本發(fā)明涉及氣浮，具體是一種基板非接觸傳送及干燥一體化裝置。

背景技術(shù)：

1、基板等產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程復(fù)雜，目前傳送通過(guò)滾輪等機(jī)械接觸傳送，過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生顆粒等污染，而如何保護(hù)好產(chǎn)品，使其來(lái)往于繁雜的工序和檢測(cè)環(huán)節(jié)中不會(huì)遭受額外的顆粒影響，運(yùn)輸方式成為一項(xiàng)至關(guān)重要的事。

2、而傳統(tǒng)的輸運(yùn)方法，輸運(yùn)設(shè)備會(huì)與基板直接的接觸，對(duì)其表面造成損傷，甚至嚴(yán)重影響產(chǎn)品的良品率，增加產(chǎn)品的經(jīng)濟(jì)成本；為此，本發(fā)明提供一種基板非接觸傳送及干燥一體化裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種基板非接觸傳送及干燥一體化裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種基板非接觸傳送及干燥一體化裝置，包括支撐底板，所述支撐底板的兩側(cè)固定連接有支撐側(cè)板，所述支撐底板的頂部固定連接有安裝底板，所述安裝底板的頂部固定連接有噴氣筒，所述噴氣筒的頂部固定連接有噴氣頭，噴氣頭有三列，所述噴氣筒的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有封閉轉(zhuǎn)柱，所述封閉轉(zhuǎn)柱的兩端固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)筒，所述轉(zhuǎn)動(dòng)筒遠(yuǎn)離冷卻內(nèi)筒的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有固定筒，所述固定筒的外側(cè)固定連接有注氣口，所述固定筒遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)動(dòng)筒的一端固定連接有固定蓋，所述封閉轉(zhuǎn)柱的形狀為扇形，所述封閉轉(zhuǎn)柱的內(nèi)部固定連接有冷卻內(nèi)筒，所述支撐側(cè)板遠(yuǎn)離支撐底板的一側(cè)固定連接有外底板，所述外底板的頂部固定連接有外側(cè)板，所述外底板的頂部滑動(dòng)卡接有調(diào)整齒條，所述調(diào)整齒條滑動(dòng)卡接于支撐側(cè)板與外側(cè)板之間，所述轉(zhuǎn)動(dòng)筒的外側(cè)固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪，所述轉(zhuǎn)動(dòng)筒轉(zhuǎn)動(dòng)連接于支撐側(cè)板的內(nèi)側(cè)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪嚙合于調(diào)整齒條的頂部，調(diào)整齒條的一端固定連接有調(diào)整板，所述固定蓋的內(nèi)部滑動(dòng)卡接有調(diào)整桿，所述轉(zhuǎn)動(dòng)筒的內(nèi)壁固定連接有內(nèi)夾環(huán)，所述內(nèi)夾環(huán)的內(nèi)側(cè)固定連接有固定抵盤(pán)，所述調(diào)整桿的外側(cè)固定連接有固定安裝盤(pán)，所述調(diào)整桿的外側(cè)滑動(dòng)卡接有活動(dòng)安裝盤(pán)，活動(dòng)安裝盤(pán)與固定安裝盤(pán)相鄰一側(cè)均固定連接有安裝夾塊，所述安裝夾塊的內(nèi)部固定連接有安裝夾軸，所述安裝夾軸的外側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)板，活動(dòng)安裝盤(pán)與安裝夾軸相鄰一側(cè)的兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)板有連接輥轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)板的內(nèi)部均固定連接有加熱組件，所述固定安裝盤(pán)滑動(dòng)卡接于冷卻內(nèi)筒的內(nèi)部，所述調(diào)整桿的頂端固定連接有定位導(dǎo)向柱，所述定位導(dǎo)向柱滑動(dòng)卡接于冷卻內(nèi)筒的內(nèi)部，所述調(diào)整桿遠(yuǎn)離定位導(dǎo)向柱的一端固定連接有缸連接板，所述缸連接板遠(yuǎn)離調(diào)整桿的一端固定連接有伸縮電缸，所述伸縮電缸遠(yuǎn)離缸連接板的一端固定連接有缸體底板；使用時(shí)：通過(guò)注氣口與輸氣裝置連接，氣體通過(guò)注氣口注入固定筒內(nèi)部通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)筒，注入噴氣頭的內(nèi)側(cè)，通過(guò)拉動(dòng)調(diào)整板，拉動(dòng)調(diào)整齒條，使調(diào)整齒條帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)筒轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)封閉轉(zhuǎn)柱轉(zhuǎn)動(dòng)，封閉轉(zhuǎn)柱成扇形，使封閉轉(zhuǎn)柱可以同時(shí)導(dǎo)通所有噴氣頭，也可以導(dǎo)通中間及任意一列的噴氣頭，或只有一側(cè)的一列噴氣頭導(dǎo)通，或全封閉，高壓氣體通過(guò)封閉轉(zhuǎn)柱未封閉的扇形環(huán)進(jìn)入噴氣頭，然后噴出，通過(guò)將基板放置于裝置之間，通過(guò)改變噴氣筒頂部噴氣頭的導(dǎo)通方式，使基板向一個(gè)方向移動(dòng)運(yùn)輸，當(dāng)需要干燥時(shí)，通過(guò)伸縮電缸收縮，拉動(dòng)缸連接板，拉動(dòng)調(diào)整桿移動(dòng)，使活動(dòng)安裝盤(pán)和固定安裝盤(pán)脫離冷卻內(nèi)筒，同時(shí)固定抵盤(pán)抵住活動(dòng)安裝盤(pán)使活動(dòng)安裝盤(pán)和固定安裝盤(pán)靠近，使兩組轉(zhuǎn)動(dòng)板逐漸向外側(cè)折疊，使加熱組件逐漸向垂直圓心方向運(yùn)動(dòng)，使加熱組件加熱通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)筒的氣體，使噴氣頭噴出的熱氣進(jìn)行干燥基板。

