專利名稱：整體式裝載口一輸送機(jī)輸送裝置的制作方法
本申請要求申請日為1998年12月18日的美國臨時專利申請60/112,947的優(yōu)先權(quán)，該臨時申請在本說明書中作為參考引用。
本發(fā)明整體上涉及一種用于運(yùn)送物品的裝置，具體而言，本發(fā)明涉及一種用于在一輸送機(jī)和一工作站之間運(yùn)送物品的輸送裝置。
在各個不同的領(lǐng)域，易損或貴重物品必須在沒有損壞或破壞的前提下在工作站和類似裝置之間安全地輸送。需要小心搬運(yùn)的物品包括醫(yī)藥品，醫(yī)療器械，平板顯示器，類似磁盤驅(qū)動器、調(diào)制解調(diào)器這樣的電腦硬件及半導(dǎo)體晶片，但并非僅限于這些物品。這些物品經(jīng)常要通過輸送機(jī)在工作站之間運(yùn)送。在許多情況下，必須將物品從輸送機(jī)上臨時卸下，以對其進(jìn)行處理。當(dāng)將物品從輸送機(jī)上卸下來時，輸送機(jī)的工作最好不要中斷。當(dāng)完成對物品的處理后，必須將這些物品小心地送回到輸送機(jī)上，以將其運(yùn)送至下一個工作站。
在許多應(yīng)用場合下，當(dāng)物品在各個工作站被加工處理后，其價值會增加。例如，集成電路是通過在一類似半導(dǎo)體晶片這樣的基片上形成多個層而被制成的。用于制造集成電路的工作站包括用于使各個層沉積的機(jī)器和用于在各個不同階段清洗和/或調(diào)整基片的機(jī)器。隨著技術(shù)的發(fā)展，集成電路已經(jīng)變得越來越復(fù)雜，而且通常包括多層復(fù)雜的線路。集成電路的體積在不斷變小，因此極大地增加了一個基片上的設(shè)備數(shù)量。由于集成電路的復(fù)雜程度越來越高，而且其體積也在不斷地變小，因此半導(dǎo)體晶片的價值將會在晶片通過各個處理階段的過程中不斷增加。半導(dǎo)體晶片的標(biāo)準(zhǔn)尺寸將在未來幾年內(nèi)從200mm增加到300mm或者更大，而且還將增加集成電路在單個晶片上的數(shù)量，從而使每個晶片的價值增加。當(dāng)搬運(yùn)象半導(dǎo)體晶片這樣的物品時，必須特別小心，以減少物品損壞和造成經(jīng)濟(jì)損失的可能性。
一些物品例如半導(dǎo)體晶片在加工處理過程中必須保存在一個清潔的室溫環(huán)境下，以保持沉積在晶片上的多個層的純度。清潔的室溫環(huán)境方面的要求對處理這些物品提出了額外的限制。為進(jìn)一步防止污染，當(dāng)在整個制造設(shè)備中移動這些半導(dǎo)體晶片時，這些半導(dǎo)體晶片通常被保存在一個密封的運(yùn)輸設(shè)備中，例如保存在一個容器中，以使其暴露在加工機(jī)械之外的環(huán)境中的可能性最小。這些容器用于沿輸送機(jī)運(yùn)送物品。
半導(dǎo)體加工機(jī)器的輸入站通常包括一個用于在受到保護(hù)的環(huán)境下從運(yùn)輸容器中自動卸下一個或多個晶片的裝載口。該裝載口架可在約為兩三英寸的有限距離內(nèi)移動，從而將容器移向或移離機(jī)器入口處的裝載口。容器的這種水平移動是極其微小的，而且在將容器移向裝載口或在輸送機(jī)和裝載口之間移動容器的過程中不起任何作用。
因此，就需要一種用于在輸送機(jī)和工作站之間安全準(zhǔn)確地移動運(yùn)送容器或其它物品的裝置。而且，還需要一種在不會明顯干擾輸送機(jī)繼續(xù)工作的前提下用于移動物品的物品運(yùn)送系統(tǒng)。類似地，還需要提供一種用于在工作站支撐物品的輸送系統(tǒng)。
本發(fā)明的一個主要目的在于提供一種用于在一輸送機(jī)和一工作站之間運(yùn)送物品的裝置。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種用于在清潔的室溫環(huán)境下在輸送機(jī)和工作站之間移動物品的裝置。
本發(fā)明的又一目的在于提供一種能夠在不明顯中斷輸送機(jī)工作的情況下在輸送機(jī)和工作站之間自動運(yùn)送物品的輸送裝置。
本發(fā)明的再一目的在于提供一種用于在一輸送機(jī)和加工機(jī)器的裝載口之間移動輸送容器或其它保存一個或多個半導(dǎo)體晶片的容器的輸送裝置。
本發(fā)明一個更總體的目的在于提供一種能夠以更經(jīng)濟(jì)的方式制造、操作和維護(hù)的輸送裝置。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種可與已包括在標(biāo)準(zhǔn)裝載口內(nèi)的移動軸線共存的輸送裝置。
總之，本發(fā)明提供一種用于在一輸送機(jī)和一工作站之間移動物品的輸送裝置。這種輸送裝置大體上包括一個升降裝置和一個設(shè)置于工作站附近的托架部件。在圖示的應(yīng)用場合下，工作站是一個半導(dǎo)體加工機(jī)器，托架部件最好被安裝到該加工機(jī)器上。升降裝置包括一個提升裝置，該提升裝置能夠與沿輸送機(jī)被運(yùn)送的物品相接合并能夠?qū)⑽锲诽嵘捷斔蜋C(jī)上方。該提升裝置可在一個待機(jī)位置和一個工作位置之間移動，其中在待機(jī)位置上，被輸送機(jī)所運(yùn)送的物品能夠移過提升裝置；在工作位置上，提升裝置保持物品位于輸送機(jī)的上方。托架部件包括一個支架部件或用于將物品定位于工作站的等同支撐裝置和一個移動機(jī)構(gòu)，該移動機(jī)構(gòu)用于在輸送機(jī)和提升裝置之間移動支架部件或等同的支撐裝置，從而在輸送機(jī)和工作站之間運(yùn)送物品。
本發(fā)明還提供一種在工作站和輸送機(jī)之間移動物品的方法。該方法包括以下步驟將支架移動到與物品相接合的位置上，將物品從第一位置移動到位于輸送機(jī)上方的第二位置上，將裝載口的支架延伸至輸送機(jī)，然后將支架插入物品和輸送機(jī)之間。在支架伸出之后，托架被移動，以使物品放置在支架上，當(dāng)托架被移動后，支架縮回裝載口。
接合附圖，從下面的詳細(xì)說明和所附權(quán)利要求書中可以更加清楚本發(fā)明的其它目的和特征。


