氣浮平臺、氣浮裝置及玻璃基板傳送裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種氣浮平臺、氣浮裝置及玻璃基板傳送裝置，其中氣浮平臺用于放置玻璃基板，包括沿高度方向由下至上貼合疊放的進氣層(10)和出氣層(20)，進氣層的頂部形成有周向封閉的凹槽，該凹槽的底部形成有沿高度方向貫穿進氣層的進氣孔(11)，以連接進氣管接頭(40)，出氣層上均勻地布設(shè)有沿高度方向貫穿出氣層的出氣孔(21)，出氣孔通過凹槽與進氣孔連通。使用氣流支撐玻璃基板，避免玻璃基板在運輸過程中與支撐裝置接觸，從而防止造成劃傷和污染，進而提高玻璃基板的成品率，提高工作效率。
【專利說明】
氣浮平臺、氣浮裝置及玻璃基板傳送裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及玻璃基板技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種氣浮平臺、氣浮裝置及玻璃基板傳送裝置。【背景技術(shù)】
[0002]當前，隨著技術(shù)的發(fā)展與市場的需求，平板顯示行業(yè)的玻璃基板幅面不斷擴大，厚度不斷變薄，因此對生產(chǎn)線的制作技術(shù)要求更高。目前大尺寸的玻璃基板多采用接觸式滾輪傳輸和皮帶傳輸，這些接觸方式容易對玻璃基板造成劃傷和污染，并且易造成基板的破碎，從而嚴重影響產(chǎn)品的質(zhì)量，進而生產(chǎn)效率。
【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的第一個目的是提供一種氣浮平臺，該氣浮平臺可以在放置玻璃基板時避免與玻璃基板接觸，從而防止玻璃基板受到劃傷和污染。
[0004]本發(fā)明的第二個目的是提供一種氣浮裝置，該氣浮裝置可以在放置玻璃基板時避免與玻璃基板接觸，從而防止玻璃基板受到劃傷和污染。
[0005]本發(fā)明的第三個目的是提供一種玻璃基板傳送裝置，該傳送裝置在傳送玻璃基板的過程中可以避免玻璃基板受到劃傷和污染。
[0006]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種氣浮平臺，用于放置玻璃基板，包括沿高度方向由下至上貼合疊放的進氣層和出氣層，所述進氣層的頂部形成有周向封閉的凹槽，該凹槽的底部形成有沿高度方向貫穿所述進氣層的進氣孔，以連接進氣管接頭，所述出氣層上均勻地布設(shè)有沿高度方向貫穿所述出氣層的出氣孔，所述出氣孔通過所述凹槽與所述進氣孔連通。
[0007]可選地，所述凹槽為多個，每個所述凹槽的底部形成有一個所述進氣孔。
[0008]可選地，所述出氣孔以矩形陣列的形式設(shè)置在所述出氣層上。
[0009]可選地，所述凹槽包括多個長條形的鍵槽，該鍵槽沿所述氣浮平臺的長度方向延伸，所述凹槽還包括在寬度方向上相鄰的兩個所述鍵槽之間的連通部，所述進氣孔與所述連通部相連通。
[0010]可選地，所述進氣層和出氣層的寬度方向的邊部分別均勻地設(shè)有多個通孔，以通過螺紋件緊固所述進氣層和出氣層。
[0011]可選地，所述進氣層和出氣層之間還設(shè)有分流層，所述分流層的上下兩端分別貼合所述出氣層和進氣層，所述分流層上設(shè)有對應(yīng)于所述出氣孔的分流孔。
[0012]可選地，所述分流孔的孔徑小于所述出氣孔。
[0013]可選地，所述進氣層和分流層之間涂有固定膠，所述進氣層、分流層和出氣層的寬度方向的邊部分別均勻地設(shè)有多個通孔，以通過螺紋件緊固所述進氣層、分流層和出氣層。 [〇〇14]根據(jù)本發(fā)明的第二個方面，提供一種氣浮裝置，用于放置玻璃基板，包括基座和放置在該基座上的氣浮平臺，所述氣浮平臺為根據(jù)以上所述的氣浮平臺，所述氣浮平臺為矩形陣列的多個，并且相鄰的所述氣浮平臺貼合設(shè)置。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的第三個方面，提供一種玻璃基板傳送裝置，包括:氣浮裝置，用于放置所述玻璃基板;定位裝置，用于將在傳送所述玻璃基板前將所述玻璃基板定位在所述氣浮裝置上；以及移動裝置，用于驅(qū)動所述玻璃基板沿所述氣浮裝置移動，所述氣浮裝置為根據(jù)以上所述的氣浮裝置。
