本申請(qǐng)屬于硅片生產(chǎn)設(shè)備制造領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置。

背景技術(shù)：

1、在硅片的生產(chǎn)過程中，需要將硅片在各個(gè)不同工序中流轉(zhuǎn)，通常是采用硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置將硅片自上一道工序輸送至下一道工序?，F(xiàn)有的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置大多包括輸送機(jī)構(gòu)、移載機(jī)構(gòu)和吸盤，吸盤安裝在移載機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)端，移載機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)吸盤移至輸送機(jī)構(gòu)的上方并吸附輸送機(jī)構(gòu)上的硅片后，再將吸附的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)至下一道工序。

2、然而，在實(shí)際的生產(chǎn)過程中，因吸盤與輸送機(jī)構(gòu)的間距很小，而輸送機(jī)構(gòu)的高度又是固定的，這樣就造成在更換或維修吸盤時(shí)，沒有合適的操作空間，操作不便，工作效率低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)的目的在于提供一種硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置在更換或維修吸盤時(shí)存在操作不便和工作效率低的問題。

2、為達(dá)此目的，本申請(qǐng)采用以下技術(shù)方案：

3、本申請(qǐng)?zhí)岢鲆环N硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其包括第一輸送機(jī)構(gòu)和至少一套移載機(jī)構(gòu)，其中：

4、第一輸送機(jī)構(gòu)在第一方向上設(shè)置有至少一個(gè)轉(zhuǎn)運(yùn)工位，第一輸送機(jī)構(gòu)被配置為依次將硅片沿第一方向輸送至轉(zhuǎn)運(yùn)工位；

5、每個(gè)轉(zhuǎn)運(yùn)工位的上方設(shè)置有一套移載機(jī)構(gòu)，移載機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)組件和吸盤，吸盤安裝在驅(qū)動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)端，驅(qū)動(dòng)組件被配置為驅(qū)動(dòng)吸盤從轉(zhuǎn)運(yùn)工位上拾取硅片；

6、第一輸送機(jī)構(gòu)包括輸送組件和至少一套升降組件，輸送組件被配置為支撐并輸送硅片，至少一套升降組件被配置為驅(qū)動(dòng)輸送組件升降，進(jìn)而調(diào)整輸送組件與吸盤的間距。

7、通過第一輸送機(jī)構(gòu)和移載機(jī)構(gòu)的配合，實(shí)現(xiàn)了硅片的自動(dòng)轉(zhuǎn)運(yùn)；同時(shí)第一輸送機(jī)構(gòu)的輸送組件可相對(duì)于吸盤升降，在吸盤需要更換或維修時(shí)，輸送組件相對(duì)于吸盤下降，進(jìn)而增大輸送組件與吸盤的間距，使得操作人員在更換或維修吸盤時(shí)有合適的操作空間，便于操作，提高了工作效率；同時(shí)當(dāng)吸盤和輸送組件發(fā)生故障，輸送組件與吸盤之間的硅片無法取出時(shí)，輸送組件相對(duì)于吸盤下降后，也便于取出硅片。

8、可選的，每套升降組件包括底座以及安裝于底座上的升降驅(qū)動(dòng)件和升降件，升降件與輸送組件固定連接，升降驅(qū)動(dòng)件被配置為驅(qū)動(dòng)升降件升降，以帶動(dòng)輸送組件升降。

9、通過升降驅(qū)動(dòng)件和升降件的配合，實(shí)現(xiàn)了輸送組件的升降，以調(diào)整輸送組件與吸盤的間距。

10、可選的，升降驅(qū)動(dòng)件的固定端固定在升降件上，升降驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端連接在底座上。

11、通過對(duì)升降驅(qū)動(dòng)件的設(shè)置，在保證驅(qū)動(dòng)升降件升降功能的前提下，簡(jiǎn)化了升降驅(qū)動(dòng)件的安裝結(jié)構(gòu)，便于升降驅(qū)動(dòng)件的安裝。

12、可選的，升降驅(qū)動(dòng)件的固定端固定在底座上，升降驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端連接在升降件上；提供了另一種升降驅(qū)動(dòng)件的安裝方式。

