專利名稱：脫模處理方法、模具、防反射膜的制造方法、脫模處理裝置以及模具的清洗干燥裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及脫模處理方法、模具、防反射膜的制造方法、脫模處理裝置以及模具的清洗干燥裝置。此處所說的“模具”包含用于各種加工方法(壓印、鑄造)的模具，有時也稱為壓模。另外，也能夠用于印刷(包括納米印刷)。
背景技術(shù)：
通常，為了減少表面反射、提高光的透射量，對用于電視、手機(jī)等的顯示裝置和照相機(jī)鏡頭等光學(xué)元件實施防反射技術(shù)。因為例如像光入射到空氣和玻璃的界面的情況那樣，在光通過折射率不同的介質(zhì)的界面的情況下，由于菲涅爾反射等，光的透射量減少，視覺識別性下降。近年來，作為防反射技術(shù)，在基板表面形成將凹凸的周期控制在可見光的波長(入 =380nm 780nm)以下的微細(xì)凹凸圖案的方法受到關(guān)注(參照專利文獻(xiàn)I至4)。構(gòu)成發(fā)揮防反射功能的凹凸圖案的凸部的二維大小為IOnm以上且不到500nm。該方法利用了所謂的蛾眼(Motheye，蛾子的眼)結(jié)構(gòu)的原理，使入射到基板的光對應(yīng)的折射率沿著凹凸的深度方向從入射介質(zhì)的折射率連續(xù)地變化至基板的折射率，由此抑制想要防止反射的波段的反射。除了能夠涵蓋較寬的波段發(fā)揮入射角依賴性小的防反射作用以外，蛾眼結(jié)構(gòu)還具有能夠應(yīng)用于較多的材料、能夠直接在基板上形成凹凸圖案等優(yōu)點。其結(jié)果是，能夠以低成本提供高性能的防反射膜(或防反射表面)。作為蛾眼結(jié)構(gòu)的制造方法，使用通過對鋁進(jìn)行陽極氧化而得到的陽極氧化多孔氧化鋁層的方法受到關(guān)注(專利文獻(xiàn)2至4)。在此，簡單地說明通過對鋁進(jìn)行陽極氧化而得到的陽極氧化多孔氧化鋁層。以往，利用了陽極氧化的多孔質(zhì)結(jié)構(gòu)體的制造方法作為能夠形成有規(guī)則地排列的納米級的圓柱狀細(xì)孔(微細(xì)凹部)的簡易方法而受到關(guān)注。當(dāng)在硫酸、草酸或磷酸等酸性電解液或堿性電解液中浸潰基材，將其作為陽極施加電壓時，能夠在基材的表面同時進(jìn)行氧化和溶解，在其表面形成具有細(xì)孔的氧化膜。該圓柱狀細(xì)孔相對于氧化膜垂直地取向，在一定的條件下(電壓、電解液的種類、溫度等)表現(xiàn)出自組織的規(guī)則性，因此期待著應(yīng)用于各種功能材料。在特定的條件下形成的多孔氧化鋁層，當(dāng)從垂直于膜面的方向看時，為大致正六邊形的單元在二維上以最高密度填充的排列。各個單元在其中央具有細(xì)孔，細(xì)孔的排列具有周期性。單元是局部的皮膜的溶解和生長的結(jié)果所形成的，在被稱為阻擋層的細(xì)孔底部，皮膜的溶解和生長同時進(jìn)行。已知這時單元的尺寸，即相鄰的細(xì)孔的間隔(中心間距離)相當(dāng)于阻擋層的厚度的大致2倍，與陽極氧化時的電壓大致成比例。另外，已知細(xì)孔的直徑依賴于電解液的種類、濃度、溫度等，但通常為單元的尺寸(從垂直于膜面的方向看時的單元的最長對角線的長度)的1/3的程度。這種多孔氧化鋁的細(xì)孔在特定的條件下形成具有高規(guī)則性(具有周期性)的排列，另外，根據(jù)條件形成某種程度規(guī)則性紊亂的排列，或形成不規(guī)則(不具有周期性)的排列。專利文獻(xiàn)2公開了使用表面具有陽極氧化多孔氧化鋁膜的壓模來形成防反射膜(防反射表面)的方法。另外，在專利文獻(xiàn)3中公開了通過反復(fù)進(jìn)行鋁的陽極氧化和孔徑擴(kuò)大處理來形成細(xì)孔孔徑連續(xù)地變化的錐形形狀的凹部的技術(shù)。本申請人在專利文獻(xiàn)4中公開了使用微細(xì)凹部具有階梯狀側(cè)面的氧化鋁層來形成防反射膜的技術(shù)。另外，如專利文獻(xiàn)1、2以及4所記載的那樣，通過在蛾眼結(jié)構(gòu)(微觀結(jié)構(gòu))的基礎(chǔ)上又設(shè)置比蛾眼結(jié)構(gòu)大的凹凸結(jié)構(gòu)(宏觀結(jié)構(gòu))，能夠?qū)Ψ婪瓷淠?防反射表面)施與防眩功能。構(gòu)成發(fā)揮防眩功能的凹凸的凸部的二維大小為Iym以上且不到100 μπι。為了參考，將專利文獻(xiàn)1、2以及4的全部公開內(nèi)容引用到本說明書。 通過利用陽極氧化多孔氧化鋁膜，能夠容易地制造用于在表面形成蛾眼結(jié)構(gòu)的模具(以下稱為“蛾眼用模具”。)。特別是若如專利文獻(xiàn)2和4所記載的那樣，將鋁的陽極氧化膜的表面原樣作為模具來利用，則減少制造成本的效果較大。將能夠形成蛾眼結(jié)構(gòu)的蛾眼用模具的表面的結(jié)構(gòu)稱為“反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)”。作為使用了蛾眼用模具的防反射膜的制造方法，已知使用光固化性樹脂的方法。首先在基板上施與光固化性樹脂。接著，通過將實施了脫模處理的蛾眼用模具的凹凸表面在真空中按壓于光固化性樹脂，在蛾眼用模具的表面的凹凸結(jié)構(gòu)中填充光固化性樹脂。接著，對凹凸結(jié)構(gòu)中的光固化性樹脂照射紫外線，將光固化性樹脂固化。之后，通過將蛾眼用模具從基板分離，在基板的表面形成轉(zhuǎn)印了蛾眼用模具的凹凸結(jié)構(gòu)的光固化性樹脂的固化物層。使用了光固化性樹脂的防反射膜的制造方法記載于例如專利文獻(xiàn)4中。作為具有用于防反射膜的制造的多孔氧化鋁層的模具的脫模處理，例如在專利文獻(xiàn)5中記載了通過利用噴涂法施與氟類的脫模劑來進(jìn)行脫模處理。現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :特表2001-517319號公報專利文獻(xiàn)2 :特表2003-531962號公報專利文獻(xiàn)3 :特開2005-156695號公報專利文獻(xiàn)4 :國際公開第2006/059686號專利文獻(xiàn)5 :國際公開第2008/001847號

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題但是，本發(fā)明人在嘗試?yán)脟娡糠▽Χ暄塾媚＞呤┡c脫模劑時產(chǎn)生脫模劑的涂敷不均等，很難均勻地實施脫模處理。該問題不限于蛾眼用模具，而是表面具有具備亞微米級的微細(xì)凹部的多孔氧化鋁層的模具的共同的問題。本發(fā)明的主要目的在于，提供即使通過利用噴涂法對表面具有多孔氧化鋁層的模具的表面施與脫模劑也能沒有不均地進(jìn)行脫模處理的方法。
