本發(fā)明涉及半導(dǎo)體自動(dòng)化機(jī)械人，尤其涉及爐管半自動(dòng)拆裝設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、現(xiàn)有的半導(dǎo)體和光伏行業(yè)化學(xué)沉積爐（cvd）、擴(kuò)散爐等大部分采用的石英玻璃爐管，由于玻璃爐管在使用一段時(shí)間后，管內(nèi)壁會(huì)受到爐管內(nèi)反應(yīng)氣體的化學(xué)污染，加上反應(yīng)溫度變化造成玻璃爐管出現(xiàn)裂紋等原因，使得化學(xué)沉積爐（cvd）、擴(kuò)散爐內(nèi)的爐管，需要頻繁的拆裝更換；已有技術(shù)是通過人工進(jìn)行石英玻璃爐管的更換和拆裝的，由于爐管的尺寸長(zhǎng)、重量大，且更換位置比較高，需要6-8名工人抬上抬下的拆裝更換，費(fèi)時(shí)費(fèi)力、效率低；并且人工拆裝搬運(yùn)石英玻璃爐管時(shí)，有裂紋的爐管會(huì)很容易破碎，這對(duì)裝卸工人會(huì)造成人生安全隱患，另外，用于裝載爐管的爐體也要進(jìn)行維修更換，維修更換過程也需要從基座上拆卸取下來，已有技術(shù)的這種工作也是人工抬上抬下，不僅耗費(fèi)大量的人力，而且效率低，維修更換困難。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種節(jié)省人員、操作省力、效率高、能防止對(duì)操作者造成傷害的爐管半自動(dòng)裝卸裝備。

2、本發(fā)明的爐管半自動(dòng)裝卸設(shè)備是這樣實(shí)現(xiàn)的，包括車子、設(shè)置在車子上的升降動(dòng)力機(jī)構(gòu)、由升降動(dòng)力機(jī)構(gòu)帶動(dòng)的前后移動(dòng)機(jī)構(gòu)、由前后移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)的左右微調(diào)移動(dòng)機(jī)構(gòu)、由左右微調(diào)移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)的帶有轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)的角度微調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)上面的v形輥輪組。

3、使用時(shí)，將爐管置于轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)上面的v形輥輪組，然后通過車子將爐管運(yùn)送到化學(xué)沉積爐（cvd）或者擴(kuò)散爐的爐管裝設(shè)入口處，通過升降動(dòng)力機(jī)構(gòu)升起前后移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使?fàn)t管升至爐管裝設(shè)入口處，使?fàn)t管與爐管裝設(shè)入口處于精確的同一水平線上，通過左右微調(diào)移動(dòng)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)水平移動(dòng)臺(tái)的左右位置，使?fàn)t管正對(duì)著爐管裝設(shè)入口，通過角度微調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)的角度，使?fàn)t管的軸線與爐管裝設(shè)入口軸線重合，這就可以用人工通過v形輥輪組沿軸線精確地推動(dòng)到爐內(nèi)。

4、優(yōu)選地，轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)兩側(cè)設(shè)置有數(shù)個(gè)支撐架，支撐架包括一對(duì)相對(duì)平行設(shè)置的豎板、連接在兩豎板之間的連接塊，連接塊置于轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)臺(tái)面上，豎板頂端設(shè)置有與爐體底腳匹配的v形凹口，豎板頂端高于v形輥輪組，當(dāng)爐體置于支撐架后，爐體不會(huì)碰著v形輥輪組，轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)上設(shè)置有與一對(duì)豎板匹配的一對(duì)穿槽，當(dāng)支撐架倒置于一對(duì)穿槽上，使豎板插進(jìn)穿槽且連接塊靠在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)后，支撐架最高處不高于v形輥輪組，以保證爐管在v形輥輪組導(dǎo)向下移動(dòng)。

5、使用時(shí)，當(dāng)需要裝設(shè)、提取爐管時(shí)，將支撐架倒置于一對(duì)穿槽上，使支撐架不影響爐管的傳輸，需要傳送爐體時(shí)，將支撐架正放置在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)臺(tái)面上，以便能順暢地傳送爐體。