13、可選的，輸送組件包括第一輸送架、第二輸送架、第一輸送帶、第二輸送帶和第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，第一輸送架和第二輸送架平行間隔設(shè)置，第一輸送帶可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在第一輸送架上，第二輸送帶可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在第二輸送架，第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)被配置為驅(qū)動(dòng)第一輸送帶和第二輸送帶同步轉(zhuǎn)動(dòng)，升降件通過連接塊與第一輸送架和第二輸送架固定連接。

14、通過第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、第一輸送帶和第二輸送帶的配合，實(shí)現(xiàn)了對(duì)硅片的自動(dòng)輸送，通過升降件、連接塊、第一輸送架和第二輸送架的配合，實(shí)現(xiàn)了升降件與輸送組件的固定連接，提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)，運(yùn)行穩(wěn)定可靠的輸送組件。

15、可選的，硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置還包括第二輸送機(jī)構(gòu)，第二輸送機(jī)構(gòu)設(shè)置在轉(zhuǎn)運(yùn)工位的邊側(cè)，移載機(jī)構(gòu)被配置為在第二輸送機(jī)構(gòu)和第一輸送機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)運(yùn)工位之間轉(zhuǎn)移硅片。

16、通過第二輸送機(jī)構(gòu)、移載機(jī)構(gòu)和第一輸送機(jī)構(gòu)的配合，實(shí)現(xiàn)了將轉(zhuǎn)運(yùn)工位處的硅片的自動(dòng)搬運(yùn)至第二輸送機(jī)構(gòu)上，再由第二輸送機(jī)構(gòu)將硅片轉(zhuǎn)運(yùn)至下一工序。

17、可選的，第二輸送機(jī)構(gòu)的進(jìn)料端設(shè)置有吸附組件，吸附組件的吸附面低于第二輸送機(jī)構(gòu)的輸送面，吸附組件被配置為非接觸地吸附硅片，并將硅片吸附在第二輸送機(jī)構(gòu)的輸送面上。

18、通過設(shè)置吸附組件，實(shí)現(xiàn)了將硅片非接觸地吸附在第二輸送機(jī)構(gòu)的輸送面上，以保證第二輸送機(jī)構(gòu)輸送硅片的平穩(wěn)性。

19、可選的，驅(qū)動(dòng)組件包括安裝架、橫移驅(qū)動(dòng)件和橫移件，橫移驅(qū)動(dòng)件的固定端安裝在安裝架上，橫移驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端連接橫移件，吸盤安裝在橫移件上，橫移驅(qū)動(dòng)件被配置為驅(qū)動(dòng)橫移件往復(fù)移動(dòng)，以帶動(dòng)吸盤從轉(zhuǎn)運(yùn)工位上拾取硅片。

20、通過安裝架、橫移驅(qū)動(dòng)件、橫移件和吸盤的配合，實(shí)現(xiàn)了從轉(zhuǎn)運(yùn)工位上自動(dòng)拾取硅片，提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，運(yùn)行穩(wěn)定可靠的驅(qū)動(dòng)組件。

21、可選的，驅(qū)動(dòng)組件還包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件的固定端安裝在橫移件上，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端連接吸盤，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件被配置為驅(qū)動(dòng)吸盤旋轉(zhuǎn)預(yù)設(shè)角度，以調(diào)整吸盤吸附的硅片的朝向。

22、通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件、橫移件和吸盤的配合，實(shí)現(xiàn)了吸盤拾取硅片后的自動(dòng)換向，以滿足不同的硅片生產(chǎn)要求。

