并行掃描激光預(yù)處理裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種并行掃描激光預(yù)處理裝置，屬于光學(xué)【技術(shù)領(lǐng)域】。它包括沿激光傳輸方向設(shè)置的激光光源、機(jī)械快門、能量衰減器、光束匯聚系統(tǒng)、分光劈板和合束鏡，還包括光束輪廓儀、激光能量計(jì)、信標(biāo)光源和電動(dòng)位移臺(tái)；光學(xué)元件置于電動(dòng)位移臺(tái)上；裝置與光學(xué)元件之間設(shè)有傾斜鏡陣列，光學(xué)元件前設(shè)置有檢測(cè)相機(jī)。本實(shí)用新型在重復(fù)利用激光能量提高預(yù)處理效率的同時(shí)，解決了損傷導(dǎo)致的反射輻照不均勻問(wèn)題，可高速有效提升大口徑光學(xué)元件激光損傷閾值。
【專利說(shuō)明】并行掃描激光預(yù)處理裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及光學(xué)元件處理裝置及方法，尤其是其激光預(yù)處理，屬于光學(xué)【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]光學(xué)元件在制作完成后，需要進(jìn)行激光預(yù)處理，目前主要采用小口徑、毫米級(jí)尺寸的激光光斑，通過(guò)光柵單點(diǎn)掃描(raster scan)方式,均勻地對(duì)薄膜元件進(jìn)行照射。由于福照均勻性和通量提升這兩項(xiàng)因素將影響激光預(yù)處理效果，為了保證一片大口徑光學(xué)元件能夠受到均勻的輻照作用，通常在掃描過(guò)程中，光斑間距不能過(guò)大，使得兩次輻照之間有一定的重疊部分，以保證掃描無(wú)盲區(qū)。同時(shí)，需要采用通量逐步提升的方式，平緩地誘導(dǎo)預(yù)處理效果。這兩項(xiàng)因素導(dǎo)致小口徑預(yù)處理存在耗時(shí)長(zhǎng)的缺點(diǎn)。舉例來(lái)說(shuō):采用口徑1mm，重復(fù)頻率IOHz的輻照光斑，處理一片600X600mm 口徑的光學(xué)元件。假定光斑步進(jìn)間距為0.5mm,以保證一定的重疊區(qū)域，在這種情況下，單次全口徑處理需要耗時(shí)40小時(shí)，若需要以三種能量進(jìn)行預(yù)處理，以10%、50%、90%損傷閾值進(jìn)行通量提升，則處理一片元件總共需要120小時(shí)，耗時(shí)相當(dāng)顯著。
[0003]另外，在高功率激光脈沖作用之下，光學(xué)元件極易發(fā)生損傷，光學(xué)元件的損傷問(wèn)題成為目前限制大型激光裝置出光能量繼續(xù)提升的瓶頸。提高元件的抗損傷能力可以從改善元件的制備條件和工藝出發(fā)，但是，受限于材料物性機(jī)制、工藝可行性和成本等因素，難度極大；另一條可行之路則是激光預(yù)處理技術(shù)。它采用較低通量的激光束(較之于元件的損傷閾值)，對(duì)膜面進(jìn)行輻照，可以提高其抗損傷能力。
[0004]在亞閾值光斑的輻照作用之下，元件表面的附著性污染被擊落和分解，同時(shí)被包覆的缺陷也可以被預(yù)引爆和加固，避免其進(jìn)一步增長(zhǎng)；而材料本身所包含的原子離子雜質(zhì)缺陷在激光誘導(dǎo)之下重新結(jié)合，從而使物性趨于穩(wěn)定。
[0005]目前可見的文獻(xiàn)報(bào)道和專利中，主要采用單點(diǎn)逐點(diǎn)掃描方式或利用激光束的多次全反射來(lái)進(jìn)行掃描。單點(diǎn)逐點(diǎn)掃描方式存在耗時(shí)長(zhǎng)的缺點(diǎn)。簡(jiǎn)單利用激光束的多次全反射來(lái)進(jìn)行掃描可以提高效率，但是該方法無(wú)法實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)所有掃描點(diǎn)的狀況，掃描過(guò)程中一旦在某個(gè)反射點(diǎn)產(chǎn)生破壞，其余反射點(diǎn)的能量將急劇變化，產(chǎn)生輻照不均勻問(wèn)題，從而導(dǎo)致整個(gè)元件的預(yù)處理不可控，效果無(wú)法滿足要求。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]針對(duì)上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種對(duì)光學(xué)元件進(jìn)行并行掃描激光預(yù)處理裝置及方法。