圖1為裝配有根據(jù)本發(fā)明的輸送裝置的輸送機(jī)的示意圖；圖2a為根據(jù)本發(fā)明的一個實(shí)施例，在圖1中示出的輸送機(jī)系統(tǒng)的局部視圖；圖2b為根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例，在圖1中示出的輸送機(jī)系統(tǒng)的局部視圖；圖3a為沿圖2a之剖面線3a-3a的剖視圖；圖3b為沿圖2b之剖面線3b-3b的剖視圖；圖4為圖1所示的輸送裝置的示意圖，圖中示出了提升裝置位于被降低的位置上，而支架位于縮回的位置上；圖5為圖4所示的輸送裝置的示意圖，圖中示出了提升裝置位于升高的位置上，而支架位于伸出的位置上；
圖6為圖4所示的輸送裝置之升降裝置的示意圖，在該圖中，提升裝置位于降低的位置上；圖7為圖4所示的輸送裝置之升降裝置的示意圖，在該圖中，提升裝置位于升高的位置上；圖8和9為圖6所示的升降裝置之局部剖視圖；圖10為圖6所示的升降裝置之局部剖視圖；圖11為圖4所示的托架部件之示意圖，在該圖中支架位于關(guān)閉位置上；圖12為圖4所示的托架部件之示意圖，在該圖中支架位于伸出位置上；圖13為圖4所示之托架部件的局部剖開的頂視圖，在圖中支架位于伸出位置上；圖14為圖4所示之托架部件的局部剖視圖；圖15為圖4所示之托架部件的底部視圖，在該圖中，支架位于伸出位置上；圖16為本發(fā)明之輸送裝置的操作順序之流程圖。
現(xiàn)具體參照已在附圖中被示出的本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。參照附圖，在圖中，相同的部件在不同的附圖中由相同的附圖標(biāo)記來表示，現(xiàn)參看圖1至3。
本發(fā)明的輸送裝置尤其適用于在一輸送機(jī)14和一個類似工作站這樣的操作臺16之間輸送一個或多個物品12。操作臺16可以是一個工作站或一個能夠存放從輸送機(jī)14上臨時卸下來的一個或多個物品的緩沖站。應(yīng)該理解該操作臺還可以具有其它功能。在本發(fā)明圖示的實(shí)施例所述的應(yīng)用場合，輸送裝置10用于在輸送機(jī)和加工機(jī)器之間移動容納有半導(dǎo)體晶片W的運(yùn)送容器或其它容器。但是，應(yīng)該理解輸送裝置10并非僅限于半導(dǎo)體加工。除了運(yùn)送晶片外，該輸送裝置還可用于在輸送機(jī)和操作臺之間運(yùn)送其它類型的材料，尤其是在處理搬運(yùn)過程中必須非常小心易損材料，例如醫(yī)藥品、醫(yī)療設(shè)備、平板顯示器、石版、硬盤驅(qū)動器和其它類型的電腦設(shè)備。在本說明書中，為方便起見，使用了術(shù)語“運(yùn)送裝置”或“運(yùn)送容器”；但應(yīng)該理解本發(fā)明的輸送裝置可與任何物品一起使用，包括運(yùn)送容器、用于容納半導(dǎo)體晶片或其它物品的容器、墊板、或不需要單獨(dú)的輸送設(shè)備可直接用輸送機(jī)運(yùn)送的物品及空容器等，但并非僅限于這些物品。
在半導(dǎo)體的制造領(lǐng)域，制造設(shè)備被編排成多個隔間，每個隔間都包括若干個加工機(jī)器。圖1示出了隔間18的可能實(shí)施例，隔間18設(shè)置有若干個加工機(jī)器16，加工機(jī)器可包括用于將薄膜沉積在晶片上的裝置，用于在各個不同的階段清洗和/或調(diào)整晶片的裝置等，但并非僅限于這些。加工機(jī)器的入口通常設(shè)置有一個能夠在受到保護(hù)的環(huán)境下從運(yùn)送容器或其它容器內(nèi)自動卸下晶片的裝載口22，這在本領(lǐng)域內(nèi)是公知的。如下所述，本發(fā)明的輸送裝置10將運(yùn)送容器放置在裝載口22上。一旦運(yùn)送容器被正確定位在裝載口上，那么容器將自動打開，同時機(jī)器人將從容器內(nèi)取出晶片。應(yīng)該理解如果工作站包括一個支架、表面或其它可放置物品12的托架，那么本發(fā)明的輸送裝置也可以與不包括裝載口的工作站16一起使用。或者，該輸送裝置10也可用于將物品12支撐在工作站的合適位置上，在這種情況下，物品12不會放置在工作站內(nèi)。
輸送機(jī)14將物品從加工機(jī)器16移動到加工機(jī)器16。在圖示的實(shí)施例中，輸送機(jī)14被設(shè)置在一條圍繞隔間18的連續(xù)路線上。但是，在其它的路線結(jié)構(gòu)中，輸送機(jī)14可包括一個或多個橫向部分，所述橫向部分可被用作通向隔間18之其它區(qū)域的捷徑或被用作一個存放區(qū)域，從而能夠在不中斷主回路上運(yùn)輸流量的情況下將容器臨時從輸送機(jī)主回路上取出。輸送機(jī)14的形狀可根據(jù)具體的制造設(shè)備的限制條件而產(chǎn)生相當(dāng)大的變化。隔間內(nèi)部的輸送機(jī)用于在隔間內(nèi)部運(yùn)送容器，儲料裝置24在隔間內(nèi)部的輸送機(jī)和輸送機(jī)14之間運(yùn)送容器。
輸送裝置10尤其適合于與美國專利申請09/103,479所示的那種輸送機(jī)系統(tǒng)一起使用，該申請在本說明書中作為參考引用。如圖1至3所示的實(shí)施例，輸送裝置14大體包括一對導(dǎo)軌32、34，當(dāng)運(yùn)送容器沿輸送機(jī)路線移動時，這對導(dǎo)軌用于支承運(yùn)送容器。導(dǎo)軌32還起到驅(qū)動軌道的作用，該驅(qū)動軌道能夠沿軌道32、34推動運(yùn)送容器12并且可以有選擇地為運(yùn)送容器12導(dǎo)向。用于移動容器12的所有推動電力都通過驅(qū)動軌道32供給。電力可通過傳統(tǒng)的裝置供給驅(qū)動軌道12。或者，電力也可由一個電力電源總線21(如圖3a所示。)輸送給驅(qū)動軌道12。軌道34是一個支持軌道或支承軌道，其主要功能是支承運(yùn)送容器，從而當(dāng)容器沿輸送機(jī)線路移動時，使容器保持在水平方位上?；蛘撸?dāng)容器沿輸送機(jī)系統(tǒng)移動時，與驅(qū)動軌道32相對的支承軌道34可用來為運(yùn)送容器導(dǎo)向。輸送機(jī)系統(tǒng)14還包括一個用于移動晶片或其它材料的運(yùn)送裝置。在如圖2和3所示的實(shí)施例中，該運(yùn)送裝置是運(yùn)送容器的一部分。在本發(fā)明的另一實(shí)施例中，運(yùn)送裝置可以是其它容器或物體的一部分，運(yùn)送裝置也可以是一個可用于沿輸送機(jī)運(yùn)送材料的單獨(dú)設(shè)備。
