用于管式pecvd的石墨舟自動裝卸片裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及太陽能電池自動化設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，提供了一種用于管式PECVD的石墨舟自動裝卸片裝置，該裝置用于PECVD自動化設(shè)備上，包括用于拾取硅片的插片頭組件、帶動插片頭組件沿Z軸旋轉(zhuǎn)的Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)、帶動Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)于豎直方向上下運動的Z軸直線運動機構(gòu)、帶動Z軸直線運動機構(gòu)沿X軸向旋轉(zhuǎn)的X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)以及設(shè)于X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)上方且可帶動所述X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)于前、后、左、右移動的XY水平移動機構(gòu)。本實用新型中，這樣，插片頭組件在上述各機構(gòu)帶動下快速、精準完成硅片的自動裝卸，而且上述各機構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單，在功能上可完全替代現(xiàn)有的高成本六軸精密機器人，大大降低了太陽能電池的制作成本，適合全面推廣。
【專利說明】用于管式PECVD的石墨舟自動裝卸片裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及太陽能電池自動化設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，更具體地說，是涉及一種用于管式PECVD的石墨舟自動裝卸片裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposit1n)等離子體增強化學(xué)氣象沉積是利用低溫等離子體做能量源，硅片置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使硅片升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量的反應(yīng)氣體，氣體經(jīng)一秕化學(xué)和等離子體反應(yīng)，在硅片上形成固態(tài)薄膜。
[0003]石墨舟作為硅片載體電極，硅片必須放置在石墨舟上才能進行鍍膜工藝。在硅太陽能電池制造過程中，在進行硅片表面鍍膜時，首先將未鍍膜的硅片插入到石墨舟中，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設(shè)備(簡稱PECVD設(shè)備)腔體中，采用合適的PECVD工藝對硅片進行鍍膜。鍍膜結(jié)束后，從真空鍍膜設(shè)備腔體中取出石墨舟然后再將鍍膜的硅片從石墨舟取下來。目前PECVD設(shè)備中，主要采用六軸精密機器人來實現(xiàn)石墨舟的自動裝卸片，而這種方式關(guān)鍵技術(shù)依賴于機器人廠家，成本高昂，不利于自動化生產(chǎn)的全面推廣。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型的目的在于提供一種用于管式PECVD的石墨舟自動裝卸片裝置，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中必須依賴六軸精密機器人來自動卸片的問題，降低了成本，適用全面推廣。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型的技術(shù)方案是:提供一種用于管式PECVD的石墨舟自動裝卸片裝置，設(shè)于PECVD設(shè)備上，包括用于拾取硅片的插片頭組件、帶動所述插片頭組件沿Z軸旋轉(zhuǎn)的Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)、帶動所述Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)于豎直方向上下運動的Z軸直線運動機構(gòu)、帶動所述Z軸直線運動機構(gòu)沿X軸向旋轉(zhuǎn)的X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)以及設(shè)于所述X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)上方且可帶動所述X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)于前、后、左、右移動的XY水平移動機構(gòu)。
[0006]具體地，所述插片頭組件包括真空發(fā)生器、與所述真空發(fā)生器出口連通的導(dǎo)氣管以及多個與所述導(dǎo)氣管連通的吸盤。