3、優(yōu)選的，所述噴氣筒頂部固定連接有外伸縮筒，所述外伸縮筒固定套接于噴氣筒頂部噴氣頭的外側(cè)，所述外伸縮筒與噴氣頭之間安裝有緩沖彈簧，所述緩沖彈簧的頂部高度連接有內(nèi)伸縮筒，所述內(nèi)伸縮筒是頂部固定連接有防護(hù)軟墊，內(nèi)伸縮筒滑動(dòng)卡接于外伸縮筒的內(nèi)側(cè)，所述外側(cè)板的頂部固定連接有外頂板，所述外頂板的頂部固定連接有導(dǎo)向安裝板，所述導(dǎo)向安裝板的一側(cè)固定連接有導(dǎo)向夾塊，所述導(dǎo)向夾塊的內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有導(dǎo)向轉(zhuǎn)軸，所述導(dǎo)向轉(zhuǎn)軸的外側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有導(dǎo)向轉(zhuǎn)筒，所述導(dǎo)向轉(zhuǎn)筒的兩端安裝有扭轉(zhuǎn)彈簧，所述扭轉(zhuǎn)彈簧安裝于導(dǎo)向夾塊的內(nèi)側(cè)，所述導(dǎo)向轉(zhuǎn)筒的外側(cè)固定連接有導(dǎo)向緩沖框，所述導(dǎo)向緩沖框的內(nèi)側(cè)安裝有自適應(yīng)彈簧，所述自適應(yīng)彈簧的頂部固定連接有導(dǎo)向伸縮板，所述導(dǎo)向伸縮板滑動(dòng)卡接于導(dǎo)向緩沖框的內(nèi)側(cè)，所述導(dǎo)向伸縮板的頂端固定連接有導(dǎo)向斜板；使用時(shí)：通過(guò)設(shè)置內(nèi)伸縮筒和防護(hù)軟墊，通過(guò)緩沖彈簧緩沖，可以防止出現(xiàn)斷氣情況下，減小基板與裝置直接碰撞力，以防基板損壞，導(dǎo)向斜板通過(guò)自適應(yīng)彈簧和扭轉(zhuǎn)彈簧保持于一個(gè)位置，當(dāng)基板每次發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)情況時(shí)，碰撞導(dǎo)向斜板，可以通過(guò)導(dǎo)向斜板緩沖和糾正，導(dǎo)向斜板通過(guò)扭轉(zhuǎn)彈簧和自適應(yīng)彈簧進(jìn)行復(fù)位，可以調(diào)整導(dǎo)向安裝板的位置以適用不同大小的基板。

