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      一種金屬蝕刻液儲(chǔ)液罐的制作方法

      文檔序號(hào):4309393閱讀:221來源:國(guó)知局
      一種金屬蝕刻液儲(chǔ)液罐的制作方法
      【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種金屬蝕刻液儲(chǔ)液罐。現(xiàn)有的蝕刻液儲(chǔ)液罐由于析出的顆粒雜質(zhì)可能進(jìn)入蝕刻腔體,造成金屬蝕刻過程中出現(xiàn)缺陷。本實(shí)用新型包括:罐體,罐體頂部設(shè)置有開口;斜坡結(jié)構(gòu),設(shè)置于罐體內(nèi)并位于開口下方;儲(chǔ)液部,位于斜坡結(jié)構(gòu)下方并與斜坡結(jié)構(gòu)聯(lián)通;出液口,設(shè)置于儲(chǔ)液部底部;管道,連接儲(chǔ)液部和斜坡結(jié)構(gòu)上方的罐壁或者罐頂;泵,作用于管道,可控制的使儲(chǔ)液部的液體流向斜坡結(jié)構(gòu)上方;斜坡結(jié)構(gòu)上設(shè)置有臺(tái)階。本實(shí)用新型通過斜坡結(jié)構(gòu)上的臺(tái)階在金屬蝕刻液進(jìn)入罐體時(shí)將其中的析出顆粒物留在臺(tái)階上;儲(chǔ)液部的金屬蝕刻液通過管道在此泵送到斜坡結(jié)構(gòu)上方,經(jīng)過一段靜置時(shí)間的金屬蝕刻液再次通過斜坡結(jié)構(gòu),去除靜置期間可能析出的顆粒物。
      【專利說明】一種金屬蝕刻液儲(chǔ)液耀

      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實(shí)用新型屬于加工設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】,涉及一種金屬蝕刻設(shè)備的金屬蝕刻液儲(chǔ)液罐。

      【背景技術(shù)】
      [0002]金屬蝕刻片是將金屬片材經(jīng)化學(xué)浸濕后得到的帶有預(yù)定圖文的金屬結(jié)構(gòu),其被廣泛的應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域以及用做外觀裝飾件。
      [0003]現(xiàn)有的金屬蝕刻片加工方法,一般是通過在金屬片材上滾涂光膠,隨后通過帶有預(yù)設(shè)圖案的光罩進(jìn)行曝光使金屬片材上留下圖案化的光膠膜,隨后通過化學(xué)浸蝕,將金屬片材上沒有覆蓋光膠膜的部分腐蝕,留下的部分則形成金屬蝕刻片。
      [0004]化學(xué)浸蝕過程中需要使用金屬蝕刻液,由于金屬蝕刻液為化學(xué)藥劑配置而成,且蝕刻不同材質(zhì)金屬時(shí)需要使用不同的化學(xué)藥劑,化學(xué)藥劑調(diào)配過程中可能析出顆粒雜質(zhì),不同的化學(xué)藥劑相互反應(yīng)也會(huì)產(chǎn)生一些顆粒物質(zhì),這些顆粒物質(zhì)如隨金屬蝕刻液進(jìn)入蝕刻腔體則可能造成金屬蝕刻過程中出現(xiàn)缺陷。


