本公開涉及真空類設備的傳動，具體涉及一種傳動裝置、輸送裝置和真空設備。

背景技術(shù)：

1、真空類設備廣泛用于半導體或者光伏材料制造。真空類設備通常需要在真空的腔體外和腔室內(nèi)使用各種傳動結(jié)構(gòu)，通過傳動結(jié)構(gòu)實現(xiàn)由真空的腔體外向腔室內(nèi)的動力傳遞，進而實現(xiàn)真空的腔室內(nèi)的物料輸送、精確定位等功能。

2、在真空設備的腔室內(nèi)需要多個運動結(jié)構(gòu)時，需要在真空設備的腔體上開多個孔。腔體外的動力源需要通過傳動結(jié)構(gòu)驅(qū)動腔室內(nèi)的運動結(jié)構(gòu)運動。因此，傳動結(jié)構(gòu)需要穿過孔，并且孔需要密封。這就導致真空設備腔體上的密封的孔較多，增加了真空設備的泄漏風險。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本公開實施例提供了一種傳動裝置、輸送裝置和真空設備，解決了由于真空設備腔體上的開孔較多，導致真空設備的泄漏風險高的問題。

2、第一方面，本公開的實施例提供了一種傳動裝置，應用于真空設備，所述真空設備包括腔體，所述腔體形成真空的腔室；其中，所述傳動裝置包括：動力輸入結(jié)構(gòu)，所述動力輸入結(jié)構(gòu)的第一端位于所述腔室的外側(cè)，與動力源連接，所述動力輸入結(jié)構(gòu)的第二端穿過所述腔體進入所述腔室，在所述動力源的驅(qū)動下，所述動力輸入結(jié)構(gòu)繞第一軸線旋轉(zhuǎn)，其中，所述第一軸線與所述動力輸入結(jié)構(gòu)的軸線重合；第一傳動結(jié)構(gòu)，設置于所述腔室內(nèi)，與所述動力輸入結(jié)構(gòu)的第二端連接，所述第一傳動結(jié)構(gòu)在所述動力輸入結(jié)構(gòu)的帶動下繞所述第一軸線旋轉(zhuǎn)；至少一個第二傳動結(jié)構(gòu)，設置于所述腔室內(nèi)，與所述第一傳動結(jié)構(gòu)傳動連接，在所述第一傳動結(jié)構(gòu)的帶動下運動。

3、在一些實施例中，所述第二傳動結(jié)構(gòu)與所述第一傳動結(jié)構(gòu)之間的傳動連接包括以下連接中的至少一種：帶傳動、鏈條傳動、齒輪傳動。

4、在一些實施例中，所述第二傳動結(jié)構(gòu)與所述第一傳動結(jié)構(gòu)之間的傳動連接包括帶傳動；其中，所述第一傳動結(jié)構(gòu)包括：第一軸，與所述動力輸入結(jié)構(gòu)的第二端連接；至少一個第一帶輪，套裝在所述第一軸上，并隨所述第一軸旋轉(zhuǎn)；其中，所述第二傳動結(jié)構(gòu)包括：第一傳送帶，繞在一個所述第一帶輪上；至少一個第二帶輪，所述第一傳送帶繞在一個所述第二帶輪上，以利用所述第一傳送帶將所述第一帶輪的轉(zhuǎn)動傳遞給所述第二帶輪；第二軸，與所述第二帶輪連接，并隨所述第二帶輪旋轉(zhuǎn)。

5、在一些實施例中，傳動裝置還包括：張緊結(jié)構(gòu)，與所述第一傳送帶抵接，被配置為對所述第一傳送帶進行張緊。

6、在一些實施例中，所述張緊結(jié)構(gòu)包括：支撐件，與所述腔體相對固定設置；旋轉(zhuǎn)件，所述旋轉(zhuǎn)件的第一端與所述支撐件可轉(zhuǎn)動連接，并且所述旋轉(zhuǎn)件具有凸起；調(diào)整件，所述調(diào)整件的第一端與所述旋轉(zhuǎn)件第二端螺接，所述調(diào)整件的第二端與所述支撐件抵接；其中，通過調(diào)節(jié)所述調(diào)整件的第二端與所述旋轉(zhuǎn)件的第二端的距離，實現(xiàn)所述凸起對所述第一傳送帶的壓緊力。

7、在一些實施例中，所述第一傳送帶的材質(zhì)包括金屬。

8、在一些實施例中，傳動裝置還包括：第三傳動結(jié)構(gòu)，設置于所述腔室內(nèi)，與所述第二傳動結(jié)構(gòu)傳動連接，在所述第二傳動結(jié)構(gòu)的帶動下運動。

9、在一些實施例中，所述第二帶輪的數(shù)量為多個；其中，所述第三傳動結(jié)構(gòu)包括：第二傳送帶，繞在另一個所述第二帶輪上；至少一個第三帶輪，所述第二傳送帶繞在一個所述第三帶輪上，以利用所述第二傳送帶將所述第二帶輪的轉(zhuǎn)動傳遞給所述第三帶輪；第三軸，與所述第三帶輪連接，并隨所述第三帶輪旋轉(zhuǎn)。

