本發(fā)明屬于切割膜制備方法,具體為一種芯片切割膜的制備方法。
背景技術(shù):
1、芯片切割膜是一種特殊的薄膜,通常由聚合物材料制成,具有良好的黏附性和耐高溫性能。在晶圓切割過(guò)程中,芯片切割膜被涂覆在硅晶圓上,然后使用激光或其他切割工具根據(jù)設(shè)計(jì)要求將晶圓切割成獨(dú)立的芯片或器件。切割膜在切割過(guò)程中起到保護(hù)晶片的作用,確保芯片或器件不會(huì)受到損壞。現(xiàn)有的芯片切割膜在制備過(guò)程中,尤其是膜材切邊時(shí),僅僅通過(guò)固定在切割架的切刀快速切割膜材,且切割架固定設(shè)置在工作臺(tái)上,若需要調(diào)整切割的距離則需要人工調(diào)整,增加了加工的時(shí)間,非常麻煩。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明的目的是針對(duì)現(xiàn)有的技術(shù)存在上述問(wèn)題,提出了一種芯片切割膜的制備方法,具有易于貼剝、不移膠、不破裂的優(yōu)點(diǎn)。
2、本發(fā)明的目的可通過(guò)下列技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):一種芯片切割膜的制備方法,其特征在于,所述制備方法包括以下步驟:
3、s1、按質(zhì)量份數(shù)將pvc樹(shù)脂粉100份、增塑劑30份、穩(wěn)定劑2.2份、藍(lán)色色料0.07、紅色色料0.04、加工助劑0.6份經(jīng)高攪投入攪拌機(jī)經(jīng)高速攪拌混合均勻;
4、s2、s1中的物料再經(jīng)擠出、開(kāi)煉、過(guò)濾、壓延、冷卻、切邊、卷曲等工段制得成品。
5、優(yōu)選的,所述步驟s2中的切邊裝置包括工作臺(tái),所述工作臺(tái)的上具有用于輸送膜材的輸送輥以及安裝在工作臺(tái)左右兩側(cè)的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上滑動(dòng)設(shè)置有工作架,所述工作架上對(duì)稱開(kāi)設(shè)有兩個(gè)第一凹槽,所述工作架上對(duì)稱安裝有第一安裝框,工作架的中心具有分隔板,所述第一安裝框上安裝有第一驅(qū)動(dòng)電機(jī),所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸上傳動(dòng)連接有第一絲桿,所述第一安裝框的框內(nèi)兩側(cè)安裝有第一導(dǎo)軌,兩個(gè)所述第一導(dǎo)軌上都滑動(dòng)設(shè)置有第一滑動(dòng)座,所述第一滑動(dòng)座與第一絲桿相連接,所述第一安裝框的底部開(kāi)設(shè)有與第一凹槽相連通的通槽,所述通槽槽內(nèi)兩側(cè)安裝有第二導(dǎo)軌,所述第一滑動(dòng)座的底部具有第一滑動(dòng)塊,所述第一滑動(dòng)塊滑動(dòng)設(shè)置在第二導(dǎo)軌上,所述第一滑動(dòng)塊的頂部具有用于指向切割膜材寬度的測(cè)量件,所述第一安裝框的一側(cè)具有刻度板,所述測(cè)量件指向刻度板;所述第一滑動(dòng)塊的底部固定有升降架,所述升降架的中心安裝有第一升降電機(jī),所述升降架上還安裝有若干升降桿,所述升降桿與第一升降電機(jī)共同連接有第二安裝板,所述第二安裝板的底部包括第一定位下壓組件、第二定位下壓組件以及切刀組件;
6、所述切刀組件包括切刀架、第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)以及旋轉(zhuǎn)切刀,所述切刀架固定在第二安裝板的底部,所述第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)安裝在切刀架的一側(cè),所述第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸上傳動(dòng)連接有旋轉(zhuǎn)切刀,用于進(jìn)行膜材的切邊。
7、優(yōu)選的,所述第一驅(qū)動(dòng)組件包括第三驅(qū)動(dòng)電機(jī)、第二安裝框、第三導(dǎo)軌、第二絲桿以及第二滑動(dòng)塊,所述第二安裝框安裝在工作臺(tái)的前后兩側(cè),所述第二安裝框的一側(cè)安裝有第三驅(qū)動(dòng)電機(jī),所述第三驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸上傳動(dòng)連接有第二絲桿,所述第二安裝框內(nèi)還安裝有第三導(dǎo)軌,所述第三導(dǎo)軌上滑動(dòng)設(shè)置有第二滑動(dòng)塊,所述第二滑動(dòng)塊與第二絲桿相連接,且所述第二滑動(dòng)塊上固定有工作架。