用于解決問題的方案本發(fā)明的脫模處理方法包含工序(a)，準(zhǔn)備包含具有脫模性的氟類化合物和溶劑的脫模劑和表面具有多孔氧化鋁層的模具；工序(b)，對上述模具的上述表面施與能夠溶解上述氟類化合物的溶劑；以及工序(C)，在上述工序(b)之后，利用噴涂法對上述模具的上述表面施與上述脫模劑。在某實施方式中，上述工序(b)中使用的上述溶劑是與上述脫模劑中包含的上述溶劑相同的溶劑。在某實施方式中，上述脫模劑中包含的上述溶劑是氟類溶劑。在某實施方式中，上述工序(C)在能夠溶解上述氟類化合物的溶劑的氣氛中進(jìn)行。在某實施方式中，還包含工序(d):在上述工序(C)之后，沖洗上述模具的上述表面。在某實施方式中，還包含工序(e):在上述工序(C)和上述工序⑷之間，焙烤上述模具的上述表面。在某實施方式中，包含工序(f):在上述工序(a)和工序(b)之間，清洗上述模具的上述表面。在某實施方式中，上述工序(f)使用二流體噴嘴來進(jìn)行。在某實施方式中，上述多孔氧化鋁層在表面具有反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)，上述反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)具有從表面的法線方向看時的二維大小為50nm以上且不到500nm的多個凹部。本發(fā)明的模具在表面具有多孔氧化鋁層，利用上述的任一項所述的脫模處理方法來進(jìn)行脫模處理。本發(fā)明的防反射膜的制造方法包含準(zhǔn)備上述的模具和被加工物的工序；以及在上述模具和上述被加工物的表面之間施與了紫外線固化樹脂的狀態(tài)下，通過對上述紫外線固化樹脂照射紫外線，將上述紫外線固化樹脂固化的工序。本發(fā)明的脫模處理裝置是對模具的表面進(jìn)行脫模處理的裝置，具備脫模劑噴嘴，其將包含具有脫模性的氟類化合物和溶劑的脫模劑施與到模具的表面；溶劑噴嘴，其將能夠溶解上述氟類化合物的溶劑施與到模具的表面；施與室，其配置有上述脫模劑噴嘴和上述溶劑噴嘴；以及溶劑槽，其存留有能夠溶解上述氟類化合物的溶劑，上述溶劑槽內(nèi)的溶劑汽化，從而在上述施與室內(nèi)形成上述溶劑的氣氛，利用上述溶劑噴嘴對上述模具的上述表面施與上述溶劑后，在上述溶劑的上述施與室內(nèi)，上述脫模劑噴嘴對上述模具的上述表面噴射上述脫模劑。本發(fā)明的清洗干燥裝置是模具的表面的清洗干燥裝置，具備清洗噴嘴，其對模具的表面施與清洗液；以及氣體噴吹部，其具有對上述模具的上述表面噴吹氣體的多個噴出孔，通過對上述模具的上述表面中的利用由上述清洗噴嘴施與的清洗液清洗了的部分噴吹氣體，使上述部分干燥，上述多個噴出孔被高低不同地配置。在某實施方式中，還具備突出部，上述突出部設(shè)置于上述清洗噴嘴和上述氣體噴吹部之間，從上述氣體噴吹部的形成有上述多個噴出孔的表面向上述模具的上述表面的方向突出而形成，上述突出部設(shè)置有抽吸浮游薄霧的孔。在某實施方式中，還包含工序(g):在上述工序(f)之后，對上述模具的上述表面進(jìn)行干燥。在某實施方式中，還包含工序(h):在上述工序(g)之后，焙烤上述模具的上述表面。在某實施方式中，還包含工序(i):在上述工序(d)之后，對上述模具的上述表面進(jìn)行干燥。在某實施方式中，還包含工序(j):在上述工序(i)之后，焙烤上述模具的上述表面。在某實施方式中，還包含工序(k):在上述工序(j)之后，對上述模具的上述表面 進(jìn)行外觀檢查。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，提供即使通過用噴涂方式對表面具有多孔氧化鋁層的模具的表面施與脫模劑也能沒有不均地進(jìn)行脫模處理的方法。


圖1(a) (h)是為了說明本發(fā)明的實施方式的脫模處理方法的示意圖。圖2(a) (C)是為了說明本發(fā)明的實施方式的脫模處理方法的示意圖。圖3(a)是示出使用利用實施例I的脫模處理方法實施了脫模處理的蛾眼用模具來制作的防反射膜的表面的光學(xué)顯微鏡像的圖，(b)是示出使用利用比較例I的脫模處理方法實施了脫模處理的蛾眼用模具來制作的防反射膜的表面的光學(xué)顯微鏡像的圖。圖4(a)是脫模處理裝置80的示意圖，(b)是為了說明輥狀的蛾眼用模具100的長軸方向從鉛垂方向的偏離的示意圖。圖5(a) ⑷是示出附著在蛾眼用模具的表面的異物的光學(xué)顯微鏡像的圖。圖6(a)和(b)是分別示出清洗前和清洗后的蛾眼用模具的表面的光學(xué)顯微鏡像的圖。圖7(a) (C)是為了說明使用臭氧納米氣泡水來除去異物的作用的示意圖。圖8是脫模處理裝置300的示意圖。圖9(a)是前清洗部320的示意圖，(b)是表面涂敷處理部330的示意圖，(C)是檢查部340的示意圖。圖10(a)是清洗干燥裝置90的示意圖，(b)是示意性示出氣體噴吹部94和突出部96的內(nèi)周面的圖。圖11(a) (e)是為了說明蛾眼用模具100的制造方法的圖。圖12是為了說明使用蛾眼用模具100來制作防反射膜的工序的示意性截面圖。
具體實施例方式下面，參照附圖來說明本發(fā)明的實施方式的脫模處理方法，但本發(fā)明不限于例舉的實施方式。下面，將對蛾眼用模具進(jìn)行脫模處理的情況作為例子來說明。此外，“蛾眼用模具”中包括例如平板狀的蛾眼用模具和輥狀的蛾眼用模具。下面，參照圖1(a) (h)來說明本發(fā)明的實施方式的蛾眼用模具的脫模處理方法。圖1(a) (h)是為了說明本發(fā)明的實施方式的脫模處理方法的示意圖。
