一種硅片盒充氣口以及充氣裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種硅片盒充氣口，包括充氣管道、彈簧以及外殼。所述充氣管道穿過所述外殼，所述彈性元件設(shè)置于所述外殼與充氣管道之間，且沿所述充氣管道的軸向伸縮。根據(jù)本實用新型的另一面，還提供了一種充氣裝置，包括所述硅片盒充氣口以及與硅片盒充氣口相連接的充氣管道。本實用新型不僅避免了在操作過程中引入外界雜質(zhì)，而且提高了充氣效率，節(jié)省人力財力。同時，這種硅片盒充氣口以及充氣裝置，結(jié)構(gòu)簡單，易于實現(xiàn)。
【專利說明】一種硅片盒充氣口以及充氣裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及集成電路制造【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種硅片盒充氣口以及充氣裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著人類科學(xué)技術(shù)的高度快速發(fā)展，現(xiàn)代高科技制造技術(shù)達到了空前狀態(tài)。而在其發(fā)展過程中，使用頻率最高的當(dāng)然是半導(dǎo)體。由于半導(dǎo)體制造工藝變得越來越復(fù)雜，且大多用于集成方面，所以半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性和器件的集成性使得半導(dǎo)體對于環(huán)境的敏感度越來越高。
[0003]大多數(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)商選擇硅片盒用于承載生產(chǎn)出來的硅片，如果方式得當(dāng)，可以確保硅片在運輸和儲存的過程中不被損壞和污染，并使后續(xù)清潔和處理硅片的過程變得非常方便。由于硅片用作生產(chǎn)的頻繁性，生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性以及所生產(chǎn)器件的集成性，導(dǎo)致硅片對硅片盒內(nèi)部環(huán)境的要求也不斷提高。這可以通過對硅片盒內(nèi)部填充惰性氣體，例如高純度氮氣，使硅片盒的內(nèi)部環(huán)境得以改善。不僅避免外界雜質(zhì)進入，在提高硅片保存時間的同時，也不會對硅片造成損壞。然而目前半導(dǎo)體工廠所使用的高純惰性氣體填充裝置全部采用手動操作完成，不僅充氣效率低，在操作過程中易發(fā)生漏氣引入雜質(zhì)，而且容易發(fā)生錯誤操作導(dǎo)致硅片盒以及硅片的損壞。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種硅片盒充氣口以及充氣裝置，以解決手動操作裝置充氣效率低、容易引入外界雜質(zhì)以及其他不可避免的損壞的問題。
[0005]為了達到上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案:
[0006]一種硅片盒充氣口，其特征在于，包括充氣管道、彈性元件以及外殼，所述充氣管道穿過所述外殼，所述彈性元件設(shè)置于所述外殼與充氣管道之間，且沿所述充氣管道的軸向伸縮。
[0007]可選的，在上述的娃片盒充氣口中，所述外殼包括第一外殼以及與所述第一外殼連接的第二外殼。
[0008]可選的，在上述的硅片盒充氣口中，所述第一外殼的一端具有一圓孔，其尺寸與所述充氣管道的外徑相匹配；所述第一外殼的另一端為敞口，所述敞口的外壁設(shè)置有外螺紋。
[0009]可選的,在上述的娃片盒充氣口中，所述第二外殼的一端具有一圓孔，其尺寸與所述充氣管道的外徑相匹配；所述第二外殼的另一端為敞口，所述敞口內(nèi)壁設(shè)置有內(nèi)螺紋；所述第二外殼的內(nèi)螺紋與所述第一外殼的外螺紋相匹配。
[0010]可選的，在上述的硅片盒充氣口中，所述充氣管道的一端作為充氣嘴，另一端作為進氣接頭。
[0011]可選的，在上述的硅片盒充氣口中，所述充氣管道的外壁固定連接一彈性元件限位卡口，所述彈性元件限位卡口靠近所述充氣嘴的位置。[0012]可選的，在上述的硅片盒充氣口中，所述充氣嘴與一硅片盒進氣嘴相匹配，所述充氣嘴外壁具有一削角度。