[0007]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:
[0008]并行掃描激光預(yù)處理裝置，包括沿激光傳輸方向設(shè)置的激光光源、機(jī)械快門、能量衰減器、光束匯聚系統(tǒng)、分光劈板和合束鏡，還包括光束輪廓儀、激光能量計(jì)、信標(biāo)光源和電動(dòng)位移臺(tái)；光學(xué)元件置于電動(dòng)位移臺(tái)上；裝置與光學(xué)元件之間設(shè)有傾斜鏡陣列，光學(xué)元件前設(shè)置有檢測(cè)相機(jī)。
[0009]本實(shí)用新型采用傾斜鏡組合定位方式，對(duì)反射激光進(jìn)行重復(fù)利用和合理排布，以組束并行掃描的方式實(shí)現(xiàn)均勻輻照過(guò)程，從而大幅度壓縮預(yù)處理時(shí)間周期，同時(shí)，對(duì)掃描區(qū)域進(jìn)行損傷在線診斷。
[0010]本實(shí)用新型的有益效果是，在重復(fù)利用激光能量提高預(yù)處理效率的同時(shí)，解決了損傷導(dǎo)致的反射輻照不均勻問(wèn)題，可高速有效提升大口徑光學(xué)元件激光損傷閾值。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1是本實(shí)用新型總體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2是本實(shí)用新型中掃描方法原理示意圖；
[0013]圖3是光學(xué)元件損傷輻照盲區(qū)形成示意圖。
[0014]圖4是本實(shí)用新型中光斑組束并行掃描方式示意圖
[0015]圖中零部件及編號(hào):
[0016]I一激光光源，2一機(jī)械快門，3一能量裳減器，4一光束匯聚系統(tǒng)，
[0017]5一分光劈板，6—光束輪廓儀，7—激光能量計(jì)，8—/[目標(biāo)光源，
[0018]9 一傾斜鏡陣列，10 一檢測(cè)相機(jī)，11 一光學(xué)兀件，12 —電動(dòng)位移臺(tái)，
[0019]13—合束鏡。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。
[0021]參見圖1一4，并行掃描激光預(yù)處理裝置，包括沿激光傳輸方向設(shè)置的激光光源1、機(jī)械快門2、能量衰減器3、光束匯聚系統(tǒng)4、分光劈板5和合束鏡13，還包括光束輪廓儀6、激光能量計(jì)7、信標(biāo)光源8和電動(dòng)位移臺(tái)12 ;光學(xué)元件11置于電動(dòng)位移臺(tái)12上；裝置與光學(xué)元件11之間設(shè)有傾斜鏡陣列9，光學(xué)元件11前設(shè)置有檢測(cè)相機(jī)10。
[0022]激光光源I為調(diào)Q式固體激光器。信標(biāo)光源8為氦氖激光器。傾斜鏡陣列9的鏡面為鍍有高反射薄膜的凹面鏡。
[0023]傾斜鏡陣列9的角度(自由度)控制由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)(也可手動(dòng)控制)。檢測(cè)相機(jī)10為CCD視覺檢測(cè)相機(jī)。
[0024]并行掃描激光預(yù)處理方法，包括以下步驟:
[0025]A.精確調(diào)節(jié)傾斜鏡陣列9的俯仰角，控制各光斑在光學(xué)元件11反射表面上的位置坐標(biāo)，以此將各光斑排列成規(guī)則分布的組束；組束作為整體以并行方式對(duì)光學(xué)元件11進(jìn)行并行掃描；組束尺寸與檢測(cè)相機(jī)10的視場(chǎng)范圍相匹配；
