清掃裝置制造方法
【專利摘要】提供一種清潔室中的設(shè)置較有利的頂棚輸送車（3）的清掃裝置。清掃裝置具備空氣噴出裝置（C），將頂棚輸送車（3）清掃，將沿著配設(shè)在清潔室內(nèi)的頂棚側(cè)的行進軌道（2）行進自如的頂棚輸送車（3）在被從外部空間（Z1）遮蔽的遮蔽空間（Z2）中設(shè)為行進停止?fàn)顟B(tài)，所述空氣噴出裝置（C）對頂棚輸送車（3）噴出空氣。
【專利說明】清掃裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種清掃裝置，其具備對沿著配設(shè)在清潔室內(nèi)的頂棚側(cè)的行進軌道行進的頂棚輸送車噴出空氣的空氣噴出裝置，將上述頂棚輸送車清掃。

【背景技術(shù)】
[0002]上述那樣的清掃裝置能夠?qū)㈦S著清潔室內(nèi)的行進而塵埃堆積、附著的頂棚輸送車清掃的裝置，為了防止隨著清掃產(chǎn)生的塵埃飛散到清潔室內(nèi)，具備形成被從外部空間遮蔽的遮蔽空間的區(qū)劃體，在由該區(qū)劃體形成的遮蔽空間中，空氣噴出裝置進行頂棚輸送車的清掃。
[0003]作為關(guān)于這樣的清掃裝置的一例，有以下這樣的裝置:設(shè)在頂棚輸送車的行進路徑上，空氣噴出裝置構(gòu)成為一邊使頂棚輸送車行進一邊清掃。(例如，參照專利文獻I)。
[0004]專利文獻1:特開2008 - 214084號公報。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]如果是上述專利文獻I的結(jié)構(gòu)，則頂棚輸送車在清掃裝置清掃動作的期間中沿著行進路徑行進移動，所以能夠防止隨著清掃產(chǎn)生的塵埃飛散到清潔室內(nèi)。此外，為此需要將形成遮蔽空間的區(qū)劃體用與在清掃中行進移動的頂棚輸送車的行進移動量對應(yīng)的長度較長的部件構(gòu)成，清掃裝置的結(jié)構(gòu)變得龐大。此外，在清潔室中要求高度的空間使用效率，但在上述專利文獻I的結(jié)構(gòu)中，由于為了設(shè)置區(qū)劃體而占用行進路徑中的較長的部分，所以并不好。
[0006]鑒于上述背景，希望實現(xiàn)一種清潔室中的設(shè)置較有利的頂棚輸送車的清掃裝置。
[0007]有關(guān)本發(fā)明的清掃裝置，具備對頂棚輸送車噴出空氣的空氣噴出裝置，將上述頂棚輸送車清掃，所述頂棚輸送車沿著配設(shè)在清潔室內(nèi)的頂棚側(cè)的行進軌道行進，所述清掃裝置設(shè)有區(qū)劃體，所述區(qū)劃體形成被從外部空間遮蔽的遮蔽空間；上述區(qū)劃體構(gòu)成為，上述頂棚輸送車通過行進移動而向上述遮蔽空間進入自如；上述空氣噴出裝置在上述遮蔽空間中對行進停止?fàn)顟B(tài)的上述頂棚輸送車進行清掃動作。
[0008]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，頂棚輸送車在通過行進移動進入到由區(qū)劃體形成的遮蔽空間中之后，通過停止在遮蔽空間內(nèi)，空氣噴出裝置能夠?qū)㈨斉镙斔蛙嚽鍜?。頂棚輸送車由于在被空氣噴出裝置清掃的期間中停止在遮蔽空間內(nèi)，所以作為遮蔽空間，將頂棚輸送車包圍的程度的大小就足夠。因此，區(qū)劃體的行進方向上的長度與頂棚輸送車的行進方向的長度相當(dāng)?shù)某潭鹊木o湊的結(jié)構(gòu)就足夠，清潔室中的設(shè)置變得有利。
[0009]這樣，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)清潔室中的設(shè)置較有利的頂棚輸送車的清掃裝置。
[0010]以下，對本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式的例子進行說明。
[0011]在有關(guān)本發(fā)明的清掃裝置的實施方式中，優(yōu)選的是，在上述區(qū)劃體上具備風(fēng)扇過濾器單元，所述風(fēng)扇過濾器單元具備:將上述遮蔽空間內(nèi)的空氣吸入并向上述遮蔽空間外排出的風(fēng)扇、和將該排出的空氣凈化的過濾器。