[0013]另外，根據(jù)本實用新型的另一面，還提供了一種充氣裝置，所述充氣裝置包括所述的硅片盒充氣口以及與所述硅片盒充氣口的進氣接頭相連接的進氣管道。
[0014]本實用新型所提供的硅片盒充氣口以及充氣裝置具有如下有益效果:
[0015]1.本實用新型提供的硅片盒充氣口，在所述外殼與充氣管道之間設(shè)置有彈性元件，使硅片盒充氣口具有自適應(yīng)功能，一方面，保證在充氣過程中避免引入外界雜質(zhì)，提高硅片保存時間；另一方面，這種具有自適應(yīng)功能的硅片盒充氣口可提高充氣效率，節(jié)省人力財力。
[0016]2.本實用新型提供的硅片盒充氣口，所述充氣管道兩端分別連接充氣嘴和進氣接頭，所述充氣嘴外側(cè)的所述充氣管道上具有一削角度，可以保證充氣嘴與硅片盒進氣嘴相匹配，連接吻合。
[0017]3.本實用新型提供的硅片盒充氣口以及充氣裝置，結(jié)構(gòu)簡單，易于實現(xiàn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]本實用新型的硅片盒充氣口由以下的實施例及附圖給出。
[0019]圖1是本實用新型實施例的硅片盒充氣口的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2是本實用新型實施例的硅片盒充氣口的截面圖；
[0021]圖3是本實用新型實施例的硅片盒充氣口的充氣管道結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖4是本實用新型實施例的硅片盒充氣口的充氣管道截視圖；
[0023]圖中，1-充氣管道，11-充氣嘴，12-進氣接頭，13-彈性元件限位卡口，14-第一充氣管道，15-第二充氣管道,2-彈性兀件,3-外殼,31-第一外殼,32-第二外殼。
【具體實施方式】
[0024]以下將對本實用新型的硅片盒充氣口及充氣裝置進行進一步的詳細描述。
[0025]為使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本實用新型的【具體實施方式】做詳細的說明。
[0026]在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本實用新型，但是本實用新型還可以采用不同于在此描述的其它方式來實施，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實用新型內(nèi)涵的情況下做類似推廣，因此本實用新型不受下面公開的具體實施例的限制。
[0027]請參閱圖1至圖4，這種硅片盒充氣口，包括充氣管道I，彈性元件2，外殼3，所述充氣管道I穿過所述外殼3，所述彈性元件2設(shè)置于所述外殼3與充氣管道I之間，且沿所述充氣管道I的軸向伸縮。
[0028]本實施例中，所述外殼3包括第一外殼31以及與所述第一外殼連接的第二外殼32,所述第一外殼31和第二外殼32均為中空的圓柱形。
[0029]具體地說，所述第一外殼31的上端具有一圓孔，其尺寸與所述充氣管道I的外徑相匹配；所述第一外殼31的下端為敞口，所述敞口外壁設(shè)置有外螺紋。所述第二外殼32的下端具有一圓孔，其尺寸與所述充氣管道I的外徑相匹配；所述第二外殼32的上端為敞口，在敞口內(nèi)壁設(shè)置有內(nèi)螺紋，所述內(nèi)螺紋與所述第一外殼31的外螺紋相匹配。所述第一外殼31的外徑與第二外殼32的內(nèi)徑相匹配,并通過所述第一外殼31的外螺紋與所述第二外殼32的內(nèi)螺紋連接。
[0030]為了限定所述彈性元件2的位置，所述充氣管道I的外壁上還固定連接一彈性元件限位卡口 13。所述彈性元件限位卡口 13的形狀為圓環(huán)形，用于承載所述第一外殼31。本實施例中，所述彈性元件限位卡口 13與充氣管道I是一體成型的，制作工藝簡單。
[0031]其中，所述充氣管道I包括第一充氣管道14以及與第一充氣管道14垂直連接的第二充氣管道15。所述第一充氣管道14的上端作為充氣嘴11，用于連接硅片盒充氣口 ；所述彈性元件限位卡口 13設(shè)置于靠近充氣嘴11的位置。所述第二充氣管道15的末端作為進氣接頭12，用于連接外部充氣管道。
[0032]為保證在充氣過程中，充氣嘴11與硅片盒進氣嘴相匹配，所述充氣嘴11的外壁設(shè)置一削角度。
[0033]所述充氣管道I優(yōu)選采用鏡面不銹鋼材料，確保高純氣體充入時不引入其它雜質(zhì)。