[0026]B.由能量計(jì)7和光束輪廓儀6測(cè)量脈沖能量和有效面積；
[0027]C.根據(jù)組束尺寸和激光重復(fù)頻率，由電動(dòng)位移臺(tái)12調(diào)整光學(xué)元件11的位移速度；
[0028]D.根據(jù)檢測(cè)相機(jī)10檢測(cè)的損傷坐標(biāo)，計(jì)算光學(xué)元件11的輻照盲區(qū)，并記錄；
[0029]E.并行掃描完畢后，采用單光斑方式對(duì)光學(xué)元件11的輻照盲區(qū)逐一進(jìn)行填充。
[0030]激光光源I輸出脈沖激光；通過(guò)機(jī)械快門2進(jìn)行開關(guān)控制；隨后經(jīng)過(guò)能量衰減器3和光束匯聚系統(tǒng)4，形成預(yù)處理光斑；分光劈板5將少部分激光能量劃分出來(lái)，分別入射至光束輪廓儀6和激光能量計(jì)7 ;信標(biāo)光源8經(jīng)過(guò)合束鏡13進(jìn)入光路，作為參考光束；激光在光學(xué)元件11和傾斜鏡陣列9之間多次反射，形成光斑組束；光學(xué)元件11通過(guò)電動(dòng)位移臺(tái)12進(jìn)行夾持和掃描；CCD視覺檢測(cè)相機(jī)10用于對(duì)損傷導(dǎo)致的輻照盲區(qū)進(jìn)行在線監(jiān)測(cè)。
[0031]本實(shí)用新型原理如圖2所示。預(yù)處理光束在反射光學(xué)元件11表面和傾斜鏡陣列9之間多次反射，可以實(shí)現(xiàn)激光能量的反復(fù)利用，形成N個(gè)光斑構(gòu)成的組束(圖中S1-S9為3X3光斑組束方式示意)，作為整體進(jìn)行并行掃描。其具體方式如圖4所示:光斑組束按照箭頭方向行進(jìn)，步進(jìn)間距取決于組束的整體尺寸。首先從左至右進(jìn)行掃描(圖中圓點(diǎn)標(biāo)示省略)，到達(dá)邊緣之后，向下步進(jìn)，然后從右至左反向掃描。循環(huán)此步驟，直到光學(xué)元件11表面輻照完畢。該方式可以將預(yù)處理耗時(shí)壓縮為單光斑掃描方式的1/N。在掃描的同時(shí)，采用CCD視覺檢測(cè)相機(jī)10對(duì)輻照區(qū)域進(jìn)行在線損傷診斷。為了保證足夠的損傷分辨率尺度，成像系統(tǒng)需要保持一定的放大倍率，因此，相應(yīng)的成像視場(chǎng)不會(huì)太大，通常為數(shù)毫米尺寸以內(nèi)。因此，雖然重復(fù)使用傾斜鏡反射能夠獲得相當(dāng)大的光斑組束，但是，為了與成像視場(chǎng)范圍相匹配，通常，3X3、4X4的組束規(guī)格較為實(shí)用。設(shè)元件表面與傾斜鏡面上薄膜的反射率為R，假定入射激光通量為P，則兩次相鄰反射點(diǎn)之間的能量比例關(guān)系為R2，所以，第N個(gè)反射點(diǎn)的輻射通量表達(dá)式為:PN=PR2N，以3X3組束、R=99.9%為例，第9個(gè)反射點(diǎn)的能量是第I個(gè)反射點(diǎn)的98.2%，能量損失相對(duì)較小，因此，可以認(rèn)為光斑組束范圍內(nèi)承受的輻照效果是均勻的。
[0032]傾斜鏡陣列9是一組置于處理元件前的傾斜反射鏡，鏡面由鍍有高反射薄膜的凹面鏡構(gòu)成。
[0033]激光光源I用于輸出滿足元件預(yù)處理需求的脈沖激光，本實(shí)施方式采用調(diào)Q式固體激光器。
[0034]機(jī)械快門2進(jìn)行開關(guān)控制，光斑輻照通量與場(chǎng)分布通過(guò)能量衰減器3和光束匯聚系統(tǒng)4進(jìn)行控制。
[0035]預(yù)處理激光參數(shù)包括脈沖能量和有效面積，由能量計(jì)7和光束輪廓儀6進(jìn)行測(cè)量。
[0036]信標(biāo)光源8輸出光束作為參考主光軸,輔助光路調(diào)節(jié),本實(shí)施方式米用氦氖激光器。
[0037]在待處理光學(xué)元件11之前放置傾斜鏡陣列9，鏡面由鍍有高反射薄膜的凹面鏡構(gòu)成，本實(shí)施方式中傾斜自由度控制采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)；也可采用手動(dòng)。