[0012]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，從空氣噴出裝置噴出空氣，隨著頂棚輸送車被清掃，堆積在頂棚輸送車上的塵埃被吹飛，浮動到遮蔽區(qū)間中。這樣含有隨著頂棚輸送車的清掃產(chǎn)生的塵埃的空氣被風(fēng)扇過濾器單元的風(fēng)扇吸入，作為排出空氣排出。該排出空氣被風(fēng)扇過濾器單元的過濾器凈化，塵埃被除去。
[0013]這樣，通過在區(qū)劃體上具備將風(fēng)扇和過濾器單元化的風(fēng)扇過濾器單元的簡單的結(jié)構(gòu)，能夠防止隨著頂棚輸送車的清掃產(chǎn)生的塵埃飛散到遮蔽空間的外部。因而，在實現(xiàn)清潔室的污染防止的同時，能夠抑制結(jié)構(gòu)的復(fù)雜化。
[0014]在有關(guān)本發(fā)明的清掃裝置的實施方式中，優(yōu)選的是，在上述區(qū)劃體上，設(shè)有上述頂棚輸送車向上述遮蔽空間進入的進入口、和上述頂棚輸送車從上述遮蔽空間退出的退出口 ；所述清掃裝置具備:進入口開閉裝置，向?qū)⑸鲜鲞M入口開放的開狀態(tài)和閉鎖的閉狀態(tài)切換自如；退出口開閉裝置，向?qū)⑸鲜鐾顺隹陂_放的開狀態(tài)和閉鎖的閉狀態(tài)切換自如；控制裝置，控制上述進入口開閉裝置及上述退出口開閉裝置的開閉動作以及上述空氣噴出裝置的清掃動作；塵埃濃度計測裝置，計測上述遮蔽空間中的塵埃的濃度；構(gòu)成為，上述控制裝置在上述頂棚輸送車在上述遮蔽空間中停止的狀態(tài)下控制上述進入口開閉裝置及上述退出口開閉裝置的動作，以使上述進入口開閉裝置及上述退出口開閉裝置成為上述閉狀態(tài)，然后控制上述空氣噴出裝置的動作，以使上述空氣噴出裝置的清掃動作開始；并且，上述控制裝置在使上述空氣噴出裝置的清掃動作開始后，基于上述塵埃濃度計測裝置的計測信息，如果判別為上述遮蔽空間中的塵埃的濃度下降到設(shè)定塵埃濃度，則控制上述空氣噴出裝置的動作，以使上述空氣噴出裝置的清掃動作結(jié)束。
[0015]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在頂棚輸送車在遮蔽空間中停止的狀態(tài)下進入口開閉裝置及退出口開閉裝置成為閉狀態(tài)后，開始空氣噴出裝置的清掃動作。并且，通過由空氣噴出裝置對頂棚輸送車的清掃產(chǎn)生的塵埃被風(fēng)扇過濾器單元凈化，被從遮蔽空間向遮蔽空間外排出。如果這樣頂棚輸送車的清掃進行，則遮蔽空間中的塵埃的濃度逐漸下降。
[0016]控制裝置基于塵埃濃度檢測裝置的檢測信息，如果判別為遮蔽空間中的塵埃的濃度下降到設(shè)定塵埃濃度，則使空氣噴出裝置的清掃動作結(jié)束。由此，將能夠?qū)⒍逊e在頂棚輸送車上的塵埃清掃到希望的狀態(tài)的情況下的塵埃濃度預(yù)先設(shè)定為設(shè)定塵埃濃度，由此能夠在將頂棚輸送車清掃到希望的狀態(tài)的階段中使空氣噴出裝置的動作停止。
[0017]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠可靠地使空氣噴出裝置動作直到頂棚輸送車成為希望的清掃狀態(tài)，并且能夠防止以清掃所需以上使頂棚輸送車停止約束在遮蔽空間中。
[0018]另外，在使空氣噴出裝置的動作停止后、或者同時或剛要停止之前使退出口開閉裝置成為開狀態(tài)，由此清掃完成的頂棚輸送車能夠從遮蔽空間向外部行進移動而退出。另夕卜，在頂棚輸送車退出后，也可以在使進入口開閉裝置成為開狀態(tài)、使退出口開閉裝置成為閉狀態(tài)的待機用開閉狀態(tài)下，等待下個頂棚輸送車的進入。順便說一下，在將清掃裝置設(shè)在行進路徑的端部的情況下，將進入口開閉裝置及退出口開閉裝置兼用。
[0019]在有關(guān)本發(fā)明的清掃裝置的實施方式中，優(yōu)選的是，上述空氣噴出裝置以自如變更噴出對象部位的狀態(tài)，具備多個噴出空氣的噴嘴而構(gòu)成。