6、優(yōu)選地，數(shù)個(gè)支撐架分成兩排，對(duì)稱設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)臺(tái)面的兩邊。采用對(duì)稱設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)臺(tái)面的兩邊的兩排支撐架，保證穩(wěn)定地支撐爐體。

7、優(yōu)選地，連接塊呈方條形，方條形連接塊上旋接有兩根螺桿，與螺桿匹配的轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)上設(shè)置有穿孔。使用時(shí)，螺桿插入穿孔內(nèi)，使支撐架定位在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)上，使支撐架的姿態(tài)穩(wěn)定，從而保證支撐的穩(wěn)定，采用螺桿，通過往連接塊兩邊穿接螺桿，就能根據(jù)使用要求，采用正反兩種形式放置定位支撐架，以適應(yīng)不同構(gòu)件的傳送，采用方條形連接塊，不管正反那種形式，支撐架都能緊靠在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)上，保證支撐架置于轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)上的穩(wěn)定。

8、優(yōu)選地，前后移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在升降動(dòng)力機(jī)構(gòu)的升降基座上的縱向軌道、滑動(dòng)設(shè)置在縱向軌道上的縱向滑塊，左右微調(diào)移動(dòng)機(jī)構(gòu)的左右移動(dòng)基座固定在縱向滑塊上，左右微調(diào)移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括左右移動(dòng)基座、設(shè)置在左右移動(dòng)基座上的橫向軌道、滑動(dòng)設(shè)置在橫向軌道上的橫向滑塊，角度微調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動(dòng)基座固定在橫向滑塊上，角度微調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動(dòng)基座、固定在轉(zhuǎn)動(dòng)基座中部的轉(zhuǎn)軸、轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在轉(zhuǎn)軸上的轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)、設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)下面的數(shù)個(gè)滾輪，數(shù)個(gè)滾輪圍繞轉(zhuǎn)軸四周設(shè)置。

9、使用時(shí)，通過手動(dòng)操作，來調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)的左右以及角度位置，使?fàn)t管的軸線與爐管裝設(shè)入口軸線重合，這就可以用人工通過v形輥輪組沿軸線精確地推動(dòng)到爐內(nèi)；若裝設(shè)爐體，則通過人工推動(dòng)，使左右微調(diào)移動(dòng)機(jī)構(gòu)、角度微調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)及轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)上的爐體前送進(jìn)爐架上，利用爐架上的移動(dòng)定位機(jī)構(gòu)，將爐體繼續(xù)傳送進(jìn)爐架的裝設(shè)位置上，從而完成爐體的安裝；拆卸爐體時(shí)，將轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)前伸入爐架的爐體接收位置上，通過爐架上的移動(dòng)定位機(jī)構(gòu)將爐體送到轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)上的支撐架上即可。

10、優(yōu)選地，調(diào)節(jié)平臺(tái)上的角度微調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括由手輪帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)軸、由轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)的軟軸或者可伸縮的萬向聯(lián)軸器、動(dòng)力輸入軸與軟軸連接的變速箱，垂直于動(dòng)力輸入軸的變速箱的輸出軸連接在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)的底面，圍繞輸出軸的四周的水平移動(dòng)臺(tái)與轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)之間設(shè)置有三個(gè)以上萬向滾輪。

11、工作時(shí)，通過手輪帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)軟軸或者可伸縮的萬向聯(lián)軸器轉(zhuǎn)動(dòng)，使變速箱的輸出軸帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)角度微調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)的角度，萬向滾輪使轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)穩(wěn)定地支撐在水平移動(dòng)臺(tái)上，采用軟軸或者可伸縮的萬向聯(lián)軸器，這樣，即使左右微調(diào)移動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)作使轉(zhuǎn)軸與變速箱的輸入軸之間的距離稍有變化，也不影響角度微調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的工作。

12、優(yōu)選地，設(shè)置有車子定位機(jī)構(gòu)，車子定位機(jī)構(gòu)包括固定在化學(xué)氣相沉積爐或擴(kuò)散爐的爐管裝設(shè)入口處正下方的位置上的帶有卡口的座、與卡口匹配的設(shè)置在車子前端的定位輥。