[0016]可選地，所述定位裝置包括用于在長度方向上定位所述玻璃基板的第一氣缸，和在寬度方向上定位所述玻璃基板的第二氣缸。
[0017]可選地，所述第一氣缸為直線氣缸，并且為四個，分別用于設(shè)置在所述玻璃基板的四角。
[0018]可選地，所述第二氣缸為旋轉(zhuǎn)氣缸，并且為兩個，分別用于設(shè)置在所述玻璃基板寬度方向上的一側(cè)。
[0019]可選地，所述移動裝置包括設(shè)置在所述氣浮裝置寬度方向的一側(cè)的真空吸盤，以從單側(cè)吸附所述玻璃基板運動。
[0020]通過上述技術(shù)方案，使用氣流支撐玻璃基板，避免玻璃基板在運輸過程中與支撐裝置接觸，從而防止造成劃傷和污染，進而提尚玻璃基板的成品率，提尚工作效率。
[0021]本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點將在隨后的【具體實施方式】部分予以詳細說明?！靖綀D說明】
[0022]附圖是用來提供對本發(fā)明的進一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的【具體實施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。在附圖中:[〇〇23]圖1是本發(fā)明的一個實施方式提供的氣浮平臺的爆炸圖；
[0024]圖2是本發(fā)明的一個實施方式提供的玻璃基板傳送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]附圖標記說明
[0026]1〇進氣層11進氣孔[〇〇27]12鍵槽13連通部
[0028]20出氣層21出氣孔[〇〇29]30分流層31分流孔[〇〇3〇]40進氣管接頭50第一氣缸[〇〇31]60第二氣缸70真空吸盤【具體實施方式】
[0032]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】進行詳細說明。應(yīng)當理解的是，此處所描述的【具體實施方式】僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0033]在本發(fā)明中，在未作相反說明的情況下，使用的方位詞“上、下”通常是指各部件在正常工作狀態(tài)時的上和下，傳送裝置的長度方向是指玻璃基板的傳送方向，寬度方向是指在玻璃基板平面上垂直于長度方向的方向，高度方向是指垂直于玻璃基板平面的方向，另夕卜，本發(fā)明中氣浮平臺與傳送裝置的長度方向、寬度方向以及高度方向均相同。此外，圖2中的箭頭指向為玻璃基板的傳送方向。
[0034]如圖1所示，本發(fā)明提供的氣浮平臺用于放置玻璃基板，包括沿高度方向由下至上貼合疊放的進氣層10和出氣層20,進氣層10的頂部形成有周向封閉的凹槽，該凹槽的底部形成有沿高度方向貫穿進氣層10的進氣孔11，以連接進氣管接頭40,出氣層20上均勻地布設(shè)有沿高度方向貫穿出氣層20的出氣孔21，出氣孔21通過凹槽與進氣孔11連通。這樣，氣體通過氣管接頭首先進入到凹槽中，再經(jīng)由凹槽進入到出氣孔21中，由于出氣孔21均勻布設(shè)， 保證用于支撐玻璃基板的氣流均勻地流出，可以使玻璃基板穩(wěn)定地置于氣浮平臺上方。該氣浮平臺使用氣流支撐玻璃基板，尤其適用于玻璃基板的傳送，通過氣體支撐的形式，最大限度地避免了玻璃基板與支撐裝置或傳送裝置等的直接接觸，從而解決因摩擦而導致玻璃基板的劃傷、污染及變形問題。[〇〇35]具體地，上述的凹槽可以為多個，每個凹槽形成有一個進氣孔11，多個凹槽相互間隔地設(shè)置在進氣層10的頂部，各自形成獨立的型腔，可以確保進氣層10結(jié)構(gòu)的整體強度，需要說明的是，每個出氣孔21均保持在凹槽的影響范圍內(nèi)，即凹槽的開設(shè)依據(jù)出氣孔21的位置，確保每個出氣孔21可以均勻地出氣，從而保持玻璃基板的穩(wěn)定安放。