[0020]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于空氣噴出裝置具備的噴出噴嘴自如變更噴出對象部位且設(shè)有多個，所以空氣噴出裝置能夠?qū)斉镙斔蛙嚨亩鄠€部位一邊變更噴出部位一邊進行清掃動作。因而，通過適當(dāng)配置多個噴出噴嘴、使這些噴出噴嘴的噴出對象部位變化而向頂棚輸送車噴出空氣，即使不對應(yīng)于頂棚輸送車中的需要清掃的全部部位分別設(shè)置噴出噴嘴，也能夠?qū)㈨斉镙斔蛙嚨男枰鍜叩牟课贿m當(dāng)?shù)厍鍜摺?br> [0021]在有關(guān)本發(fā)明的清掃裝置的實施方式中，優(yōu)選的是，設(shè)有維護用的升降裝置，所述維護用的升降裝置具備在上述行進軌道上行進的上述頂棚輸送車進入自如的殼體，在上述殼體內(nèi)具備使上述頂棚輸送車向地面?zhèn)让撾x的升降機構(gòu)；上述遮蔽空間由作為上述區(qū)劃體的上述殼體形成；上述空氣噴出裝置設(shè)在上述殼體內(nèi)。
[0022]根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于能夠在設(shè)置于頂棚輸送設(shè)備上的維護用的升降裝置的殼體內(nèi)進行頂棚輸送車的清掃，所以能夠有效地利用與維護用的升降裝置占用的清潔室中的地面部分對應(yīng)的空間區(qū)域。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0023]圖1是頂棚輸送設(shè)備的整體俯視圖。
[0024]圖2是具備清掃裝置的維護用的升降裝置的部分縱剖側(cè)視圖。
[0025]圖3是具備清掃裝置的維護用的升降裝置的部分縱剖主視圖。
[0026]圖4是具備清掃裝置的維護用的升降裝置的部分縱剖立體圖。
[0027]圖5是控制框圖。
[0028]圖6是控制框圖。
[0029]圖7是清掃控制的流程圖。

【具體實施方式】
[0030]接著，基于【專利附圖】

【附圖說明】有關(guān)本發(fā)明的清掃裝置的實施方式。
[0031]如圖1所示，沿著以經(jīng)由多個物品處理部I的方式設(shè)定的設(shè)定移動路徑，在頂棚側(cè)設(shè)置有頂棚輸送車行進用的行進軌道2，沿著設(shè)定移動路徑行進的頂棚輸送車3以被行進軌道2導(dǎo)引支承的狀態(tài)設(shè)置。
[0032]并且，頂棚輸送車3構(gòu)成為，從圖外的物品運入部位向物品處理部1、從物品處理部I向其他物品處理部1、以及從物品處理部I向圖外的物品運出部位輸送物品。上述行進軌道2設(shè)置在清潔室內(nèi)，頂棚輸送車3將自如收存多片半導(dǎo)體的基板收存容器作為輸送對象物輸送。
[0033]在頂棚輸送車3的行進部4，設(shè)有在行進軌道2的上表面上滾動的行進車輪5a和在行進軌道2的橫側(cè)面上滾動的導(dǎo)引車輪5b。并且構(gòu)成為，通過將行進車輪5a由行進用馬達Ml旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，頂棚輸送車3 —邊被行進軌道2導(dǎo)引一邊沿著設(shè)定移動路徑行進。
[0034]此外，在頂棚輸送車3中，具備把持物品并相對于行進部4升降移動的升降部6。升降部6構(gòu)成為，通過用升降用馬達M2 (參照圖6)使旋轉(zhuǎn)鼓筒(未圖示)向正反方向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動、將金屬線卷取及放出操作，來進行升降移動。
[0035]升降部6具備將基板收存容器在上部具備的凸緣把持自如的一對把持工具7。該一對把持工具7將基端側(cè)擺動自如地連結(jié)，以使前端側(cè)相互遠近移動。一對把持工具7構(gòu)成為，由把持用馬達M3切換操作為前端部相互接近而把持物品的把持姿勢和前端部相互離開而將物品的把持解除的解除姿勢。
[0036]在接受載置在物品處理部I的載置臺(未圖示)上的基板收存容器的情況下，使沒有支承基板收存容器的空載狀態(tài)的頂棚輸送車3停止在與該物品處理部I對應(yīng)的目標(biāo)停止位置。并且，在此狀態(tài)下，使升降部6下降移動到一對把持工具7能夠把持基板收存容器的高度后，將一對把持工具7從解除姿勢切換為把持姿勢，使其將載置在載置臺上的基板收存容器的凸緣把持。然后，使升降部6上升移動。