驅(qū)動軌道32包括一個由36表示的驅(qū)動裝置，該驅(qū)動裝置用于沿軌道32、34推動容器12。在本發(fā)明圖示的實(shí)施例中，驅(qū)動裝置36包括多個從驅(qū)動軌道34之上表面突出的輪子38。驅(qū)動輪38通過摩擦與運(yùn)送容器的下側(cè)相接合，從而沿驅(qū)動軌道32推動容器。驅(qū)動裝置36還包括用于驅(qū)動輪子的裝置，例如與輪子相連接的電動機(jī)和皮帶。電動機(jī)最好獨(dú)立工作，以提供多個獨(dú)立控制的驅(qū)動區(qū)域，從而可以單獨(dú)控制每個區(qū)域的驅(qū)動速度和方向(向前或反向)。位于相鄰操作區(qū)域內(nèi)的輪子38以相同的速度被加速和減速，從而在輸送的過程中，當(dāng)容器在各個區(qū)域之間輸送時，由相鄰區(qū)域內(nèi)的輪子作用于運(yùn)送容器上的速度保持同步。當(dāng)容器沿輸送機(jī)移動時，只有恰好位于容器下方的操作區(qū)域和鄰近容器的一個或多個區(qū)域在任何時候都處于工作狀態(tài)。這樣就減少了系統(tǒng)的動力損耗并延長了驅(qū)動裝置36的各個部件的使用壽命。位于其它容器下方或鄰近其它容器的傳動區(qū)域可處于靜止或待用狀態(tài)，以允許多個容器積聚在輸送機(jī)的一個區(qū)域內(nèi)，例如位于一個加工機(jī)器之前的區(qū)域。當(dāng)輸送裝置停止工作或處于待機(jī)狀態(tài)時，容器最好定位于相鄰的區(qū)域內(nèi)。驅(qū)動裝置36的操作是由控制系統(tǒng)來控制的?？刂葡到y(tǒng)最好還包括一個或多個傳感器，以監(jiān)視容器沿輸送機(jī)的移動。這種控制系統(tǒng)具體見未審結(jié)的美國專利申請09/212,002，該申請的整個說明書在本說明書中作為參考引用。
如圖3所示，驅(qū)動輪38與輸送裝置相互配合，以沿上述路線推動容器并有選擇地為容器導(dǎo)向，在本實(shí)施例中，輸送裝置是運(yùn)送容器的一部分。驅(qū)動輪38與溝槽40或其它形成于容器底面上的合適表面相接合。溝槽40限定了一個水平面，在該水平面上容器支承在驅(qū)動輪38上。驅(qū)動輪38和溝槽40之間的接合控制著容器的側(cè)向或左右移動及垂直移動。盡管溝槽和驅(qū)動輪38的接合是最佳的，但應(yīng)該理解如果輸送裝置，驅(qū)動軌道32或支承軌道34包括一個用于當(dāng)容器沿軌道32、34移動時為容器導(dǎo)向的導(dǎo)向裝置，那么完全可以省去溝槽40。在另一實(shí)施例中，支承軌道34為運(yùn)送裝置導(dǎo)向，即支承軌道34與運(yùn)送裝置相配合，從而限制該裝置沿垂直方向和側(cè)向的移動，在這種情況下，驅(qū)動軌道32將僅限制運(yùn)送裝置的垂直移動。
支承軌道34與驅(qū)動軌道32平行且間隔一定距離設(shè)置。一個或多個連接件44安裝于驅(qū)動軌道和支承軌道32、34上，以使軌道之間保持一個預(yù)定的間隔，并有利于輸送機(jī)的安裝。驅(qū)動軌道32和連接件44可安裝在合適的裝配框架上或提供一頂置的框架(未示出)懸掛在天花板上，或者由加工工具直接或間接支承。容器跨在支承軌道34的上表面上，圖示支承軌道34還與運(yùn)送裝置相配合，以支承運(yùn)送容器的一個側(cè)面。在圖示的實(shí)施例中，沿導(dǎo)軌34的上表面設(shè)置有一襯墊或墊片材料46，從而使容器更平滑地跨在導(dǎo)軌上，盡管如果需要，襯墊46可以被省去，容器可直接跨在導(dǎo)軌34的上表面上。或者，可將襯墊、墊片或彈性材料安裝到驅(qū)動輪的外圓周上。安裝在輸送裝置上的至少一個滑履48跨在支持導(dǎo)軌34的上表面上。盡管滑履還可以采用其它的結(jié)構(gòu)形式，例如具有耐磨塑料表面的固定底座，氣浮軸承和磁懸浮軸承，而且并非僅限于這些結(jié)構(gòu)形式，但滑履48最好還是由輪構(gòu)成。當(dāng)容器沿輸送機(jī)14被推動時，滑履48跨在支持軌道34上，從而以使容器的撞擊、搖晃或擺動最小的形式支承容器，以允許容器以平滑、受控制的方式移動。
在圖2b和3b所示的另一實(shí)施例中，滑履48由一個固定底座49構(gòu)成。在該實(shí)施例中，支持軌道34包括多個用于支承固定底座49的輥41。當(dāng)運(yùn)送容器沿支持軌道34移動時，輥41支承著位于運(yùn)送容器底面上的固定底座49。固定底座49最好設(shè)置有一耐磨的塑料表面。在又一實(shí)施例中，支承軌道34為運(yùn)送裝置導(dǎo)向并支撐著運(yùn)送裝置。為提供導(dǎo)向，滑履48或支承軌道34包括一導(dǎo)向裝置。在一個實(shí)施例中，導(dǎo)向裝置被安裝到支承軌道內(nèi)并與一V形導(dǎo)軌一起使用。或者，可在滑履上安裝一個導(dǎo)向裝置。例如，滑履48可由一固定底座構(gòu)成，該固定底座內(nèi)設(shè)置有一溝槽(未示出)，該溝槽與支承軌道34上的輥41相接合。應(yīng)該理解盡管已對滑履的具體實(shí)施例作出了說明，但是滑履48還可以采用其它能夠支撐運(yùn)送裝置，或既能夠支撐運(yùn)送裝置又能夠?yàn)檫\(yùn)送裝置導(dǎo)向的結(jié)構(gòu)形式。
盡管在優(yōu)選實(shí)施例中，輸送裝置10可與未審定的專利申請09/103,479所述的輸送機(jī)裝置14一起使用，但應(yīng)該理解輸送裝置10還可以與其它類型的輸送機(jī)一起使用，例如軌道平行設(shè)置的其它類型的輸送機(jī)，標(biāo)準(zhǔn)的輥式輸送機(jī)等等，而且并非僅限于這些類型的輸送機(jī)。