[0036]作為優(yōu)選，出氣孔21可以以矩形陣列的形式設(shè)置在出氣層20上，增加出氣孔21數(shù)量，擴大出氣孔21的影響范圍，從而可以提高出氣孔21出氣的均勻性。
[0037]進一步地，凹槽可以包括多個長條形的鍵槽12,該鍵槽12沿氣浮平臺的長度方向延伸，亦即每個鍵槽12可以沿單行出氣孔21的排列方向延伸，從而確保每個出氣孔21可以與凹槽連通，凹槽還包括在寬度方向上相鄰的兩個鍵槽12之間的連通部13,進氣孔11與連通部13相連通。具體地，如圖1所示，例如可以在出氣層20上形成兩行出氣孔21，在進氣層10 上也形成兩行對應(yīng)的鍵槽12,這里需要說明的是，每一行上的鍵槽12可以為一個或多個，其具體的數(shù)量依據(jù)氣浮平臺實際長度而定，此處不做具體限定，在圖1示出的實施方式中，同一行上的鍵槽12為2個，即整體形成4個鍵槽12。在寬度方向上相鄰的兩個鍵槽12之間設(shè)置連通部13,進氣孔11與該連通部13相連，由于出氣孔21是對應(yīng)于鍵槽12設(shè)置的，并不直接與連通部13連通，這種結(jié)構(gòu)可以避免進氣孔11流入的氣流直接通過鍵槽12流入到出氣孔21 中，進而產(chǎn)生較大的沖擊氣流，劃傷玻璃基板。設(shè)置多個鍵槽12可以盡量減小進氣層10的開槽區(qū)域，可以保證進氣層10的整體強度，此外，該結(jié)構(gòu)還可以同時保證每個出氣孔21均有氣體均勻地流出，從而保持玻璃基板的穩(wěn)定安放。
[0038]如圖1所示，進氣層10和出氣層20的寬度方向的邊部可以分別均勻地設(shè)有多個通孔，以通過螺紋件緊固進氣層10和出氣層20,保證出氣層20與進氣層10的緊密貼合，防止氣體外泄。具體地，在一個實施方式中，出氣層20上的通孔為螺紋孔，進氣層10上的通孔為光孔，使用螺釘從進氣層10底部穿過進氣層10的光孔旋入到出氣層20的螺紋孔中，螺釘?shù)亩瞬坎簧斐龀鰵鈱?0,從而避免其劃傷玻璃基板。另一種實施方式中進氣層10和出氣層20上的通孔可以均為螺紋孔，也可以通過螺紋件實現(xiàn)緊固作用。此外，出氣層20上的通孔還可以為階梯孔，其階梯面用于對螺紋件進行限位，避免螺紋件伸出出氣層20。本發(fā)明對上述通孔的具體形式不做具體限定，只要滿足技術(shù)構(gòu)思，均在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。[〇〇39]進一步地，如圖1所示，進氣層10和出氣層20之間還可以設(shè)有分流層30,分流層30 的上下兩端分別貼合出氣層20和進氣層10,分流層30上設(shè)有對應(yīng)于出氣孔21的分流孔31， 即，從凹槽流出的氣體首先進入分流孔31中，再進入出氣孔21，其中分流孔31對應(yīng)于出氣孔 21設(shè)置從而使玻璃基板受氣均勻，避免傾斜劃傷。
[0040]具體地，分流孔31的孔徑小于出氣孔21，即使得分流孔31中的氣體可以完全進入到出氣孔21中，并且出氣孔21的孔徑大于分流孔31，可以起到緩沖作用，避免氣流對玻璃基板產(chǎn)生過大的沖擊。
