層壓裝置的制造方法
【專利摘要】在層壓裝置中，改善壓接輥相對于基板以及薄膜的按壓力的均勻性。層壓裝置具備第一壓接輥以及比第一壓接輥靠上方配置的第二壓接輥，該第二壓接輥構(gòu)成為能夠向接近第一壓接輥的方向(第一方向)以及遠(yuǎn)離第一壓接輥的方向(第二方向)移動(dòng)。層壓裝置還具備：支承輥，其用于在比第一壓接輥靠下方的位置支承第一壓接輥；加壓輥，其設(shè)于比第二壓接輥靠上方的位置，該加壓輥構(gòu)成為能夠向第一方向以及第二方向移動(dòng)，并且構(gòu)成為通過向第一方向移動(dòng)而能夠向第一壓接輥側(cè)按壓第二壓接輥；以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其用于使加壓輥向第一方向以及第二方向移動(dòng)。
【專利說明】
層壓裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及一種用于將薄膜壓接于基板的技術(shù)。
【背景技術(shù)】
[0002]已知有使用一對壓接輥將包含感光材料(感光膠)的薄膜壓接于基板的單面或雙面的層壓裝置。在層壓裝置中，在向一對壓接輥之間供給基板的同時(shí)，向基板的至少一方的面供給薄膜，并利用一對壓接輥夾持基板以及薄膜，一邊使一對壓接輥朝向基板側(cè)作用規(guī)定的按壓力，一邊進(jìn)行加熱，由此將薄膜壓接于基板。通過使這樣壓接有薄膜的基板曝光，在該基板上形成導(dǎo)電圖案等。
[0003]通常，使用氣缸等致動(dòng)器，對支承在壓接輥的兩端設(shè)置的軸承的軸承殼體作用朝向壓接輥的按壓力。在這種通常的層壓裝置中，由于相對于一對壓接輥的兩端部朝向基板側(cè)施加按壓力，因此，在處理厚度比較大的基板的情況下，以基板的兩端的緣部為支點(diǎn)而在一對壓接輥中產(chǎn)生彎曲力矩(以下也稱為第一彎曲力矩)。其結(jié)果是，壓接輥?zhàn)冃螢?，其中央部比兩端部遠(yuǎn)離基板的拱狀。通過這樣的變形，在壓接輥延伸的方向上壓接輥?zhàn)饔糜诨逡约氨∧さ陌磯毫ψ兊貌痪鶆颉?br>[0004]鑒于這種情況，開發(fā)出使壓接輥以如下的方式作用按壓力的技術(shù):在產(chǎn)生第一彎曲力矩的同時(shí)，還產(chǎn)生與第一彎曲力矩相反的方向的第二彎曲力矩(例如下述的專利文獻(xiàn)
1、2)。根據(jù)這種技術(shù)，第一彎曲力矩與第二彎曲力矩彼此抵消壓接輥的彎曲的影響，因此，降低壓接輥的彎曲，改善按壓力的不均勻性。另外，作為其它的方法，還考慮有如下的方法:通過以隨著從兩端部朝向中央部而外徑變大的方式形成壓接輥，使變形為拱狀的壓接輥的形狀與基板及薄膜的形狀均勻地接觸，從而改善按壓力的不均勻性。這種形狀的輥被稱為凸面輥。
[0005]在先技術(shù)文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本專利第3725638號
[0008]專利文獻(xiàn)2:日本專利第4141142號
[0009]發(fā)明要解決的課題
[0010]然而，在產(chǎn)生第二彎曲力矩的方法中，并不能完全消除壓接輥的變形，因此，期望進(jìn)一步改善按壓力的均勻性。另外，使用凸面輥的方法要求高度的加工精度，因此，不容易制造，其結(jié)果是，實(shí)際上難以獲得按壓力的均勻化效果。此外，在層壓裝置中，由于在壓接輥上附著污垢、異物(例如感光膠)，因此，需要定期地進(jìn)行壓接輥的更換。期望這種更換作業(yè)容易且安全、以及迅速地進(jìn)行。然而，現(xiàn)有的壓接輥因其構(gòu)造而具有比較大的重量，因此，必須足夠注意安全地進(jìn)行作業(yè)，并且，在壓接輥冷卻至某一程度的溫度之前無法進(jìn)行更換作業(yè)。另外，也考慮通過使壓接輥大口徑化并提高剛性來抑制壓接輥的變形，但考慮上述的更換作業(yè)的作業(yè)性以及安全性時(shí)，壓接輥的大口徑化存在極限。因此，通過使壓接輥大口徑化來抑制壓接輥的變形是不現(xiàn)實(shí)的。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]用于解決課題的方案
[0012]本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而作出的，例如能夠作為以下方式來實(shí)現(xiàn)。
