一種超潔凈真空部件包裝儲(chǔ)存方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種超潔凈真空部件包裝儲(chǔ)存方法，對超潔凈真空系統(tǒng)內(nèi)部的真空部件在清洗后，采用金屬轉(zhuǎn)移工具進(jìn)行空間轉(zhuǎn)移，采用金屬盒盒體作為真空部件儲(chǔ)存的容器，戴手套用金屬箔隔離情況取出和安裝真空部件減少超潔凈真空部件在清洗、包裝、儲(chǔ)存和運(yùn)輸過程中接觸有機(jī)污染物，避免有機(jī)污染物對超潔凈真空的污染。
【專利說明】一種超潔凈真空部件包裝儲(chǔ)存方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空潔凈度有要求的系統(tǒng)中污染物的控制技術(shù)，尤其涉及一種超潔凈真空部件包裝儲(chǔ)存方法。

【背景技術(shù)】
[0002]在大功率激光泵浦光源及應(yīng)用光學(xué)系統(tǒng)、極紫外光源光學(xué)系統(tǒng)、超潔凈分析儀器中，由于揮發(fā)性有機(jī)污染物在光學(xué)表面的沉積，將直接影響光學(xué)元件的性能和壽命，特別是在強(qiáng)激光作用下使有機(jī)污染物形成氣溶膠顆粒污染物，這些顆粒污染物在光學(xué)表面沉積還會(huì)帶來光學(xué)元件的損傷，因此在這些系統(tǒng)中對污染物的控制要求是非常高的。在對一些光學(xué)系統(tǒng)的污染物分析結(jié)果中，發(fā)現(xiàn)增塑劑是一種非常常見的污染物，它的來源，在很大程度上取決于系統(tǒng)中一般存在的有絕緣包皮的導(dǎo)線、塑料制品等包含有增塑劑的有機(jī)材料，由于這些材料的存在，使增塑劑通過真空揮發(fā)、強(qiáng)光照射、粒子碰撞等形式從材料中釋放出來，成為系統(tǒng)中的污染源。從這些材料中釋放出的增塑劑等污染物，可以通過密封包覆等方式，使污染物控制在包覆材料內(nèi)部，減少增塑劑對超潔凈真空系統(tǒng)的污染。
[0003]盡管通過一些措施能夠?qū)ο到y(tǒng)內(nèi)部的污染物進(jìn)行部分控制，但是在系統(tǒng)內(nèi)部使用的一些真空部件，由于清洗過后的儲(chǔ)存中采用的塑料外包裝、密封部件用的橡膠圈、搬運(yùn)安裝時(shí)使用的橡膠手套接觸等環(huán)節(jié)，仍會(huì)在真空部件表面形成二次污染，并將增塑劑等污染物帶入系統(tǒng)內(nèi)部。針對由此帶來的二次污染問題，本發(fā)明對包裝儲(chǔ)存方法進(jìn)行改進(jìn)，盡量避免真空部件二次污染。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]發(fā)明目的:為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本發(fā)明提供一種超潔凈真空部件包裝儲(chǔ)存方法，減少超潔凈真空部件在清洗、包裝、儲(chǔ)存和運(yùn)輸過程中接觸有機(jī)污染物，避免有機(jī)污染物對超潔凈真空的污染。
[0005]技術(shù)方案:為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0006]一種超潔凈真空部件包裝儲(chǔ)存方法，對超潔凈真空系統(tǒng)內(nèi)部的真空部件在清洗后，采用金屬轉(zhuǎn)移工具進(jìn)行空間轉(zhuǎn)移，采用金屬盒盒體作為真空部件儲(chǔ)存的容器，戴手套用金屬箔隔離情況取出和安裝真空部件。
[0007]具體步驟如下:
[0008]a、對超潔凈真空系統(tǒng)內(nèi)部的真空部件在清洗后，采用金屬轉(zhuǎn)移工具將真空部件轉(zhuǎn)移到金屬盒盒體內(nèi)，蓋上盒蓋并用鎖扣鎖緊；
