一種剝離裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種用于剝離卷裝石墨烯薄膜金屬襯底的剝離裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]石墨烯是碳原子按六角結(jié)構(gòu)緊密堆積成的單原子層二維晶體，載流子的本征迀移率可達(dá)到2X105cm/(V.S)，這種優(yōu)異的電學(xué)性質(zhì)使其在高頻電子器件中有著巨大的應(yīng)用價值。為了制備石墨烯電子器件，首要的問題是制備出大尺寸、具有優(yōu)異電學(xué)性能的石墨烯薄膜，并轉(zhuǎn)移至合適的目標(biāo)基底上。目前大尺寸石墨烯薄膜的制備方法主要有包括以下幾種:(1)碳化硅(SiC)外延生長法，雖可獲得高質(zhì)量大面積的單層石墨烯，但是所使用的SiC的價格昂貴，生長條件苛刻，且生產(chǎn)出的石墨烯難于轉(zhuǎn)移；(2)化學(xué)氣相沉積法(ChemicalVapor Deposit1n，CVD)可以在金屬襯底上生長大面積的單層或多層石墨稀薄膜，所得石墨烯質(zhì)量好、易于轉(zhuǎn)移，是目前制備石墨烯薄膜的常用方法，被廣泛用于制備石墨烯晶體管和透明導(dǎo)電薄膜。
[0003]CVD法制備的石墨烯需要經(jīng)過轉(zhuǎn)移才能從金屬襯底到目標(biāo)基體?，F(xiàn)有石墨烯轉(zhuǎn)移方法大多數(shù)使用腐蝕方法去除基底，成本較高、耗時長，基底回收難而且會對環(huán)境造成一定的污染。目前沒有能夠自動化去除卷裝石墨烯薄膜金屬襯底的裝置。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的是提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)自動化剝離卷裝石墨烯薄膜金屬襯底的
目.ο
[0005]實現(xiàn)本實用新型目的的技術(shù)方案是:一種剝離裝置，包括樣品架、成品架、成品轉(zhuǎn)軸、收卷電機、傳送架、剝離機構(gòu)和電解液槽；樣品包括樣品軸、卷繞在樣品軸上的金屬襯底、以及附于金屬襯底上的成品，樣品軸安裝在樣品架上，成品的一端固定在成品轉(zhuǎn)軸上，樣品軸與成品轉(zhuǎn)軸之間的樣品通過傳送架支撐；所述剝離機構(gòu)包括支架、剝離電機和卷軸；所述剝離電機固定在支架上，并驅(qū)動卷軸轉(zhuǎn)動；所述卷軸位于傳送架的上方，金屬襯底的一端固定在卷軸上；所述成品轉(zhuǎn)軸安裝在成品架上；所述收卷電機驅(qū)動成品轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動；所述電解液槽內(nèi)設(shè)有電解液；所述傳送架設(shè)置在電解液槽內(nèi)的電解液中。
[0006]所述卷軸上設(shè)有能夠與金屬襯底相配合的縫隙，金屬襯底的一端固定在卷軸的縫隙內(nèi)。
[0007]所述剝離機構(gòu)的卷軸與剝離電機可拆卸地固定連接。
[0008]所述剝離機構(gòu)的卷軸的縫隙貫穿卷軸遠(yuǎn)離剝離電機的一端的端面。
[0009]所述傳送架包括兩塊側(cè)板，以及設(shè)置在兩塊側(cè)板之間的上下兩層傳送輥；所述傳送輥與兩塊側(cè)板轉(zhuǎn)動連接；所述樣品從上下兩層傳送輥之間通過。
[0010]所述剝離機構(gòu)還包括升降電機、絲桿和升降平臺；所述升降電機固定在支架上，并驅(qū)動絲桿轉(zhuǎn)動；所述升降平臺與絲桿螺紋連接，并與支架上下滑動連接；所述剝離電機固定在升降平臺上。
[0011]采用了上述技術(shù)方案，本實用新型具有以下的有益效果:(1)本實用新型通過收卷電機和剝離電機分別驅(qū)動成品轉(zhuǎn)軸和卷軸轉(zhuǎn)動，從而將金屬襯底從成品上剝離下來，實現(xiàn)了自動化剝離卷裝石墨烯薄膜金屬襯底，結(jié)構(gòu)簡單、成本低、效率高、污染小，適用于工業(yè)化去除石墨稀薄膜金屬襯底。