4、本發(fā)明通過(guò)改進(jìn)在此提供一種基板非接觸傳送及干燥一體化裝置，與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下改進(jìn)及優(yōu)點(diǎn)：

5、其一：本發(fā)明所述的一種基板非接觸傳送及干燥一體化裝置，通過(guò)注氣口與輸氣裝置連接，氣體通過(guò)注氣口注入固定筒內(nèi)部通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)筒，注入噴氣頭的內(nèi)側(cè)，通過(guò)拉動(dòng)調(diào)整板，拉動(dòng)調(diào)整齒條，使調(diào)整齒條帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)筒轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)封閉轉(zhuǎn)柱轉(zhuǎn)動(dòng)，封閉轉(zhuǎn)柱成扇形，使封閉轉(zhuǎn)柱可以同時(shí)導(dǎo)通所有噴氣頭，也可以導(dǎo)通中間及任意一列的噴氣頭，或只有一側(cè)的一列噴氣頭導(dǎo)通，或全封閉，高壓氣體通過(guò)封閉轉(zhuǎn)柱未封閉的扇形環(huán)進(jìn)入噴氣頭，然后噴出，通過(guò)將基板放置于裝置之間，通過(guò)改變噴氣筒頂部噴氣頭的導(dǎo)通方式，使基板向一個(gè)方向移動(dòng)運(yùn)輸，當(dāng)需要干燥時(shí)，通過(guò)伸縮電缸收縮，拉動(dòng)缸連接板，拉動(dòng)調(diào)整桿移動(dòng)，使活動(dòng)安裝盤(pán)和固定安裝盤(pán)脫離冷卻內(nèi)筒，同時(shí)固定抵盤(pán)抵住活動(dòng)安裝盤(pán)使活動(dòng)安裝盤(pán)和固定安裝盤(pán)靠近，使兩組轉(zhuǎn)動(dòng)板逐漸向外側(cè)折疊，使加熱組件逐漸向垂直圓心方向運(yùn)動(dòng)，使加熱組件加熱通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)筒的氣體，使噴氣頭噴出的熱氣進(jìn)行干燥基板；

6、其二：本發(fā)明所述的一種基板非接觸傳送及干燥一體化裝置，通過(guò)設(shè)置內(nèi)伸縮筒和防護(hù)軟墊，通過(guò)緩沖彈簧緩沖，可以防止出現(xiàn)斷氣情況下，減小基板與裝置直接碰撞力，以防基板損壞，導(dǎo)向斜板通過(guò)自適應(yīng)彈簧和扭轉(zhuǎn)彈簧保持于一個(gè)位置，當(dāng)基板每次發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)情況時(shí)，碰撞導(dǎo)向斜板，可以通過(guò)導(dǎo)向斜板緩沖和糾正，導(dǎo)向斜板通過(guò)扭轉(zhuǎn)彈簧和自適應(yīng)彈簧進(jìn)行復(fù)位，可以調(diào)整導(dǎo)向安裝板的位置以適用不同大小的基板；