[0034]本實施例中，所述彈性元件2是彈簧，所述彈簧纏繞于充氣管道I的外壁上，且沿所述充氣管道I的軸向伸縮?？筛鶕?jù)彈簧的自然長度，設(shè)置彈性元件限位卡口 13到第二外殼32下端的距離。所述彈性元件2可以為等剛度的圓柱形螺旋彈簧，也可以為變剛度的錐形螺旋彈簧。
[0035]下面結(jié)合圖1至圖4詳細說明本實用新型的工作原理。
[0036]當(dāng)充氣管道I的充氣嘴11連接于硅片盒的充氣嘴時，將充氣管道I向下壓，彈性元件限位卡口 13也伴隨著充氣管道I 一起向下移動，使得彈性元件2被壓縮。由于彈性元件2的反抗作用，使充氣嘴11緊密的連接于硅片盒的進氣嘴上，達到自適應(yīng)充氣的功能。確保在充氣過程中不漏氣，避免外界雜質(zhì)的引入，不會對硅片造成損害。
[0037]根據(jù)本實用新型的另一面，還提供一種充氣裝置，該充氣裝置包括所述的硅片盒充氣口以及與所述硅片盒充氣口相連接的進氣管道，兩者通過硅片盒充氣口的進氣接頭相連，所述進氣管道與所述硅片盒充氣口的充氣管道相匹配，以通過所述硅片盒充氣口的充氣管道向硅片盒供氣。該充氣裝置能提高硅片盒充氣效率，節(jié)省人力財力。同時，保證在硅片盒充氣過程中避免引入外界雜質(zhì)，提高硅片保存時間。
[0038]本實用新型雖然已以較佳實施例公開如上，但其并不是用來限定本實用新型，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本實用新型的精神和范圍內(nèi)，都可以利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對本實用新型技術(shù)方案做出可能的變動和修改，因此，凡是未脫離本實用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化及修飾，均屬于本實用新型技術(shù)方案的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片盒充氣口，其特征在于，包括充氣管道、彈性元件以及外殼，所述充氣管道穿過所述外殼，所述彈性元件設(shè)置于所述外殼與充氣管道之間，且沿所述充氣管道的軸向伸縮。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的娃片盒充氣口，其特征在于，所述外殼包括第一外殼以及與所述第一外殼連接的第二外殼。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的娃片盒充氣口，其特征在于,所述第一外殼的一端具有一圓孔，其尺寸與所述充氣管道的外徑相匹配；所述第一外殼的另一端為敞口，所述敞口的外壁設(shè)置有外螺紋。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的娃片盒充氣口，其特征在于，所述第二外殼的一端具有一圓孔，其尺寸與所述充氣管道的外徑相匹配；所述第二外殼的另一端為敞口，所述敞口內(nèi)壁設(shè)置有內(nèi)螺紋；所述第二外殼的內(nèi)螺紋與所述第一外殼的外螺紋相匹配。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片盒充氣口，其特征在于，所述充氣管道的一端作為充氣嘴，另一端作為進氣接頭。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片盒充氣口，其特征在于，所述充氣管道的外壁固定連接一彈性元件限位卡口，所述彈性元件限位卡口靠近所述充氣嘴的位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅片盒充氣口，其特征在于，所述充氣嘴與一硅片盒進氣嘴相匹配，所述充氣嘴外壁具有一削角度。
8.一種充氣裝置，包括一進氣管道，其特征在于，還包括如權(quán)利要求1至7中任意一項所述的硅片盒充氣口，所述硅片盒充氣口與所述進氣管道連接。
【文檔編號】B65D81/20GK203793958SQ201420198061
【公開日】2014年8月27日 申請日期:2014年4月22日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月22日
【發(fā)明者】袁海嶺, 李炯 申請人:上海華力微電子有限公司