      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0005]針對(duì)現(xiàn)有的金屬蝕刻液存在的上述問題,本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案的主要目的是:提供一種可去除金屬蝕刻液中析出顆粒物的金屬蝕刻液儲(chǔ)液罐。
      [0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型采用了如下的技術(shù)方案:
      [0007]—種金屬蝕刻液儲(chǔ)液罐,其中,包括:
      [0008]罐體,所述罐體頂部設(shè)置有開口 ;
      [0009]斜坡結(jié)構(gòu),設(shè)置于所述罐體內(nèi)并位于所述開口下方;
      [0010]儲(chǔ)液部,位于所述斜坡結(jié)構(gòu)下方并與所述斜坡結(jié)構(gòu)聯(lián)通;
      [0011]出液口,設(shè)置于所述儲(chǔ)液部底部;
      [0012]管道,連接所述儲(chǔ)液部和所述斜坡結(jié)構(gòu)上方的罐壁或者罐頂;
      [0013]泵,作用于所述管道,可控制的使所述儲(chǔ)液部的液體流向所述斜坡結(jié)構(gòu)上方;
      [0014]所述斜坡結(jié)構(gòu)上設(shè)置有臺(tái)階。
      [0015]本實(shí)用新型的另一方面,所述斜坡結(jié)構(gòu)包括復(fù)數(shù)個(gè)相互交錯(cuò)的斜坡。
      [0016]本實(shí)用新型的另一方面,所述罐體包括開啟結(jié)構(gòu),所述斜坡結(jié)構(gòu)處于所述開啟結(jié)構(gòu)內(nèi)。
      [0017]本實(shí)用新型的另一方面,所述泵為隔膜泵。
      [0018]本實(shí)用新型的另一方面,所述罐體表面位于所述儲(chǔ)液部的區(qū)段設(shè)置有用以觀察所述罐體內(nèi)部的視窗。
      [0019]通過對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案的實(shí)施,可以獲得以下技術(shù)效果:
      [0020]1,通過斜坡結(jié)構(gòu)上的臺(tái)階可在金屬蝕刻液進(jìn)入罐體時(shí)將其中的析出顆粒物留在臺(tái)階上;
      [0021]2,通過將儲(chǔ)液部的金屬蝕刻液通過管道在此泵送到斜坡結(jié)構(gòu)上方,可使經(jīng)過一段靜置時(shí)間的金屬蝕刻液再次通過斜坡結(jié)構(gòu),去除在金屬蝕刻液靜置期間可能析出的顆粒物。

      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0022]圖1為本實(shí)用新型的金屬蝕刻液儲(chǔ)液罐的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0023]圖2為本實(shí)用新型的金屬蝕刻液儲(chǔ)液罐的開啟結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