7、總結(jié)：本發(fā)明所述的一種基板非接觸傳送及干燥一體化裝置，通過(guò)巧妙設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了基板的非接觸傳送和干燥一體化操作，該裝置通過(guò)改變氣體噴射方式，實(shí)現(xiàn)基板的傳送；同時(shí)，通過(guò)加熱氣體，實(shí)現(xiàn)基板的干燥，在傳送過(guò)程中，通過(guò)設(shè)置緩沖裝置，減小了基板與裝置之間的碰撞力，保護(hù)了基板，此外，裝置還具備調(diào)整功能，以適應(yīng)不同大小的基板。

技術(shù)特征：

1.一種基板非接觸傳送及干燥一體化裝置，包括支撐底板(1)，其特征在于：所述支撐底板(1)的兩側(cè)固定連接有支撐側(cè)板(2)，所述支撐底板(1)的頂部固定連接有安裝底板(3)，所述安裝底板(3)的頂部固定連接有噴氣筒(4)，所述噴氣筒(4)的頂部固定連接有噴氣頭(5)，噴氣頭(5)有三列，所述噴氣筒(4)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有封閉轉(zhuǎn)柱(13)，所述封閉轉(zhuǎn)柱(13)的兩端固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)筒(6)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)筒(6)遠(yuǎn)離冷卻內(nèi)筒(12)的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有固定筒(7)，所述固定筒(7)的外側(cè)固定連接有注氣口(9)，所述固定筒(7)遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)動(dòng)筒(6)的一端固定連接有固定蓋(8)，所述封閉轉(zhuǎn)柱(13)的形狀為扇形，所述封閉轉(zhuǎn)柱(13)的內(nèi)部固定連接有冷卻內(nèi)筒(12)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板非接觸傳送及干燥一體化裝置，其特征在于：所述支撐側(cè)板(2)遠(yuǎn)離支撐底板(1)的一側(cè)固定連接有外底板(28)，所述外底板(28)的頂部固定連接有外側(cè)板(29)，所述外底板(28)的頂部滑動(dòng)卡接有調(diào)整齒條(32)，所述調(diào)整齒條(32)滑動(dòng)卡接于支撐側(cè)板(2)與外側(cè)板(29)之間，所述轉(zhuǎn)動(dòng)筒(6)的外側(cè)固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪(10)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)筒(6)轉(zhuǎn)動(dòng)連接于支撐側(cè)板(2)的內(nèi)側(cè)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪(10)嚙合于調(diào)整齒條(32)的頂部，調(diào)整齒條(32)的一端固定連接有調(diào)整板(33)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基板非接觸傳送及干燥一體化裝置，其特征在于：所述固定蓋(8)的內(nèi)部滑動(dòng)卡接有調(diào)整桿(11)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)筒(6)的內(nèi)壁固定連接有內(nèi)夾環(huán)(15)，所述內(nèi)夾環(huán)(15)的內(nèi)側(cè)固定連接有固定抵盤(pán)(14)，所述調(diào)整桿(11)的外側(cè)固定連接有固定安裝盤(pán)(22)，所述調(diào)整桿(11)的外側(cè)滑動(dòng)卡接有活動(dòng)安裝盤(pán)(16)，活動(dòng)安裝盤(pán)(16)與固定安裝盤(pán)(22)相鄰一側(cè)均固定連接有安裝夾塊(17)，所述安裝夾塊(17)的內(nèi)部固定連接有安裝夾軸(18)，所述安裝夾軸(18)的外側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)板(19)，活動(dòng)安裝盤(pán)(16)與安裝夾軸(18)相鄰一側(cè)的兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)板(19)有連接輥(21)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)板(19)的內(nèi)部