[0037]此外，在向物品處理部I的載置臺交接基板收存容器的情況下，使支承著基板收存容器的實載狀態(tài)的頂棚輸送車3停止在與該物品處理部I對應(yīng)的目標(biāo)停止位置。并且，在此狀態(tài)下，使升降部6下降移動直到基板收存容器被載置臺載置支承后，將一對把持工具7從把持姿勢切換為解除姿勢，使對于基板收存容器的把持解除。然后，使升降部6上升移動。
[0038]由頂棚輸送車3進行的基板收存容器的輸送動作，基于從上位的主控制器H3指令的輸送指令，由頂棚輸送車控制器H2 (參照圖6)控制。頂棚輸送車控制器H2構(gòu)成為，基于來自例如手動運轉(zhuǎn)用指令裝置D (參照圖6)的手動運轉(zhuǎn)指令，自如地執(zhí)行使頂棚輸送車3行進到頂棚輸送車抽取部位A的維護用運轉(zhuǎn)控制，所述手動運轉(zhuǎn)用指令裝置D由對頂棚輸送車控制器H2連接自如的終端裝置構(gòu)成。
[0039]如圖1所示，在上述設(shè)定移動路徑中的從環(huán)狀的移動路徑分支的移動路徑中設(shè)定了頂棚輸送車抽取部位A，在該頂棚輸送車抽取部位A設(shè)置有行進軌道升降裝置8。
[0040]并且，如圖2所示，在行進軌道升降裝置8中，設(shè)有行進軌道2中的與頂棚輸送車抽取部位A對應(yīng)的行進軌道部分2a，所述行進軌道部分2a向在支承著頂棚輸送車3的狀態(tài)下與上述行進軌道2的行進軌道主體2b相連的輸送車行進用高度(參照圖2)、和下降到地面?zhèn)鹊妮斔蛙嚾〕鲇酶叨壬狄苿幼匀?。由此，能夠?qū)⑿羞M到頂棚輸送車抽取部位A的頂棚輸送車3為了維護而向地面?zhèn)热〕?。即，行進軌道升降裝置8作為維護用的升降裝置發(fā)揮功能，所述維護用的升降裝置具備使頂棚輸送車3向地面?zhèn)让撾x的升降機構(gòu)。
[0041]行進軌道部分2a支承在升降體9上，升降體9由將多個框材縱橫組裝成的框體構(gòu)成。并且，行進軌道升降裝置8通過用縮放儀(pantograph)式的升降機構(gòu)10使升降體9升降操作，能夠使行進軌道部分2a升降移動到輸送車行進用高度和輸送車取出用高度。順便說一下，如圖2所示，行進軌道主體2b經(jīng)由支承托架11連結(jié)支承在頂棚上，但行進軌道2中的與頂棚輸送車抽取部位A對應(yīng)的行進軌道部分2a經(jīng)由支承托架11連結(jié)支承在升降體9的頂部。
[0042]在升降體9的下端部，在頂棚輸送車3的車體橫寬方向上并列設(shè)置有兩臺風(fēng)扇過濾器單元12，所述風(fēng)扇過濾器單元12將繞縱軸芯旋轉(zhuǎn)的電動式的送風(fēng)風(fēng)扇和將該送風(fēng)風(fēng)扇的上方覆蓋的板狀的除塵過濾器一體地組裝而構(gòu)成。這里，所謂車體橫寬方向，是指與頂棚輸送車3的行進方向及上下方向分別正交的方向。這些風(fēng)扇過濾器單元12在將頂棚輸送車3清掃時動作，將頂棚輸送車3位于的清掃空間Z2內(nèi)的空氣凈化而向外部空間Zl排出。
[0043]升降體9及升降機構(gòu)10配設(shè)在箱狀的殼體14的內(nèi)部，所述殼體14由縱支柱及水平框架構(gòu)架，具備上表面面板13T及側(cè)面面板13S。雖然圖示省略，但在殼體14的外側(cè)面上，設(shè)有作業(yè)者指令操作的升降指令開關(guān)，基于該升降指令開關(guān)的上升指令將升降機構(gòu)10向上升方向伸長驅(qū)動，由此將升降體9上升驅(qū)動，此外，基于下降指令將升降機構(gòu)10向下降方向縮短驅(qū)動，由此將升降體9下降驅(qū)動。
[0044]在4個側(cè)面面板13S中的、配設(shè)在與行進軌道主體2b對置的側(cè)面上的側(cè)面面板13S的上部，形成有輸送車進入口 15。此外，在配置在與形成有該輸送車進入口 15的側(cè)面面板13S對置的面上的側(cè)面面板13S的下部，形成有輸送車取出口 16。
