本發(fā)明屬于硅片加工領(lǐng)域，具體涉及一種硅片花籃翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)運(yùn)裝置。

背景技術(shù)：

1、在硅片制備生產(chǎn)過(guò)程中，需要通過(guò)硅片花籃進(jìn)行流轉(zhuǎn)，利用硅片花籃整體流轉(zhuǎn)完成對(duì)硅片進(jìn)行流轉(zhuǎn)、清洗、檢測(cè)等工作，但硅片插入硅片花籃時(shí)，硅片花籃的轉(zhuǎn)態(tài)與后續(xù)清洗等工作時(shí)的狀態(tài)并不相同，此時(shí)就需要對(duì)硅片花籃進(jìn)行翻轉(zhuǎn)。人工對(duì)硅片花籃翻轉(zhuǎn)費(fèi)時(shí)費(fèi)力，通過(guò)機(jī)械手臂來(lái)實(shí)現(xiàn)翻轉(zhuǎn)的方式結(jié)構(gòu)復(fù)雜且成本較高，現(xiàn)有的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)不能兼顧空料籃和滿料籃，通用性差，且在水平的轉(zhuǎn)運(yùn)或傳輸方面，目前市場(chǎng)上未出現(xiàn)對(duì)料籃進(jìn)行傳輸過(guò)程中的止擋或阻擋結(jié)構(gòu)，而只是停機(jī)暫停，影響整體效率；翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的花籃，現(xiàn)有技術(shù)或者無(wú)定位機(jī)構(gòu)，或者定位機(jī)構(gòu)設(shè)置在頂部，包括壓緊氣缸等的機(jī)體結(jié)構(gòu)，增大了花籃長(zhǎng)度方向的夾裝尺寸。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種硅片花籃翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其能解決上述問(wèn)題。

2、一種硅片花籃翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，包括翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、傳輸機(jī)構(gòu)和阻擋機(jī)構(gòu)；所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)置在傳輸機(jī)構(gòu)的一端，用于翻轉(zhuǎn)花籃；所述傳輸機(jī)構(gòu)水平布置，用于水平傳送花籃；所述阻擋機(jī)構(gòu)設(shè)置在傳輸機(jī)構(gòu)的傳輸線上，用于花籃傳輸?shù)淖钃蹩刂啤?/p>

3、進(jìn)一步的，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括翻轉(zhuǎn)軸模塊、翻轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)模塊、翻轉(zhuǎn)墊板組件、翻轉(zhuǎn)背板組件和翻轉(zhuǎn)上夾緊組件；翻轉(zhuǎn)墊板組件的一端底部固定連接至所述翻轉(zhuǎn)軸模塊上，所述翻轉(zhuǎn)背板組件豎直的固定至所述翻轉(zhuǎn)墊板組件上，在所述翻轉(zhuǎn)背板組件的頂部頂面及側(cè)面處設(shè)置所述翻轉(zhuǎn)上夾緊組件，所述翻轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)模塊連接至所述翻轉(zhuǎn)軸模塊上或連接至所述翻轉(zhuǎn)背板組件上。

4、進(jìn)一步的，所述翻轉(zhuǎn)上夾緊組件包括上夾緊安裝塊、上夾緊驅(qū)動(dòng)器、夾緊固定塊、夾緊連桿和雙頭壓緊件，所述上夾緊驅(qū)動(dòng)器的底部通過(guò)所述上夾緊安裝塊轉(zhuǎn)接至所述翻轉(zhuǎn)背板組件的背板體的頂部側(cè)面，所述夾緊固定塊底部固定連接至所述上夾緊驅(qū)動(dòng)器殼體上或背板體的頂部側(cè)面上；兩個(gè)所述夾緊連桿的一端樞軸連接至夾緊固定塊的頂部，兩個(gè)所述夾緊連桿的另一端樞軸連接至所述雙頭壓緊件的中部；所述雙頭壓緊件包括兩個(gè)叉頭，一個(gè)叉頭樞軸連接至所述上夾緊驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)活塞桿末端，另一個(gè)叉頭朝向待翻轉(zhuǎn)的料籃方向布置。

5、進(jìn)一步的，所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括翻板下夾爪組件，所述翻板下夾爪組件包括帶有限位部的下夾爪和夾爪驅(qū)動(dòng)器，所述下夾爪的前部伸向翻轉(zhuǎn)墊板組件，所述下夾爪的后部與水平布置的夾爪驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)活動(dòng)端連接，其中下夾爪的限位部與花籃的吊裝頭或定位件匹配。

6、進(jìn)一步的，所述翻轉(zhuǎn)墊板組件包括凸形的墊板體和翻轉(zhuǎn)墊塊；墊板體的凸出端遠(yuǎn)離花籃布置，用于安裝翻轉(zhuǎn)軸模塊、翻轉(zhuǎn)背板組件的背板體和背板加強(qiáng)筋板、以及翻板下夾爪組件；墊板體的主體部分上表面安裝所述翻轉(zhuǎn)墊塊，用于支撐硅片花籃的底部；在墊板體的主體部分上開(kāi)設(shè)安裝孔，用于安裝一個(gè)翻轉(zhuǎn)到位感應(yīng)器。

