閱圖1、圖2和圖4，具體地，所述電驅(qū)動件110包括電機和驅(qū)動缸112，所述驅(qū)動缸112安裝于所述電機，所述驅(qū)動缸112與所述連接桿130通過密封法蘭170密封連接。驅(qū)動缸112通過安裝板180安裝于位于常壓環(huán)境中隔離框架500的一端，并通過密封法蘭170與連接桿130密封連接，而進一步將真空環(huán)境與常壓環(huán)境隔離開，防止常壓環(huán)境中的氣體流向真空環(huán)境中，進一步維持真空腔室的真空環(huán)境，以便于真空等離子對卷性材料的處理。本實施例中的密封法蘭170設(shè)置于連接桿130位于真空環(huán)境的一端，從而更便于將驅(qū)動缸112與連接桿130安裝于隔離框架500?？梢岳斫?，在其它實施例中，密封法蘭170也可以設(shè)置于連接桿130位于常壓環(huán)境的一端。所述驅(qū)動缸112可以為直線式驅(qū)動缸或者旋轉(zhuǎn)式驅(qū)動缸。
[0030]請參閱圖3和圖5，本實施例中，所述導向輪機構(gòu)120包括導正棍、固定板123和軸承。所述導正棍包括底板1211、兩側(cè)板1212和兩導向軸1213，所述兩側(cè)板1212固定安裝于所述底板1211兩側(cè)；所述兩導向軸1213均安裝于所述兩側(cè)板1212，且分別安裝于所述兩側(cè)板1212的兩端。兩導向軸1213包括第一導向軸1213A和第二導向軸1213B。卷性材料400從入料軸310輸出，經(jīng)過真空等離子處理后，先后從第一導向軸1213A和第二導向軸1213B經(jīng)過，然后輸入至出料軸320。本實施例中，卷性材料400從入料軸310至第一導向軸1213A以及卷性材料400從第二導向軸1213B至出料軸320的距離比較短，從而使整個糾偏執(zhí)行機構(gòu)的結(jié)構(gòu)緊湊，并且卷性材料400從入料軸310至第一導向軸1213A的方向與卷性材料400從第一導向軸1213A至第二導向軸1213B的方向保持相對垂直，以及卷性材料400從第一導向軸1213A至第二導向軸1213B的方向與卷性材料400從第二導向軸1213B至出料軸320的方向亦保持相對垂直，從而更加精確的對卷性材料400進行收放。
[0031]請參閱圖6和圖7，所述固定板123安裝有第一固定座1231A、第二固定座1231B、第一固定桿1232A和第二固定桿1232B，所述第一固定桿1232A和第二固定桿1232B分別固定安裝于所述第一固定座1231A和第二固定座1231B。第一固定座1231A和第二固定座1231B均可通過螺釘固定安裝于固定板123，第一固定桿1232A和第二固定桿1232B呈倒八字形結(jié)構(gòu)設(shè)置。
[0032]所述軸承包括第一直線軸承1221A、第二直線軸承1221B、第一萬向軸承1222，第二萬向軸承1223和第三萬向軸承1224，所述第一直線軸承1221A和所述第二直線軸承1221B固定于所述固定板123，所述連接桿130滑設(shè)于所述第一直線軸承1221A和第二直線軸承1221B內(nèi)，所述第一萬向軸承1222固定套設(shè)于所述連接桿130并設(shè)置于所述第一直線軸承1221A和所述第二直線軸承1221B之間，且所述第一萬向軸承1222與所述導正棍固定連接，所述第二萬向軸承1223和所述第三萬向軸承1224均固定安裝于所述導正棍的底板1211 —側(cè)，所述第一固定桿1232A和所述第二固定桿1232B分別滑設(shè)于所述第二萬向軸承1223和所述第三萬向軸承1224內(nèi)，且所述第一萬向軸承1222、所述第二萬向軸承1223和所述第三萬向軸承1224呈三角形形狀設(shè)置。
[0033]請參閱圖2、圖3、圖6至圖8，當糾偏傳感器140檢測到卷性材料400有偏移時，采集與卷性材料400偏移方向相應(yīng)的偏移信號，并輸出至控制系統(tǒng)160，當驅(qū)動缸112為直線式驅(qū)動缸時，控制系統(tǒng)160控制電機帶動驅(qū)動缸112作直線運動，通過驅(qū)動缸112帶動連接桿130于第一直線軸承1221A和第二直線軸承1221B內(nèi)做橫向直線運動，通過連接桿130的運動帶動第一萬向軸承1222于第一直線軸承和第二直線軸承1221之間做橫向直線運動，從而導正棍也跟隨做橫向直線運動；同理，當驅(qū)動缸112為旋轉(zhuǎn)式驅(qū)動缸時，通過驅(qū)動缸112帶動連接桿130于第一直線軸承1221A和第二直線軸承1221B內(nèi)做旋轉(zhuǎn)運動，從而帶動第一萬向軸承1222垂直于連接桿方向的滾動，從而導正棍做縱向直線運動。