[0009]b、對金屬盒盒體通過帶有閥門的真空管道及其閥門采用真空機(jī)組抽空后，將閥門關(guān)閉，使金屬盒盒體內(nèi)保持真空；
[0010]C、在使用真空部件時(shí)，帶有閥門的真空管道及其閥門連通潔凈干燥的保護(hù)氣體，打開閥門使金屬盒盒體內(nèi)沖入保護(hù)氣體，松開鎖扣，打開盒蓋；
[0011]d、戴手套用金屬箔隔離的情況下取出和安裝真空部件。
[0012]進(jìn)一步的，所述的保護(hù)氣體為干燥空氣、氮?dú)?、氦或氬氣?br> [0013]進(jìn)一步的，所述的真空部件存放在金屬籃筐內(nèi)清洗時(shí)，采用金屬轉(zhuǎn)移工具連同金屬籃筐一起轉(zhuǎn)移至金屬盒盒體內(nèi)儲(chǔ)存。
[0014]進(jìn)一步的，所述的真空部件為真空管時(shí)，在真空管的端口及外部表面用金屬箔包裹后，用金屬轉(zhuǎn)移工具將其轉(zhuǎn)移到金屬盒盒體內(nèi)。
[0015]進(jìn)一步的，所述的真空部件為光學(xué)部件，在所述光學(xué)部件的外部制作金屬框架，所述金屬框架設(shè)置有卡扣，用金屬轉(zhuǎn)移工具將其轉(zhuǎn)移到金屬盒盒體內(nèi)，通過卡扣將光學(xué)部件固定在金屬盒盒體內(nèi)的懸掛裝置上。
[0016]進(jìn)一步的，所述的儲(chǔ)存容器包括金屬盒盒體、盒蓋、金屬密封圈和帶有閥門的真空管道及其閥門，所述盒蓋固定安裝在所述金屬盒盒體上部，所述盒蓋與金屬盒盒體之間通過金屬密封圈密封，在所述金屬盒盒體設(shè)有帶有閥門的真空管道及其閥門。所述盒蓋通過鎖扣或法蘭螺栓固定在金屬盒盒體上。所述的金屬密封圈的材質(zhì)為鋁、錫、鉛、銀、金、銦軟性金屬或其合金。
[0017]有益效果:本發(fā)明的一種超潔凈真空部件包裝儲(chǔ)存方法，將清洗過后的真空部件與傳統(tǒng)的包裝所用的塑料薄膜、有機(jī)材料制成的包裝盒等進(jìn)行分離，避免了有機(jī)污染物蒸汽對真空部件的二次污染，有效減少超潔凈真空系統(tǒng)中的污染源。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]附圖1為本發(fā)明真空部件儲(chǔ)存容器結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]附圖2為本發(fā)明真空部件在金屬籃筐后在金屬盒內(nèi)懸掛示意圖。
[0020]附圖3為本發(fā)明真空管的存儲(chǔ)與轉(zhuǎn)移示意圖。
[0021]附圖4為本發(fā)明光學(xué)部件框架及固定結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]附圖5為本發(fā)明光學(xué)部件在金屬盒盒體內(nèi)懸掛示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0023]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作更進(jìn)一步的說明。
[0024]一種超潔凈真空部件包裝儲(chǔ)存方法，是對超潔凈真空系統(tǒng)內(nèi)部的真空部件I在清洗后，采用金屬轉(zhuǎn)移工具2進(jìn)行空間轉(zhuǎn)移，采用金屬盒盒體4作為真空部件I儲(chǔ)存的容器，戴手套用金屬箔3隔離情況取出和安裝真空部件I。