8、優(yōu)選的,所述測(cè)量件包括測(cè)量盤(pán)、測(cè)量針,所述測(cè)量盤(pán)固定在第一滑動(dòng)塊的頂部,所述測(cè)量盤(pán)上開(kāi)設(shè)有觀察孔,所述測(cè)量盤(pán)的一端底部安裝有測(cè)量針,所述測(cè)量針對(duì)準(zhǔn)刻度板上的刻度線。
9、優(yōu)選的,第一下壓組件包括位于第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)兩側(cè)的第一固定桿,所述第一固定桿固定在第二安裝板的底部,所述切刀架的兩側(cè)安裝有第一連接板,所述第一連接板的一側(cè)安裝有第二連接板,所述第二連接板也與第一固定桿相連接,所述第一固定桿的底部具有第一下壓桿,所述切刀架的底部具有第二下壓桿,所述第一下壓桿與所述第二下壓桿共同連接有第一下壓板,所述第一下壓板位于旋轉(zhuǎn)切盤(pán)的左側(cè),并抵靠在膜材的正上方。
10、優(yōu)選的,第二下壓組件包括固定在第二安裝板底部的第二固定桿,所述第二固定桿的底部固定有第三下壓桿,所述第三下壓桿固定連接有第二下壓板,所述第二下壓板位于旋轉(zhuǎn)切盤(pán)的右側(cè),并抵靠在膜材的正上方。
11、優(yōu)選的,所述第二安裝板的底部還開(kāi)設(shè)有第二凹槽。
12、優(yōu)選的,所述工作臺(tái)的一側(cè)還安裝有控制面板。
13、優(yōu)選的,步驟s1中的加工助劑為丙烯酸酯類聚合物,所述步驟s1中的穩(wěn)定劑為鋇鋅穩(wěn)定劑。
14、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:
15、1、易于貼剝、不移膠、隨貼敷物彎折90°不破裂;
16、2、經(jīng)受2kg/2.5cm2載荷360小時(shí),20-50℃后剝下無(wú)膠表面殘留;
17、3、在300w紫外燈50℃的條件照射240小時(shí)后不開(kāi)裂、不變形,撕下表面無(wú)殘留膠現(xiàn)象;耐潮濕實(shí)驗(yàn),1小時(shí)光照+1小時(shí)雨淋>240小時(shí)后不脫落,剝下后表面無(wú)殘膠;
18、4、通過(guò)設(shè)置可自動(dòng)調(diào)節(jié)膜材切邊的第一滑動(dòng)座以及用于在切邊的同時(shí),壓緊所要切割膜材兩側(cè)的第一定位下壓組件和第二定位下壓組件,有利于精確切邊,自動(dòng)化程度高,同時(shí)具有方便觀察和指示的測(cè)量件以及刻度板,有利于實(shí)時(shí)觀察切邊的尺寸寬度,方便調(diào)整。
1.一種芯片切割膜的制備方法,其特征在于,所述制備方法包括以下步驟:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片切割膜的制備方法,其特征在于,所述步驟s2中的切邊裝置包括工作臺(tái)(2),所述工作臺(tái)(2)的上具有用于輸送膜材的輸送輥(21)以及安裝在工作臺(tái)(2)左右兩側(cè)的第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述第一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上滑動(dòng)設(shè)置有工作架(4),所述工作架(4)上對(duì)稱開(kāi)設(shè)有兩個(gè)第一凹槽(41),所述工作架(4)上對(duì)稱安裝有第一安裝框(42),工作架(4)的中心具有分隔板(43),所述第一安裝框(42)上安裝有第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)(44),所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)(44)的輸出軸上傳動(dòng)連接有第一絲桿(45),所述第一安裝框(42)的框內(nèi)兩側(cè)安裝有第一導(dǎo)軌(46),兩個(gè)所述第一導(dǎo)軌(46)上都滑動(dòng)設(shè)置有第一滑動(dòng)座(51),所述第一滑動(dòng)座(51)與第一絲桿(45)相連接,所述第一安裝框(42)的底部開(kāi)設(shè)有與第一凹槽(41)相連通的通槽(411),所述