首先，如圖I (a)所示，準(zhǔn)備輥狀的蛾眼用模具100。若使用輥狀的蛾眼用模具100，則有例如利用輥到輥方式能夠有效率地批量生產(chǎn)防反射膜的優(yōu)點。蛾眼用模具100在表面具有具備從表面的法線方向看時的二維大小為50nm以上且不到500nm的多個凹部的多孔氧化鋁層。蛾眼用模具100能夠使用例如上述專利文獻(xiàn)3和4所記載的方法，通過反復(fù)進(jìn)行鋁的陽極氧化和蝕刻來得到。蛾眼用模具100的制造方法在后面詳細(xì)敘述。輥狀的蛾眼用模具100優(yōu)選為如圖1(a)所示，例如以使長軸方向與鉛垂方向大致平行的方式直立配置。若將輥狀的蛾眼用模具100直立配置，則對蛾眼用模具100的外周面施與了脫模劑時，脫模劑變得容易流淌。即能夠使脫模劑容易擴(kuò)展。然后，清洗蛾眼用模具100。通過清洗蛾眼用模具100，例如，殘留異物被除去。另夕卜，如后面詳細(xì)敘述的那樣，與不清洗的情況相比，通過清洗蛾眼用模具100，能夠提高脫模處理的效果。根據(jù)本發(fā)明人的研究，若制作蛾眼用模具后長時間放置在大氣中后實施脫模處理，則有時不能夠得到充分的脫模性?？梢韵氲讲荒軌虻玫匠浞值拿撃Ｐ云鹨蛉缦略诙暄?用模具的多孔氧化鋁層的表面形成有水合物。下面，將使用了草酸水溶液作為陽極氧化的電解液的情況作為例子來說明。在陽極氧化緊后的多孔氧化鋁層的表面存在含水氧化鋁、招-草酸螯合物以及草酸鹽(參照http://www. alumite. co. jp/CAT/syusan. htm)。若將蛾眼用模具放置在大氣中，則它們與大氣中的水分反應(yīng)，形成以氧化鋁的水合物或草酸鹽為起因的羧酸。另外，若在陽極氧化皮膜的表面形成有氧化鋁的水合物(例如軟水鋁石)，則表面的貼緊性變低(例如參照“關(guān)于鋁建材的表面處理技術(shù)的現(xiàn)狀”，技術(shù)信息手冊，株式會社日本電氣化學(xué)工業(yè)所(「7 S建材(二 ^ ^表面処理技術(shù)O現(xiàn)狀」、技術(shù)情報八卜、株式會社日本電気化學(xué)工業(yè)所)，2009年11月，p. 14)。因此，可以想到如上述那樣，在蛾眼用模具的表面的形成有水合物的部分，后述的脫模劑中包含的具有脫模性的氟類化合物的貼緊性變低了?？梢韵氲剑浣Y(jié)果是即使對形成有水合物的部分施與脫模劑，也不能夠得到充分的脫模性。即使是在制作蛾眼用模具后長時間放置在大氣中的情況下，通過清洗蛾眼用模具的表面除去水合物，也能夠提高氟類化合物對表面的貼緊性。因此，與不清洗而實施了脫模處理的情況相比，能夠提高脫模處理的效果。如后述那樣，當(dāng)制作蛾眼用模具后在大氣中放置例如超過48個小時之后實施脫模處理時，優(yōu)選在施與脫模劑之前進(jìn)行清洗。在清洗工序中，例如，如圖1(b)所示，從在蛾眼用模具100的長軸方向(圖1(b)的箭頭所示的方向)移動的淋浴噴嘴62a對蛾眼用模具100的外周面噴射清洗液來清洗。這時，通過在圓周方向旋轉(zhuǎn)蛾眼用模具100，蛾眼用模具100的整個外周面被施與清洗液。作為清洗液，例如能夠使用純水、還原性電解離子水、洗滌劑、有機(jī)溶劑(例如丙酮)或磷酸。作為清洗方法，除了淋浴清洗以外，例如能夠使用流水清洗或浸潰清洗、靜電霧化法。當(dāng)進(jìn)行浸潰清洗時，也可以對浸潰于清洗液的蛾眼用模具100照射超聲波(超聲波清洗)。另外，也可以進(jìn)行干清洗。作為干清洗，例如能夠使用照射準(zhǔn)分子UV光的方法和照射在大氣壓下產(chǎn)生的等離子體和O2等離子體的方法。另外，也可以使用上述例舉的清洗方法中的多個方法來清洗。例如也可以在磷酸中浸潰后用純水進(jìn)行流水清洗。此外，如后述那樣，為了提高脫模處理的效果，特別優(yōu)選使用還原性電解離子水的清洗或使用磷酸的清洗。
然后，根據(jù)需要對蛾眼用模具100的表面進(jìn)行干燥。如圖1(c)所示，例如通過使用氣刀64a噴吹壓縮空氣來進(jìn)行干燥。也可以利用吹N2來進(jìn)行干燥。另外也可以使用真空干燥機(jī)對蛾眼用模具100的表面進(jìn)行干燥。也可以在對蛾眼用模具100的表面進(jìn)行干燥后進(jìn)行焙烤(加熱處理)。通過進(jìn)行焙烤，能夠除去附著在蛾眼用模具100的表面的微米級的液滴或侵入到多孔氧化鋁層的表面的多個凹部的數(shù)百納米級的液滴。例如將蛾眼用模具100放入清潔爐內(nèi)加熱(例如，1501，30分鐘)。另外，也可以噴吹加熱的干燥空氣。另外，也可以使用遠(yuǎn)紅外加熱器。然后，進(jìn)行溶劑的施與和脫模劑的施與。作為脫模劑，使用包含具有脫模性的氟類化合物和溶劑的氟類脫模劑。作為氟類脫模劑，例如能夠使用氟技術(shù)公司(7 n n f夂)口 ^一社)制造的佛勞勞薩夫(7 α 口 *一 7 )。作為佛勞勞薩夫，例如能夠使用佛勞勞薩夫FG-5010Z130-0. I。在佛勞勞薩夫FG-5010Z130-0. I中，作為氟類化合物包含全氟辛基丙烯酸乙酯(Perfluorooctyl Ethyl Acrylate)的單獨(dú)聚合物,作為溶劑包含稀釋劑ZV (Hydrofluoroether ;氫氟醚)。例如，佛勞勞薩夫FG-5010Z130-0. I的全氟辛基丙烯酸 乙酯的單獨(dú)聚合物的濃度為O. 1%。溶劑的施與例如如圖I (d)所示，使用在蛾眼用模具100的長軸方向移動的噴射噴嘴52用噴涂方式來進(jìn)行。這時，通過旋轉(zhuǎn)蛾眼用模具100，蛾眼用模具100的整個外周面被施與溶劑。此處施與的溶劑例如為上述的稀釋劑ZV。稀釋劑ZV例如能夠從氟技術(shù)公司得至IJ。此外，溶劑即使不是脫模劑中包含的溶劑，只要是能夠溶解三井杜邦氟化學(xué)公司(三井于''二 > 7 口口 > $力 >社)制造的VertrelXF等脫模劑中包含的具有脫模性的氟類化合物的溶劑即可。脫模劑是利用噴涂法施與到施與了溶劑的蛾眼用模具100的表面。例如，如圖1(d)所示，使用在蛾眼用模具100的長軸方向移動的噴射噴嘴54來施與脫模劑。這時，與施與溶劑時一樣，通過旋轉(zhuǎn)蛾眼用模具100，蛾眼用模具100的整個外周面被施與脫模劑。當(dāng)從蛾眼用模具100的上端向下端進(jìn)行處理時，也可以一邊從噴射噴嘴52噴射溶劑一邊從噴射噴嘴54噴射脫模劑。這時，噴射噴嘴52和噴射噴嘴54保持一定的間隔，平行于長軸地移動。此外，也可以使噴射噴嘴52和噴射噴嘴54分別獨(dú)立移動，在施與溶劑后施與脫模劑。若利用噴涂法對蛾眼用模具的多孔氧化鋁層的表面施與脫模劑，則如后面詳細(xì)敘述的那樣，有時會發(fā)生脫模劑的涂敷不均等，不能夠均勻地實施脫模處理?？梢韵氲剑粋€原因是，若使用噴涂法，則從噴射噴嘴噴出的脫模劑的液滴在到達(dá)蛾眼用模具的表面之前，脫模劑的液滴中的溶劑的一部分汽化，脫模劑中包含的氟類化合物變得容易偏析。在本發(fā)明的實施方式的脫模處理方法中，是在施與脫模劑之前對蛾眼用模具的多孔氧化鋁層的表面施與溶劑，因此，到達(dá)表面的脫模劑的液滴中的氟類化合物被稀釋，能夠在溶劑蒸發(fā)之前在表面上擴(kuò)散。因此，能夠沒有不均地實施脫模處理。施與溶劑的工序和施與脫模劑的工序在后面詳細(xì)敘述。如后述那樣，脫模劑的施與優(yōu)選在溶劑的氣氛中進(jìn)行。通過在溶劑的氣氛中進(jìn)行脫模劑的施與，溶劑的汽化被抑制，能夠更加容易使具有脫模性的氟類化合物擴(kuò)展。此外，特別是當(dāng)溶劑有害時，優(yōu)選如圖1(d)所示，在蛾眼用模具100的上方配置局部排氣裝置63，一邊排氣一邊進(jìn)行脫模劑的施與。