[0012](2)本實用新型的卷軸上設(shè)有能夠與金屬襯底相配合的縫隙，便于固定金屬襯底，從而保證金屬襯底能夠順利剝離。
[0013](3)本實用新型的剝離機構(gòu)的卷軸與剝離電機可拆卸地固定連接，剝離完成后方便拆除卷軸，以便取下剝離下來的金屬襯底。
[0014](4)本實用新型的剝離機構(gòu)的卷軸的縫隙貫穿卷軸遠(yuǎn)離剝離電機的一端的端面，這種結(jié)構(gòu)便于在不拆除卷軸的情況下取下剝離下來的金屬襯底。
[0015](5)本實用新型將升降電機固定在可以升降的支架上，剝離前便于將金屬襯底安裝到卷軸的縫隙中，同時剝離完成后能夠更加方便地取出金屬襯底。
【附圖說明】
[0016]為了使本實用新型的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實施例并結(jié)合附圖，對本實用新型作進一步詳細(xì)的說明，其中
[0017]圖1為本實用新型的實施例1的結(jié)構(gòu)示意圖，圖中未示出樣品架、成品架、收卷電機和電解液槽。
[0018]圖2為本實用新型的實施例2的結(jié)構(gòu)示意圖，圖中未示出樣品架、成品架、收卷電機和電解液槽。
[0019]圖3為本實用新型的實施例3的結(jié)構(gòu)示意圖，圖中未示出樣品架、成品架、收卷電機和電解液槽。
[0020]附圖中的標(biāo)號為:
[0021]成品轉(zhuǎn)軸1、傳送架2、剝離機構(gòu)3、支架31、剝離電機32、卷軸33、縫隙331、絲桿34、升降平臺35、樣品4、金屬襯底41、樣品軸42、成品43。
【具體實施方式】
[0022](實施例1)
[0023]見圖1，本實施例的剝離裝置，包括樣品架、成品架、成品轉(zhuǎn)軸1、收卷電機、傳送架2、剝離機構(gòu)3和電解液槽。
[0024]傳送架2設(shè)置在電解液槽內(nèi)的電解液中。傳送架2包括兩塊側(cè)板21，以及設(shè)置在兩塊側(cè)板21之間的上下兩層傳送輥22。傳送輥22與兩塊側(cè)板21轉(zhuǎn)動連接。樣品4從上下兩層傳送輥22之間通過。
[0025]樣品4包括樣品軸42、卷繞在樣品軸42上的金屬襯底41、以及附于金屬襯底41上的成品43，樣品軸42安裝在樣品架上，成品43的一端固定在成品轉(zhuǎn)軸I上，樣品軸42與成品轉(zhuǎn)軸I之間的樣品4通過傳送架2支撐。
[0026]剝離機構(gòu)3包括支架31、剝離電機32和卷軸33。剝離電機32固定在支架31上，并驅(qū)動卷軸33轉(zhuǎn)動，卷軸33與剝離電機32可拆卸地固定連接。卷軸33位于傳送架2的上方。卷軸33上設(shè)有能夠與金屬襯底41相配合的縫隙331，金屬襯底41的一端固定在卷軸33的縫隙331內(nèi)。成品轉(zhuǎn)軸I安裝在成品架上，收卷電機驅(qū)動成品轉(zhuǎn)軸I轉(zhuǎn)動。
[0027]本實施例的剝離裝置的原理是:收卷電機和剝離電機分別驅(qū)動成品轉(zhuǎn)軸I和卷軸33轉(zhuǎn)動，傳送架2的下層傳送輥22支撐成品43，傳送架2的上層傳送輥22壓住金屬襯底41，從而將金屬襯底41從成品43上剝尚下來。剝尚完成后，將卷軸33連問金屬襯底41 一起拆除，然后再將金屬襯底41從卷軸33上取下來。
[0028](實施例2)
[0029]見圖2，本實施例與實施例1基本相同，不同之處在于:剝離機構(gòu)3的卷軸33的縫隙331貫穿卷軸33遠(yuǎn)離剝離電機32的一端的端面。
[0030]本實施例的剝離裝置在剝離完金屬襯底41后不需拆除卷軸33，即可方便地將剝離下來的金屬襯底41從卷軸33上取下來。
[0031](實施例3)
[0032]見圖3，本實施例與實施例2基本相同，不同之處在于:剝離機構(gòu)3還包括升降電機、絲桿34和升降平臺35。
[0033]升降電機固定在支架31上，并驅(qū)動絲桿34轉(zhuǎn)動。升降平臺35與絲桿34螺紋連接，并與支架31上下滑動連接。剝離電機32固定在升降平臺35上。
[0034]本實施例的剝離裝置由于將升降電機固定在可以升降的支架31上，因此方便在剝離前將金屬襯底41安裝到卷軸33的縫隙331中，剝離完成后能夠更加方便地取出金屬襯底。