[0045]在殼體14上，設(shè)有將輸送車進入口 15開閉自如的電動開閉器17。電動開閉器17以縱姿勢上下方向自如地配設(shè)有開閉器主體17a，具備將該開閉器主體17a開閉驅(qū)動的開閉器開閉用馬達M4而構(gòu)成，所述開閉器主體17a由比形成在行進軌道部分2a與行進軌道主體2b之間的間隙的長度薄的板壓的板狀體構(gòu)成。由此，電動開閉器17向開閉器主體17a位于比輸送車進入口 15靠下方而將輸送車進入口 15開放的開狀態(tài)、和位于與輸送車進入口 15對應(yīng)的高度而將輸送車進入口 15閉鎖的閉狀態(tài)切換自如。
[0046]在升降體9位于輸送車行進用高度的狀態(tài)下，通過使電動開閉器17成為閉狀態(tài)，由升降體9的底部和殼體14的上表面面板13T及側(cè)面面板13S形成封閉的空間，在該空間內(nèi)通過后述的空氣噴出裝置C進行頂棚輸送車3的清掃。S卩，位于殼體14的上方側(cè)的清掃空間Z2作為遮蔽空間發(fā)揮功能，具備風(fēng)扇過濾器單元12的升降體9的底部和殼體14的上表面面板13T及側(cè)面面板13S作為形成被從外部空間Zl遮蔽的遮蔽空間的區(qū)劃體K發(fā)揮功能。并且，作為區(qū)劃體K的側(cè)面面板13S構(gòu)成為，頂棚輸送車3通過行進移動向遮蔽空間進入自如。另外，為了確保清掃空間Z2的氣密性，優(yōu)選的是，適當(dāng)使用將位于輸送車行進用高度的升降體9的外周部與殼體14之間密封的密封構(gòu)造。
[0047]輸送車進入口 15由清掃對象的頂棚輸送車3或維護對象的頂棚輸送車3在向行進軌道升降裝置8的內(nèi)部進入的情況下經(jīng)過，并且由清掃完成后或維護完成后的頂棚輸送車3在向行進軌道升降裝置8的外部退出的情況下也經(jīng)過。S卩，輸送車進入口 15兼用作進入口及退出口。此外，電動開閉器17作為進入口開閉裝置及退出口開閉裝置發(fā)揮功能。
[0048]順便說一下，在行進軌道升降裝置8中設(shè)有在地面?zhèn)刃羞M自如、且具備頂棚輸送車換乘用輔助軌道2c的維護用臺車18，所述頂棚輸送車換乘用輔助軌道2c為與下降到輸送車取出用高度的行進軌道部分2a相同高度。由此，可以在使升降體9下降到輸送車取出用高度的狀態(tài)下，使頂棚輸送車3經(jīng)過輸送車取出口 16而從行進軌道部分2a移動到頂棚輸送車換乘用輔助軌道2c，在將頂棚輸送車3用維護用臺車18的頂棚輸送車換乘用輔助軌道2c支承的狀態(tài)下，使維護用臺車18移動到進行維護作業(yè)的部位等。
[0049]如圖2及圖3所示，升降體9具備在清掃空間Z2中對頂棚輸送車3噴出空氣而將頂棚輸送車3清掃的空氣噴出裝置C。空氣噴出裝置C以將噴出對象部位變更自如的狀態(tài)下具備多個自如噴出空氣的多個噴嘴20而構(gòu)成。空氣噴出裝置C在清掃空間Z2中對行進停止?fàn)顟B(tài)的頂棚輸送車3進行清掃動作。
[0050]多個噴嘴20相對于沿著頂棚輸送車3的前后方向延伸的平行配置的4根旋轉(zhuǎn)操作軸19分別以在軸心方向(在頂棚輸送車3的前后方向上相同)上分散配置的形態(tài)一體旋轉(zhuǎn)自如地被支承。4根旋轉(zhuǎn)操作軸19以在上下方向及車體寬度方向上隔開間隔的狀態(tài)旋轉(zhuǎn)自如地支承在升降體9上。在升降體9中的各旋轉(zhuǎn)操作軸19的端部位于的部位，安裝著經(jīng)由減速器21將旋轉(zhuǎn)操作軸19旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的噴嘴旋轉(zhuǎn)用馬達M5。
[0051]對于多個噴嘴20，從設(shè)在地上側(cè)的未圖示的清掃用空氣供給裝置經(jīng)由變形自如的供給軟管供給清掃用空氣。由此，噴嘴20能夠從清掃用空氣供給裝置接受清掃用空氣的供給，并與升降體9 一體升降自如。在從清掃用空氣供給裝置到多個噴嘴20的清掃用空氣供給路的中途部位設(shè)有將多個噴嘴20向噴出狀態(tài)和噴出停止?fàn)顟B(tài)切換的噴出用切換閥22(參照圖5)。
