本發(fā)明涉及晶圓加工，尤其涉及一種復(fù)合機(jī)器人。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體制造工廠中，晶圓通常需要在各個生產(chǎn)線上不同工藝模塊之間進(jìn)行精密的傳輸搬運(yùn)。通常由agv加機(jī)械臂組合完成，可稱為帶有機(jī)械臂的移動機(jī)器人(簡稱arv)。半導(dǎo)體制造對環(huán)境要求非常嚴(yán)苛，尤其是，地面平整度直接影響arv運(yùn)行的流暢性，以及晶圓轉(zhuǎn)移位置的精準(zhǔn)性；其中，當(dāng)?shù)孛娉霈F(xiàn)較小(毫米級)的凹坑時，arv的四個輪子中的一個輪子可能出現(xiàn)懸空的狀態(tài)，機(jī)械臂動作過程中，arv可能由于重心的變化而導(dǎo)致側(cè)傾，即懸空的輪子可能會由于重心的變化而下移并與凹坑的底部接觸，從而使得arv整體發(fā)生側(cè)傾，當(dāng)機(jī)械臂的末端夾持有晶圓時，晶圓會出現(xiàn)較大的位置偏差，從而導(dǎo)致放置位置出現(xiàn)失誤，嚴(yán)重時會損傷晶圓。

2、為此，亟需研究一種復(fù)合機(jī)器人，以解決地面出現(xiàn)較小的凹坑時，機(jī)械臂末端的晶圓出現(xiàn)較大的位置偏差，從而導(dǎo)致放置錯位甚至損傷晶圓的問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種復(fù)合機(jī)器人，以解決現(xiàn)有技術(shù)中地面出現(xiàn)較小的凹坑時，機(jī)械臂末端的晶圓出現(xiàn)較大的位置偏差，從而導(dǎo)致放置錯位甚至損傷晶圓的問題。

2、為達(dá)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

3、復(fù)合機(jī)器人，包括：

4、底座，所述底座的前部具有安裝部；

5、機(jī)械臂，所述機(jī)械臂設(shè)于所述底座上；

6、輪組，所述輪組設(shè)于所述底座的底部，用于帶動所述底座移動，所述輪組包括設(shè)于所述底座后端的后輪組件和設(shè)于所述底座前端的前輪組件，所述后輪組件包括第一后滾輪和第二后滾輪，所述第一后滾輪和第二后滾輪沿寬度方向間隔設(shè)置；在寬度方向，所述安裝部位于所述第一后滾輪和所述第二后滾輪之間；

7、所述前輪組件包括橋接件、第一前滾輪和第二前滾輪，所述橋接件的中部設(shè)有鉸接部，所述橋接件通過所述鉸接部鉸接于所述安裝部且能繞所述鉸接部的軸線擺動，所述第一前滾輪和第二前滾輪分別設(shè)于所述橋接件的兩端；所述第一前滾輪和所述第二前滾輪中的一個上升時，另一個同步下降。

8、作為一種復(fù)合機(jī)器人的可選技術(shù)方案，所述橋接件位于初始位置時，所述第一前滾輪和所述第二前滾輪處于同一高度，所述前輪組件還包括彈性件，所述彈性件設(shè)于所述橋接件和所述底座之間，能向所述橋接件施加彈性力以使其保持在初始位置。

9、作為一種復(fù)合機(jī)器人的可選技術(shù)方案，所述彈性件包括彈簧，所述彈簧設(shè)有兩個，兩個所述彈簧分別設(shè)于所述橋接件的兩端且均連接于所述橋接件和所述底座之間。

10、作為一種復(fù)合機(jī)器人的可選技術(shù)方案，所述前輪組件還包括兩個導(dǎo)向件，兩個所述導(dǎo)向件的一端分別鉸接于所述橋接件的兩端，另一端分別穿設(shè)于所述底座的兩個導(dǎo)向孔，兩個所述彈簧分別套設(shè)于對應(yīng)的導(dǎo)向件上。

11、作為一種復(fù)合機(jī)器人的可選技術(shù)方案，所述橋接件能在第一止動位置和第二止動位置之間擺動，所述前輪組件還包括限位組件，所述限位組件包括兩個限位端，兩個所述限位端中，一個所述限位端位置可調(diào)地設(shè)于所述底座，且用于抵接所述橋接件以使其止動于所述第一止動位置；另一個所述限位端位置可調(diào)地設(shè)于所述底座，且用于抵接所述橋接件以使其止動于所述第二止動位置。

12、作為一種復(fù)合機(jī)器人的可選技術(shù)方案，所述橋接件位于初始位置時，沿寬度方向延伸，所述第一前滾輪和所述第二前滾輪沿寬度方向間隔設(shè)置，所述鉸接部的軸線沿所述底座的長度方向延伸。

13、作為一種復(fù)合機(jī)器人的可選技術(shù)方案，所述第一后滾輪和第二后滾輪中的至少一個為舵輪；和/或，

14、所述第一前滾輪和第二前滾輪中的至少一個為舵輪。

15、作為一種復(fù)合機(jī)器人的可選技術(shù)方案，所述第一后滾輪和所述第二前滾輪均為舵輪，所述第二后滾輪和所述第一前滾輪均為萬向輪，且兩個所述舵輪對角設(shè)置，兩個所述萬向輪對角設(shè)置。

16、作為一種復(fù)合機(jī)器人的可選技術(shù)方案，所述底座包括支撐架、設(shè)于所述支撐架上的承載臺以及設(shè)于所述支撐架和所述承載臺之間的減振件，所述機(jī)械臂設(shè)于所述承載臺。