運(yùn)送容器12從輸送機(jī)14自動移動到工作站16內(nèi)，用于加工、測量，和/或簡單地用于存放，接著通過輸送裝置10返回輸送機(jī)14。如上所述，輸送裝置10尤其適用于半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，但在本發(fā)明的范圍內(nèi)其也可用于其它領(lǐng)域。在圖示的實(shí)施例中，輸送裝置10與輸送機(jī)14一起使用，運(yùn)送容器12必須與輸送機(jī)脫開；就是說，容器12必須被升高到距驅(qū)動軌道和支持軌道32、34足夠高的位置上，以使溝槽40清理驅(qū)動軌道32，使滑履48清理驅(qū)動軌道和支持軌道32、34。當(dāng)容器12返回到輸送機(jī)上時，溝槽40或其它合適的表面必須支承在驅(qū)動輪38上，而滑履48必須支承在支持軌道34上。
另外，還必須精確控制容器12與裝載口22的對中。裝載口22包括多個與運(yùn)送容器底面上的狹槽相接合的運(yùn)動銷軸23(圖4)。用于使運(yùn)送容器對中的運(yùn)動銷軸或連接件其使用和說明請參照某些“國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料”(SEMI)(Semiconductor Equipment and MaterialInternational)，例如SEMI E47.1-0298，SEMI E57-0298，SEMIE15.1-0298，SEMI E19.4-94等，相關(guān)的條款在本說明書中作為參考引用。運(yùn)送容器12被下放到裝載口22上之前，狹槽必須小心地與裝載口上的運(yùn)動銷軸23對準(zhǔn)。輸送機(jī)上的一個或多個傳感器(未示出)校正運(yùn)送容器12在輸送機(jī)的裝載/卸載位置上的精確移動，從而通過輸送裝置10在輸送機(jī)和裝載口之間運(yùn)送容器?，F(xiàn)參照圖4-8對輸送裝置10進(jìn)行詳細(xì)說明。
現(xiàn)結(jié)合圖4至16對輸送裝置10進(jìn)行詳細(xì)說明。輸送裝置10大體上包括一個用于從輸送機(jī)14上提升運(yùn)送容器12或其它物品的提升或升降裝置60和用于在工作站支承物品的托架部件62。在圖示的實(shí)施例中，升降裝置60在輸送機(jī)14的下方定位于驅(qū)動軌道和支持軌道32、34之間，從而當(dāng)物品沿輸送機(jī)14移動時，使物品能夠直接從升降裝置60的上方通過。但是，應(yīng)該理解根據(jù)本發(fā)明，輸送裝置也可以包括其它類型的升降裝置，其中包括定位于輸送機(jī)一側(cè)的升降裝置。還可以采用卷揚(yáng)式升降裝置，這種裝置能夠與物品12的頂部相接合，從而將物品從輸送機(jī)14上升起。
具體如圖6至10所示，提升或升降裝置60大體上包括至少一個支架部件64，當(dāng)物品被提升到輸送機(jī)14的上方位置上時，該托架部件用于支承物品。在圖示的實(shí)施例中，升降裝置60包括兩個間隔一定距離定位的支架部件64，這兩個托架部件沿容器的側(cè)面邊緣與運(yùn)送容器或物品12的底邊相接合，從而在支架部件64之間形成一個很大的間隙。支架部件64包括一個向上延伸的唇緣或凸緣65，當(dāng)被托架部件所支承的容器產(chǎn)生移動時，該凸緣用于防止從支架部件64上脫出。如果需要，唇緣65的高度或形狀可被調(diào)整為能夠提供一定保護(hù)作用的程度。盡管在圖示的實(shí)施例中，使用了兩個支架部件64，但應(yīng)該理解，在本發(fā)明的其它實(shí)施例中，可采用更多或更少的部件部件。例如，升降裝置可包括四個托架部件，這些托架部件被加工成可與運(yùn)送容器或單個托架部件的拐角部分相接合的形狀。單個托架部件的形狀可以是U形，從而當(dāng)物品被升高到輸送機(jī)的上方位置上時，能夠在穩(wěn)定的狀態(tài)下可靠支承物品；或者，對于重量輕的物品來說，單個托架部件可具有其它形狀和尺寸。如下所述，托架部件最好被加工成能夠與托架部件62相互配合的形狀，用于有效地將物品從托架部件運(yùn)送至托架部件62。
支架部件64被一個位于驅(qū)動軌道和支持軌道32、34下方的機(jī)架主體66所支撐。在該實(shí)施例中，機(jī)架主體66被安裝于支承桿68上，而支承桿68又固定于驅(qū)動軌道32和支持軌道34的框架結(jié)構(gòu)上。但是，應(yīng)該理解，還可以使用其它裝置將機(jī)架主體66固定到輸送機(jī)14上。也可不將機(jī)架主體66固定到輸送機(jī)14上，而是將輸送機(jī)固定到設(shè)備的底板上或固定到一個獨(dú)立的框架結(jié)構(gòu)上。
包括一個可拆卸蓋子67的機(jī)架主體66內(nèi)安裝著升降裝置60的組成部分。如圖8和9所示，在圖示的機(jī)架主體66的實(shí)施例中，支架部件64與機(jī)架主體的側(cè)壁72滑動連接。機(jī)架主體66的側(cè)壁形成了用于相對機(jī)架主體66為支架部件的垂直及線性移動導(dǎo)向的軌道。一線性的滑動部件74與支架部件64相連接，從而當(dāng)滑動部件74以下述方式移動時，使支架部件64升高和降低。應(yīng)該理解，在其它的改型結(jié)構(gòu)中，兩個支架部件64可與一個公共的滑軌部件相連接，而不是與獨(dú)立的導(dǎo)軌72和滑動部件74相連接。此外，滑軌部件可被其它用于使支架部件64產(chǎn)生垂直及線性移動的裝置所替代。例如，這些可選的裝置包括氣缸提升裝置，氣動提升裝置及具有剪刀腿形狀的裝置。