然后，進(jìn)行蛾眼用模具100的表面的焙烤。通過焙烤能夠促進(jìn)蛾眼用模具100的多孔氧化鋁層的表面和氟類化合物的反應(yīng)。例如，如圖1(e)所示，使用加熱器66進(jìn)行焙烤。此外，此處進(jìn)行的焙烤工序能夠利用與上述的焙烤方法一樣的方法進(jìn)行。然后，通過進(jìn)行沖洗來除去過多的脫模劑。沖洗工序例如，如圖1(f)所示，能夠使用在蛾眼用模具100的長軸方向移動的噴射噴嘴62b，用淋浴方式進(jìn)行。這時，通過旋轉(zhuǎn)蛾眼用模具100，蛾眼用模具100的整個外周面被施與沖洗液。作為噴射噴嘴62b，例如使用二流體噴嘴。二流體噴嘴通過將液體和壓縮氣體混合而噴出，能夠以霧狀噴出液體。通過使用二流體噴嘴能夠?qū)⒁旱渭?xì)微化，因此有能夠?qū)Χ暄塾媚＞?00適應(yīng)地涂敷沖洗劑的優(yōu)點。另外，若使用二流體噴嘴則能夠控制壓縮氣體的噴出壓力，因此可以進(jìn)行高壓涂敷。因此能夠有效率地除去過多的脫模劑。另外，也有能夠防止浮游異物的附著的優(yōu)點。除了淋浴方式以外，也可以利用例如浸涂方式來沖洗。作為沖洗液，例如能夠使用上述脫模劑中包含的溶劑。通過使用溶劑來進(jìn)行沖洗，多余的氟類化合物被除去，使氟類化合物的膜薄膜化和/或均勻化。脫模劑的膜越薄且均勻，越能夠減小脫模劑對蛾眼用模具100的表面的凹凸結(jié)構(gòu)的尺寸精度的影響。此外，優(yōu)選 在表面形成有氟類化合物的單分子膜。單分子膜的膜厚為I 4nm的程度。脫模劑的膜厚，例如能夠使用原子間力顯微鏡(AFM)等掃描型探針顯微鏡(SPM)來求出。也能夠使用掃描透射電子顯微鏡(STEM)從截面結(jié)構(gòu)來求出膜厚。另外，通過使用X射線光電子能譜法(ESCA)也能夠求出膜厚。在進(jìn)行沖洗工序的裝置中，為了能夠再次使用使用了一次的沖洗液，也可以設(shè)置積存使用了的沖洗液的槽或使沖洗液循環(huán)的配管。在積存沖洗液的槽或使沖洗液循環(huán)的配管中，為了能夠過濾沖洗液，也可以設(shè)置過濾器。然后，除去蛾眼用模具100的表面的沖洗液。即對蛾眼用模具100的表面進(jìn)行干燥。例如，如圖1(g)所示，使用氣刀64b來進(jìn)行干燥。也可以使用上述的其他的干燥方法來進(jìn)行干燥。之后，也可以根據(jù)需要焙烤(加熱處理)蛾眼用模具100。通過進(jìn)行焙烤，能夠除去蛾眼用模具100的表面附著的沖洗液的殘渣。焙烤方法能夠使用與上述的焙烤方法相同的方法。這樣，能夠得到在多孔氧化鋁層的表面實施了脫模處理的蛾眼用模具。此外，接著也可以進(jìn)行蛾眼用模具100的外觀檢查。在外觀檢查中，例如，如圖I (h)所示，利用照明裝置68對蛾眼用模具100的外周面照射光，利用照相機(jī)79進(jìn)行附著異物的檢查。之后，蛾眼用模具100能夠用于例如防反射膜的制造。本發(fā)明的實施方式的脫模處理方法通過在用噴涂法對蛾眼用模具的表面施與脫模劑之前，施與能夠溶解具有脫模性的氟類化合物的溶劑，從而能夠沒有不均地實施脫模處理。此外，也可以省略參照圖I說明的脫模處理方法的各工序中除了施與溶劑的工序和施與脫模劑的工序以外的清洗工序、干燥工序等。下面，參照圖2來詳細(xì)地說明本發(fā)明的實施方式的脫模處理方法中的溶劑施與工序和脫模劑施與工序。首先，如圖2(a)所示，準(zhǔn)備表面具有多孔氧化鋁層的蛾眼用模具100和脫模劑(未圖示)。蛾眼用模具100例如具有輥狀的支撐體12 (例如不銹鋼制的管)、形成在輥狀的支撐體12的表面上的鋁膜18以及形成在鋁膜18上的多孔氧化鋁層14。此外，在圖2(a)中，為了簡單，對于蛾眼用模具100，只示出輥狀的支撐體12的一部分、鋁膜18的一部分以及多孔氧化鋁層14的一部分。圖2(b)和(c)也一樣，對于蛾眼用模具100，只示出一部分。多孔氧化鋁層14具有多個微細(xì)凹部(細(xì)孔)14p。多個微細(xì)凹部14p從表面的法線方向看時的二維大小為50nm以上且不到500nm。蛾眼用模具100，如后面詳細(xì)敘述的那樣，能夠通過反復(fù)進(jìn)行形成在輥狀的支撐體12上的鋁膜18的陽極氧化和蝕刻來制作。作為脫模劑，使用包含具有脫模性的氟類化合 物和溶劑的氟類脫模劑。作為氟類脫模劑，能夠廣泛地使用公知的氟類脫模劑。例如，能夠使用氟技術(shù)公司制造的佛勞勞薩夫。作為佛勞勞薩夫，例如如上所述，能夠使用佛勞勞薩夫FG-5010Z130-0. I。在佛勞勞薩夫FG-5010Z130-0. I中，作為氟類化合物，包含全氟辛基丙烯酸乙酯的單獨(dú)聚合物，作為溶劑，包含稀釋劑ZV(氫氟醚)。在佛勞勞薩夫中，作為溶劑，除了上述以外，例如還有包含不燃性氟類溶劑或石油類溶劑的溶劑。作為不燃性氟類溶劑，除了氫氟醚以外，還能夠舉出例如全氟聚醚(Perfluoropolyethers)、全氟燒(Perfluoroalkane)、氫氟聚醚(Hydrofluoropolyethers)、氫氟碳化物(Hydrofluorocarbon)等。這些不燃性氟類溶劑可單獨(dú)使用一種或混合使用二種以上。作為石油類溶劑，例如使用正庚烷(n-Heptane)、丙酮(Acetone)或?qū)⒄楹捅旌系娜軇Ｗ鳛榉惷撃?，除了上述以外，例如能夠使用大金公?夕^々 >社)制造的Optool-DSX。另外也能夠使用三井杜邦氟化學(xué)公司制造的透明涂料。另外，作為氟類脫模劑的溶劑，優(yōu)選使用氟類的溶劑。不過也能夠適當(dāng)選擇使用水類的溶劑或公知的有機(jī)溶劑。此外，溶劑不僅可以是溶解氟類化合物的溶劑，也可以是使氟類化合物分散在溶劑中的溶劑。氟類脫模劑與除了氟類脫模劑以外的例如硅酮類的脫模劑等脫模劑相比，有對用于防反射膜的制造的紫外線固化性樹脂的脫模性高的優(yōu)點。另外，氟類的脫模劑有對紫外線的抗性高的優(yōu)點。另外，氟類的脫模劑的層容易薄膜化。根據(jù)本發(fā)明人的研究，使用除了氟類的脫模劑以外的例如硅酮系的脫模劑而實施了脫模處理的蛾眼用模具不能夠用于防反射膜的制造。本發(fā)明人研究了使用除了氟類的脫模劑以外的脫模劑的情況，但在防反射膜的制造工序中，有時施與于蛾眼用模具和被轉(zhuǎn)印物之間的紫外線固化性樹脂的固化物層的一部分會從被加工物剝離而殘留于蛾眼用模具的表面?？梢韵氲竭@起因于紫外線固化性樹脂對使用的脫模劑的脫模性低或使用的脫模劑對紫外線的抗性低。另外，如使用蛾眼用模具來制造防反射膜的情況那樣，在轉(zhuǎn)印亞微米級的凹凸結(jié)構(gòu)時，如上述那樣，優(yōu)選對脫模劑的層進(jìn)行薄膜化，但在使用了除了氟類的脫模劑以外的脫模劑的情況下，很難對脫模劑的層進(jìn)行薄膜化。另外，具有脫模性的氟類化合物的濃度優(yōu)選為O. lwt%以上。使用濃度為O. 05%,O. 10%以及O. 20%的脫模劑對蛾眼用模具實施了脫模處理并調(diào)查了脫模處理后的疏水性。在施與濃度為O. 05%的脫模劑時，在蛾眼用模具的表面存在氟類化合物很少且沒有充分地實施脫模處理的部分，蛾眼用模具的表面的疏水性產(chǎn)生了不均。另一方面，使用濃度為