[0035]以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種剝離裝置，其特征在于:包括樣品架、成品架、成品轉(zhuǎn)軸(I)、收卷電機、傳送架(2)、剝離機構(gòu)(3)和電解液槽；樣品⑷包括樣品軸(42)、卷繞在樣品軸(42)上的金屬襯底(41)、以及附于金屬襯底(41)上的成品(43)，樣品軸(42)安裝在樣品架上，成品(43)的一端固定在成品轉(zhuǎn)軸⑴上，樣品軸(42)與成品轉(zhuǎn)軸⑴之間的樣品⑷通過傳送架(2)支撐；所述剝離機構(gòu)⑶包括支架(31)、剝離電機(32)和卷軸(33);所述剝離電機(32)固定在支架(31)上，并驅(qū)動卷軸(33)轉(zhuǎn)動；所述卷軸(33)位于傳送架(2)的上方，金屬襯底(41)的一端固定在卷軸(33)上；所述成品轉(zhuǎn)軸(I)安裝在成品架上；所述收卷電機驅(qū)動成品轉(zhuǎn)軸(I)轉(zhuǎn)動；所述電解液槽內(nèi)設(shè)有電解液；所述傳送架(2)設(shè)置在電解液槽內(nèi)的電解液中。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種剝離裝置，其特征在于:所述卷軸(33)上設(shè)有能夠與金屬襯底(41)相配合的縫隙(331)，金屬襯底(41)的一端固定在卷軸(33)的縫隙(331)內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種剝離裝置，其特征在于:所述剝離機構(gòu)(3)的卷軸(33)與剝離電機(32)可拆卸地固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種剝離裝置，其特征在于:所述剝離機構(gòu)(3)的卷軸(33)的縫隙(331)貫穿卷軸(33)遠(yuǎn)離剝離電機(32)的一端的端面。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種剝離裝置，其特征在于:所述傳送架(2)包括兩塊側(cè)板(21)，以及設(shè)置在兩塊側(cè)板(21)之間的上下兩層傳送輥(22);所述傳送輥(22)與兩塊側(cè)板(21)轉(zhuǎn)動連接；所述樣品(4)從上下兩層傳送輥(22)之間通過。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5之一所述的一種剝離裝置，其特征在于:所述剝離機構(gòu)(3)還包括升降電機、絲桿(34)和升降平臺(35);所述升降電機固定在支架(31)上，并驅(qū)動絲桿(34)轉(zhuǎn)動；所述升降平臺(35)與絲桿(34)螺紋連接，并與支架(31)上下滑動連接；所述剝離電機(32)固定在升降平臺(35)上。
【專利摘要】本實用新型公開了一種剝離裝置，包括樣品架、成品架、成品轉(zhuǎn)軸、收卷電機、傳送架、剝離機構(gòu)和電解液槽；樣品包括樣品軸、卷繞在樣品軸上的金屬襯底、以及附于金屬襯底上的成品，樣品軸安裝在樣品架上，成品的一端固定在成品轉(zhuǎn)軸上，樣品軸與成品轉(zhuǎn)軸之間的樣品通過傳送架支撐；剝離機構(gòu)包括支架、剝離電機和卷軸；剝離電機固定在支架上，并驅(qū)動卷軸轉(zhuǎn)動；卷軸位于傳送架的上方，金屬襯底的一端固定在卷軸上；收卷電機驅(qū)動安裝在成品架上的成品轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動；傳送架設(shè)置在電解液槽內(nèi)的電解液中。本實用新型實現(xiàn)了自動化剝離卷裝石墨烯薄膜金屬襯底，結(jié)構(gòu)簡單、成本低、效率高、污染小。
【IPC分類】B65H41-00
【公開號】CN204280870
【申請?zhí)枴緾N201420645791
【發(fā)明人】周振義, 武文鑫, 劉志成, 王增奎, 徐振飛, 龔健, 婁曉靜, 孫洪波, 顧永強
【申請人】常州二維碳素科技有限公司
【公開日】2015年4月22日
【申請日】2014年10月31日