[0025]如附圖1所示，本發(fā)明的儲(chǔ)存容器包括金屬盒盒體4、盒蓋42、金屬密封圈43和帶有閥門的真空管道44，所述盒蓋42固定安裝在所述金屬盒盒體4上，所述盒蓋42通過鎖扣45或法蘭螺栓固定在金屬盒盒體4上，所述盒蓋42與金屬盒盒體4之間通過金屬密封圈43密封，所述的金屬密封圈43的材質(zhì)為鋁、錫、鉛、銀、金、銦軟性金屬或其合金，在所述金屬盒盒體4設(shè)有帶有閥門的真空管道44。
[0026]超潔凈真空部件包裝儲(chǔ)存方法的具體步驟如下:
[0027]a、對超潔凈真空系統(tǒng)內(nèi)部的真空部件I在清洗后，采用金屬轉(zhuǎn)移工具2將真空部件I轉(zhuǎn)移到金屬盒盒體4內(nèi)，蓋上盒蓋42并用鎖扣45鎖緊；
[0028]b、對金屬盒盒體4通過帶有閥門的真空管道44采用真空機(jī)組抽空后，將閥門關(guān)閉，使金屬盒盒體4內(nèi)保持真空；
[0029]C、在使用真空部件I時(shí)，帶有閥門的真空管道44連通潔凈干燥的保護(hù)氣體，所述的保護(hù)氣體為干燥空氣、氮?dú)?、氦或氬氣等惰性氣體，打開閥門使金屬盒盒體4內(nèi)沖入保護(hù)氣體，松開鎖扣45，打開盒蓋42 ；
[0030]d、戴手套用金屬箔3隔離的情況下取出真空部件安裝使用。
[0031]具體的清洗、包裝、存儲(chǔ)的真空部件I分為三種類型，分別是:真空部件I存放在金屬籃筐時(shí)、真空部件I為真空管時(shí)和真空部件I為光學(xué)部件時(shí)。下面為三種具體的實(shí)施例:
[0032]第一種:真空部件I存放在金屬籃筐時(shí)；
[0033]如附圖2所示，所述的真空部件I存放在金屬籃筐7內(nèi)清洗時(shí)，采用金屬轉(zhuǎn)移工具2連同金屬籃筐7 —起轉(zhuǎn)移至金屬盒盒體4內(nèi)儲(chǔ)存。
[0034]具體的，對于一批超潔凈真空內(nèi)部真空部件I進(jìn)行清洗、儲(chǔ)存時(shí)，將真空部件I放入金屬籃筐內(nèi)7內(nèi)，連同金屬籃筐7 —起在清洗裝置內(nèi)清洗、烘干后，利用金屬轉(zhuǎn)移工具2將真空部件I連同金屬籃筐7 —起取出，轉(zhuǎn)移到金屬盒盒體4內(nèi)，并固定在盒內(nèi)的懸掛裝置41上。此時(shí)蓋上金屬盒蓋42，并用鎖扣45將金屬盒蓋42鎖緊，使金屬盒蓋42與金屬盒盒體4之間通過采用銦錫合金制作的金屬密封圈43密封，對金屬盒盒體4通過帶閥門的真空管道44采用干泵和磁懸浮分子泵組成的真空機(jī)組抽真空后，將閥門關(guān)閉，使金屬盒盒體4內(nèi)部保持真空，使真空部件保持儲(chǔ)存在潔凈真空狀態(tài)。在使用真空部件I時(shí)，在真空管道及其閥門44上連通潔凈干燥的保護(hù)氣體，打開閥門使金屬盒盒體4沖入保護(hù)氣體，松開鎖扣45，打開金屬盒蓋42，戴手套在用金屬箔3隔離的情況下從金屬籃筐7內(nèi)取出真空部件I。在安裝過程中，可戴手套用金屬箔3對真空部件I進(jìn)行包覆后操作將其在超潔凈真空系統(tǒng)內(nèi)部固定，操作過程中僅接觸包覆在真空部件I外的金屬箔3，在安裝結(jié)束后可將包覆的金屬箔3取下，保持真空部件I不與手套等可能帶來污染物的材料接觸。所述的金屬箔3可以是金屬鋁箔或金屬錫箔。
[0035]第二種:真空部件I為真空管時(shí)；
[0036]如附圖3所示，所述的真空部件I為真空管11時(shí)，采用的金屬轉(zhuǎn)移工具2為鉗夾21，在真空管11的端口及外部表面用金屬箔3包裹后，用鉗夾21將其轉(zhuǎn)移到金屬盒盒體4內(nèi)。