[0052]4根旋轉(zhuǎn)操作軸19中的配置在上方側(cè)的兩根上側(cè)旋轉(zhuǎn)操作軸19U，安裝在比清掃對象的頂棚輸送車3的行進部4的高度高且接近于該行進部4的高度。這里，所謂接近，是指離開距離為行進軌道2的高度以下的狀態(tài)。在從設(shè)在一對上側(cè)旋轉(zhuǎn)操作軸19U上的噴嘴20噴出空氣的狀態(tài)下，使上側(cè)旋轉(zhuǎn)操作軸19U旋轉(zhuǎn)，由此能夠?qū)⒍逊e在行進部4上的塵埃恰當(dāng)?shù)厍鍜?。此外?根旋轉(zhuǎn)操作軸19中的配置在下方側(cè)的兩根下側(cè)旋轉(zhuǎn)操作軸19D，安裝在與清掃對象的頂棚輸送車3的升降部6的高度相同的高度或錯開了設(shè)定距離的高度。在從設(shè)在一對下側(cè)旋轉(zhuǎn)操作軸19D上的噴嘴20噴出空氣的狀態(tài)下，使下側(cè)旋轉(zhuǎn)操作軸19D旋轉(zhuǎn)，由此能夠?qū)⒍逊e在升降部6及其驅(qū)動部上的塵埃恰當(dāng)?shù)厍鍜摺?br> [0053]另外，多個噴嘴20為了使清掃效果變充分，以前端部相對于清掃對象的頂棚輸送車3接近的方式配置，但是以不論被旋轉(zhuǎn)操作軸19旋轉(zhuǎn)操作為哪個姿勢、前端部都不與頂棚輸送車3干涉那樣的大小及位置配設(shè)。
[0054]在殼體14的內(nèi)部，設(shè)有計測使空氣噴出裝置C動作時的清掃空間Z2中的塵埃的濃度的、作為塵埃濃度計測裝置的周知的微粒計數(shù)器23。微粒計數(shù)器23設(shè)在比位于輸送車行進用高度時的升降體9靠上方側(cè)且比頂棚輸送車3靠下方側(cè)的接近的高度。由此，能夠在被位于清掃空間Z2的下部的風(fēng)扇過濾器單元12吸引的污染空氣的流通路徑中途計測該空氣中含有的塵埃的濃度。微粒計數(shù)器23的輸出信號被向清掃裝置控制器Hl輸入(參照圖5)。
[0055]如圖5所示，設(shè)有控制空氣噴出裝置C的清掃動作及電動開閉器17的開閉動作的作為控制裝置的清掃裝置控制器Hl。清掃裝置控制器Hl構(gòu)成為，基于在清掃空間Z2中自如檢測停止?fàn)顟B(tài)的頂棚輸送車3的輸送車檢測傳感器24的檢測信息，自如判別在清掃空間Z2中是否以停止?fàn)顟B(tài)存在清掃對象的頂棚輸送車3。輸送車檢測傳感器24構(gòu)成為，自如檢測位于清掃部位的頂棚輸送車3，即被位于輸送車行進用高度的行進軌道部分2a支承的頂棚輸送車3，優(yōu)選的是例如由測距式的光傳感器構(gòu)成，所述測距式的光傳感器自如計測到存在于檢測對象范圍中的檢測對象體為止的距離。
[0056]并且，清掃裝置控制器Hl如果作業(yè)者用清掃指令開關(guān)25指令了清掃指令，則基于該清掃指令控制開閉器開閉用馬達M4的動作，以在頂棚輸送車3停止在清掃空間Z2中的狀態(tài)下使電動開閉器17成為閉狀態(tài)。并且，清掃裝置控制器Hl構(gòu)成為，使空氣噴出裝置C的清掃動作開始，然后基于微粒計數(shù)器23的計測信息控制空氣噴出裝置C的動作，如果判別為清掃空間Z2中的塵埃的濃度下降到設(shè)定塵埃濃度，則使空氣噴出裝置C的清掃動作結(jié)束。
[0057]以下，基于圖7所示的流程圖，說明清掃控制的控制內(nèi)容，所述清掃控制是在通過作業(yè)者將手動運轉(zhuǎn)用指令裝置D指令操作而頂棚輸送車控制器H2執(zhí)行維護用運轉(zhuǎn)控制、頂棚輸送車3行進到頂棚輸送車抽取部位A后，作業(yè)者將清掃指令開關(guān)25指令操作的情況下的清掃裝置控制器Hl執(zhí)行的控制。
[0058]清掃裝置控制器Hl在步驟#1中，如果判別為被指令了清掃指令，則向步驟#2轉(zhuǎn)移，基于輸送車檢測傳感器24的檢測信息，判別在清掃空間Z2中是否停止有清掃對象的頂棚輸送車3。如果頂棚輸送車3沒有停止在清掃部位，則待機直到頂棚輸送車3到達清掃部位。如果頂棚輸送車3成為停止在清掃部位的狀態(tài)，則向步驟#3轉(zhuǎn)移，控制開閉器開閉用馬達M4的驅(qū)動，將電動開閉器17切換為閉狀態(tài)。并且，在步驟#4中，開始通過空氣噴出裝置C的清掃動作。即，使風(fēng)扇過濾器單元12的動作開始，將噴出用切換閥22切換為噴出狀態(tài)而從噴嘴20噴出清掃用空氣，并使噴嘴旋轉(zhuǎn)用馬達M5正反驅(qū)動，使多個噴嘴20與旋轉(zhuǎn)操作軸19 一體旋轉(zhuǎn)，使噴嘴20的前端部在設(shè)定角度范圍內(nèi)反復(fù)往復(fù)擺動。