[0041]進一步地，進氣層10和分流層30之間涂有固定膠，例如可以為高強度的雙面膠，防止氣體外泄，進氣層10、分流層30和出氣層20的寬度方向的邊部可以分別均勻地設(shè)有多個通孔，以通過螺紋件緊固進氣層10、分流層30和出氣層20,其緊固的具體形式與上述的緊固進氣層10與出氣層20的形式類似，此處不再贅述。[〇〇42]此外，如圖2所示，本發(fā)明提供的玻璃基板傳送裝置，包括:氣浮裝置，用于放置玻璃基板;定位裝置，用于將在傳送玻璃基板前將玻璃基板定位在氣浮裝置上；以及移動裝置，用于驅(qū)動玻璃基板沿氣浮裝置移動。其中，氣浮裝置包括基座和放置在該基座上的氣浮平臺，氣浮平臺為本發(fā)明提供的的氣浮平臺，氣浮平臺為矩形陣列的多個，并且相鄰的氣浮平臺貼合設(shè)置。通過多個氣浮平臺的組合可以擴大氣浮裝置的支撐范圍，可以根據(jù)不同尺寸的玻璃基板選擇不同數(shù)量的氣浮平臺進行組合。
[0043]具體地，將玻璃基板的傳送方向，即傳送裝置的長度方向定義為Y軸，傳送裝置的寬度方向定義為X軸，定位裝置可以包括用于在長度方向上定位玻璃基板的第一氣缸50，和在寬度方向上定位玻璃基板的第二氣缸60。其中，第一氣缸50可以為直線氣缸，并且為四個，分別用于設(shè)置在玻璃基板的四角，通過四個直線氣缸的配合推動玻璃基板到指定的Y軸位置。第二氣缸60為旋轉(zhuǎn)氣缸，并且為兩個，分別用于設(shè)置在玻璃基板寬度方向上的一側(cè)， 調(diào)整玻璃基板的到指定的X軸位置，以確保移動裝置(例如下述的真空吸盤70)可以驅(qū)動玻璃基板運動。需要說明的是，第一氣缸50和第二氣缸60的具體形式均為本領(lǐng)域內(nèi)的常用技術(shù)手段，這里不再贅述。
[0044]如圖2所示，移動裝置包括設(shè)置在氣浮裝置寬度方向的一側(cè)的真空吸盤70,以從單側(cè)吸附玻璃基板運動，并且不會劃傷玻璃基板表面。具體地，在一個實施方式中，玻璃基板被傳送之前，首先通過第一氣缸50和第二氣缸60將玻璃基板定位到指定位置，保持玻璃基板表面水平，并且玻璃基板邊部與氣浮平臺邊部平行，真空吸盤70吸附玻璃基板的一側(cè)，真空吸盤70在外部推動裝置的作用下驅(qū)動玻璃基板移動，從而完成玻璃基板的傳送。[〇〇45]以上結(jié)合附圖詳細描述了本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，但是，本發(fā)明并不限于上述實施方式中的具體細節(jié)，在本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思范圍內(nèi)，可以對本發(fā)明的技術(shù)方案進行多種簡單變型，這些簡單變型均屬于本發(fā)明的保護范圍。
[0046]另外需要說明的是，在上述【具體實施方式】中所描述的各個具體技術(shù)特征，在不矛盾的情況下，可以通過任何合適的方式進行組合，為了避免不必要的重復，本發(fā)明對各種可能的組合方式不再另行說明。
[0047]此外，本發(fā)明的各種不同的實施方式之間也可以進行任意組合，只要其不違背本發(fā)明的思想，其同樣應(yīng)當視為本發(fā)明所公開的內(nèi)容。
【主權(quán)項】
1.一種氣浮平臺，用于放置玻璃基板，其特征在于，包括沿高度方向由下至上貼合疊放 的進氣層(10)和出氣層(20)，所述進氣層(10)的頂部形成有周向封閉的凹槽，該凹槽的底 部形成有沿高度方向貫穿所述進氣層(10)的進氣孔(11)，以連接進氣管接頭(40)，所述出 氣層(20)上均勻地布設(shè)有沿高度方向貫穿所述出氣層(20)的出氣孔(21)，所述出氣孔(21) 通過所述凹槽與所述進氣孔(11)連通。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮平臺，其特征在于，所述凹槽為多個，每個所述凹槽的底 部形成有一個所述進氣孔(11)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮平臺，其特征在于，所述出氣孔(21)以矩形陣列的形式設(shè) 置在所述出氣層(20)上。