[0007]進一步地，所述插片頭組件還包括若干平行設(shè)置的固定板以及連接各所述固定板的匯流板，各所述固定板上均設(shè)有所述的吸盤，所述匯流板上設(shè)有可分別向各固定板的吸盤供氣的氣管接頭，各所述氣管接頭與所述導(dǎo)氣管連通。
[0008]優(yōu)選地，各所述固定板上的吸盤為三個，且三個吸盤呈三角形排列。
[0009]具體地,所述Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)包括第一伺服電機、與所述第一伺服電機的輸出軸連接的第一減速器，所述插片頭組件與所述第一減速器的輸出軸固定連接。
[0010]具體地，所述Z軸直線運動機構(gòu)包括Z軸滑軌、第二伺服電機、與所述第二伺服電機的輸出軸連接的Z軸絲桿、與所述Z軸絲桿配合的Z軸螺母、與所述Z軸螺母連接的Z軸滑塊，所述Z軸滑塊滑設(shè)于所述Z軸滑軌上；所述第一減速器固定于所述Z軸滑塊上。
[0011]具體地，所述X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)包括第三伺服電機、與所述第三伺服電機的輸出軸連接的第二減速器以及與所述第二減速器的輸出軸連接的旋轉(zhuǎn)軸，所述Z軸滑軌與所述旋轉(zhuǎn)軸固定連接。
[0012]進一步地，所述X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)還包括一框架，所述框架包括相對設(shè)置的兩側(cè)板以及連接于所述兩側(cè)板頂端的頂板，所述旋轉(zhuǎn)軸的兩端分別旋轉(zhuǎn)固定于所述兩側(cè)板上，所述頂板固定于所述XY水平移動機構(gòu)下方。
[0013]具體地，所述XY水平移動機構(gòu)包括相對設(shè)置的兩Y軸滑軌、跨設(shè)于所述兩Y軸滑軌上的X軸雙滑軌、設(shè)于所述X軸雙滑軌一端的第四伺服電機、與所述第四伺服電機的輸出軸連接的X軸絲桿、與所述X軸絲桿配合的X軸螺母、與所述X軸螺母連接的X軸滑塊，所述頂板固定于所述X軸滑塊下方。
[0014]具體地地，其中一所述Y軸滑軌為雙滑軌，所述XY水平移動機構(gòu)還包括設(shè)于所述雙滑軌一端的第五伺服電機、與所述第五伺服電機的輸出軸連接的Y軸絲桿、與所述Y軸絲桿配合的Y軸螺母、與所述Y軸螺母連接的第一 Y軸滑塊，所述X軸雙滑軌的一端置于所述第一 Y軸滑塊上，另一所述Y軸滑軌上設(shè)有第二 Y軸滑塊，所述X軸雙滑軌的另一端置于所述第二 Y軸滑塊上。
[0015]本實用新型中，插片頭組件用于硅片的吸取與放片，而Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)、Z軸直線運動機構(gòu)及X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)實現(xiàn)裝卸片時在X軸及Z軸兩個方向上的旋轉(zhuǎn)運動以及Z軸方向上的直線運動，而XY水平移動機構(gòu)則實現(xiàn)水平X軸和Y軸兩個方向上的平移，這樣，插片頭組件在上述各機構(gòu)帶動下快速、精準完成硅片的自動裝卸，而且上述各機構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單，在功能上可完全替代現(xiàn)有的本六軸精密機器人，在成本上遠低于六軸精密機器人，因此，大大降低了太陽能電池的制作成本，適合全面推廣。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1是本實用新型實施例中石墨舟自動裝卸片裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2是本實用新型實施例中插片頭組件的正視圖；
[0018]圖3是圖2的左視圖；
[0019]圖4是本實用新型實施例中Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)、Z軸直線運動機構(gòu)以及X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)的連接結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖5是本實用新型實施例中XY水平移動機構(gòu)的俯視圖；
[0021]100-插片頭組件；120-吸盤；130-固定板；
[0022]140-匯流板；150-氣管接頭； 200-Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)；
[0023]210-第一伺服電機； 220-第一減速器；230-連接板；
[0024]300-Z軸直線運動機構(gòu)；310-Z軸滑軌； 320-第二伺服電機；
[0025]330-支架；400-X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)； 410-第三伺服電機；
[0026]420-第二減速器；430-旋轉(zhuǎn)軸；440-框架； 441-側(cè)板；
[0027]442-頂板；500-XY水平移動機構(gòu)；510-Υ軸滑軌；
[0028]520-Χ軸雙滑軌；530-第四伺服電機；540-Χ軸絲桿；
[0029]550-Χ軸滑塊； 560-第五伺服電機；570-Υ軸絲桿；