[0059]清掃裝置控制器Hl在開始空氣噴出裝置C的清掃動作后，在步驟#5中監(jiān)視清掃空間Z2中的塵埃濃度。隨著清掃動作繼續(xù)，堆積在頂棚輸送車3上的塵埃向清掃空間Z2飛散，清掃空間Z2中的塵埃濃度暫時上升，而然后通過風(fēng)扇過濾器單元12的凈化作用逐漸下降。
[0060]清掃裝置控制器Hl基于微粒計數(shù)器23的計測信息，如果判別為清掃空間Z2中的塵埃濃度下降到目標(biāo)塵埃濃度，則向步驟#6轉(zhuǎn)移，結(jié)束空氣噴出裝置C的清掃動作。S卩，使風(fēng)扇過濾器單元12的動作停止，將噴出用切換閥22切換為噴出停止?fàn)顟B(tài)，從噴嘴20停止噴出清掃用空氣。然后，控制噴嘴旋轉(zhuǎn)用馬達M5的驅(qū)動，以使多個噴嘴20成為待機位置、即旋轉(zhuǎn)操作軸19的旋轉(zhuǎn)相位成為初始相位。并且，在步驟#7中，控制開閉器開閉用馬達M4的驅(qū)動，將電動開閉器17切換為開狀態(tài)。
[0061]為了使這樣清掃完成的頂棚輸送車3再次返回到基板收存容器的輸送作業(yè)，用手動運轉(zhuǎn)用指令裝置D對主控制器H3發(fā)送成為可選中(選擇為用于物品輸送處理的頂棚輸送車3)的內(nèi)容的信息。另外，在接著清掃作業(yè)而進行該頂棚輸送車3的維護作業(yè)的情況下，只要用設(shè)在殼體14的外側(cè)面上的圖外的升降指令開關(guān)指令下降指令、使升降體9下降到輸送車取出用高度、對維護用臺車18進行移動操作、使頂棚輸送車3移動到進行維護作業(yè)的部位等就可以。
[0062]〔其他實施方式〕
以上，基于發(fā)明的實施方式對由
【發(fā)明者】做出的發(fā)明具體地進行了說明，但本發(fā)明并不限定于上述實施方式，在不脫離其主旨的范圍內(nèi)能夠進行各種變更。以下，例示本發(fā)明的其他實施方式。
[0063](I)在上述實施方式中，例示了頂棚輸送車的清掃裝置的區(qū)劃體具備兼用作進入口和退出口的開口的形態(tài)，但也可以是區(qū)劃體分別具備進入口和退出口的形態(tài)。即，也可以是以頂棚輸送車的行進路徑將區(qū)劃體貫通的方式在行進路徑的中途部位設(shè)置區(qū)劃體、在區(qū)劃體的行進方向的前后兩端部設(shè)置進入口及退出口的經(jīng)過式的清掃裝置。此外，在上述實施方式中例示了清掃裝置設(shè)在立設(shè)于地面上的區(qū)劃體內(nèi)的形態(tài)，但區(qū)劃體也可以是從頂棚懸掛支承的形態(tài)。
[0064](2)在上述實施方式中，例示了空氣噴出裝置設(shè)在維護用的升降裝置的殼體內(nèi)的形態(tài)，但也可以代替它而是空氣噴出裝置設(shè)在清掃專用的裝置中的形態(tài)。
[0065](3)在上述實施方式中，例示了通過作業(yè)者指令的手動運轉(zhuǎn)指令使頂棚輸送車行進到清掃部位的形態(tài)，但也可以代替它，由管理頂棚輸送車的行進的管理裝置(例如可以由上述實施方式的頂棚輸送車控制器H2構(gòu)成)管理多個頂棚輸送車各自的累積行進量，控制頂棚輸送車的行進，以使累積行進量達到設(shè)定行進量的頂棚輸送車向清掃裝置行進，所述設(shè)定行進量被設(shè)定為清掃時期判別用。
[0066]此外，也可以代替是否達到設(shè)定為清掃時期判別用的設(shè)定行進量的判別條件，管理裝置構(gòu)成為，在行進路徑上設(shè)定多個或單一的行進量計測用部位，基于經(jīng)過行進量計測用部位的次數(shù)來判別清掃時期。在此情況下，只要在行進量計測用部位設(shè)置由光傳感器等構(gòu)成的經(jīng)過檢測裝置、管理頂棚輸送車的行進的管理裝置基于經(jīng)過檢測裝置的檢測信息、管理經(jīng)過了各頂棚輸送車的行進量計測用部位的次數(shù)就可以。
