專利名稱：一種楔形膜制作夾具的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于楔形膜制作領(lǐng)域，涉及一種楔形膜制作夾具的裝置。
背景技術(shù)：
楔形介質(zhì)薄膜的制作屬于精密加工領(lǐng)域,不僅要求精確控制楔形介質(zhì)薄膜的厚度變化從幾微米到幾十微米，且厚度變化需符合線性方程，薄膜的使用長度可從幾十毫米達(dá)到幾百毫米。目前世界上只有加拿大等極少數(shù)國家掌握了大尺寸楔形介質(zhì)薄膜的制作技術(shù)，從國外文獻(xiàn)資料了解，他們采用了鍍介質(zhì)膜的工藝方法來實現(xiàn)楔形膜的制作，該方法的工藝過程是:首先，在光學(xué)基板上鍍制半透半反膜，然后在半透半反膜上離子束濺射楔形介質(zhì)膜，最后在介質(zhì)膜上再鍍一層半透半反膜，從而形成楔形介質(zhì)薄膜。該方法的缺點是:1.鍍厚度在5 μ m 40 μ m范圍內(nèi)線性變化的介質(zhì)膜，制作時間長，斜率控制難度大，成活率低；2.厚度較厚的介質(zhì)膜從鍍膜機(jī)的真空環(huán)境中取出后，在空氣中受濕度和內(nèi)應(yīng)力影響而易損壞。中國科技大學(xué)開展了基于斐索干涉儀中楔形腔的小尺寸楔形介質(zhì)膜的制作工藝研究。但是對于大尺寸楔形薄膜的研究、制作在國內(nèi)尚屬空白，如何制作大尺寸楔形薄膜是一個難題，現(xiàn)處于摸索階段。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是:提供一種楔形膜制作夾具的裝置，解決了目前斐索干涉儀中厚度在5um-50um間線性變化的楔形腔制作難、一致性差、成本高或組成楔形腔的光學(xué)元件空間尺寸太大的問題，保證了斐索干涉儀中楔形膜的長度方向厚度均勻變化，提高了楔形膜制作的合格率。本實用新型采取的技術(shù)方案為:一種楔形膜制作夾具的裝置，其特征在于:包括底座I和壓板2兩個部分，底座I表面為斜面5，該斜面5與底座底面7有一定的角度，且斜面5上有矩形凹槽6，壓板2為具有一定厚度的表面面型較好的厚板，其面積完全覆蓋斜面5。凹槽6底面嚴(yán)格平行于底座底面7。所述斜面5與底座底面7有一定的角度由式tan(t=H-h/L確定。使用時壓板2壓在斜面上，在壓板上加力達(dá)到壓制楔形膜的目的。夾具使用過程中，只需將待制作的產(chǎn)品放入凹槽6中，將壓板2蓋在斜面5上，施加足夠的壓力即可使楔形膜成型。該夾具具有加工簡單，使用方便，加工的產(chǎn)品一致性好等特點。本實用新型的有益效果為:本實用新型是一種控制楔形膜成型厚度變化均勻、成型后使得楔形膜表面平滑度好、產(chǎn)品一致性好、使用快速簡單的制作夾具。本實用新型使用的壓板具有較高的剛性和表面平整度，保證了壓印過程中楔形膜的表面質(zhì)量和厚度均勻性。
圖1為本裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為基底結(jié)構(gòu)外形視圖；圖3為楔形膜和基底組合放入底座后截面位置關(guān)系示意圖；圖4為圖3的俯視圖；圖5為壓制楔形膜時整體結(jié)構(gòu)截面剖視圖；圖6為壓制成功的楔形膜。其中，1:底座，2:壓板；3:楔形膜基底，4:楔形膜涂層，5:斜面，6:凹槽。
具體實施方式
下面結(jié)合說明書附圖對本實用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說明。請參閱說明書附圖1 6。圖1為一種楔形膜制作夾具的裝置整體結(jié)構(gòu)示意圖，制作該裝置過程中，要注意底座I材料要有足夠的強(qiáng)度，其斜面凹槽6長度與楔形膜基底3長度相等，凹槽6寬度比楔形膜基底3寬度稍寬，以便于壓制過程中多余的楔形膜涂層材料從兩側(cè)排出。如圖1所示，凹槽6的低端高度h與楔形膜基底3厚度相等，其高端高度H不大于楔形膜基底和楔形膜涂層的厚度和。壓板2是面型為1/10波長(波長為632.8nm)的光學(xué)模板，為了保證在壓制過程中不變形，其厚度大于100mm。實施步驟:1.底座I凹槽內(nèi)涂脫模劑；2.壓板2壓制面涂脫模劑；3.將附有楔形膜涂層4的基底3置于凹槽內(nèi)；4.用壓板2壓制面壓在楔形膜涂層上，并施加適當(dāng)壓力，使壓板2與底座斜面5接觸；5.將夾具和楔形膜一起放入烘箱，烘箱溫度為95 120°C之間，時間為30分鐘；6.脫模并去除脫模劑:7.楔形膜制作完成。該裝置在壓制楔形膜過程中，壓板四周均有支撐，可以保證壓板幾乎無形變，使楔形膜的厚度均勻，該裝置可重復(fù)使用，用同一組夾具壓制出的楔形膜一致性較好，而且該裝置結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，造價低廉，可制作大尺寸楔形膜，克服了傳統(tǒng)利用鍍膜方式制作楔形膜的高成本，耗時長的缺點，具有有益的技術(shù)效果。
權(quán)利要求1.一種楔形膜制作夾具的裝置，其特征在于:包括底座(I)和壓板(2)兩個部分，底座(I)表面為斜面(5)，該斜面(5)與底座底面(7)有一定的角度，且斜面(5)上有矩形凹槽(6)，壓板(2)為具有一定厚度的表面面型較好的厚板，其面積完全覆蓋斜面(5)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種楔形膜制作夾具的裝置，其特征在于，凹槽(6)底面嚴(yán)格平行于底座底面(7)。
專利摘要本實用新型屬于楔形膜制作領(lǐng)域，涉及一種能快速壓制楔形薄膜的裝置。一種楔形膜制作夾具的裝置，包括底座(1)和壓板(2)兩個部分，底座(1)表面為斜面(5)，該斜面(5)與底座底面(7)有一定的角度，且斜面(5)上有矩形凹槽(6)，壓板(2)為具有一定厚度的表面面型較好的厚板，其面積完全覆蓋斜面(5)。使用時壓板(2)壓在斜面上，在壓板上加力達(dá)到壓制楔形膜的目的。本實用新型是一種控制楔形膜成型厚度變化均勻、成型后使得楔形膜表面平滑度好、產(chǎn)品一致性好、使用快速簡單的制作夾具。本實用新型使用的壓板具有較高的剛性和表面平整度，保證了壓印過程中楔形膜的表面質(zhì)量和厚度均勻性。
文檔編號B29C43/02GK202985905SQ20122066868
公開日2013年6月12日 申請日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月4日
發(fā)明者王東輝, 鄭普超, 包艷, 李秉實, 張兵, 張超 申請人:中國航空工業(yè)第六一八研究所