13、使用時(shí)，將車子推到座的前方，使定位輥嵌入卡口上，然后，啟動(dòng)車子的剎車機(jī)構(gòu)，這樣，車子就會(huì)被定位而不能移動(dòng)，同時(shí)，在帶有卡口的座的作用下，車子也不會(huì)側(cè)翻。

14、優(yōu)選地，設(shè)置有車子固定架，車子固定架包括分別橫向固定在車子前后兩端的兩套筒、穿接在套筒左右兩端的活動(dòng)桿、連接在活動(dòng)桿上的帶有支撐底座的支撐桿，支撐桿能上下調(diào)節(jié)固定在活動(dòng)桿上。

15、使用時(shí)，當(dāng)需要車子穩(wěn)定定位時(shí)，將活動(dòng)桿從套筒移出，然后放下支撐桿，使支撐底座靠在地面上，然后將支撐桿的位置固定，由于有四根支撐桿展開支撐在地面上，形成穩(wěn)定的四點(diǎn)支撐，從而保證所需要傳送的轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)穩(wěn)定地定位，進(jìn)而保證爐管或者爐體順暢地被提取或者傳送。

16、本發(fā)明與已有技術(shù)相比，具有節(jié)省人員、操作省力、效率高、能防止對(duì)操作者造成傷害的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)特征：