[0034]通過第一萬向軸承1222的運動帶動第二萬向軸承1223和第三萬向軸承1224分別于第一固定桿1232A和第二固定桿1232B上滑動，從而導正棍沿異于橫向或縱向方向運動，具體的運動情況根據(jù)相應(yīng)的偏移信號而定。通過第一萬向軸承1222、第二萬向軸承1223和第三萬向軸承1224的運動，從而帶動導正棍于同一水平面上擺動，即相當于導正棍隨第一萬向軸承1222、第二萬向軸承1223和第三萬向軸承1224構(gòu)成的三角形的擺動而擺動，導正棍擺動的幅度根據(jù)相應(yīng)的糾正傳感器采集到卷性材料400偏移方向的偏移信號而定，以適當調(diào)整導向輪機構(gòu)120的方向，從而達到卷性材料400張力調(diào)整等糾偏卷性材料位置的目的。
[0035]本實施例中，所述第一萬向軸承1222、所述第二萬向軸承1223和所述第三萬向軸承1224呈正三角形形狀設(shè)置，且所述第一萬向軸承1222、所述第二萬向軸承1223和所述第三萬向軸承1224構(gòu)成的正三角形位于底板1211的中心。這樣導正棍擺動時更加平穩(wěn)，從而可以更加可靠而精確地調(diào)整卷性材料400的偏移方向?？梢岳斫?，在其它的實施例中，所述第一萬向軸承1222、所述第二萬向軸承1223和所述第三萬向軸承1224呈等腰三角形形狀等其它三角形形狀的設(shè)置，這并不影響調(diào)整卷性材料400位置的目的。
[0036]本實施例中，所述導向輪機構(gòu)120不工作時，所述第一萬向軸承1222設(shè)置于所述第一直線軸承1221A和第二直線軸承1221B中間。在調(diào)整完導向輪機構(gòu)120方向后，導向輪機構(gòu)120回到平衡位置以自動擺正，第一萬向軸承1222設(shè)置于第一直線軸承1221A和第二直線軸承1221B中間可以使導向輪機構(gòu)120回位更加精確，以更利于卷性材料400的收放。可以理解，第一萬向軸承1222不設(shè)置于第一直線軸承1221A和第二直線軸承1221B中間，并不影響導向輪機構(gòu)120調(diào)整方向而達到調(diào)整卷性材料400位置的目的。
[0037]請參閱3和圖9，糾偏傳感器140為U形結(jié)構(gòu)，使卷性材料400的邊緣經(jīng)過糾偏傳感器140的U形槽內(nèi)即可對卷性材料400的偏移方向進行檢測。糾偏傳感器140為紅外線對變感應(yīng)裝置，即糾偏傳感器140通過發(fā)射紅外線至卷性材料400，發(fā)出的紅外線遇到卷材邊緣的部分被反射回，糾偏傳感器140接收反射回的紅外線，糾偏傳感器140通過接收端計算發(fā)射端發(fā)出的紅外線總量與接收到紅外線總量的差值大小即可精確確定卷性材料400邊緣所在的位置，以此檢測卷性材料400的偏移方向。本實施例中，糾偏傳感器140采用獨特設(shè)計的光學系統(tǒng)，增強了底色為金色或銀色等高反光率物料上線記的識別能力；另外，糾偏傳感器140內(nèi)部增加了新型的檢測電路，因而不會受到等離子光或者現(xiàn)場強烈照明光擾的影響。
[0038]請參閱圖1、圖5和圖9，本實施例中，在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置還包括安裝架150，所述糾偏傳感器140通過所述安裝架150安裝于所述導向輪機構(gòu)120。具體可以將糾偏傳感器140安裝于導向輪機構(gòu)120的兩側(cè)板1212中的其中之一。通過將糾偏傳感器140安裝于導向輪機構(gòu)120更便于糾偏傳感器140檢測卷性材料400偏移方向?？梢岳斫猓m偏傳感器140也可以安裝于其它位置，只要可通過糾偏傳感器140檢測卷性材料400的偏移方向即可。
[0039]請參閱圖10，一種在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏方法，包括以下步驟:
[0040]步驟S110，檢測卷性材料的偏移方向并輸出相應(yīng)的偏移信號?？赏ㄟ^糾偏傳感器檢測卷性材料的偏移方向，并輸出相應(yīng)的偏移信號。糾偏傳感器為U形結(jié)構(gòu)，使卷性材料的邊緣經(jīng)過糾偏傳感器的U形槽內(nèi)即可對卷性材料的偏移方向進行檢測。
[0041]步驟S120，接收所述偏移信號并控制位于常壓環(huán)境中的電驅(qū)動件的驅(qū)動。通過控制系統(tǒng)接收糾偏傳感器輸出的偏移信號，并以此而控制電驅(qū)動件驅(qū)動連接桿的運動，電驅(qū)動件可驅(qū)動連接桿直線運動或者旋轉(zhuǎn)運動。電驅(qū)動件由于位于常壓環(huán)境中，因而可避免受到真空等離子的腐蝕作用，以及解決電驅(qū)動件在真空環(huán)境中散熱不好的問題，提高電驅(qū)動件的使用壽命。
[0042]步驟S130,調(diào)整導向輪機構(gòu)的方向。通過連接桿的運動，即可帶動導向輪機構(gòu)的運動，具體根據(jù)糾偏傳感器發(fā)出相應(yīng)的偏移信號而調(diào)整導向輪機構(gòu)的方向，以達到卷性材料張力調(diào)整等糾偏卷性材料偏移位置的目的。
[0043]在步驟S130中，所述驅(qū)動導向輪機構(gòu)運動而調(diào)整導向輪機構(gòu)的方向具體步驟為:橫向直線運動或縱向直線運動；沿異于橫向方向或縱向方向且兩個不平行方向運動；于同一水平面上擺動。驅(qū)動連接桿于第一直線軸承和第二直線軸承內(nèi)運動以帶動第一萬向軸承運動，第一萬向軸承在第一直線軸承和第二直線軸承之間運動，從而導正棍橫向直線運動或縱向直線運動；通過第一萬向軸承的運動即可帶動第二萬向軸承和第三萬向軸承分別于第一固定桿和第二固定桿上滑動，此時導正棍沿異于橫向方向或縱向方向且兩個不平行方向運動；由于第一萬向軸承、第二萬向軸承和第三萬向軸承均呈三角形形狀地固定安裝于導正棍，通過第一萬向軸承、第二萬向軸承和第三萬向軸承的運動即可帶動導正棍于同一水平面上擺動，以調(diào)整導向輪機構(gòu)的方向，導正棍擺動的幅度大小根據(jù)糾偏傳感器采集到卷性材料的偏移方向而確定,從而達到卷性材料張力調(diào)整等糾偏調(diào)整卷性材料偏移位置的目的。
[0044]上述在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置100，卷性材料400經(jīng)過真空等離子的處理后經(jīng)過導向輪機構(gòu)120，當卷性材料400各處的張力發(fā)生變化產(chǎn)生偏移或者卷性材料400兩端位置偏移時，通過糾偏傳感器140采集卷性材料400的偏移方向并輸出相應(yīng)的偏移信號，控制系統(tǒng)160接收糾偏傳感器140輸出的偏移信號而控制電驅(qū)動件110驅(qū)動連接桿130的運動，通過連接桿130的運動而調(diào)整導向輪機構(gòu)120的方向，從而達到卷性材料400張力調(diào)整等糾偏的目的；同時由于電驅(qū)動件110與控制系統(tǒng)160設(shè)置于常壓環(huán)境中，避免設(shè)置于真空等離子環(huán)境中而受到等離子的腐蝕作用，也解決了電驅(qū)動件設(shè)置于真空環(huán)境中散熱不好的問題，提高了糾偏裝置的使用壽命。
[0045]另外，安裝于等離子環(huán)境中的電驅(qū)動件110使用壽命一般只有一個月，而安裝于常壓環(huán)境中的電驅(qū)動件使用壽命一般可達五至十五年，并且電驅(qū)動件110的成本比較高，如果更換電驅(qū)動件110要花費很大成本，而若電驅(qū)動件在等離子環(huán)境中突然損壞，對產(chǎn)品的損失更大。因而將電驅(qū)動件110與糾偏執(zhí)行機構(gòu)分別安裝于常壓環(huán)境與真空環(huán)境中，提高了糾偏裝置的使用壽命，降低了成本。
[0046]以上所述實施例僅表達了本實用新型的幾種實施方式，其描述較為具體和詳細，但并不能因此而理解為對本實用新型專利范圍的限制。應(yīng)當指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本實用新型的保護范圍。因此，本實用新型專利的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準。
【權(quán)利要求】