一驅(qū)動裝置78控制著線性滑動部件74的垂直移動。驅(qū)動裝置78包括兩個螺桿80，每個螺桿都與一個線性的滑動部件74相連接。螺桿的上端和下端通過軸承82與機(jī)架主體66相連接，用于使螺桿80能夠相對機(jī)架主體66自由轉(zhuǎn)動。上部軸承82被安裝在軸承杯83內(nèi)，以降低蓋子67的高度。一電動機(jī)84通過一皮帶86和一同步皮帶輪88與一個導(dǎo)桿80相連接，其中同步皮帶輪88安裝于一根軸上，該軸從螺桿80的下端向下延伸。一個與第一同步皮帶輪88相連接的第二同步皮帶輪92通過一第二皮帶94一同步皮帶輪96將驅(qū)動力傳遞給第二導(dǎo)桿80，而皮帶輪96安裝于從導(dǎo)桿80之下端向下伸出的軸上。在圖示的實(shí)施例中，電動機(jī)84是一個步進(jìn)式電動機(jī)，但也可采用其它類型的電動機(jī)。此外，還可使用其它裝置將驅(qū)動力傳遞給螺桿80。盡管電動機(jī)84、皮帶輪88、92、96和皮帶86、94都朝向機(jī)架主體66和螺桿80的下端定位，但應(yīng)該理解這些部件也可與螺桿的上端相連接。最好將一磁鐵(未示出)放置在同步皮帶輪96上。該磁鐵轉(zhuǎn)動通過一個霍爾效應(yīng)傳感器95，以校正螺桿80的轉(zhuǎn)動。這樣就能夠檢測到皮帶輪的故障并校正轉(zhuǎn)動。
通過開動電動機(jī)84以使導(dǎo)桿80旋轉(zhuǎn)，從而使支架部件64相對機(jī)架主體66及輸送機(jī)的驅(qū)動軌道32和支持軌道34升高和降低。圖8和9示出了位于降低位置上的支架部件，在該位置上，支架部件64位于驅(qū)動軌道32和支持軌道34之上表面的下方。當(dāng)支架部件64向上移動時，支架部件與物品的底面相接合，如圖10所示。支架部件64連續(xù)向上的移動將從輸送機(jī)提升容器，直到容器被提升到輸送機(jī)上方的足夠高的位置上，從而將容器移動到托架部件62上，具體如下所述，同時支架部件64承受著容器的重量，直到完成運(yùn)送操作。當(dāng)容器被運(yùn)送后，支架部件64最好被下放到輸送機(jī)14的表面下方，以允許其它物品移過升降裝置。但是，如果需要，支架部件64可保持在一個升高的位置上，直到容器返回升降裝置60。當(dāng)容器重新定位于支架部件64上時，如下所述，電動機(jī)被起動，以使滑動部件74和與其相連接的支架部件64下降，從而將容器放置在驅(qū)動軌道和支持軌道32、34上，用于沿輸送機(jī)14繼續(xù)運(yùn)送容器。
限位開關(guān)100用于限定滑動部件74相對與其相連接的螺桿的上下邊界。滑動部件74在螺桿上的實(shí)際移動量可通過電動機(jī)84的工作而確定，而電動機(jī)84由一控制系統(tǒng)102所控制。支架部件64所需的上移量在一定程度上決定于支架部件64相對驅(qū)動軌道和支持軌道32、34的位置。在本實(shí)施例中，當(dāng)最佳部件位于下降的位置上時，支架部件64恰好定位于驅(qū)動軌道和支持軌道32、34之表面的下方?？赏ㄟ^將支架部件3升高3至5英寸，例如升高4英寸，而使容器被提升到輸送機(jī)14表面上方足夠高的位置上。但是，應(yīng)該理解支架部件64沿垂直方向移動的距離容易產(chǎn)生相當(dāng)大的變化。
在圖示的應(yīng)用場合下，輸送裝置10用于移動裝有一個或多個半導(dǎo)體晶片的容器。出于容器內(nèi)容物的易碎特征考慮，可使用傳感器來確定運(yùn)送容器在輸送前的正確位置。在本發(fā)明的這個實(shí)施例中，一個或多個傳感器(未示出)在輸送機(jī)14上設(shè)置于恰好與裝載口22相對的位置之上游側(cè)。沿輸送機(jī)14移動的運(yùn)送容器在該上游位置停止移動。傳感器在該上游位置檢測運(yùn)送容器的存在，接著運(yùn)送容器在該上游位置和一個位于裝載口前方并恰好位于支架部件上方的位置之間向前移動一個精確的距離。至少一個支架部件64，最好是兩個支架部件64都設(shè)置有當(dāng)支架部件64與運(yùn)送容器的底面相接觸時，用于檢測傳感器104。這樣，在支架部件64被提升到輸送機(jī)14之上方的位置之前，當(dāng)容器正確定位于支架部件上時，傳感器104執(zhí)行檢測操作。在圖示的實(shí)施例中，傳感器104是一個光學(xué)傳感器，但如果需要也可采用其它類型的傳感器。安裝在支架部件64上的銷106與容器的底面相接合，用于為容器12在支架部件64上提供額外的穩(wěn)定性。在其它應(yīng)用場合下，無需精確控制物品相對支架部件64的位置。
在如圖4和5所示的實(shí)施例中，托架部件62定位于工作站上。在圖示的應(yīng)用場合下，輸送機(jī)14和輸送裝置10用于半導(dǎo)體加工，托架部件62被安裝于鄰近機(jī)器門或口的加工機(jī)器上。這種排列方式有利于容器移動到與裝載口密封接合的位置上，從而使運(yùn)送容器和加工機(jī)器的內(nèi)部環(huán)境保持清潔。但是，應(yīng)該理解托架部件62還可安裝于恰好定位在加工機(jī)器前方的機(jī)架上。
現(xiàn)參照圖11至15，托架部件62大體上包括一個用于支承物品的托架件或支承件120。在圖示的實(shí)施例中，輸送裝置10用于半導(dǎo)體加工，托架120包括多個向上突出的定位件122，這種定位件通常被稱為運(yùn)動銷，而且可與運(yùn)送容器底面上的運(yùn)動狹槽相互配合，以保證容器相對裝載口的密封件精確定位。當(dāng)容器在輸送機(jī)14和加工機(jī)器20之間移動時，為提高穩(wěn)定性還設(shè)置有另外一個定位件124。
托架120與機(jī)架主體66相連接，從而使托架120能夠在一關(guān)閉位置(圖4和11)和一打開或伸出位置(圖5和12)之間滑動，其中在關(guān)閉位置上，托架120鄰近加工機(jī)器20定位，而在打開位置上，托架120沿側(cè)向支承在機(jī)架主體66上，以使托架120定位于輸送機(jī)14上方的位置上。在圖示的實(shí)施例中，托架120的總的移動距離約為16至20英寸，例如可以是18英寸。但是，應(yīng)該理解總的移動距離可根據(jù)輸送機(jī)相對加工機(jī)器的位置而相應(yīng)地增加或減少。在現(xiàn)有技術(shù)中所采用的裝載口系統(tǒng)內(nèi)，需使裝載口相對加工機(jī)器產(chǎn)生一些移動，以促使容器抵靠在裝載口上并確保在打開運(yùn)送容器的門之前形成良好的密封?，F(xiàn)有技術(shù)中裝載口的水平移動與本發(fā)明的托架部件62所產(chǎn)生的位移不同，在本發(fā)明中，裝載口必須在裝載口和輸送機(jī)14之間橫向移動一定的距離，并在輸送機(jī)14和加工機(jī)器20之間支承著容器的整體重量。