1.一種爐管半自動(dòng)裝卸設(shè)備，其特征在于，包括車子、設(shè)置在車子上的升降動(dòng)力機(jī)構(gòu)、由升降動(dòng)力機(jī)構(gòu)帶動(dòng)的前后移動(dòng)機(jī)構(gòu)、由前后移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)的左右微調(diào)移動(dòng)機(jī)構(gòu)、由左右微調(diào)移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)的帶有轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)的角度微調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)上面的v形輥輪組。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的爐管半自動(dòng)裝卸設(shè)備，其特征在于，轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)兩側(cè)設(shè)置有數(shù)個(gè)支撐架，支撐架包括一對(duì)相對(duì)平行設(shè)置的豎板、連接在兩豎板之間的連接塊，連接塊置于轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)臺(tái)面上，豎板頂端設(shè)置有與爐體底腳匹配的v形凹口，豎板頂端高于v形輥輪組，當(dāng)爐體置于支撐架后，爐體不會(huì)碰著v形輥輪組，轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)上設(shè)置有與一對(duì)豎板匹配的一對(duì)穿槽，當(dāng)支撐架倒置于一對(duì)穿槽上，使豎板插進(jìn)穿槽且連接塊靠在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)后，支撐架最高處不高于v形輥輪組，以保證爐管在v形輥輪組導(dǎo)向下移動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的爐管半自動(dòng)裝卸設(shè)備，其特征在于，數(shù)個(gè)支撐架分成兩排，對(duì)稱設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)臺(tái)面的兩邊。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的爐管半自動(dòng)裝卸設(shè)備，其特征在于，連接塊呈方條形，方條形連接塊上旋接有兩根螺桿，與螺桿匹配的轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)上設(shè)置有穿孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4所述的爐管半自動(dòng)裝卸設(shè)備，其特征在于，前后移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在升降動(dòng)力機(jī)構(gòu)的升降基座上的縱向軌道、滑動(dòng)設(shè)置在縱向軌道上的縱向滑塊，左右微調(diào)移動(dòng)機(jī)構(gòu)的左右移動(dòng)基座固定在縱向滑塊上，左右微調(diào)移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括左右移動(dòng)基座、設(shè)置在左右移動(dòng)基座上的橫向軌道、滑動(dòng)設(shè)置在橫向軌道上的橫向滑塊，角度微調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)動(dòng)基座固定在橫向滑塊上，角度微調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動(dòng)基座、固定在轉(zhuǎn)動(dòng)基座中部的轉(zhuǎn)軸、轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在轉(zhuǎn)軸上的轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)、設(shè)置在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)下面的數(shù)個(gè)滾輪，數(shù)個(gè)滾輪圍繞轉(zhuǎn)軸四周設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4所述的爐管半自動(dòng)裝卸設(shè)備，其特征在于，設(shè)置有車子固定架，車子固定架包括分別橫向固定在車子前后兩端的兩套筒、穿接在套筒左右兩端的活動(dòng)桿、連接在活動(dòng)桿上的帶有支撐底座的支撐桿，支撐桿能上下調(diào)節(jié)固定在活動(dòng)桿上。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的爐管半自動(dòng)裝卸設(shè)備，其特征在于，設(shè)置有車子固定架，車子固定架包括分別橫向固定在車子前后兩端的兩套筒、穿接在套筒左右兩端的活動(dòng)桿、連接在活動(dòng)桿上的帶有支撐底座的支撐桿，支撐桿能上下調(diào)節(jié)固定在活動(dòng)桿上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4或7所述的爐管半自動(dòng)裝卸設(shè)備，其特征在于，在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)上設(shè)置有穿接在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)側(cè)板上的輥輪剎車桿，設(shè)置有插在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)飄出的飄板及轉(zhuǎn)動(dòng)基座的飄板之間的防轉(zhuǎn)動(dòng)插銷，設(shè)置有插在左右移動(dòng)基座飄出的飄板及轉(zhuǎn)動(dòng)基座的飄板之間的防左右移動(dòng)插銷，設(shè)置有插在左右移動(dòng)基座飄出的飄板及升降基座的飄板之間的防前后移動(dòng)插銷。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的爐管半自動(dòng)裝卸設(shè)備，其特征在于，在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)上設(shè)置有穿接在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)側(cè)板上的輥輪剎車桿，設(shè)置有插在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)飄出的飄板及轉(zhuǎn)動(dòng)基座的飄板之間的防轉(zhuǎn)動(dòng)插銷，設(shè)置有插在左右移動(dòng)基座飄出的飄板及轉(zhuǎn)動(dòng)基座的飄板之間的防左右移動(dòng)插銷，設(shè)置有插在左右移動(dòng)基座飄出的飄板及升降基座的飄板之間的防前后移動(dòng)插銷。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的爐管半自動(dòng)裝卸設(shè)備，其特征在于，在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)上設(shè)置有穿接在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)側(cè)板上的輥輪剎車桿，設(shè)置有插在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)飄出的飄板及轉(zhuǎn)動(dòng)基座的飄板之間的防轉(zhuǎn)動(dòng)插銷，設(shè)置有插在左右移動(dòng)基座飄出的飄板及轉(zhuǎn)動(dòng)基座的飄板之間的防左右移動(dòng)插銷，設(shè)置有插在左右移動(dòng)基座飄出的飄板及升降基座的飄板之間的防前后移動(dòng)插銷。

技術(shù)總結(jié)
一種爐管半自動(dòng)裝卸設(shè)備，涉及升降傳輸技術(shù)領(lǐng)域，包括車子、設(shè)置在車子上的粗升降動(dòng)力機(jī)構(gòu)、由粗升降動(dòng)力機(jī)構(gòu)帶動(dòng)升降的升降基座、設(shè)置在升降基座上的微調(diào)升降機(jī)構(gòu)、由微調(diào)升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)升降的升降臺(tái)、設(shè)置在升降臺(tái)上的左右微調(diào)移動(dòng)機(jī)構(gòu)、設(shè)置在升降臺(tái)上的角度微調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、由左右微調(diào)移動(dòng)機(jī)構(gòu)和角度微調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)的水平移動(dòng)臺(tái)、設(shè)置在水平移動(dòng)臺(tái)上面的導(dǎo)軌、滑動(dòng)設(shè)置在導(dǎo)軌上的滑動(dòng)架、設(shè)置在滑動(dòng)架上的V形輥輪組。本發(fā)明與已有技術(shù)相比，具有操作省力、效率高、能防止對(duì)操作者造成傷害的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：趙祖熙,黃建起,揚(yáng)揚(yáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：佛山禾曦節(jié)能科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/17