7、進(jìn)一步的，所述傳輸機(jī)構(gòu)包括傳輸框架、傳輸驅(qū)動(dòng)鏈帶模塊、翻轉(zhuǎn)后緩沖組件和物料傳輸感應(yīng)組件；所述傳輸驅(qū)動(dòng)鏈帶模塊的傳輸鏈帶沿著傳輸框架縱向布置；所述翻轉(zhuǎn)后緩沖組件設(shè)置在傳輸框架的橫梁上，用于緩沖翻轉(zhuǎn)后水平布置的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；所述物料傳輸感應(yīng)組件設(shè)置在傳輸框架的縱梁外側(cè)，用于檢測(cè)傳輸線上是否存在料籃。

8、進(jìn)一步的，所述傳輸機(jī)構(gòu)還包括接水槽和傳輸外框架，所述接水槽由所述傳輸外框架支撐的布置在傳輸框架外周。

9、進(jìn)一步的，所述阻擋機(jī)構(gòu)包括阻擋安裝底板、阻擋立板、帶有阻擋凸起的阻擋板、阻擋驅(qū)動(dòng)組件和阻擋到位監(jiān)測(cè)組件；阻擋安裝底板設(shè)置在傳輸機(jī)構(gòu)的橫梁上，用于支撐整個(gè)阻擋機(jī)構(gòu)；兩個(gè)平行間隔布置的阻擋立板底部固定至所述阻擋安裝底板上，兩個(gè)平行間隔布置的阻擋板的一端通過(guò)阻擋支撐樞軸安裝至所述阻擋立板，兩個(gè)平行間隔布置的阻擋板的另一端通過(guò)阻擋驅(qū)動(dòng)樞軸與所述阻擋驅(qū)動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)桿端部樞軸連接，所述阻擋驅(qū)動(dòng)組件的阻擋驅(qū)動(dòng)器的殼體兩側(cè)樞軸連接至阻擋驅(qū)動(dòng)器支撐塊上；所述阻擋到位監(jiān)測(cè)組件安裝至阻擋板下方，用于監(jiān)測(cè)硅片花籃阻擋后是否驅(qū)動(dòng)到位。

10、相比現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的有益效果在于：本申請(qǐng)采用夾緊定位、翻轉(zhuǎn)后傳輸阻擋機(jī)構(gòu)，使得硅片花籃翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)運(yùn)裝置更穩(wěn)定，更利于工作節(jié)拍的控制，便于在半導(dǎo)體硅片檢測(cè)及加工領(lǐng)域等領(lǐng)域推廣應(yīng)用。

技術(shù)特征：

1.一種硅片花籃翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于：包括翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(100)、傳輸機(jī)構(gòu)(200)和阻擋機(jī)構(gòu)(300)；所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(100)設(shè)置在傳輸機(jī)構(gòu)(200)的一端，用于翻轉(zhuǎn)花籃；所述傳輸機(jī)構(gòu)(200)水平布置，用于水平傳送花籃；所述阻擋機(jī)構(gòu)(300)設(shè)置在傳輸機(jī)構(gòu)(200)的傳輸線上，用于花籃傳輸?shù)淖钃蹩刂啤?/p>