通槽(411)槽內(nèi)兩側(cè)安裝有第二導(dǎo)軌(412),所述第一滑動(dòng)座(51)的底部具有第一滑動(dòng)塊(52),所述第一滑動(dòng)塊(52)滑動(dòng)設(shè)置在第二導(dǎo)軌(412)上,所述第一滑動(dòng)塊(52)的頂部具有用于指向切割膜材寬度的測(cè)量件,所述第一安裝框(42)的一側(cè)具有刻度板(54),所述測(cè)量件指向刻度板(54);所述第一滑動(dòng)塊(52)的底部固定有升降架(55),所述升降架(55)的中心安裝有第一升降電機(jī)(56),所述升降架(55)上還安裝有若干升降桿(57),所述升降桿(57)與第一升降電機(jī)(56)共同連接有第二安裝板(58),所述第二安裝板(58)的底部包括第一定位下壓組件、第二定位下壓組件以及切刀組件;
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種芯片切割膜的制備方法,其特征在于,所述第一驅(qū)動(dòng)組件包括第三驅(qū)動(dòng)電機(jī)(31)、第二安裝框(32)、第三導(dǎo)軌(33)、第二絲桿(34)以及第二滑動(dòng)塊(35),所述第二安裝框(32)安裝在工作臺(tái)(2)的前后兩側(cè),所述第二安裝框(32)的一側(cè)安裝有第三驅(qū)動(dòng)電機(jī)(31),所述第三驅(qū)動(dòng)電機(jī)(31)的輸出軸上傳動(dòng)連接有第二絲桿(34),所述第二安裝框(32)內(nèi)還安裝有第三導(dǎo)軌(33),所述第三導(dǎo)軌(33)上滑動(dòng)設(shè)置有第二滑動(dòng)塊(35),所述第二滑動(dòng)塊(35)與第二絲桿(34)相連接,且所述第二滑動(dòng)塊(35)上固定有工作架(4)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種芯片切割膜的制備方法,其特征在于,所述測(cè)量件包括測(cè)量盤(pán)(531)、測(cè)量針(532),所述測(cè)量盤(pán)(531)固定在第一滑動(dòng)塊(52)的頂部,所述測(cè)量盤(pán)(531)上開(kāi)設(shè)有觀察孔(533),所述測(cè)量盤(pán)(531)的一端底部安裝有測(cè)量針(532),所述測(cè)量針(532)對(duì)準(zhǔn)刻度板(54)上的刻度線。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種芯片切割膜的制備方法,其特征在于,第一下壓組件包括位于第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)(582)兩側(cè)的第一固定桿(61),所述第一固定桿(61)固定在第二安裝板(58)的底部,所述切刀架(581)的兩側(cè)安裝有第一連接板(62),所述第一連接板(62)的一側(cè)安裝有第二連接板(63),所述第二連接板(63)也與第一固定桿(61)相連接,所述第一固定桿(61)的底部具有第一下壓桿(611),所述切刀架(581)的底部具有第二下壓桿(64),所述第一下壓桿(611)與所述第二下壓桿(64)共同連接有第一下壓板(65),所述第一下壓板(65)位于旋轉(zhuǎn)切盤(pán)的左側(cè),并抵靠在膜材的正上方。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種芯片切割膜的制備方法,其特征在于,第二下壓組件包括固定在第二安裝板(58)底部的第二固定桿(71),所述第二固定桿(71)的底部固定有第三下壓桿(72),所述第三下壓桿(72)固定連接有第二下壓板(73),所述第二下壓板(73)位于旋轉(zhuǎn)切盤(pán)的右側(cè),并抵靠在膜材的正上方。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種芯片切割膜的制備方法,其特征在于,所述第二安裝板(58)的底部還開(kāi)設(shè)有第二凹槽(74)。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種芯片切割膜的制備方法,其特征在于,所述工作臺(tái)(2)的一側(cè)還安裝有控制面板(8)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種芯片切割膜的制備方法,其特征在于,步驟s1中的加工助劑為丙烯酸酯類聚合物,所述步驟s1中的穩(wěn)定劑為鋇鋅穩(wěn)定劑。