17、作為一種復(fù)合機(jī)器人的可選技術(shù)方案，所述復(fù)合機(jī)器人包括電池和無線充電組件，所述無線充電組件中的接收器設(shè)置于所述底座，用于和無線充電組件中的發(fā)射器配合以為所述電池充電，所述發(fā)射器設(shè)置于所述復(fù)合機(jī)器人的取料區(qū)域和/或放料區(qū)域。

18、本發(fā)明的有益效果為：

19、本發(fā)明提供一種復(fù)合機(jī)器人，該復(fù)合機(jī)器人包括設(shè)于底座底部的后輪組件和前輪組件，其中，后輪組件中的第一后滾輪和第二后滾輪沿寬度方向間隔設(shè)置于底座的后端，前輪組件中的橋接件通過鉸接部和安裝部鉸接，且在寬度方向，安裝部位于第一后滾輪和第二后滾輪之間，使得底座受到第一后滾輪、第二后滾輪和安裝部三個位置的支撐，當(dāng)不具有凹坑時，四個滾輪處于同一平面；當(dāng)?shù)谝磺皾L輪遇到地面出現(xiàn)凹坑時，會下移至凹坑中，且在橋接件的作用下，第二前滾輪上移，且能保持和地面的接觸，此狀態(tài)下，安裝部下移，且下移的距離為凹坑深度的一半，從而盡可能保持底座的平整性，在此狀態(tài)下，機(jī)械臂在移動過程中產(chǎn)生的復(fù)合機(jī)器人的重心變化時使得底座出現(xiàn)側(cè)傾的概率大大降低，有利于保證機(jī)械臂末端的晶圓放置位置的精準(zhǔn)性以及安全性。

技術(shù)特征：

1.復(fù)合機(jī)器人，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合機(jī)器人，其特征在于，所述橋接件(410)位于初始位置時，所述第一前滾輪(420)和所述第二前滾輪(430)處于同一高度，所述前輪組件(400)還包括彈性件(450)，所述彈性件(450)設(shè)于所述橋接件(410)和所述底座(100)之間，能向所述橋接件(410)施加彈性力以使其保持在初始位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的復(fù)合機(jī)器人，其特征在于，所述彈性件(450)包括彈簧，所述彈簧設(shè)有兩個，兩個所述彈簧分別設(shè)于所述橋接件(410)的兩端且均連接于所述橋接件(410)和所述底座(100)之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的復(fù)合機(jī)器人，其特征在于，所述前輪組件(400)還包括兩個導(dǎo)向件(460)，兩個所述導(dǎo)向件(460)的一端分別鉸接于所述橋接件(410)的兩端，另一端分別穿設(shè)于所述底座(100)的兩個導(dǎo)向孔，兩個所述彈簧分別套設(shè)于對應(yīng)的導(dǎo)向件(460)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合機(jī)器人，其特征在于，所述橋接件(410)能在第一止動位置和第二止動位置之間擺動，所述前輪組件(400)還包括限位組件(470)，所述限位組件(470)包括兩個限位端，兩個所述限位端中，一個所述限位端位置可調(diào)地設(shè)于所述底座(100)，且用于抵接所述橋接件(410)以使其止動于所述第一止動位置；另一個所述限位端位置可調(diào)地設(shè)于所述底座(100)，且用于抵接所述橋接件(410)以使其止動于所述第二止動位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合機(jī)器人，其特征在于，所述橋接件(410)位于初始位置時，沿寬度方向延伸，所述第一前滾輪(420)和所述第二前滾輪(430)沿寬度方向間隔設(shè)置，所述鉸接部的軸線沿所述底座(100)的長度方向延伸。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的復(fù)合機(jī)器人，其特征在于，所述第一后滾輪(310)和第二后滾輪(320)中的至少一個為舵輪；和/或，

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的復(fù)合機(jī)器人，其特征在于，所述第一后滾輪(310)和所述第二前滾輪(430)均為舵輪，所述第二后滾輪(320)和所述第一前滾輪(420)均為萬向輪，且兩個所述舵輪對角設(shè)置，兩個所述萬向輪對角設(shè)置。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的復(fù)合機(jī)器人，其特征在于，所述底座(100)包括支撐架(110)、設(shè)于所述支撐架(110)上的承載臺(120)以及設(shè)于所述支撐架(110)和所述承載臺(120)之間的減振件(130)，所述機(jī)械臂(200)設(shè)于所述承載臺(120)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的復(fù)合機(jī)器人，其特征在于，所述復(fù)合機(jī)器人包括電池(142)和無線充電組件，所述無線充電組件中的接收器(140)設(shè)置于所述底座(100)，用于和無線充電組件中的發(fā)射器配合以為所述電池(142)充電，所述發(fā)射器設(shè)置于所述復(fù)合機(jī)器人的取料區(qū)域和/或放料區(qū)域。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及晶圓加工技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種復(fù)合機(jī)器人，該復(fù)合機(jī)器人包括底座、機(jī)械臂和輪組。其中，底座的前部具有安裝部；機(jī)械臂設(shè)于底座上；輪組設(shè)于底座的底部，用于帶動底座移動，輪組包括設(shè)于底座后端的后輪組件和設(shè)于底座前端的前輪組件，后輪組件包括第一后滾輪和第二后滾輪，第一后滾輪和第二后滾輪沿寬度方向間隔設(shè)置；在寬度方向，安裝部位于第一后滾輪和第二后滾輪之間；前輪組件包括橋接件、第一前滾輪和第二前滾輪，橋接件的中部設(shè)有鉸接部，橋接件通過鉸接部鉸接于安裝部且能繞鉸接部的軸線擺動，第一前滾輪和第二前滾輪分別設(shè)于橋接件的兩端。上述設(shè)置有利于保證機(jī)械臂末端的晶圓放置位置的精準(zhǔn)性以及安全性。

技術(shù)研發(fā)人員：趙尚品,劉智,邢旭
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中科新松有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10