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片花籃翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于：所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(100)包括翻轉(zhuǎn)軸模塊(110)、翻轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)模塊(120)、翻轉(zhuǎn)墊板組件(130)、翻轉(zhuǎn)背板組件(140)和翻轉(zhuǎn)上夾緊組件(150)；翻轉(zhuǎn)墊板組件(130)的一端底部固定連接至所述翻轉(zhuǎn)軸模塊(110)上，所述翻轉(zhuǎn)背板組件(140)豎直的固定至所述翻轉(zhuǎn)墊板組件(130)上，在所述翻轉(zhuǎn)背板組件(140)的頂部頂面及側(cè)面處設(shè)置所述翻轉(zhuǎn)上夾緊組件(150)，所述翻轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)模塊(120)連接至所述翻轉(zhuǎn)軸模塊(110)上或連接至所述翻轉(zhuǎn)背板組件(140)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片花籃翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于：所述翻轉(zhuǎn)上夾緊組件(150)包括上夾緊安裝塊(151)、上夾緊驅(qū)動(dòng)器(152)、夾緊固定塊(153)、夾緊連桿(154)和雙頭壓緊件(155)，所述上夾緊驅(qū)動(dòng)器(152)的底部通過(guò)所述上夾緊安裝塊(151)轉(zhuǎn)接至所述翻轉(zhuǎn)背板組件(140)的背板體(141)的頂部側(cè)面，所述夾緊固定塊(153)底部固定連接至所述上夾緊驅(qū)動(dòng)器(152)殼體上或背板體(141)的頂部側(cè)面上；兩個(gè)所述夾緊連桿(154)的一端樞軸連接至夾緊固定塊(153)的頂部，兩個(gè)所述夾緊連桿(154)的另一端樞軸連接至所述雙頭壓緊件(155)的中部；所述雙頭壓緊件(155)包括兩個(gè)叉頭，一個(gè)叉頭樞軸連接至所述上夾緊驅(qū)動(dòng)器(152)的驅(qū)動(dòng)活塞桿末端，另一個(gè)叉頭朝向待翻轉(zhuǎn)的料籃方向布置。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片花籃翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于：所述翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(100)還包括翻板下夾爪組件(160)，所述翻板下夾爪組件(160)包括帶有限位部的下夾爪(161)和夾爪驅(qū)動(dòng)器(162)，所述下夾爪(161)的前部伸向翻轉(zhuǎn)墊板組件(130)，所述下夾爪(161)的后部與水平布置的夾爪驅(qū)動(dòng)器(162)的驅(qū)動(dòng)活動(dòng)端連接，其中下夾爪(161)的限位部與花籃的吊裝頭或定位件匹配。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片花籃翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于：所述翻轉(zhuǎn)墊板組件(130)包括凸形的墊板體(131)和翻轉(zhuǎn)墊塊(132)；墊板體(131)的凸出端遠(yuǎn)離花籃布置，用于安裝翻轉(zhuǎn)軸模塊(110)、翻轉(zhuǎn)背板組件(140)的背板體(141)和背板加強(qiáng)筋板(142)、以及翻板下夾爪組件(160)；墊板體(131)的主體部分上表面安裝所述翻轉(zhuǎn)墊塊(132)，用于支撐硅片花籃的底部；在墊板體(131)的主體部分上開(kāi)設(shè)安裝孔，用于安裝一個(gè)翻轉(zhuǎn)到位感應(yīng)器(170)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片花籃翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于：所述傳輸機(jī)構(gòu)(200)包括傳輸框架(210)、傳輸驅(qū)動(dòng)鏈帶模塊(220)、翻轉(zhuǎn)后緩沖組件(230)和物料傳輸感應(yīng)組件(240)；所述傳輸驅(qū)動(dòng)鏈帶模塊(220)的傳輸鏈帶沿著傳輸框架(210)縱向布置；所述翻轉(zhuǎn)后緩沖組件(230)設(shè)置在傳輸框架(210)的橫梁上，用于緩沖翻轉(zhuǎn)后水平布置的翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(100)；所述物料傳輸感應(yīng)組件(240)設(shè)置在傳輸框架(210)的縱梁外側(cè)，用于檢測(cè)傳輸線上是否存在料籃。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片花籃翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于：所述傳輸機(jī)構(gòu)(200)還包括接水槽(250)和傳輸外框架(260)，所述接水槽(250)由所述傳輸外框架(260)支撐的布置在傳輸框架(210)外周。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅片花籃翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，其特征在于：所述阻擋機(jī)構(gòu)(300)包括阻擋安裝底板(310)、阻擋立板(320)、帶有阻擋凸起(331)的阻擋板(330)、阻擋驅(qū)動(dòng)組件(340)和阻擋到位監(jiān)測(cè)組件(350)；阻擋安裝底板(310)設(shè)置在傳輸機(jī)構(gòu)(200)的橫梁上，用于支撐整個(gè)阻擋機(jī)構(gòu)(300)；兩個(gè)平行間隔布置的阻擋立板(320)底部固定至所述阻擋安裝底板(310)上，兩個(gè)平行間隔布置的阻擋板(330)的一端通過(guò)阻擋支撐樞軸(332)安裝至所述阻擋立板(320)，兩個(gè)平行間隔布置的阻擋板(330)的另一端通過(guò)阻擋驅(qū)動(dòng)樞軸(333)與所述阻擋驅(qū)動(dòng)組件(340)的驅(qū)動(dòng)桿端部樞軸連接，所述阻擋驅(qū)動(dòng)組件(340)的阻擋驅(qū)動(dòng)器(341)的殼體兩側(cè)樞軸連接至阻擋驅(qū)動(dòng)器支撐塊(342)上；所述阻擋到位監(jiān)測(cè)組件(350)安裝至阻擋板(330)下方，用于監(jiān)測(cè)硅片花籃阻擋后是否驅(qū)動(dòng)到位。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種硅片花籃翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，屬于硅片加工領(lǐng)域，包括翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、傳輸機(jī)構(gòu)和阻擋機(jī)構(gòu)；翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)置在傳輸機(jī)構(gòu)的一端，用于翻轉(zhuǎn)花籃；傳輸機(jī)構(gòu)水平布置，用于水平傳送花籃；阻擋機(jī)構(gòu)設(shè)置在傳輸機(jī)構(gòu)的傳輸線上，用于花籃傳輸?shù)淖钃蹩刂?。本申?qǐng)采用夾緊定位、翻轉(zhuǎn)后傳輸阻擋機(jī)構(gòu)，使得硅片花籃翻轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)運(yùn)裝置更穩(wěn)定，更利于工作節(jié)拍的控制，便于在半導(dǎo)體硅片檢測(cè)及加工領(lǐng)域等領(lǐng)域推廣應(yīng)用。

技術(shù)研發(fā)人員：王承平,孫靖,尤夢(mèng)龍,徐偉鋒,薛峰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州天準(zhǔn)科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/10