均固定連接有加熱組件(20)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種基板非接觸傳送及干燥一體化裝置，其特征在于：所述固定安裝盤(pán)(22)滑動(dòng)卡接于冷卻內(nèi)筒(12)的內(nèi)部，所述調(diào)整桿(11)的頂端固定連接有定位導(dǎo)向柱(23)，所述定位導(dǎo)向柱(23)滑動(dòng)卡接于冷卻內(nèi)筒(12)的內(nèi)部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種基板非接觸傳送及干燥一體化裝置，其特征在于：所述噴氣筒(4)頂部固定連接有外伸縮筒(24)，所述外伸縮筒(24)固定套接于噴氣筒(4)頂部噴氣頭(5)的外側(cè)，所述外伸縮筒(24)與噴氣頭(5)之間安裝有緩沖彈簧(27)，所述緩沖彈簧(27)的頂部高度連接有內(nèi)伸縮筒(25)，所述內(nèi)伸縮筒(25)是頂部固定連接有防護(hù)軟墊(26)，內(nèi)伸縮筒(25)滑動(dòng)卡接于外伸縮筒(24)的內(nèi)側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種基板非接觸傳送及干燥一體化裝置，其特征在于：所述外側(cè)板(29)的頂部固定連接有外頂板(30)，所述外頂板(30)的頂部固定連接有導(dǎo)向安裝板(31)，所述導(dǎo)向安裝板(31)的一側(cè)固定連接有導(dǎo)向夾塊(34)，所述導(dǎo)向夾塊(34)的內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有導(dǎo)向轉(zhuǎn)軸(35)，所述導(dǎo)向轉(zhuǎn)軸(35)的外側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有導(dǎo)向轉(zhuǎn)筒(36)，所述導(dǎo)向轉(zhuǎn)筒(36)的兩端安裝有扭轉(zhuǎn)彈簧(37)，所述扭轉(zhuǎn)彈簧(37)安裝于導(dǎo)向夾塊(34)的內(nèi)側(cè)，所述導(dǎo)向轉(zhuǎn)筒(36)的外側(cè)固定連接有導(dǎo)向緩沖框(38)，所述導(dǎo)向緩沖框(38)的內(nèi)側(cè)安裝有自適應(yīng)彈簧(40)，所述自適應(yīng)彈簧(40)的頂部固定連接有導(dǎo)向伸縮板(39)，所述導(dǎo)向伸縮板(39)滑動(dòng)卡接于導(dǎo)向緩沖框(38)的內(nèi)側(cè)，所述導(dǎo)向伸縮板(39)的頂端固定連接有導(dǎo)向斜板(41)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種基板非接觸傳送及干燥一體化裝置，其特征在于：所述調(diào)整桿(11)遠(yuǎn)離定位導(dǎo)向柱(23)的一端固定連接有缸連接板(44)，所述缸連接板(44)遠(yuǎn)離調(diào)整桿(11)的一端固定連接有伸縮電缸(43)，所述伸縮電缸(43)遠(yuǎn)離缸連接板(44)的一端固定連接有缸體底板(42)。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及氣浮技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種基板非接觸傳送及干燥一體化裝置，所述支撐底板的兩側(cè)固定連接有支撐側(cè)板，所述支撐底板的頂部固定連接有安裝底板，所述安裝底板的頂部固定連接有噴氣筒，所述噴氣筒的頂部固定連接有噴氣頭，噴氣頭有三列，所述噴氣筒的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有封閉轉(zhuǎn)柱，所述封閉轉(zhuǎn)柱的兩端固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)筒，通過(guò)巧妙設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了基板的非接觸傳送和干燥一體化操作，該裝置通過(guò)改變氣體噴射方式，實(shí)現(xiàn)基板的傳送；同時(shí)，通過(guò)加熱氣體，實(shí)現(xiàn)基板的干燥，在傳送過(guò)程中，通過(guò)設(shè)置緩沖裝置，減小了基板與裝置之間的碰撞力，保護(hù)了基板，此外，裝置還具備調(diào)整功能，以適應(yīng)不同大小的基板。

技術(shù)研發(fā)人員：杜春輝,馮建煒
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州賽美達(dá)半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19