[0030]580-第一 Y軸滑塊；590-第二 Y軸滑塊。

【具體實施方式】
[0031]為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應(yīng)當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。
[0032]參照圖1，本實用新型實施例提供的用于管式PECVD的石墨舟自動裝卸片裝置，其設(shè)于PECVD設(shè)備上，主要用于在石墨舟上取、放硅片。所述石墨舟自動裝卸片裝置包括用于拾取硅片的插片頭組件100、帶動插片頭組件100于水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)的Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)200、帶動Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)200于豎直方向上下運動的Z軸直線運動機構(gòu)300、帶動Z軸直線運動機構(gòu)300沿X軸向旋轉(zhuǎn)的X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)400以及設(shè)于X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)400上方且可帶動X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)400于前、后、左、右移動的XY水平移動機構(gòu)500。本實施例中，插片頭組件100用于硅片的吸取與放片，而Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)200、Z軸直線運動機構(gòu)300及X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)400實現(xiàn)裝卸硅片時在X軸及Z軸兩個方向上的旋轉(zhuǎn)運動以及Z軸方向上的直線運動，XY水平移動機構(gòu)500則實現(xiàn)水平X軸和Y軸兩個方向上的平移，這樣，插片頭組件100在上述各機構(gòu)帶動下快速、精準完成硅片的自動裝卸，而且上述各機構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單，在功能上可完全替代現(xiàn)有的六軸精密機器人，在成本上遠低于六軸精密機器人，因此，大大降低了太陽能電池的制作成本，適合全面推廣。
[0033]結(jié)合圖2、圖3，插片頭組件100包括真空發(fā)生器(圖中未示出)、與真空發(fā)生器出口連通的導(dǎo)氣管(圖中未示出)以及多個與導(dǎo)氣管連通的吸盤120。本實施例中，真空發(fā)生器上還連接有真空壓力開關(guān)以及真空控制閥(圖中未示出)。真空發(fā)生器、真空壓力開關(guān)以及真空控制閥均安裝在機架電氣板上。真空發(fā)生器工作時，真空控制閥打開，真空發(fā)生器通過導(dǎo)氣管對多個吸盤120產(chǎn)生負壓，從而使吸盤120具有吸附作用，用于吸取硅片；當真空控制閥關(guān)閉時，真空發(fā)生器停止對吸盤120產(chǎn)生負壓，吸盤120吸力消失，用于硅片的卸片操作。
[0034]具體地，插片頭組件100還包括若干平行設(shè)置的固定板130以及連接各固定板130的匯流板140，各固定板130上均設(shè)有上述的吸盤120，匯流板140上多個氣管接頭150，各氣管接頭150與導(dǎo)氣管連通。氣管接頭150的數(shù)量與固定板130的數(shù)量對應(yīng)，各個氣管接頭150向?qū)?yīng)固定板130上的吸盤120供氣。本實施例中，固定板130的數(shù)量為20，這樣，插片頭組件100可同時吸取20個硅片，效率高。當然，也可以根據(jù)實際拾取需要設(shè)定固定板130的數(shù)量。
[0035]本實施例中，各固定板130上的吸盤120為三個，且三個吸盤120呈三角形排列。這樣，在吸取娃片時，三個吸盤120的吸力有效保證娃片被牢固吸取,確保對娃片穩(wěn)拿穩(wěn)放。
[0036]參照圖4，Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)200包括第一伺服電機210以及第一減速器220。其中，第一伺服電機210水平放置,第一伺服電機210的輸出軸(圖中未不出)水平放置，第一減速器220豎直放置,其輸入軸水平設(shè)置與第一伺服電機210的輸出軸連接,第一減速器220的輸出軸豎直放置即與Z軸同向，插片頭組件100與第一減速器220的輸出軸固定連接。這樣，第一伺服電機210工作時通過第一減速器220降低轉(zhuǎn)速后,第一減速器220的輸出軸即作為插片頭組件100的旋轉(zhuǎn)軸，插片頭組件100在其帶動下沿Z軸旋轉(zhuǎn)。