O.10%和O. 20%的脫模劑而實施了脫模處理的蛾眼用模具的整個面都顯示了充分的疏水性。然后，對蛾眼用模具100的表面施與溶劑。這時，如圖2(b)所示，例如使用噴射噴嘴52利用噴涂方式施與溶劑。此處施與的溶劑典型來說是脫模劑中包含的溶劑，但不限于此，只要是能夠溶解脫模劑中包含的具有脫模性的氟類化合物的溶劑即可。使用一流體噴嘴作為噴射噴嘴52。作為一流體噴嘴，例如使用在噴出溶劑的同時，噴出霧化空氣和圖案空氣的一流體噴嘴。從噴嘴噴出的溶劑的液滴被霧化空氣薄霧化。通過控制霧化空氣的壓力，能夠控制薄霧化了的液滴的大小。另外，通過控制圖案空氣的壓力，能夠控制薄霧化了的液滴的動能。另外，能夠控制噴射圖案的大小和形狀。此外，溶劑的液滴優(yōu)選被薄霧化到在到達(dá)模具之前不揮發(fā)的程度。另外，為了將溶劑的液滴到達(dá)蛾眼用模具100的表面時的沖擊變小，優(yōu)選控制液滴的動能。接著，利用噴涂方式對蛾眼用模具100的表面施與脫模劑。這時，如圖2(c)所示，例如使用噴射噴嘴54。作為噴射噴嘴54，例如使用二流體噴嘴。其有如下優(yōu)點通過使用二流體噴嘴進(jìn)行脫模劑的施與，例如能夠?qū)姵龅拿撃┑囊旱渭?xì)微化。在蛾眼用模具100的多孔氧化鋁層14的表面形成有多個微細(xì)凹部14p。被施與到表面的脫模劑的液滴保存在凹部14p內(nèi)，因此氟類化合物的濃度容易變得在每個凹部14p 不同。因此，溶劑蒸發(fā)而殘留在表面的氟類化合物的量(氟類化合物層的厚度)也容易變得在每個凹部14p不同。而且，若使用噴涂法，則在脫模劑的液滴到達(dá)蛾眼用模具100的表面之前，脫模劑的液滴中的溶劑的一部分汽化，氟類化合物容易偏析。因此，若用噴涂法對多孔氧化鋁層的表面施與脫模劑，則有時不能夠均勻地實施脫模處理。根據(jù)本發(fā)明的實施方式的脫模處理方法，如參照圖2(b)來說明的那樣，在施與脫模劑之前對多孔氧化鋁層的表面施與溶劑，到達(dá)表面的脫模劑的液滴中的氟類化合物被稀釋，能夠在溶劑蒸發(fā)之前在表面上擴(kuò)散。因此能夠沒有不均地實施脫模處理。施與上述的脫模劑的工序(圖2(c))優(yōu)選在能夠溶解脫模劑的氟類化合物的溶劑的氣氛中進(jìn)行。通過在溶劑的氣氛中施與脫模劑，能夠抑制從噴射噴嘴噴出的脫模劑的液滴中的溶劑或存在于蛾眼用模具100的表面的溶劑的汽化。因此能夠容易使脫模劑中包含的氟類化合物擴(kuò)展。然后，示出實施例和比較例。在實施例I中，利用參照圖I說明的方法實施了脫模處理。在比較例I中，除了沒有進(jìn)行施與溶劑的工序以外，利用與實施例I相同的方法實施了脫模處理。在實施例I中，首先準(zhǔn)備了按如下方式制作的蛾眼用模具。此處使用的蛾眼用模具是使用例如上述專利文獻(xiàn)3和4所記載的方法通過反復(fù)進(jìn)行鋁基材的陽極氧化和蝕刻來制作的。作為基材，使用了通過在基板(玻璃基板，IOcmX IOcm，厚度3cm)上實施噴涂法來形成厚度為I μ m的招膜18而制作出的基材。使用該基材，首先，通過進(jìn)行陽極氧化，在鋁膜18的表面形成了多孔氧化鋁層。陽極氧化工序使用草酸水溶液(濃度O. 05mol/L,液溫3°C )施加80V進(jìn)行了 60秒鐘。作為電極，使用了 Pt板。將電極和基材的距離設(shè)為150mm。然后，通過進(jìn)行蝕刻，完全除去了多孔氧化鋁層。蝕刻工序使用磷酸水溶液(濃度8mol/L，液溫30°C )進(jìn)行了 90分鐘。然后，將陽極氧化工序和蝕刻工序交替進(jìn)行了 5次(5次陽極氧化，4次蝕刻)。陽極氧化工序與上述一樣，使用草酸水溶液(濃度O. 05mol/L,液溫3°C )施加80V進(jìn)行了 60秒鐘。蝕刻工序使用磷酸水溶液(濃度8mol/L，液溫30°C )進(jìn)行了 20分鐘。
這樣得到的蛾眼用模具，形成有深度為400nm的程度、細(xì)孔間隔為ISOnm的程度的多個細(xì)孔。然后，如下所示，利用參照圖I說明的方法進(jìn)行了蛾眼用模具的脫模處理。此外，如上述那樣進(jìn)行陽極氧化工序和蝕刻工序后，在溫度為22°C、濕度為30%的清潔室內(nèi)放置7天后實施了脫模處理。下面的工序是在清凈度等級為1000的清潔室內(nèi)進(jìn)行的。首先，通過使用二流體噴嘴對蛾眼用模具的表面噴吹純水進(jìn)行了清洗。清洗后使用吹N2對蛾眼用模具的表面進(jìn)行了干燥。對蛾眼用模具的表面進(jìn)行干燥后，使用清潔爐進(jìn)行了焙烤。將焙烤條件設(shè)為150°C、30min。然后，施與溶劑(稀釋劑ZV)后，利用噴涂法施與了包含全氟辛基丙烯酸乙酯的單獨(dú)聚合物的脫模劑佛勞勞薩夫FG5010Z130-0. 1，全氟辛基丙烯酸乙酯的單獨(dú)聚合物作為具有脫模性的氟類化合物。溶劑的施與是使用一流體噴嘴進(jìn)行的。脫模劑的施與使用了二流體噴嘴。 施與脫模劑后進(jìn)行焙烤工序、沖洗工序、干燥工序，然后又進(jìn)行了焙烤工序。焙烤工序與上述一樣，是使用清潔爐，在150°c、30min的條件下進(jìn)行的。沖洗工序是使用二流體噴嘴、用淋浴方式進(jìn)行的。作為沖洗液，使用了脫模劑中包含的溶劑。在比較例I中，使用用與實施例I相同的方法制作的蛾眼用模具，不進(jìn)行施與溶劑的工序而通過利用噴涂法施與與實施例I相同的脫模劑實施了脫模處理。即，除了沒有進(jìn)行施與溶劑的工序以外，利用與實施例I相同的方法實施了脫模處理。對于實施例I和比較例I的脫模處理后的蛾眼用模具的表面，在熒光燈正下方通過目視調(diào)查了有無涂敷不均。在比較例I的脫模處理后的蛾眼用模具的表面存在以目視能夠確認(rèn)的大小(毫米級)的不均。另一方面，在實施例I的脫模處理后的蛾眼用模具的表面，未看到涂敷不均。通過在施與脫模劑之前施與溶劑，能夠均勻地實施脫模處理。在實施例I中能夠均勻地實施脫模處理，從而能夠如下面說明的那樣，在使用蛾眼用模具制作的防反射膜的表面均勻地形成蛾眼結(jié)構(gòu)。防反射膜如上述專利文獻(xiàn)4所記載的那樣，是利用使用光固化性樹脂的方法按如下方式制作的。首先，在被轉(zhuǎn)印物(PET膜(厚度ΙΟΟμπι))上使用注射器施與了光固化性樹脂(丙烯酸樹脂)。接著，將利用上述實施例I的方法實施了脫模處理的蛾眼用模具的表面在真空中按壓于光固化性樹脂，將光固化性樹脂填充到蛾眼用模具的凹凸結(jié)構(gòu)中。