[0038]激光束在光學(xué)元件11和傾斜鏡陣列9之間多次反射，形成光斑組束；激光束經(jīng)反射之后，被傾斜鏡收集并再次反射輸出，重新回到光學(xué)元件11表面，形成一個(gè)新的作用光斑；即入射激光束照射至Si位置，同時(shí)，一面傾斜鏡位于其反射光路中，出射光束經(jīng)反射后再次后入射至S2位置，形成新的預(yù)處理光斑，同時(shí)又反射至下一面傾斜鏡；重復(fù)此過(guò)程，利用N面合理定位的傾斜鏡陣列，在光學(xué)元件11表面上形成N個(gè)作用光斑。
[0039]電動(dòng)位移臺(tái)12用于光學(xué)元件11的夾持和掃描，根據(jù)組束尺寸和激光重復(fù)頻率，調(diào)整位移速度，實(shí)現(xiàn)以組束為整體的并行掃描。
[0040]組束尺寸與CXD視覺檢測(cè)相機(jī)10的成像視場(chǎng)范圍相匹配。由于預(yù)處理過(guò)程中損傷的出現(xiàn)將阻擋光束向下一個(gè)位置的反射，因此，在并行掃描方式下，損傷點(diǎn)周圍存在未受到輻照處理的局部盲區(qū)，當(dāng)CCD視覺檢測(cè)相機(jī)10檢測(cè)到損傷出現(xiàn)之后，根據(jù)損傷坐標(biāo)計(jì)算出反射輻照盲區(qū)，并進(jìn)行記錄。[0041] 在實(shí)際預(yù)處理過(guò)程中，光學(xué)元件11表面將不可避免地出現(xiàn)損傷，這些損傷點(diǎn)將阻礙光束的繼續(xù)反射，此過(guò)程原理如圖3所示:假設(shè)在S4位置發(fā)生了損傷，則S5 — S9位置的反射光斑將不能形成，使得該部分區(qū)域成為輻照盲區(qū)。因此，在損傷診斷過(guò)程中，需要根據(jù)損傷位置計(jì)算出盲區(qū)范圍，在并行掃描完畢之后，采用單光斑方式，對(duì)這些輻照盲區(qū)逐一進(jìn)行填充，以保證預(yù)處理輻照能量均勻性。
【權(quán)利要求】
1.一種并行掃描激光預(yù)處理裝置，包括沿激光傳輸方向設(shè)置的激光光源(I)、機(jī)械快門(2 )、能量衰減器(3 )、光束匯聚系統(tǒng)(4 )、分光劈板(5 )和合束鏡(13)，還包括光束輪廓儀(6 )、激光能量計(jì)(7 )、信標(biāo)光源(8 )和電動(dòng)位移臺(tái)(12 );光學(xué)元件(11)置于電動(dòng)位移臺(tái)(12 )上；其特征在于，裝置與光學(xué)元件(11)之間設(shè)有傾斜鏡陣列(9)，光學(xué)元件(11)前設(shè)置有檢測(cè)相機(jī)(10)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的并行掃描激光預(yù)處理裝置，其特征在于，所述的激光光源(I)為調(diào)Q式固體激光器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的并行掃描激光預(yù)處理裝置，其特征在于，所述的信標(biāo)光源(8)為氦氖激光器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的并行掃描激光預(yù)處理裝置，其特征在于，所述的傾斜鏡陣列(9)的鏡面為鍍有高反射薄膜的凹面鏡。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的并行掃描激光預(yù)處理裝置，其特征在于，所述的傾斜鏡陣列(9)的角度控制由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的并行掃描激光預(yù)處理裝置，其特征在于，所述的檢測(cè)相機(jī)(10)為C⑶視覺檢測(cè)相機(jī)。
【文檔編號(hào)】B29C71/04GK203449618SQ201320533673
【公開日】2014年2月26日 申請(qǐng)日期:2013年8月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月30日
【發(fā)明者】馬平, 鄭軼, 劉志超, 浦云體, 王剛 申請(qǐng)人:成都精密光學(xué)工程研究中心