      【具體實(shí)施方式】
      [0024]以下通過具體的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行說明,在與本實(shí)用新型的實(shí)用新型目的無沖突的前提下,下文中提到的實(shí)施例以及實(shí)施例中的技術(shù)特征可以相互組口 ο
      [0025]如圖1和圖2所示,本實(shí)用新型提供一種金屬蝕刻液儲(chǔ)液罐,其中,包括:
      [0026]罐體1,罐體I頂部設(shè)置有開口 2,開口 2用于向罐體I中添加金屬蝕刻液;
      [0027]斜坡結(jié)構(gòu)3,設(shè)置于罐體I內(nèi)并位于開口 2下方,當(dāng)金屬蝕刻液從開口 2中進(jìn)入罐體I時(shí)首先要經(jīng)過斜坡結(jié)構(gòu)3 ;
      [0028]儲(chǔ)液部4,位于斜坡結(jié)構(gòu)3下方并與斜坡結(jié)構(gòu)3聯(lián)通,金屬蝕刻液通過斜坡結(jié)構(gòu)3后即進(jìn)入儲(chǔ)液部4;
      [0029]出液口 5,設(shè)置于儲(chǔ)液部4的底部,用于排出罐體I中的金屬蝕刻液;
      [0030]管道6,連接儲(chǔ)液部4和斜坡結(jié)構(gòu)3上方的罐壁或者罐頂;
      [0031]泵7,作用于管道6,可控制的使儲(chǔ)液部4中的金屬蝕刻液流向斜坡結(jié)構(gòu)3的上方;
      [0032]斜坡結(jié)構(gòu)3上設(shè)置有臺(tái)階31。
      [0033]上述技術(shù)方案中,金屬蝕刻液經(jīng)過斜坡結(jié)構(gòu)是通過斜坡結(jié)構(gòu)3上的臺(tái)階31使金屬蝕刻液中析出的顆粒物留在臺(tái)階31上,為進(jìn)一步的增加截留析出顆粒物的效果,可在臺(tái)階31邊緣設(shè)置凸起,或者進(jìn)一步的在臺(tái)階31上設(shè)置凹槽。
      [0034]本實(shí)用新型的一種實(shí)施例中,斜坡結(jié)構(gòu)3可包括復(fù)數(shù)個(gè)相互交錯(cuò)的斜坡,復(fù)數(shù)個(gè)相互交錯(cuò)的斜坡可更好的截留金屬蝕刻液中析出的顆粒物。
      [0035]本實(shí)用新型的一種實(shí)施例中,罐體I包括開啟結(jié)構(gòu)10,斜坡結(jié)構(gòu)3處于開啟結(jié)構(gòu)10內(nèi)。通過開啟結(jié)構(gòu)10可打開罐體1,以便清理斜坡結(jié)構(gòu)3上殘留的顆粒物,為配合開啟結(jié)構(gòu)工作管道6可采用金屬軟管。
      [0036]本實(shí)用新型的一種實(shí)施例中,泵7可采用隔膜泵,隔膜泵通過使用特殊材質(zhì)的泵膜可耐腐蝕。
      [0037]本實(shí)用新型的一種實(shí)施例中,罐體I表面位于儲(chǔ)液部4的區(qū)段可設(shè)置用以觀察罐體I內(nèi)部的視窗(未于圖中示出),通過設(shè)置視窗可便于觀察罐體I內(nèi)部尤其是儲(chǔ)液部4的金屬蝕刻液余量。
      [0038]上述的實(shí)施例僅是本實(shí)用新型的部分體現(xiàn),并不能涵蓋本實(shí)用新型的全部,在上述實(shí)施例以及附圖的基礎(chǔ)上,本領(lǐng)域技術(shù)人員在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下可獲得更多的實(shí)施方式,因此這些不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下獲得的實(shí)施方式均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
      【權(quán)利要求】
      1.一種金屬蝕刻液儲(chǔ)液罐,其特征在于,包括: 罐體,所述罐體頂部設(shè)置有開口; 斜坡結(jié)構(gòu),設(shè)置于所述罐體內(nèi)并位于所述開口下方; 儲(chǔ)液部,位于所述斜坡結(jié)構(gòu)下方并與所述斜坡結(jié)構(gòu)聯(lián)通; 出液口,設(shè)置于所述儲(chǔ)液部底部; 管道,連接所述儲(chǔ)液部和所述斜坡結(jié)構(gòu)上方的罐壁或者罐頂; 泵,作用于所述管道,可控制的使所述儲(chǔ)液部的液體流向所述斜坡結(jié)構(gòu)上方; 所述斜坡結(jié)構(gòu)上設(shè)置有臺(tái)階。
      2.如權(quán)利要求1所述金屬蝕刻液儲(chǔ)液罐,其特征在于:所述斜坡結(jié)構(gòu)包括復(fù)數(shù)個(gè)相互交錯(cuò)的斜坡。
      3.如權(quán)利要求1所述金屬蝕刻液儲(chǔ)液罐,其特征在于:所述罐體包括開啟結(jié)構(gòu),所述斜坡結(jié)構(gòu)處于所述開啟結(jié)構(gòu)內(nèi)。
      4.如權(quán)利要求1所述金屬蝕刻液儲(chǔ)液罐,其特征在于:所述泵為隔膜泵。
      5.如權(quán)利要求1所述金屬蝕刻液儲(chǔ)液罐,其特征在于:所述罐體表面位于所述儲(chǔ)液部的區(qū)段設(shè)置有用以觀察所述罐體內(nèi)部的視窗。
      【文檔編號(hào)】B65D25/56GK204056794SQ201420371384
      【公開日】2014年12月31日 申請(qǐng)日期:2014年7月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月7日
      【發(fā)明者】王滿根 申請(qǐng)人:寧波東盛集成電路元件有限公司
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