之后，通過對凹凸結(jié)構(gòu)中的光固化性樹脂照射2分鐘紫外線(365nm，1000mW/cm2)，將光固化性樹脂固化。之后，通過將蛾眼用模具從基板分離，制作了防反射膜。同樣地，使用利用上述比較例I的方法實施了脫模處理的蛾眼用模具制作了防反射膜。在圖3(a)中示出使用利用實施例I的方法實施了脫模處理的蛾眼用模具制作的防反射膜的表面的光學(xué)顯微鏡像，在圖3(b)中示出使用利用比較例I的方法實施了脫模處理的蛾眼用模具制作的防反射膜的表面的光學(xué)顯微鏡像。此外，圖3(a)和(b)所示的光學(xué)顯微鏡像是在防反射膜的背面貼上黑的樹脂板(丙烯酸板)后拍攝的光學(xué)顯微鏡像。如圖3(b)所示，在使用利用比較例I的方法實施了脫模處理的蛾眼用模具制作的防反射膜的表面存在看起來發(fā)白的部分。從表面的法線方向看時的白的部分的二維大小為200 300μπι的程度。用掃描型電子顯微鏡(SEM)調(diào)查時，在看起來發(fā)白的部分形成有高度為200nm的程度的多個突起。另一方面，在看起來很黑的部分形成有高度為400nm的程度的多個突起。可以想到，形成有高度為200nm的程度的多個突起的部分的多個突起較低，從而不能夠充分地防反射，因此反射率高、看起來發(fā)白。可以想到，在防反射膜的表面存在形成有較低的突起的部分的一個原因是，在蛾眼用模具的表面，氟類化合物偏析到蛾眼用模具的表面的一部分細(xì)孔中，細(xì)孔變淺，進(jìn)行轉(zhuǎn)印時，在被轉(zhuǎn)印物的表面的一部分上形成了低的突起。另外，可以想到，利用比較例I的脫模處理方法來實施脫模處理時，氟類化合物沒有充分地擴(kuò)展，從而存在氟類化合物沒有充分地存在的部分?？梢韵氲?，在氟類化合物不充分存在而脫模性低的部分，光固化性樹脂沒有剝離，從而存在不會形成期望的蛾眼結(jié)構(gòu)的部分。另一方面，如圖3(a)所示，在使用實施例I的蛾眼用模具制作的防反射膜的表面看不到使用比較例I的蛾眼用模具制作的防反射膜(圖3(b))那樣的白的部分。由此可知，使用實施例I的蛾眼用模具制作的防反射膜的表面遍及整體反射率都低?？梢韵氲剑軌虮榧罢麄€表面降低反射率，是因為利用實施例I的脫模處理方法能夠沒有不均地實施脫模處理，所以能夠在防反射膜的整個表面形成期望的蛾眼結(jié)構(gòu)。這樣，根據(jù)本發(fā)明的實施方式的脫模處理方法，能夠確認(rèn)即使通過利用噴涂法施 與脫模劑，也能夠沒有不均地實施脫模處理。對于實施例I的蛾眼用模具，調(diào)查了脫模劑的涂著效率。作為涂著效率，將蛾眼用模具的表面的脫模劑的附著量相對于脫模劑的投入量的比用百分率來求出時，為60%以上。另一方面，比較例I的涂著效率為40%以下。調(diào)查了當(dāng)與比較例I 一樣不進(jìn)行施與溶劑的工序而是通過利用噴涂法施與脫模劑來實施脫模處理時，加大液滴尺寸后，上述的涂敷不均是否得到改善。在不進(jìn)行施與溶劑的工序而是施與了脫模劑的比較例I中，在脫模劑的液滴到達(dá)蛾眼用模具之前，溶劑揮發(fā)，不能夠使氟類化合物擴(kuò)散。因此，嘗試了利用加大液滴尺寸使液滴在到達(dá)蛾眼用模具時溶劑大量殘留的方法，使脫模劑的液滴容易擴(kuò)散。但是，根據(jù)該方法，脫模劑的液滴流淌，偏向蛾眼用模具的下部，產(chǎn)生了涂敷不均。另外，嘗試了利用增加涂敷次數(shù)而加厚脫模劑的膜的方法來改善涂敷不均，但效果很小。另外，不管是加大了液滴尺寸的情況還是增加了涂敷次數(shù)的情況，脫模劑的涂著效率都降低了。另外，對于實施例I的蛾眼用模具，調(diào)查了脫模處理后的表面有無二維大小超過100 μ m的異物。在使用光學(xué)顯微鏡(倍率100倍)觀察時沒有看到二維大小超過100 μ m的異物。此外，如上述那樣在實施例I中，在前清洗中使用了二流體噴嘴，但在使用淋浴噴嘴代替二流體噴嘴進(jìn)行了前清洗時，在脫模處理后的表面存在很多異物。即利用淋浴噴嘴，異物的除去效果很小。另外，在調(diào)查比較例I的蛾眼用模具時，在脫模處理后的蛾眼用模具的表面存在異物。然后，參照圖4(a)來說明本發(fā)明的實施方式的脫模處理裝置。圖4(a)是脫模處理裝置80的示意圖。此處例舉對輥狀的蛾眼用模具100進(jìn)行脫模處理的情況。如圖4(a)所示，脫模處理裝置80具有溶劑噴嘴82、脫模劑噴嘴84、施與室86以及溶劑槽88。溶劑噴嘴82和脫模劑噴嘴84配置于施與室86內(nèi)。溶劑噴嘴82在脫模劑噴嘴84下側(cè)并空開一定的間隔而配置。溶劑噴嘴82和脫模劑噴嘴84，例如利用未圖示的升降機(jī)構(gòu)，在圖4(a)所示的實線箭頭的方向保持一定的間隔以相同速度移動。溶劑噴嘴82例如為噴射噴嘴，噴射能夠溶解具有脫模性的氟類化合物的溶劑。脫模劑噴嘴84為噴射脫模劑的噴射噴嘴。
溶劑槽88中存留有能夠溶解具有脫模性的氟類化合物的溶劑。溶劑槽88配置于施與室86的下部。溶劑槽88內(nèi)的溶劑汽化，從而在施與室86內(nèi)形成溶劑的氣氛。蛾眼用模具100以使長軸方向與溶劑噴嘴82和脫模劑噴嘴84的移動方向大致平行的方式配置于施與室86內(nèi)。溶劑噴嘴82和脫模劑噴嘴84例如在鉛垂方向移動，蛾眼用模具100以使長軸方向與鉛垂方向大致平行的方式直立配置。利用在蛾眼用模具100的長軸方向移動的溶劑噴嘴82對蛾眼用模具100施與溶劑。這時，蛾眼用模具100借助于未圖示的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)在蛾眼用模具100的圓周方向旋轉(zhuǎn)。這樣，蛾眼用模具100的整個外周面被施與溶劑。利用脫模劑噴嘴84對蛾眼用模具100的外周面的施與了溶劑的部分施與脫模齊U。脫模劑噴嘴84，與溶劑噴嘴82—樣，平行于蛾眼用模具100的長軸地移動。這時，蛾眼用模具100旋轉(zhuǎn)，從而整個外周面被施與脫模劑。從蛾眼用模具100的上端向下端進(jìn)行處理時，也可以一邊從溶劑噴嘴82噴射溶齊U，一邊從脫模劑噴嘴84噴射脫模劑。溶劑噴嘴82和脫模劑噴嘴84保持一定的間隔，平行于長軸地移動。此外，例如也可以使溶劑噴嘴82和脫模劑噴嘴84分別獨(dú)立移動，施與溶劑后施與脫模劑?！だ纾?dāng)對直徑為65mm、長度為370mm的輥狀的蛾眼用模具100進(jìn)行溶劑的施與和脫模劑的施與時，溶劑噴嘴82和脫模劑噴嘴84的間隔為70mm。另外，溶劑以流量為O. 06L/sec、噴射角度為30°、噴射壓力為0.2 O. 4MPa、每次180秒鐘來施與。脫模劑以流量為O. 008L/Sec、噴射角度為30°、霧化空氣的噴射壓力為O. 4MPa、圖案空氣的噴射壓力為