托架120與一個安裝在機(jī)架主體126上的活動滑架130相連接，并可通過該滑架130在關(guān)閉和伸出位置之間移動?；顒踊?30定位于機(jī)架主體126的一個固定擋板132的下方。該擋板132保護(hù)著托架部件62的內(nèi)部組件并提供一個可使擋板132通過的平滑表面?；顒踊?30的內(nèi)部組件被一第二擋板133所覆蓋，而該第二擋板133也提高了滑架130的擠壓剛度。滑架130包括一對相互隔開的伸縮式滑動部件134，滑動部件134安裝于滑架130的背板136上。在圖示的實(shí)施例中，每個滑動部件134都包括多個球形套管138(圖15)，以利于滑動部件的伸出和縮回。
滑架130的移動是由安裝在機(jī)架主體上的驅(qū)動裝置144控制的。在圖示的實(shí)施例中，驅(qū)動裝置144包括一個安裝于機(jī)架主體上的電動機(jī)146。電動機(jī)146通過一個皮帶150(圖14)與螺桿148相連接。螺桿148穿過背板136并通過一螺母152與背板136相連接。螺桿148的相對兩端通過滾柱軸承(未示出)安裝于機(jī)架主體126上。電動機(jī)可沿向前的方向或相反的方向工作，電動機(jī)向前的動作用于向前移動背板136并伸出滑動部件134，而電動機(jī)沿相反方向的動作用于朝機(jī)架主體126的后面移動背板136，以縮回滑動部件并將托架120移動到關(guān)閉位置上。當(dāng)背板朝向機(jī)架主體的前端移動時，背板136的前移和球形套管的動作將使滑動部件134伸出并使托架120移動到伸出位置上。鋼繩154有利于托架120的伸出和滑動部件134的縮回，以將托架120移動到關(guān)閉位置上。在圖示的實(shí)施例中，為兩個滑動部件分別設(shè)置一根鋼繩156a和156b。應(yīng)該理解還可以采用其它裝置來替代鋼繩154，或者除鋼繩外，還可增設(shè)其它裝置，從而使滑動部件134縮回機(jī)架主體126內(nèi)。
電動機(jī)146的起動是通過一個控制裝置(未示出)來控制的?？刂蒲b置最好與升降裝置60的控制系統(tǒng)102相聯(lián)通。托架部件62還包括一個限位開關(guān)160，該限位開關(guān)用于監(jiān)視背板136的移動并當(dāng)托架120移動到完全伸出的位置上時執(zhí)行檢測操作。
圖16示意性地示出了輸送裝置10的操作情況。一運(yùn)送容器或其它物品沿輸送機(jī)14被運(yùn)送并定位于合適的位置上。通過輸送機(jī)14的驅(qū)動裝置36實(shí)現(xiàn)的精確控制允許容器12精確定位于正確的位置上，同時對容器或其內(nèi)容物的撞擊最小。但是，應(yīng)該理解本發(fā)明的輸送裝置可與其它依賴于其它裝置將容器停在支承裝置前方的輸送裝置一起使用。如上所述，在本發(fā)明的這個實(shí)施例中，物品最初被定位于托架裝置62之上游的位置上。預(yù)裝區(qū)域內(nèi)的傳感器檢測運(yùn)送容器12是否放置在該位置上。接著，運(yùn)送容器12向前移動一個預(yù)定的距離，從而剛好將容器12定位在裝載口的前方。
一旦容器被輸送至正確的裝載位置上，那么控制裝置102將起動升降裝置60，將運(yùn)送容器12提升到輸送機(jī)12的上方。這一步驟可通過操縱驅(qū)動裝置78，從而將滑動部件74升高到恰好位于運(yùn)送容器12下方的一個預(yù)定位置上。滑動部件74緩慢升高，直到與運(yùn)送容器12的底面相接觸。一旦傳感器104檢測到運(yùn)送容器12正確定位于支架部件64上時，滑動部件74就會繼續(xù)提升支架部件，直到運(yùn)送容器12移動到升高的位置上。在該實(shí)施例中，充分升高的位置決定于上部限位開關(guān)。如上所述，在這種情況下，升降裝置60將容器12升高到輸送機(jī)14之上表面的上方3至5英寸處，例如升高至4英寸處，但如果需要該距離還可增加或減小。一旦容器被升高至所需的高度，那么驅(qū)動裝置78將停止工作，而容器將通過支架部件64保持在合適的位置上。控制系統(tǒng)102向托架部件62的控制裝置發(fā)出一個信號，表明容器12已經(jīng)移動到升高的位置上。
一旦托架裝置62的控制裝置收到一個表明容器12已經(jīng)被提升到升高位置上的信號，那么驅(qū)動裝置144起動，以使滑架130從機(jī)架主體126內(nèi)伸出，從而在運(yùn)送容器12的底面和輸送機(jī)14之間移動托架120。這樣，容器在輸送機(jī)上方的最小高度部分決定于托架120的高度。一旦托架120被完全伸出，那么運(yùn)動銷122將大體與運(yùn)送裝置底面上的運(yùn)動狹槽(未示出)對準(zhǔn)。托架裝置62的控制裝置將向控制裝置102發(fā)出一個信號，表明托架120處于完全伸出的位置上。
當(dāng)升降裝置的控制裝置102接收到一個來自控制系統(tǒng)的信號時，驅(qū)動裝置78開始工作，以降低滑動部件74，直到支架部件64將容器12放置在托架120上。在圖示的實(shí)施例中，滑動部件74繼續(xù)向下移動，直到支架部件64移動到驅(qū)動軌道和支持軌道32、34之上表面的下方，以不使升降裝置阻隔其它容器沿輸送機(jī)14移動的通道。當(dāng)生產(chǎn)線包括兩個加工機(jī)器時，該特征非常有利。但是，如果每個容器都必須順次被輸送到各個加工機(jī)器內(nèi)，那么支架部件64可停留在輸送機(jī)14之上表面的上方，以減少將容器從托架120輸送至支架部件64所需的時間量。
容器已經(jīng)被放置在托架上之后，傳感器104將檢測到在支架部件64上沒有容器12。控制裝置起動驅(qū)動裝置144，以縮回滑架130并將托架120移動到關(guān)閉位置上，同時托架恰好定位于機(jī)架主體120的上方。接著，托架部件62相對裝載口的密封件移動容器12并從容器內(nèi)取出用于加工的晶片，這在本領(lǐng)域內(nèi)已經(jīng)是公知的。