23、可選的，第一輸送機(jī)構(gòu)包括在第一方向上間隔設(shè)置的至少兩套升降組件。

24、通過至少兩套升降組件來驅(qū)動(dòng)輸送組件升降，提高了輸送組件升降的穩(wěn)定性和可靠性。

技術(shù)特征：

1.一種硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于，所述硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置包括第一輸送機(jī)構(gòu)和至少一套移載機(jī)構(gòu)，其中：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于，每套所述升降組件包括底座以及安裝于底座上的升降驅(qū)動(dòng)件和升降件，所述升降件與所述輸送組件固定連接，所述升降驅(qū)動(dòng)件被配置為驅(qū)動(dòng)所述升降件升降，以帶動(dòng)所述輸送組件升降。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于，所述升降驅(qū)動(dòng)件的固定端固定在所述升降件上，所述升降驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端連接在所述底座上。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于，所述升降驅(qū)動(dòng)件的固定端固定在所述底座上，所述升降驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端連接在所述升降件上。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于，所述輸送組件包括第一輸送架、第二輸送架、第一輸送帶、第二輸送帶和第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第一輸送架和第二輸送架平行間隔設(shè)置，所述第一輸送帶可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在所述第一輸送架上，所述第二輸送帶可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在所述第二輸送架，所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)被配置為驅(qū)動(dòng)所述第一輸送帶和所述第二輸送帶同步轉(zhuǎn)動(dòng)，所述升降件通過連接塊與所述第一輸送架和所述第二輸送架固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于，所述硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置還包括第二輸送機(jī)構(gòu)，所述第二輸送機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述轉(zhuǎn)運(yùn)工位的邊側(cè)，所述移載機(jī)構(gòu)被配置為在第二輸送機(jī)構(gòu)和第一輸送機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)運(yùn)工位之間轉(zhuǎn)移硅片。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于，所述第二輸送機(jī)構(gòu)的進(jìn)料端設(shè)置有吸附組件，所述吸附組件的吸附面低于所述第二輸送機(jī)構(gòu)的輸送面，所述吸附組件被配置為非接觸地吸附硅片，并將硅片吸附在所述第二輸送機(jī)構(gòu)的輸送面上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)組件包括安裝架、橫移驅(qū)動(dòng)件和橫移件，所述橫移驅(qū)動(dòng)件的固定端安裝在所述安裝架上，所述橫移驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端連接所述橫移件，所述吸盤安裝在所述橫移件上，所述橫移驅(qū)動(dòng)件被配置為驅(qū)動(dòng)所述橫移件往復(fù)移動(dòng)，以帶動(dòng)所述吸盤從所述轉(zhuǎn)運(yùn)工位上拾取硅片。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)組件還包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件的固定端安裝在所述橫移件上，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端連接所述吸盤，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件被配置為驅(qū)動(dòng)所述吸盤旋轉(zhuǎn)預(yù)設(shè)角度，以調(diào)整所述吸盤吸附的硅片的朝向。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于，所述第一輸送機(jī)構(gòu)包括在所述第一方向上間隔設(shè)置的至少兩套所述升降組件。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)公開了一種硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其包括第一輸送機(jī)構(gòu)和至少一套移載機(jī)構(gòu)，第一輸送機(jī)構(gòu)在第一方向上設(shè)置有至少一個(gè)轉(zhuǎn)運(yùn)工位，第一輸送機(jī)構(gòu)被配置為依次將硅片沿第一方向輸送至轉(zhuǎn)運(yùn)工位；每個(gè)轉(zhuǎn)運(yùn)工位的上方設(shè)置有一套移載機(jī)構(gòu)，移載機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)組件和吸盤，吸盤安裝在驅(qū)動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)端，驅(qū)動(dòng)組件被配置為驅(qū)動(dòng)吸盤從轉(zhuǎn)運(yùn)工位上拾取硅片；第一輸送機(jī)構(gòu)包括輸送組件和至少一套升降組件，輸送組件被配置為支撐并輸送硅片，至少一套升降組件被配置為驅(qū)動(dòng)輸送組件升降，進(jìn)而調(diào)整輸送組件與吸盤的間距。上述硅片轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的輸送組件可相對(duì)于吸盤升降，使得操作人員在更換或維修吸盤時(shí)有合適的操作空間，便于操作，提高了工作效率。

技術(shù)研發(fā)人員：請(qǐng)求不公布姓名
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無錫奧特維科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231229
技術(shù)公布日：2024/12/19