[0037]具體的，對于一段超潔凈真空內(nèi)部真空部件I的真空管11，對其在清洗裝置內(nèi)清洗、烘干后，利用金屬轉(zhuǎn)移工具2鉗夾21將其取出，在其端口 6及外部表面用金屬箔3包裹后，用鉗夾21將其放置到清洗干凈的金屬盒盒體4內(nèi)，蓋上金屬盒蓋42，并用鎖扣45將金屬盒蓋42鎖緊，使金屬盒蓋42與金屬盒盒體4之間通過采用銦錫合金制作的金屬密封圈43密封，對金屬盒盒體4通過帶閥門的真空管道及其閥門44采用干泵和磁懸浮分子泵組成的真空機(jī)組抽真空后，將閥門關(guān)閉，使金屬盒盒體4內(nèi)部保持真空，使真空管11保持儲(chǔ)存在潔凈真空狀態(tài)。在使用真空管11時(shí)，在真空管道及其閥門44上連通潔凈干燥的保護(hù)氣體，打開閥門使金屬盒盒體4內(nèi)沖入保護(hù)氣體，松開鎖扣45，打開金屬盒蓋42，通過鉗夾21取出真空管11。在安裝過程中，可戴手套接觸取下包括在端口的金屬箔3以便來安裝真空管11，操作過程中僅接觸包覆在真空管11外的金屬箔3，在安裝結(jié)束后可將包覆的金屬箔3取下，保持真空管11不與手套等可能帶來污染物的材料接觸。所述的金屬箔3可以是金屬鋁箔或金屬錫箔。
[0038]第三種:真空部件I為光學(xué)部件時(shí)；
[0039]如附圖4和5所示，所述的真空部件I為光學(xué)部件12，在所述光學(xué)部件12的外部制作金屬框架，所述金屬框架設(shè)置有卡扣51，所述的金屬轉(zhuǎn)移工具2為掛鉤22，用掛鉤22將光學(xué)部件12轉(zhuǎn)移到金屬盒盒體4內(nèi)，通過卡扣51將光學(xué)部件12固定在盒內(nèi)的懸掛裝置41上。
[0040]具體的，對于超潔凈真空內(nèi)部真空部件I的光學(xué)部件12，在其未鍍光學(xué)膜前，在其外部制作金屬框架5，并在金屬框架的四個(gè)頂角制作用于固定卡扣51。制作好金屬框架5的光學(xué)部件12，將其連同金屬框架5—起在清洗裝置內(nèi)清洗、烘干后，利用掛鉤22鉤在卡扣51上將其取出，轉(zhuǎn)移到鍍膜裝置中制作光學(xué)膜后，因光學(xué)膜容易受傷，因此不能用金屬箔進(jìn)行包覆。用掛鉤22將光學(xué)部件12轉(zhuǎn)移到金屬盒盒體4內(nèi)，將卡扣51固定在金屬盒盒體4內(nèi)的懸掛裝置41上。蓋上金屬盒蓋42，并用鎖扣45將金屬盒蓋42鎖緊，使金屬盒蓋42與金屬盒盒體4之間通過采用銦錫合金制作的金屬密封圈43密封，對金屬盒盒體4通過帶閥門的真空管道及其閥門44采用干泵和磁懸浮分子泵組成的真空機(jī)組抽真空后，將閥門關(guān)閉，使金屬盒盒體4內(nèi)部保持真空，使光學(xué)部件12保持儲(chǔ)存在潔凈真空狀態(tài)。在使用光學(xué)部件12時(shí)，在真空管道及其閥門44上連通潔凈干燥的保護(hù)氣體，打開閥門使金屬盒盒體4內(nèi)沖入保護(hù)氣體，松開鎖扣45，打開金屬盒蓋42，通過掛鉤22取出光學(xué)部件12。在安裝過程中，可帶手套用金屬箔3對卡扣51部分進(jìn)行包覆后操作將光學(xué)部件12固定，操作過程中僅接觸包覆在光學(xué)部件12外的金屬箔3，在安裝結(jié)束后可將包覆的金屬箔3取下，保持光學(xué)部件12不與手套等可能帶來污染物的材料接觸。所述的金屬箔3可以是金屬鋁箔或金屬錫箔。
[0041]以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出:對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種超潔凈真空部件包裝儲(chǔ)存方法，其特征在于，對超潔凈真空系統(tǒng)內(nèi)部的真空部件(I)在清洗后，采用金屬轉(zhuǎn)移工具(2)進(jìn)行空間轉(zhuǎn)移，采用金屬盒盒體(4)作為真空部件(I)儲(chǔ)存的容器，戴手套用金屬箔(3)隔離情況取出和安裝真空部件(I)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種超潔凈真空部件包裝儲(chǔ)存方法，其特征在于，具體步驟如下: a、對超潔凈真空系統(tǒng)內(nèi)部的真空部件(I)在清洗后，采用金屬轉(zhuǎn)移工具(2)將真空部件(I)轉(zhuǎn)移到金屬盒盒體(4)內(nèi)，蓋上盒蓋(42)并用鎖扣(45)鎖緊； b、對金屬盒盒體(4)通過帶有閥門的真空管道及其閥門(44)采用真空機(jī)組抽空后，將閥門關(guān)閉，使金屬盒盒體(4)內(nèi)保持真空； C、在使用真空部件(I)時(shí)，帶有閥門的真空管道及其閥門(44)連通潔凈干燥的保護(hù)氣體，打開閥門使金屬盒盒體(4)內(nèi)沖入保護(hù)氣體,松開鎖扣(45)，打開盒蓋(42)； d、戴手套用金屬箔(3)隔離的情況下取出和安裝真空部件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種超潔凈真空部件包裝儲(chǔ)存方法，其特征在于:所述的保護(hù)氣體為干燥空氣、氮?dú)?、氦或氬氣?br> 4.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種超潔凈真空部件包裝儲(chǔ)存方法，其特征在于:所述的真空部件(I)存放在金屬籃筐(7)內(nèi)清洗時(shí)，采用金屬轉(zhuǎn)移工具(2)連同金屬籃筐(7) —起轉(zhuǎn)移至金屬盒盒體(4)內(nèi)儲(chǔ)存。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種超潔凈真空部件包裝儲(chǔ)存方法，其特征在于:所述的真空部件⑴為真空管(11)時(shí)，在真空管(11)的端口及外部表面用金屬箔⑶包裹后，用金屬轉(zhuǎn)移工具(2)將其轉(zhuǎn)移到金屬盒盒體(4)內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種超潔凈真空部件包裝儲(chǔ)存方法，其特征在于:所述的真空部件(I)為光學(xué)部件(12)，在所述光學(xué)部件(12)的外部制作金屬框架，所述金屬框架設(shè)置有卡扣(51)，用金屬轉(zhuǎn)移工具(2)將其轉(zhuǎn)移到金屬盒盒體(4)內(nèi)，通過卡扣(51)將光學(xué)部件(12)固定在金屬盒盒體(4)內(nèi)的懸掛裝置(41)上。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種超潔凈真空部件包裝儲(chǔ)存方法，其特征在于:所述的儲(chǔ)存容器包括金屬盒盒體(4)、盒蓋(42)、金屬密封圈(43)和帶有閥門的真空管道及其閥門(44)，所述盒蓋(42)固定安裝在所述金屬盒盒體(4)上部，所述盒蓋(42)與金屬盒盒體(4)之間通過金屬密封圈(43)密封，在所述金屬盒盒體(4)設(shè)有帶有閥門的真空管道及其閥門(44)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述一種超潔凈真空部件包裝儲(chǔ)存方法，其特征在于:所述盒蓋(42)通過鎖扣(45)或法蘭螺栓固定在金屬盒盒體(4)上。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述一種超潔凈真空部件包裝儲(chǔ)存方法，其特征在于:所述的金屬密封圈(43)的材質(zhì)為鋁、錫、鉛、銀、金、銦軟性金屬或其合金。
【文檔編號(hào)】B65B55/24GK104139893SQ201410332451
【公開日】2014年11月12日 申請日期:2014年7月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月11日
【發(fā)明者】張曉兵, 肖梅, 康學(xué)軍, 夏柱紅, 祁爭健, 陳振乾 申請人:東南大學(xué)