[0037]Z軸直線運動機構(gòu)300包括Z軸滑軌310、第二伺服電機320、與第二伺服電機320的輸出軸連接的Z軸絲桿(圖中未示出)、與Z軸絲桿配合的Z軸螺母(圖中未示出)、與Z軸螺母連接的Z軸滑塊(圖中未示出)，Z軸滑塊滑設(shè)于Z軸滑軌310上。而Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)200的第一減速器220通過連接板230固定于Z軸滑塊上。由圖4中可以看出，第二伺服電機320是豎直設(shè)置,第二伺服電機320的輸出軸也豎直向下設(shè)置與Z軸同向,Z軸滑軌310沿Z軸設(shè)置，第二伺服電機320工作時，其輸出軸轉(zhuǎn)動帶動Z軸絲桿轉(zhuǎn)動，與Z軸絲桿配合的Z軸螺母沿Z軸絲桿移動，Z軸螺母移動時帶動與其固定連接的Z軸滑塊沿Z軸滑軌310上下移動，又由于第一減速器220通過連接板230固定于Z軸滑塊上，故Z軸滑塊上下移動時帶動與其連接的Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)200上下移動。
[0038]本實施例中，X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)400包括第三伺服電機410、第二減速器420以及一旋轉(zhuǎn)軸430。第三伺服電機410豎直設(shè)置,第三伺服電機410的輸出軸豎直設(shè)置與第二減速器420的輸入軸連接，而第二減速器420的輸出軸水平設(shè)置與X軸同向，旋轉(zhuǎn)軸430與第二減速器420的輸出軸連接，這樣，旋轉(zhuǎn)軸430即可在第二減速器420的輸出軸帶動下沿X軸向旋轉(zhuǎn)。本實施例中，Z軸直線運動機構(gòu)300中的Z軸滑軌310 —體成型于一支架330上，支架330與旋轉(zhuǎn)軸430固定連接。這樣，旋轉(zhuǎn)軸430轉(zhuǎn)動時同樣帶動Z軸直線運動機構(gòu)300隨其作X軸向旋轉(zhuǎn)運動，又由于插片頭組件100通過Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)200固定于Z軸直線運動機構(gòu)300上，故旋轉(zhuǎn)軸430的轉(zhuǎn)動同時帶動Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)200及插片頭組件100作X軸向旋轉(zhuǎn)運動。
[0039]請再參照圖4，X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)400還包括一框架440，框架440呈倒U字形，其包括相對設(shè)置的兩側(cè)板441以及連接于兩側(cè)板441頂端的頂板442，旋轉(zhuǎn)軸430的兩端分別旋轉(zhuǎn)固定于兩側(cè)板441上，兩側(cè)板441對旋轉(zhuǎn)軸430起到固定支撐的作用。頂板442固定于XY水平移動機構(gòu)500下方。這樣，XY水平移動機構(gòu)500作水平移動帶動頂板442即帶動X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)400。
[0040]具體地，參照圖1及圖5，XY水平移動機構(gòu)500包括相對設(shè)置的兩Y軸滑軌510，其中一 Y軸滑軌510為雙滑軌，另一 Y軸滑軌510為單滑軌。XY水平移動機構(gòu)500還包括跨設(shè)于兩Y軸滑軌510上的X軸雙滑軌520、設(shè)于X軸雙滑軌520 —端的第四伺服電機530、與第四伺服電機530的輸出軸連接的X軸絲桿540、與X軸絲桿540配合的X軸螺母(圖中未示出)、與X軸螺母連接的X軸滑塊550，頂板442固定于X軸滑塊550下方。第四伺服電機530工作時，其輸出軸帶動X軸絲桿540轉(zhuǎn)動，與X軸絲桿540配合的X軸螺母沿X軸絲桿540移動，X軸螺母的移動帶動與其連接的X軸滑塊550沿X軸雙滑軌520移動，這樣，頂板442及框架440以及整個X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)400作沿X軸向移動。
[0041]XY水平移動機構(gòu)500還包括設(shè)于Y軸雙滑軌一端的第五伺服電機560、與第五伺服電機560的輸出軸連接的Y軸絲桿570、與Y軸絲桿570配合的Y軸螺母(圖中未示出)、與Y軸螺母連接的第一 Y軸滑塊580，X軸雙滑軌520的一端置于第一 Y軸滑塊580上，Y軸單滑軌上設(shè)有第二 Y軸滑塊590，X軸雙滑軌520的另一端置于第二 Y軸滑塊590上。第五伺服電機560工作時，其輸出軸帶動Y軸絲桿570轉(zhuǎn)動，與Y軸絲桿570配合的Y軸螺母沿Y軸絲桿570移動，Y軸螺母的移動帶動與其連接的第一 Y軸滑塊580沿Y軸雙滑軌移動，同時，第二 Y軸滑塊590于Y軸單滑軌上滑動，第一 Y軸滑塊580與第二 Y軸滑塊590的同時運動帶動X軸雙滑軌520于Y軸向上移動，從而最終帶動X軸滑塊550、與其連接的框架440以及整個X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)400作沿Y軸向移動。
[0042]由于在PECVD設(shè)備上，石墨舟位置為預(yù)先設(shè)定的，為保證吸盤120在上述各機構(gòu)帶動下能精準地插入石墨舟中進行裝卸片操作，本實施例中，在各滑軌上均設(shè)有位置感應(yīng)開關(guān)，從而可準確地將各位移情況進行反饋來控制各伺服電機是否繼續(xù)工作。