一旦完成對容器內(nèi)容物的加工，那么工藝將后退到將容器12送回輸送機(jī)的步驟。具體而言，驅(qū)動裝置144開始工作，將托架120移動到輸送機(jī)12之上方的伸出位置上。接著，升降裝置60開始動作，以將支架部件64升高到一個恰好位于運(yùn)送容器12之下方的預(yù)定位置上。接下來，升降裝置60緩慢提升支架部件64，直到部件64與容器12的底面相接觸。一旦傳感器檢測到容器正確地放置在支架部件上，那么支架部件64將被升高，以將容器提離托架120。在圖示的實(shí)施例中，滑動部件74一直在上升，直到到達(dá)上部限位開關(guān)。接著，托架120縮回，而且支架部件64被下降到一個恰好位于輸送機(jī)水平之上方的預(yù)定位置上。接下來支架部件64被緩慢下放，直到運(yùn)送容器12放置在輸送機(jī)上。當(dāng)傳感器104檢測到容器已不再與支架部件64相接觸時，升降裝置將支架部件64下放到完全縮回的位置上。
上述對本發(fā)明之特定實(shí)施例的說明僅是出于說明的目的。但上述說明并不是要將本發(fā)明限定為所公開的具體形式，而且很顯然，可在上述啟示下對本發(fā)明作出各種修改和變化。對實(shí)施例的選擇和說明只是為了最清楚地說明本發(fā)明的原理及其實(shí)際應(yīng)用情況，從而使本領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠更好地使用本發(fā)明并使對實(shí)施例的各種不同修改適用于具體的應(yīng)用場合。本發(fā)明的保護(hù)范圍由所附權(quán)利要求書及其等同替換來限定。
權(quán)利要求
1.一種用于在一輸送機(jī)和一工作站之間移動至少一件物品的輸送裝置，其包括一個升降裝置，該升降裝置包括一個提升裝置，該提升裝置能夠與被一個輸送機(jī)所運(yùn)送的物品相接合并將物品提升至輸送機(jī)的上方，所述提升裝置可在一待機(jī)位置和一操作位置之間移動，其中在待機(jī)位置上，所述提升裝置能夠使物品沿輸送機(jī)通過所述的提升裝置移動，在操作位置上，所述提升裝置將物品保持在輸送機(jī)之上；一個用于支承鄰近工作站的物品的支架部件，所述支架部件包括一個用于將物品保持在工作站內(nèi)的托架部件和一個用于在工作站和所述提升裝置之間移動所述托架部件的移動機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于所述提升裝置包括相互隔開的支承部件，當(dāng)所述托架部件在輸送機(jī)和所述提升裝置之間移動時，所述托架部件可插在所述支架部件之間，從而在不與所述支承部件產(chǎn)生干涉的前提下與物品相接合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于所述提升裝置包括至少一個定位部件，所述定位部件從所述提升裝置向上延伸并用于使物品以與所述提升機(jī)構(gòu)對準(zhǔn)的形式定位。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于所述提升裝置包括多個銷，所述的銷能夠與輸送所述物品的運(yùn)送裝置上的底座部分相接合。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于所述升降裝置包括至少一個框架部件，所述提升裝置與所述框架部件相連接，用于使所述的提升裝置相對所述框架部件線性滑動。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于所述升降裝置包括一個用于在待機(jī)位置和操作位置之間移動所述提升裝置的驅(qū)動機(jī)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于所述升降裝置包括至少一個當(dāng)物品定位在與所述升降裝置相接觸的位置上時進(jìn)行檢測的傳感器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于所述支架部件包括一機(jī)架主體，所述托架部件滑動安裝于所述機(jī)架主體上用于在一第一位置和一第二位置之間移動所述托架，其中在第一位置上所述托架部件定位于所述機(jī)架主體的上方，在第二位置上所述托架部件沿側(cè)向支承在所述機(jī)架主體上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于所述托架部件包括至少一個定位部件，所述定位部件能夠與所述物品相配合并在所述托架部件上將物品保持在一個穩(wěn)定的位置上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置，其特征在于所述移動機(jī)構(gòu)包括一個用于在輸送機(jī)和工作站之間移動所述托架部件的滑動部件。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置和一輸送機(jī)的組合，其中輸送機(jī)包括一對相互隔開并用于支承物品的軌道，所述提升裝置定位于所述軌道之間，所述支架部件與所述輸送機(jī)間隔一定的距離。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置和一工作站的組合，所述支架部件安裝于所述的工作站上。
13.一種用于將物品支承在工作站內(nèi)并在工作站和一輸送機(jī)之間輸送物品的支架部件，所述支架部件包括一個固定的機(jī)架主體；一個滑動安裝于所述機(jī)架主體上并用于支承物品的托架部件，所述托架部件包括至少一個定位件，所述定位件被加工成能夠與物品相接合的形狀并定位在與物品相接合的位置上，以將物品穩(wěn)定地定位在所述托架部件上，所述托架部件可在第一位置和第二位置之間移動，其中在第一位置上所述托架部件在工作站支承著物品，而在第二位置上所述托架部件沿側(cè)向支承在所述機(jī)架主體上；一個用于在第一和第二位置之間移動所述托架部件的驅(qū)動裝置。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的支架部件，其特征在于所述托架部件包括至少一個定位件，所述定位件能夠與物品相配合并將物品穩(wěn)定地定位在所述托架部件上。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的支架部件，其特征在于還包括一個與所述支架及機(jī)架主體相連接的滑動部件，當(dāng)所述滑動部件處于伸出位置上時，所述滑動部件基本將所述托架部件支撐在所述機(jī)架主體的一個側(cè)面上，所述滑動部件可縮回到使所述托架部件恰好位于所述機(jī)架主體上方的位置上。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的支架部件，其特征在于所述驅(qū)動裝置包括一個用于將所述滑動部件移動到伸出位置上的電動機(jī)和至少一個能夠在縮回和伸出位置之間移動所述滑動部件的組件。