O.3MPa來施與。脫模劑的施與時間為，例如，施與3次脫模劑時，每次37秒鐘，共計111秒鐘。對蛾眼用模具100施與溶劑后到施與脫模劑為止的時間為60sec。另外，使溶劑噴嘴82和脫模劑噴嘴84保持一定的間隔在長軸方向移動，從蛾眼用模具100的上端向下端進(jìn)行處理時，使溶劑噴嘴82和脫模劑噴嘴84保持一定的間隔的情況下以lOcm/s向下移動。以60rpm旋轉(zhuǎn)蛾眼用模具100。在脫模處理裝置80中，蛾眼用模具100是在施與室86內(nèi)被施與脫模劑，因此是在溶劑的氣氛中被施與脫模劑。因此，如上述那樣脫模劑容易擴(kuò)展。此外，例如在施與室86內(nèi)如圖4(a)中虛線箭頭所示那樣產(chǎn)生上升氣流，從而能夠在施與室86內(nèi)有效地形成溶劑的氣氛。作為施與脫模劑的噴射噴嘴，例如能夠使用一流體噴嘴和二流體噴嘴。通過使用二流體噴嘴，能夠?qū)姵龅拿撃┑囊旱渭?xì)微化。另外，也能夠使用螺旋噴嘴。若使用螺旋噴嘴，則能夠產(chǎn)生螺旋狀的氣流，因此能夠一邊旋轉(zhuǎn)脫模劑的液滴，一邊將其施與到蛾眼用模具100的表面。這時，能夠?qū)⒚撃┑囊旱蔚竭_(dá)蛾眼用模具100時的沖擊變小，因此能夠減少在蛾眼用模具100的表面濺起的液滴。此外，在比較使用二流體噴嘴和螺旋噴嘴來施與脫模劑的涂著效率時，二流體噴嘴為40 60%，與此相對，螺旋噴嘴為20 40%。因此，從涂著效率的觀點來看優(yōu)選二流體噴嘴。此外，根據(jù)本發(fā)明人的研究，螺旋噴嘴的涂著效率能夠通過周圍環(huán)境的調(diào)整(例如，設(shè)為高氣密設(shè)計)或靜電涂敷的利用而提高到60 80%。脫模劑的施與也可以利用靜電噴射方式來進(jìn)行。不管在使用二流體噴嘴和螺旋噴嘴的哪一個的情況下也都可以在噴嘴的頂端設(shè)置過濾器使脫模劑中的異物不噴出。此外，施與溶劑的噴射噴嘴能夠使用與用于脫模劑的施與的噴射噴嘴一樣的噴射噴嘴。例舉了在圖4(a)所示的脫模處理裝置80中將輥狀的蛾眼用模具100以使長軸方向與鉛垂方向平行的方式直立配置的情況，但輥狀的蛾眼用模具100的長軸方向也可以從鉛垂方向傾斜。參照圖4(b)來說明輥狀的蛾眼用模具100的長軸方向從鉛垂方向的偏離。使用直徑為65mm、長度為345mm的輥狀的蛾眼用模具100，將蛾眼用模具100的轉(zhuǎn)速設(shè)為60rpm，將噴嘴的移動速度設(shè)為lOmm/sec，研究了從鉛垂方向的偏離。將噴嘴84和蛾眼用模具100的距離(圖4(b)所示的WD)設(shè)為了 70mm。此外，在此，WD為如圖4(b)所示，通過蛾眼用模具100的底面的中心向鉛垂方向延伸的軸J2和噴嘴84頂端的距離。在研究蛾眼用模具100的中心軸Jl和通過蛾眼用模具100的底面的中心向鉛垂方向延伸的軸J2的距離X (蛾眼用模具100的上表面的中心和軸J2的距離)的大小后發(fā)現(xiàn)，當(dāng)X > IOmm時產(chǎn)生了脫模劑的施與不均。另外，在研究WD的大小后發(fā)現(xiàn)，當(dāng)WD < 20mm以及WD > 130mm時產(chǎn)生了脫模劑的施與不均。因此，在該情況下，優(yōu)選X < IOmm,另外，優(yōu)選20mm <WD < 130mm。如下面說明的那樣，與不清洗的情況相比，通過在施與溶劑之前進(jìn)行蛾眼用模具的清洗工序(圖1(b))，能夠提高脫模處理的效果。
若進(jìn)行陽極氧化和蝕刻后長時間放置在大氣中后實施脫模處理，則有時不能夠得到充分的脫模性。在陽極氧化后的多孔氧化鋁層的表面存在含水氧化鋁、鋁-草酸螯合物以及草酸鹽。若將蛾眼用模具放置在大氣中，則它們與大氣中的水分反應(yīng)，形成以氧化鋁的水合物或草酸鹽為起因的羧酸。若在陽極氧化皮膜的表面形成氧化鋁的水合物，則氟類化合物對表面的貼緊性變低。因此，可以想到，在實施脫模處理后不能夠得到充分的脫模性。如下所示，從脫模處理后的蛾眼用模具的表面對水的接觸角的大小調(diào)查了脫模性。若在進(jìn)行陽極氧化和蝕刻后長時間(超過48小時)放置在大氣中后實施脫模處理，則脫模處理后的表面的接觸角比在進(jìn)行陽極氧化和蝕刻后在48小時以內(nèi)實施了脫模處理的蛾眼用模具小。在陽極氧化和蝕刻后I天以內(nèi)實施了脫模處理后測量對水的接觸角時，為140°以上。另一方面，在陽極氧化和蝕刻后在大氣中放置3天后實施脫模處理時，對水的接觸角為135°以下。即，在大氣中放置3天后實施了脫模處理的蛾眼用模具的表面的、脫模處理后的對水的接觸角，比在陽極氧化和蝕刻后I天以內(nèi)實施了脫模處理的蛾眼用模具的表面的、脫模處理后的對水的接觸角小。可以想到，如上述那樣，若將蛾眼用模具放置在大氣中，則在表面形成較多的水合物。可以想到，在形成有水合物的表面，氟類化合物的貼緊性低，因此，若形成水合物，則脫模處理后的表面對水的接觸角變小。脫模處理后的表面的接觸角小意味著脫模性低。即，若脫模處理后的表面的接觸角小，則不能夠得到充分的脫模性。因此，若將脫模處理后的接觸角小的蛾眼用模具用于防反射膜的制造，則有時不能夠形成期望的蛾眼結(jié)構(gòu)。如下所示，即使在進(jìn)行陽極氧化和蝕刻后在大氣中放置2天 23天的情況下，與不清洗的情況相比，通過在施與溶劑和脫模劑之前清洗蛾眼用模具的表面，也能夠加大脫模處理后的蛾眼用模具的表面對水的接觸角。下面，示出調(diào)查了利用不同的清洗方法清洗的蛾眼用模具的、脫模處理后的表面對水的接觸角的實驗結(jié)果。在此，作為清洗方法，研究了準(zhǔn)分子UV光的照射、使用超純水的流水清洗、使用還原性電解離子水的浸潰清洗、使用丙酮的浸潰清洗以及使用磷酸的浸潰清洗。如下所示，在進(jìn)行陽極氧化和蝕刻而制作出蛾眼用模具之后將其在大氣中放置了2天或23 24天。之后，清洗蛾眼用模具后，實施脫模處理，調(diào)查了脫模處理后的表面對水的接觸角。根據(jù)本發(fā)明人的研究可知，若將多孔氧化鋁層放置I周以上，則表面存在的含水氧化鋁、鋁-草酸螯合物、草酸鹽中的大部分與大氣中的水分反應(yīng)而形成水合物。將放置的天數(shù)設(shè)為23 24天，使上述的含水氧化鋁等的大部分反應(yīng)。首先，在與上述實施例I 一樣的陽極氧化條件和蝕刻條件下制作了蛾眼用模具。將得到的蛾眼用模具在大氣中放置2天后，利用上述任一項的清洗方法清洗。之后，利用與上述實施例I 一樣的方法，按如下順序進(jìn)行干燥、焙烤、溶劑施與、脫模劑施與、焙烤、沖洗、干燥以及焙烤。此外，對于通過照射準(zhǔn)分子UV光來清洗的蛾眼用模具，清洗后不進(jìn)行對蛾眼用模具的表面進(jìn)行干燥的工序和焙烤工序。之后，測量了蛾眼用模具的表面對水的接觸角。接觸角使用協(xié)和界面科學(xué)公司(協(xié)和界面科學(xué)社)制造的便攜式接觸角計來測量。