[0043]本實施例中，利用上述裝置進行石墨舟的自動裝卸片過程為:
[0044]S1: XY水平移動機構(gòu)500在水平方向上沿X軸向及Y軸向移動，通過帶動X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)400及Z軸直線運動機構(gòu)300來帶動插片頭組件100在水平方向上移動，使插片頭組件100運動至石墨舟上；
[0045]S2:Z軸直線運動機構(gòu)300中的Z軸滑塊向下移動帶動Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)200及插片頭組件100向下移動，此時插片頭組件100中的各固定板130插入到石墨舟中；
[0046]S3:X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)400中的旋轉(zhuǎn)軸430在第二減速器420帶動下轉(zhuǎn)動一定角度，Z軸直線運動機構(gòu)300、Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)200及插片頭組件100隨旋轉(zhuǎn)軸430轉(zhuǎn)動一定角度，此時插片頭組件100上各固定板130上的三個吸盤120與石墨舟中的硅片正對；
[0047]S4:XY水平移動機構(gòu)500中的第四伺服電機530工作，X軸滑塊550沿X軸雙滑軌520移動，通過帶動頂板442、框架440以及整個X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)400沿X軸向移動，此時插片頭組件100上各固定板130上三個吸盤120與石墨舟中的硅片貼合，并進行真空吸片操作；
[0048]S5:Χ軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)400中的旋轉(zhuǎn)軸430在第二減速器420帶動下再次轉(zhuǎn)動一定角度，同時XY水平移動機構(gòu)500中的第三伺服電機410工作帶動X軸雙滑軌520及插片頭組件100進行Y軸向位移差補，實現(xiàn)硅片中心找正；
[0049]S6:Ζ軸直線運動機構(gòu)300中的Z軸滑塊向上移動帶動Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)200及插片頭組件100向上移動脫離石墨舟；
[0050]S7:Χ軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)400帶動插片頭組件100旋轉(zhuǎn)一定角度(90度)，利用XY水平移動機構(gòu)500進行水平位置移動，且Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)200也帶動插片頭組件100旋轉(zhuǎn)一定角度(90或270度)，使插片頭組件100的吸盤120運動至卸片位置；
[0051]S8:Z軸直線運動機構(gòu)300中的Z軸滑塊向下移動帶動吸盤120進入中轉(zhuǎn)盒中，并進行真空卸片操作；在這一動作完成后，放有硅片的中轉(zhuǎn)盒在PECVD中其它運動機構(gòu)作用下向上運動,此時插片頭組件100通過Z軸直線運動機構(gòu)300向上運動退回；
[0052]S9:插片頭組件100在XY水平移動機構(gòu)500中的X軸滑塊550帶動作X軸直線運動，并在Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)200帶動下旋轉(zhuǎn)一定的角度(180度)到達已裝片的中轉(zhuǎn)盒前方，即取片位置；
[0053]SlO:插片頭組件100在Z軸直線運動機構(gòu)300帶動下向下運動進入中轉(zhuǎn)盒，中轉(zhuǎn)盒在其它運動機構(gòu)作用下沿Z軸向下運動，進行真空吸片操作，吸片完成后在Z軸直線運動機構(gòu)300帶動下退出；
[0054]Sll:插片頭組件100在XY水平移動機構(gòu)500帶動下作水平移動，并在X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)400及Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)200帶動下旋轉(zhuǎn)一定的角度，到達待裝片石墨舟上方；
[0055]S12:插片頭組件100在Z軸直線運動機構(gòu)300作用下向下運動進入待裝片石墨舟內(nèi)，并在XY水平移動機構(gòu)500的X軸滑塊550帶動下作X軸向移動與石墨舟貼合；
[0056]S13:插片頭組件100在X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)400作用下沿X軸向旋轉(zhuǎn)一定角度，同時在XY水平移動機構(gòu)500帶動下進行Y軸位置差補，使插片頭組件100的吸盤120運動至卸片位置，并進行真空卸片操作；
[0057]S14:插片頭組件100在X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)400作用下沿X軸旋轉(zhuǎn)一定的角度，并在Z軸直線運動機構(gòu)300帶動下向上運動退出；