[0067](4)在上述實施方式中，例示了控制空氣噴出裝置的清掃動作的控制裝置在使空氣噴出裝置的清掃動作開始后、基于塵埃濃度計測裝置的計測信息、如果判別為遮蔽空間中的塵埃的濃度下降到設(shè)定塵埃濃度則使空氣噴出裝置的清掃動作結(jié)束的形態(tài)，但也可以是在使空氣噴出裝置的清掃動作開始后、如果通過計時裝置經(jīng)過設(shè)定時間則使空氣噴出裝置的清掃動作結(jié)束的形態(tài)。
[0068](5)在上述實施方式中，例示了空氣噴出裝置通過將噴嘴旋轉(zhuǎn)操作而自如變更噴出對象部位的形態(tài)，但也可以代替它或除此以外，通過將噴嘴上下或左右移動來自如變更噴出對象部位。此外，噴嘴也可以不能變更噴出對象部位。
[0069](6)在上述實施方式中，例示了空氣噴出裝置與通過升降機構(gòu)升降操作的升降體一體升降自如地設(shè)置的形態(tài)，但也可以代替它，而是空氣噴出裝置相對于區(qū)劃體固定的形態(tài)。在此情況下，噴嘴既可以使噴出對象部位變更自如，也可以不能變更噴出對象部位。
[0070]附圖標(biāo)記說明 C空氣噴出裝置
K區(qū)劃體 Zl外部空間 Z2遮蔽空間 Hl控制裝置 2行進軌道 3頂棚輸送車 10升降機構(gòu) 12風(fēng)扇過濾器單元 14殼體
15進入口、退出口
17進入口開閉裝置、退出口開閉裝置 20噴嘴
23塵埃濃度計測裝置。
【權(quán)利要求】
1.一種清掃裝置，具備對頂棚輸送車噴出空氣的空氣噴出裝置，將上述頂棚輸送車清掃，所述頂棚輸送車沿著配設(shè)在清潔室內(nèi)的頂棚側(cè)的行進軌道行進，所述清掃裝置的特征在于， 設(shè)有區(qū)劃體，所述區(qū)劃體形成被從外部空間遮蔽的遮蔽空間； 上述區(qū)劃體構(gòu)成為，上述頂棚輸送車通過行進移動而向上述遮蔽空間進入自如； 上述空氣噴出裝置在上述遮蔽空間中對行進停止?fàn)顟B(tài)的上述頂棚輸送車進行清掃動作。
2.如權(quán)利要求1所述的清掃裝置，其特征在于， 在上述區(qū)劃體上具備風(fēng)扇過濾器單元，所述風(fēng)扇過濾器單元具備:將上述遮蔽空間內(nèi)的空氣吸入并向上述遮蔽空間外排出的風(fēng)扇、和將該排出的空氣凈化的過濾器。
3.如權(quán)利要求2所述的清掃裝置，其特征在于， 在上述區(qū)劃體上，設(shè)有上述頂棚輸送車向上述遮蔽空間進入的進入口、和上述頂棚輸送車從上述遮蔽空間退出的退出口 ； 所述清掃裝置具備:進入口開閉裝置，向?qū)⑸鲜鲞M入口開放的開狀態(tài)和閉鎖的閉狀態(tài)切換自如；退出口開閉裝置，向?qū)⑸鲜鐾顺隹陂_放的開狀態(tài)和閉鎖的閉狀態(tài)切換自如；控制裝置，控制上述進入口開閉裝置及上述退出口開閉裝置的開閉動作以及上述空氣噴出裝置的清掃動作；塵埃濃度計測裝置，計測上述遮蔽空間中的塵埃的濃度； 構(gòu)成為， 上述控制裝置在上述頂棚輸送車在上述遮蔽空間中停止的狀態(tài)下控制上述進入口開閉裝置及上述退出口開閉裝置的動作，以使上述進入口開閉裝置及上述退出口開閉裝置成為上述閉狀態(tài)，然后控制上述空氣噴出裝置的動作，以使上述空氣噴出裝置的清掃動作開始；并且j 上述控制裝置在使上述空氣噴出裝置的清掃動作開始后，基于上述塵埃濃度計測裝置的計測信息，如果判別為上述遮蔽空間中的塵埃的濃度下降到設(shè)定塵埃濃度，則控制上述空氣噴出裝置的動作，以使上述空氣噴出裝置的清掃動作結(jié)束。
4.如權(quán)利要求1?3中任一項所述的清掃裝置，其特征在于， 上述空氣噴出裝置以自如變更噴出對象部位的狀態(tài)，具備多個噴出空氣的噴嘴而構(gòu)成。
5.如權(quán)利要求1?4中任一項所述的清掃裝置，其特征在于， 設(shè)有維護用的升降裝置，所述維護用的升降裝置具備在上述行進軌道上行進的上述頂棚輸送車進入自如的殼體，在上述殼體內(nèi)具備使上述頂棚輸送車向地面?zhèn)让撾x的升降機構(gòu)； 上述遮蔽空間由作為上述區(qū)劃體的上述殼體形成； 上述空氣噴出裝置設(shè)在上述殼體內(nèi)。
【文檔編號】B65G1/00GK104159838SQ201380012771
【公開日】2014年11月19日 申請日期:2013年2月28日 優(yōu)先權(quán)日:2012年3月6日
【發(fā)明者】柴田潤次, 大森和哉 申請人:株式會社大福