17.根據(jù)權(quán)利要求13所述的支架部件，還包括至少一個用于在第一位置和第二位置之間為所述托架導(dǎo)向的導(dǎo)向部件。
18.根據(jù)權(quán)利要求13所述的支架部件和一個提升機(jī)構(gòu)的組件，其中提升機(jī)構(gòu)用來與被輸送機(jī)運(yùn)送的物品相接合并將物品提升到一個升高的位置上，從而將所述托架部件插在輸送機(jī)和物品之間。
19.一種用于在第一位置和第二位置之間移動物品的提升部件，其中在第一位置上所述物品設(shè)置于輸送機(jī)的上表面上，在第二位置上物品與輸送機(jī)的上表面間隔一定的距離，所述提升裝置包括一機(jī)架主體；一個滑動安裝于所述機(jī)架主體上的物品托架，所述物品托架包括相互隔開的托架部件，所述托架部件定位于能夠在相對的兩側(cè)與物品相接合的位置上，所述物品托架可在一待機(jī)位置和一接合位置之間移動，其中在待機(jī)位置上所述物品托架定位于能夠使物品沿輸送機(jī)通過所述物品托架的位置上，而在接合位置上所述物品托架將物品保持在第二位置上；一個安裝在所述機(jī)架主體上的驅(qū)動裝置，用于在待機(jī)位置和接合位置之間移動所述的物品托架。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的提升部件，其特征在于所述物品托架包括至少一個從至少一個所述托架部件向上延伸的定位件，用于將物品穩(wěn)定保持在所述物品托架上。
21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的提升部件，其特征在于所述物品托架包括至少一個用于當(dāng)物品定位于能夠通過所述物品托架提升物品的位置上時執(zhí)行檢測的傳感器。
22.根據(jù)權(quán)利要求19所述的提升部件和一個用于在工作站支承物品的支架部件的組合，所述支架部件包括一個可在第一位置和第二位置之間滑動的托架，其中在第一位置上，所述托架定位于工作站附近，在第二位置上，當(dāng)所述物品支架位于接合位置上時，所述托架定位于所述物品支架的下方。
23.一種在輸送機(jī)和工作站之間移動物品的方法，該方法包括以下步驟將一支架移動到與物品相接合的位置上并將物品從第一位置提升到位于輸送機(jī)上方的第二位置上；將裝載口的托架伸向輸送機(jī)并將托架插在物品和輸送機(jī)之間；在托架伸出步驟之后，移動支架，以將物品放置在托架上；在移動支架步驟之后，使托架縮回裝載口。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的方法，其特征在于還包括在第一位置上檢測物品位置的步驟。
25.根據(jù)權(quán)利要求23所述的方法，其特征在于還包括沿輸送機(jī)移動物品、以使物品定位于第一位置上的步驟。
26.根據(jù)權(quán)利要求23所述的方法，其特征在于伸出托架的步驟包括使至少一個安裝在托架上的銷與設(shè)置在物品上的相應(yīng)狹槽對準(zhǔn)的步驟。
27.根據(jù)權(quán)利要求4所述的輸送裝置，其特征在于根據(jù)被稱為SEMIE47.1-0298，SEMI E57-0298，SEMI E15.1-0298和SEMI E19.4-94的SEMI標(biāo)準(zhǔn)中的至少一個制造多個銷。
28.根據(jù)權(quán)利要求23的方法，其特征在于可按相反的順序執(zhí)行上述的步驟。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于在一輸送機(jī)(14)和一工作站(16)之間移動物品(12)的輸送裝置(10)和方法(圖16)。該輸送裝置(10)包括:一個升降裝置(60),該升降裝置包括一個提升裝置(64),該提升裝置能夠與被輸送機(jī)(14)所運(yùn)送的物品相接合并將物品(12)提升至輸送機(jī)(14)的上方。該提升裝置(64)可在一待機(jī)位置和一操作位置之間移動,其中在待機(jī)位置上,提升裝置(64)能夠使物品(12)沿輸送機(jī)通過該提升裝置(64)移動,在操作位置上,該提升裝置將物品(12)保持在輸送機(jī)的上方。該輸送裝置(10)還包括一個用于支承鄰近工作站的物品(12)的托架部件(62)。該支架部件(62)包括一個用于將物品(12)保持在工作站(16)內(nèi)的托架(120)和一個用于在輸送機(jī)(14)和提升裝置(64)之間移動托架(120)的移動機(jī)構(gòu)(126)。本發(fā)明的方法(圖16)包括將一支架(62)移動到與物品(12)相接合的位置上并將物品(12)提升到輸送機(jī)上方的步驟,將裝載口的托架(120)伸向輸送機(jī)(14)并將托架(120)插在物品(12)和輸送機(jī)(14)之間的步驟。在托架(120)伸出之后,該方法(圖16)包括:移動支架(62),以將物品(12)放置在托架(120)的步驟;在移動支架(62)的步驟之后,該方法(圖16)還包括使托架(120)縮回裝載口(22)的步驟。
文檔編號B65G49/07GK1333731SQ99815720
公開日2002年1月30日 申請日期1999年12月13日 優(yōu)先權(quán)日1998年12月18日
發(fā)明者安東尼·C·伯諾拉, 理查德·H·古爾德, 杰弗里·R·克爾 申請人:阿賽斯特技術(shù)公司