[0058]S15:插片頭組件100進行下一個取片操作，下一個循環(huán)開始，即重復(fù)上述SI至S14步驟。
[0059]以上僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于管式PECVD的石墨舟自動裝卸片裝置，設(shè)于PECVD設(shè)備上，其特征在于:包括用于拾取硅片的插片頭組件、帶動所述插片頭組件沿Z軸旋轉(zhuǎn)的Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)、帶動所述Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)于豎直方向上下運動的Z軸直線運動機構(gòu)、帶動所述Z軸直線運動機構(gòu)沿X軸向旋轉(zhuǎn)的X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)以及設(shè)于所述X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)上方且可帶動所述X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)于前、后、左、右移動的XY水平移動機構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的用于管式PECVD的石墨舟自動裝卸片裝置，其特征在于:所述插片頭組件包括真空發(fā)生器、與所述真空發(fā)生器出口連通的導(dǎo)氣管以及多個與所述導(dǎo)氣管連通的吸盤。
3.如權(quán)利要求2所述的用于管式PECVD的石墨舟自動裝卸片裝置，其特征在于:所述插片頭組件還包括若干平行設(shè)置的固定板以及連接各所述固定板的匯流板，各所述固定板上均設(shè)有所述的吸盤，所述匯流板上設(shè)有可分別向各固定板的吸盤供氣的氣管接頭，各所述氣管接頭與所述導(dǎo)氣管連通。
4.如權(quán)利要求3所述的用于管式PECVD的石墨舟自動裝卸片裝置，其特征在于:各所述固定板上的吸盤為三個，且三個吸盤呈三角形排列。
5.如權(quán)利要求1所述的用于管式PECVD的石墨舟自動裝卸片裝置，其特征在于:所述Z軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)包括第一伺服電機、與所述第一伺服電機的輸出軸連接的第一減速器，所述插片頭組件與所述第一減速器的輸出軸固定連接。
6.如權(quán)利要求5所述的用于管式PECVD的石墨舟自動裝卸片裝置，其特征在于:所述Z軸直線運動機構(gòu)包括Z軸滑軌、第二伺服電機、與所述第二伺服電機的輸出軸連接的Z軸絲桿、與所述Z軸絲桿配合的Z軸螺母、與所述Z軸螺母連接的Z軸滑塊，所述Z軸滑塊滑設(shè)于所述Z軸滑軌上；所述第一減速器固定于所述Z軸滑塊上。
7.如權(quán)利要求6所述的用于管式PECVD的石墨舟自動裝卸片裝置，其特征在于:所述X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)包括第三伺服電機、與所述第三伺服電機的輸出軸連接的第二減速器以及與所述第二減速器的輸出軸連接的旋轉(zhuǎn)軸，所述Z軸滑軌與所述旋轉(zhuǎn)軸固定連接。
8.如權(quán)利要求7所述的用于管式PECVD的石墨舟自動裝卸片裝置，其特征在于:所述X軸旋轉(zhuǎn)運動機構(gòu)還包括一框架，所述框架包括相對設(shè)置的兩側(cè)板以及連接于所述兩側(cè)板頂端的頂板，所述旋轉(zhuǎn)軸的兩端分別旋轉(zhuǎn)固定于所述兩側(cè)板上，所述頂板固定于所述XY水平移動機構(gòu)下方。
9.如權(quán)利要求8所述的用于管式PECVD的石墨舟自動裝卸片裝置，其特征在于:所述XY水平移動機構(gòu)包括相對設(shè)置的兩Y軸滑軌、跨設(shè)于所述兩Y軸滑軌上的X軸雙滑軌、設(shè)于所述X軸雙滑軌一端的第四伺服電機、與所述第四伺服電機的輸出軸連接的X軸絲桿、與所述X軸絲桿配合的X軸螺母、與所述X軸螺母連接的X軸滑塊，所述頂板固定于所述X軸滑塊下方。
10.如權(quán)利要求9所述的用于管式PECVD的石墨舟自動裝卸片裝置，其特征在于:其中一所述Y軸滑軌為雙滑軌，所述XY水平移動機構(gòu)還包括設(shè)于所述雙滑軌一端的第五伺服電機、與所述第五伺服電機的輸出軸連接的Y軸絲桿、與所述Y軸絲桿配合的Y軸螺母、與所述Y軸螺母連接的第一 Y軸滑塊，所述X軸雙滑軌的一端置于所述第一 Y軸滑塊上，另一所述Y軸滑軌上設(shè)有第二 Y軸滑塊，所述X軸雙滑軌的另一端置于所述第二 Y軸滑塊上。
【文檔編號】B65G49/07GK203998096SQ201420377882
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年7月9日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月9日
【發(fā)明者】王俊朝, 李軍陽, 劉兵吉, 杜武明 申請人:深圳豐盛裝備股份有限公司