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣浮平臺，其特征在于，所述凹槽包括多個長條形的鍵槽 (12)，該鍵槽(12)沿所述氣浮平臺的長度方向延伸，所述凹槽還包括在寬度方向上相鄰的 兩個所述鍵槽(12)之間的連通部(13)，所述進氣孔(11)與所述連通部(13)相連通。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮平臺，其特征在于，所述進氣層(10)和出氣層(20)的寬度 方向的邊部分別均勻地設(shè)有多個通孔，以通過螺紋件緊固所述進氣層(10)和出氣層(20)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣浮平臺，其特征在于，所述進氣層(10)和出氣層(20)之間還 設(shè)有分流層(30)，所述分流層(30)的上下兩端分別貼合所述出氣層(20)和進氣層(10)，所 述分流層(30)上設(shè)有對應(yīng)于所述出氣孔(21)的分流孔(31)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣浮平臺，其特征在于，所述分流孔(31)的孔徑小于所述出氣 孔(21)。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣浮平臺，其特征在于，所述進氣層(10)和分流層(30)之間涂 有固定膠，所述進氣層(10)、分流層(30)和出氣層(20)的寬度方向的邊部分別均勻地設(shè)有 多個通孔，以通過螺紋件緊固所述進氣層(10)、分流層(30)和出氣層(20)。9.一種氣浮裝置，用于放置玻璃基板，其特征在于，包括基座和放置在該基座上的氣浮 平臺，所述氣浮平臺為根據(jù)權(quán)利要求1-8中任意一項所述的氣浮平臺，所述氣浮平臺為矩形 陣列的多個，并且相鄰的所述氣浮平臺貼合設(shè)置。10.—種玻璃基板傳送裝置，其特征在于，包括:氣浮裝置，用于放置所述玻璃基板；定位裝置，用于將在傳送所述玻璃基板前將所述玻璃基板定位在所述氣浮裝置上；以 及移動裝置，用于驅(qū)動所述玻璃基板沿所述氣浮裝置移動，所述氣浮裝置為根據(jù)權(quán)利要求9所述的氣浮裝置。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的玻璃基板傳送裝置，其特征在于，所述定位裝置包括用于在 長度方向上定位所述玻璃基板的第一氣缸(50)，和在寬度方向上定位所述玻璃基板的第二 氣缸(60)。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的玻璃基板傳送裝置，其特征在于，所述第一氣缸(50)為直線 氣缸，并且為四個，分別用于設(shè)置在所述玻璃基板的四角。13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的玻璃基板傳送裝置，其特征在于，所述第二氣缸(60)為旋轉(zhuǎn) 氣缸，并且為兩個，分別用于設(shè)置在所述玻璃基板寬度方向上的一側(cè)。14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的玻璃基板傳送裝置，其特征在于，所述移動裝置包括設(shè)置在所述氣浮裝置寬度方向的一側(cè)的真空吸盤(70)，以從單側(cè)吸附所述玻璃基板運動。
【文檔編號】B65G49/06GK106044225SQ201610489329
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2016年6月28日
【發(fā)明人】丁力, 程常寶, 蔡杰
【申請人】江蘇東旭億泰智能裝備有限公司, 蕪湖東旭光電裝備技術(shù)有限公司, 東旭光電科技股份有限公司