10、在一些實施例中，所述動力輸入結(jié)構(gòu)包括：磁流體，所述磁流體與所述腔體密封連接。

11、第二方面，本公開的實施例提供了一種輸送裝置，應用于真空設備，所述真空設備包括腔體，所述腔體形成真空的腔室；其中，所述輸送裝置包括：如第一方面所述的傳動裝置，由所述腔室的外側(cè)穿過所述腔體進入所述腔室；載具，與所述傳動裝置的位于所述腔室內(nèi)的部分連接，在所述傳動裝置的帶動下運動。

12、第三方面，本公開的實施例提供了一種真空設備，包括：腔體，所述腔體形成真空的腔室；如第二方面所述的輸送裝置，被配置為輸送所述腔室內(nèi)的物料。

13、本公開實施例提供的一種傳動裝置，應用于真空設備。真空設備包括腔體，腔體形成真空的腔室。其中，傳動裝置包括：動力輸入結(jié)構(gòu)、第一傳動結(jié)構(gòu)和至少一個第二傳動結(jié)構(gòu)。動力輸入結(jié)構(gòu)的第一端位于腔室的外側(cè)，與動力源連接。動力輸入結(jié)構(gòu)的第二端穿過腔體進入腔室。在動力源的驅(qū)動下，動力輸入結(jié)構(gòu)繞第一軸線旋轉(zhuǎn)。其中，第一軸線與動力輸入結(jié)構(gòu)的軸線重合。第一傳動結(jié)構(gòu)設置于腔室內(nèi)，與動力輸入結(jié)構(gòu)的第二端連接。第一傳動結(jié)構(gòu)在動力輸入結(jié)構(gòu)的帶動下繞第一軸線旋轉(zhuǎn)。至少一個第二傳動結(jié)構(gòu)設置于腔室內(nèi)，與第一傳動結(jié)構(gòu)傳動連接，在第一傳動結(jié)構(gòu)的帶動下運動。動力輸入結(jié)構(gòu)和第一傳動結(jié)構(gòu)實現(xiàn)動力由腔體外側(cè)向腔室的傳遞，第一傳動結(jié)構(gòu)和至少一個第二傳動結(jié)構(gòu)實現(xiàn)動力在腔室內(nèi)的多級傳遞。該傳動裝置實現(xiàn)了在真空腔室內(nèi)進行多級傳動，減少了在腔體上的開孔數(shù)量，即減少了需要密封的孔的數(shù)量，降低了真空設備的制造難度、制造成本和泄漏風險。

技術(shù)特征：

1.一種傳動裝置，其特征在于，應用于真空設備，所述真空設備包括腔體，所述腔體形成真空的腔室；其中，所述傳動裝置包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳動裝置，其特征在于，所述第二傳動結(jié)構(gòu)與所述第一傳動結(jié)構(gòu)之間的傳動連接包括以下連接中的至少一種：帶傳動、鏈條傳動、齒輪傳動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳動裝置，其特征在于，所述第二傳動結(jié)構(gòu)與所述第一傳動結(jié)構(gòu)之間的傳動連接包括帶傳動；

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳動裝置，其特征在于，還包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳動裝置，其特征在于，所述張緊結(jié)構(gòu)包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳動裝置，其特征在于，所述第一傳送帶的材質(zhì)包括金屬。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳動裝置，其特征在于，還包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳動裝置，其特征在于，所述第二帶輪的數(shù)量為多個；

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8任一項所述的傳動裝置，其特征在于，所述動力輸入結(jié)構(gòu)包括：

10.一種輸送裝置，其特征在于，應用于真空設備，所述真空設備包括腔體，所述腔體形成真空的腔室；其中，所述輸送裝置包括：

11.一種真空設備，其特征在于，包括：

技術(shù)總結(jié)
本公開涉及真空類設備的傳動技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種傳動裝置、輸送裝置和真空設備，解決了由于真空設備腔體上的開孔較多，導致真空設備的泄漏風險高的問題。本公開實施例提供的一種傳動裝置包括：動力輸入結(jié)構(gòu)、第一傳動結(jié)構(gòu)和至少一個第二傳動結(jié)構(gòu)。動力輸入結(jié)構(gòu)的第一端位于腔室的外側(cè)，與動力源連接。第一傳動結(jié)構(gòu)和第二傳動結(jié)構(gòu)位于腔室內(nèi)且傳動連接。動力輸入結(jié)構(gòu)的第二端穿過腔體進入腔室，與第一傳動結(jié)構(gòu)連接。動力源驅(qū)動動力輸入結(jié)構(gòu)和第一傳動結(jié)構(gòu)繞第一軸線旋轉(zhuǎn)。該傳動裝置實現(xiàn)了在真空的腔室內(nèi)進行多級傳動，減少了在腔體上的開孔數(shù)量，即減少了需要密封的孔的數(shù)量，降低了泄漏風險。

技術(shù)研發(fā)人員：祁文杰,盧秋霞,劉群
受保護的技術(shù)使用者：拉普拉斯（西安）科技有限責任公司
技術(shù)研發(fā)日：20240130
技術(shù)公布日：2024/12/19