表I示出在大氣中放置2天后進(jìn)行上述任一項的清洗工序后進(jìn)行了脫模處理的蛾眼用模具12e、12j、12k、12r的接觸角和不進(jìn)行清洗工序而進(jìn)行了脫模處理的蛾眼用模具12η的接觸角。通過對蛾眼用模具12e照射準(zhǔn)分子UV (波長172nm，100W, 150sec)進(jìn)行了清洗。準(zhǔn)分子UV清洗是使用牛尾(USHIO)電機(jī)株式會社制造的準(zhǔn)分子光照射組件。對于蛾眼用模具12j，使用超純水進(jìn)行了流水清洗(60seC)。對于蛾眼用模具12k，在還原性電解離子水中浸潰后使用純水進(jìn)行了清洗(30sec)。對于蛾眼用模具12r，在磷酸(lmol/L)中浸潰后用純水進(jìn)行了清洗(30sec)。[表I]
~12e~~12j~~12k~~12r~~12η~
接觸角(° )142.3 142.5 143.3 143.2 134.7如表I所示，在大氣中放置2天后不進(jìn)行清洗工序而實施了脫模處理的蛾眼用模具12η的脫模處理后的表面對水的接觸角為134.7°。另一方面，通過在進(jìn)行清洗工序后進(jìn)行脫模處理，能夠?qū)⒍暄塾媚＞?2e、12j、12k、12r的脫模處理后的接觸角加大到140°以上。這樣，與不進(jìn)行清洗工序而實施了脫模處理的蛾眼用模具12η相比，通過進(jìn)行清洗工序，能夠加大脫模處理后的接觸角?？梢韵氲?，如上述那樣，將蛾眼用模具放置在大氣中，從而在蛾眼用模具的表面形成了水合物，但可以想到，通過進(jìn)行清洗工序，能夠除去水合物，能夠加大脫模處理后的接觸角。另外，從表I可知，特別是進(jìn)行了使用還原性電解離子水的清洗的蛾眼用模具12k和進(jìn)行了使用磷酸的清洗的蛾眼用模具12r的脫模處理后的接觸角大。因此可知，特別是通過進(jìn)行使用還原性電解離子水的清洗和使用磷酸的清洗，能夠得到加大脫模處理后的接觸角的效果。表2示出在大氣中放置23天再進(jìn)行準(zhǔn)分子UV清洗(100W，300SeC)后進(jìn)行了脫模處理的5個蛾眼用模具13el 13e5的接觸角。此外，為了調(diào)查工藝的穩(wěn)定性，對于蛾眼用模具13el 13e5，在相同的條件下實施了清洗和脫模處理。[表2]
權(quán)利要求
1.一種脫模處理方法，包含 工序(a)，準(zhǔn)備包含具有脫模性的氟類化合物和溶劑的脫模劑和表面具有多孔氧化鋁層的模具； 工序(b)，對上述模具的上述表面施與能夠溶解上述氟類化合物的溶劑；以及 工序(C)，在上述工序(b)之后，利用噴涂法對上述模具的上述表面施與上述脫模劑。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的脫模處理方法，上述工序(b)中使用的上述溶劑是與上述脫模劑中包含的上述溶劑相同的溶劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的脫模處理方法，上述脫模劑中包含的上述溶劑為氟類溶劑。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3中的任一項所述的脫模處理方法，上述工序(c)在能夠溶解上述氟類化合物的溶劑的氣氛中進(jìn)行。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4中的任一項所述的脫模處理方法，還包含工序(d):在上述工序(C)之后，沖洗上述模具的上述表面。
6.根據(jù)權(quán)利要求I至5中的任一項所述的脫模處理方法，還包含工序(e):在上述工序(C)和上述工序(d)之間，焙烤上述模具的上述表面。
7.根據(jù)權(quán)利要求I至6中的任一項所述的脫模處理方法，包含工序(f):在上述工序(a)和工序(b)之間，清洗上述模具的上述表面。
8.根據(jù)權(quán)利要求I至7中的任一項所述的脫模處理方法，上述多孔氧化鋁層在表面具有反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)，上述反轉(zhuǎn)的蛾眼結(jié)構(gòu)具有從表面的法線方向看時的二維大小為50nm以上且不到500nm的多個凹部。
9.一種模具，在表面具有多孔氧化鋁層，利用權(quán)利要求I至8中的任一項所述的脫模處理方法來進(jìn)行脫模處理。
10.一種防反射膜的制造方法，包含 準(zhǔn)備權(quán)利要求9所述的模具和被加工物的工序；以及 在上述模具和上述被加工物的表面之間施與了紫外線固化樹脂的狀態(tài)下，通過對上述紫外線固化樹脂照射紫外線，將上述紫外線固化樹脂固化的工序。
11.一種脫模處理裝置，是對模具的表面進(jìn)行脫模處理的裝置， 具備 脫模劑噴嘴，其將包含具有脫模性的氟類化合物和溶劑的脫模劑施與到模具的表面； 溶劑噴嘴，其將能夠溶解上述氟類化合物的溶劑施與到模具的表面； 施與室，其配置有上述脫模劑噴嘴和上述溶劑噴嘴；以及 溶劑槽，其存留有能夠溶解上述氟類化合物的溶劑， 上述溶劑槽內(nèi)的溶劑汽化，從而在上述施與室內(nèi)形成上述溶劑的氣氛，利用上述溶劑噴嘴對上述模具的上述表面施與上述溶劑后，在上述施與室內(nèi)，上述脫模劑噴嘴對上述模具的上述表面噴射上述脫模劑。
12.一種清洗干燥裝置，是模具的表面的清洗干燥裝置，具備 清洗噴嘴，其對模具的表面施與清洗液；以及 氣體噴吹部，其具有對上述模具的上述表面噴吹氣體的多個噴出孔，通過對上述模具的上述表面中的利用由上述清洗噴嘴施與的清洗液清洗了的部分噴吹氣體，使上述部分干燥，上述多個噴 出孔被高低不同地配置。
全文摘要
本發(fā)明的脫模處理方法包含準(zhǔn)備包含具有脫模性的氟類化合物和溶劑的脫模劑和表面具有多孔氧化鋁層(14)的模具(100)的工序；對模具(100)的表面施與能溶解氟類化合物的溶劑的工序；以及之后對模具(100)的表面利用噴涂法施與脫模劑的工序。根據(jù)本發(fā)明，能夠沒有不均地對表面具有多孔氧化鋁層(14)的模具的表面進(jìn)行脫模處理。
文檔編號B29C33/62GK102791453SQ201180012798
公開日2012年11月21日 申請日期2011年3月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月8日
發(fā)明者今奧崇夫, 林秀和 申請人:夏普株式會社