1.一種在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置，其特征在于，包括電驅(qū)動件、糾偏執(zhí)行機構(gòu)和控制系統(tǒng)，所述糾偏執(zhí)行機構(gòu)設(shè)置于隔離框架形成的真空環(huán)境中，所述電驅(qū)動件和所述控制系統(tǒng)設(shè)置于常壓環(huán)境中，所述糾偏執(zhí)行機構(gòu)包括導向輪機構(gòu)、糾偏傳感器和連接桿，所述電驅(qū)動件和所述導向輪機構(gòu)通過所述連接桿連接，所述電驅(qū)動件與所述糾偏傳感器均與所述控制系統(tǒng)電連接，所述糾偏傳感器檢測卷性材料的偏移方向并輸出相應(yīng)的偏移信號，所述控制系統(tǒng)接收所述糾偏傳感器輸出的偏移信號而控制所述電驅(qū)動件調(diào)整所述導向輪機構(gòu)的方向，以使所述糾偏執(zhí)行機構(gòu)調(diào)整卷性材料的位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置，其特征在于，所述導向輪機構(gòu)包括: 導正棍； 固定板，安裝有第一固定座、第二固定座、第一固定桿和第二固定桿，所述第一固定桿和所述第二固定桿分別固定安裝于所述第一固定座和所述第二固定座； 軸承，所述軸承包括第一直線軸承、第二直線軸承、第一萬向軸承、第二萬向軸承和第三萬向軸承，所述第一直線軸承和所述第二直線軸承均固定于所述固定板，所述連接桿滑設(shè)于所述第一直線軸承和所述第二直線軸承內(nèi)，所述第一萬向軸承固定套設(shè)于所述連接桿并設(shè)置于所述第一直線軸承和所述第二直線軸承之間，且所述第一萬向軸承與所述導正棍固定連接，所述第二萬向軸承和所述第三萬向軸承均固定安裝于所述導正棍，所述第一固定桿和所述第二固定桿分別滑設(shè)于所述第二萬向軸承和所述第三萬向軸承內(nèi)，且所述第一萬向軸承、所述第二萬向軸承和所述第三萬向軸承呈三角形形狀設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置，其特征在于，所述導正棍包括底板、兩側(cè)板和兩導向軸，所述兩側(cè)板固定安裝于所述底板兩側(cè)；所述兩導向軸均安裝于所述兩側(cè)板，且分別安裝于所述兩側(cè)板的兩端；所述三個萬向軸承均固定安裝于所述底板一側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置，其特征在于，所述第一萬向軸承、所述第二萬向軸承和所述第三萬向軸承呈正三角形形狀設(shè)置，且所述第一萬向軸承、所述第二萬向軸承和所述第三萬向軸承構(gòu)成的正三角形位于所述底板的中心。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置，其特征在于，所述導向輪機構(gòu)不工作時，所述第一萬向軸承位于所述第一直線軸承和所述第二直線軸承中間。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任意一項所述的在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置，其特征在于，所述電驅(qū)動件包括電機和驅(qū)動缸，所述驅(qū)動缸安裝于所述電機，所述驅(qū)動缸與所述連接桿通過密封法蘭密封連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置，其特征在于，所述驅(qū)動缸為直線式驅(qū)動缸或者旋轉(zhuǎn)式驅(qū)動缸。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至5任意一項所述的在真空等離子環(huán)境中調(diào)整張力的糾偏裝置，其特征在于，還包括安裝架，所述糾偏傳感器通過所述安裝架安裝于所述導向輪機構(gòu)。
【文檔編號】B65H23/038GK203450907SQ201320293748
【公開日】2014年2月26日 申請日期:2013年5月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月24日
【發(fā)明者】趙公魄, 趙芝強, 梁冠雄, 丁雪苗, 劉玉平 申請人:珠海寶豐堂電子科技有限公司