[0013]本發(fā)明的第一方式提供一種用于使薄膜壓接于基板的層壓裝置。該層壓裝置具備一對壓接輥。一對壓接輥包括:位置被固定的第一壓接輥；以及比第一壓接輥靠上方配置的第二壓接輥，該第二壓接輥構(gòu)成為能夠向接近第一壓接輥的方向以及遠(yuǎn)離第一壓接輥的方向移動(dòng)，該一對壓接輥將基板以及薄膜夾在第一壓接輥與第二壓接輥之間，使薄膜壓接于基板。層壓裝置還具有:與第一壓接輥平行地設(shè)置在比第一壓接輥靠下方的位置的支承輥，該支承輥用于支承第一壓接輥;與第二壓接輥平行地設(shè)置在比第二壓接輥靠上方的位置的加壓輥，該加壓輥構(gòu)成為，能夠向第二壓接輥接近第一壓接輥的方向即第一方向、以及第二壓接輥遠(yuǎn)離第一壓接輥的方向即第二方向移動(dòng)，并且構(gòu)成為通過向第一方向移動(dòng)而能夠向第一壓接輥側(cè)按壓第二壓接輥；以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其用于使加壓輥向第一方向以及第二方向移動(dòng)。
[0014]根據(jù)上述層壓裝置，通過使加壓輥向第一方向(第二壓接輥接近第一壓接輥的方向)移動(dòng)而使第二壓接輥接近基板，并且在第一壓接輥與第二壓接輥之間向基板以及薄膜施加按壓力，能夠使薄膜壓接于基板的雙面或單面。此時(shí)，由于加壓輥以及支承輥不會(huì)與薄膜接觸，因此通常無需進(jìn)行更換作業(yè)。因此，不使第一壓接輥以及第二壓接輥大口徑化，而是通過使加壓輥以及支承輥大口徑化來提高剛性，由此能夠抑制第一壓接輥以及第二壓接輥的變形，使按壓力均勻化。即，能夠使零件更換的作業(yè)性與按壓力的均勻化同時(shí)實(shí)現(xiàn)。而且，由于加壓輥以線的方式按壓第二壓接輥，因此，與將第二壓接輥的端部朝向基板按壓的情況相比，能夠獲得均勻的壓力分布。此外，無需為了將按壓力均勻化而使第一壓接輥以及第二壓接輥大口徑化，因此，換言之，第一壓接輥以及第二壓接輥的直徑也可以減小，因此，第一壓接輥以及第二壓接輥延伸的方向上的薄膜壓接時(shí)的線壓增高。其結(jié)果是，能夠以更小的按壓力將薄膜壓接于基板。此外，由于能夠使第一壓接輥以及第二壓接輥小徑化、換言之輕型化，因此，能夠容易且安全地進(jìn)行第一壓接輥以及第二壓接輥的裝卸作業(yè)。而且，通過第一壓接輥以及第二壓接輥的小徑化而使第一壓接輥以及第二壓接輥的熱容量變小，因此，在層壓裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)停止后，第一壓接輥以及第二壓接輥的溫度迅速地下降。因此，能夠在層壓裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)停止后盡早地進(jìn)行第一壓接輥以及第二壓接輥的裝卸作業(yè)。
[0015]作為本發(fā)明的第二方式，在第一方式的基礎(chǔ)上，也可以是，支承輥配置為與第一壓接輥接觸。也可以是，加壓輥至少在加壓輥向第一方向移動(dòng)后的狀態(tài)下與第二壓接輥接觸。也可以是，一對壓接輥在第一壓接輥與第二壓接輥之間直接夾住基板以及薄膜，使薄膜壓接于基板。根據(jù)上述方式，理想地實(shí)現(xiàn)第一方式的效果。
[0016]作為本發(fā)明的第三方式，在第一方式或第二方式的基礎(chǔ)上，也可以是，支承輥在支承輥的內(nèi)部具備第一加熱機(jī)構(gòu)。也可以是，加壓輥在加壓輥的內(nèi)部具備第二加熱機(jī)構(gòu)。根據(jù)上述方式，能夠通過間接加熱對第一壓接輥以及第二壓接輥進(jìn)行加熱。與第一壓接輥以及第二壓接輥具備加熱機(jī)構(gòu)的情況相比，上述方式能夠進(jìn)一步減小第一壓接輥以及第二壓接輥的直徑，并且使第一壓接輥以及第二壓接輥的溫度迅速地下降。因此，能夠進(jìn)一步提高與第一壓接輥以及第二壓接輥小徑化相伴的第一方式的效果。
[0017]作為本發(fā)明的第四方式，在第三方式的基礎(chǔ)上，也可以是，層壓裝置具備施力機(jī)構(gòu)，該施力機(jī)構(gòu)通過將第二壓接輥向加壓輥側(cè)推壓，從而用于維持第二壓接輥與加壓輥接觸的狀態(tài)。根據(jù)上述方式，即便在加壓輥向第二方向(第二壓接輥遠(yuǎn)離第一壓接輥的方向)移動(dòng)后的情況下，也可以維持第二壓接輥與加壓輥接觸的狀態(tài)，因此，加壓輥所具備的加熱機(jī)構(gòu)的熱量始終被傳遞至第二壓接輥。因此，能夠利用加壓輥所具備的加熱機(jī)構(gòu)有效地對第二壓接輥進(jìn)行間接加熱。而且，即便在使薄膜壓接于第一基板之后使加壓輥向第二方向移動(dòng)后的情況下，第二壓接輥的溫度也不會(huì)下降。即，在緊接著第一基板而使薄膜壓接于第二基板時(shí)，不需要用于使第二壓接輥的溫度再次上升的時(shí)間。因此，能夠有效地實(shí)施薄膜壓接工序，制造效率高。換言之，即便如第三方式那樣采用間接加熱方式，也能夠連續(xù)地對基板進(jìn)行層壓處理，能夠?qū)崿F(xiàn)與直接加熱方式同等的生產(chǎn)率。
[0018]作為本發(fā)明的第五方式，在第二方式至第四方式中任一種方式的基礎(chǔ)上，也可以是，層壓裝置具備保持構(gòu)件，該保持構(gòu)件用于保持第一壓接輥以及第二壓接輥，并且在保持第一壓接輥以及第二壓接輥的狀態(tài)下，能夠與第一壓接輥以及第二壓接輥一起從層壓裝置拆卸或者向?qū)訅貉b置安裝。根據(jù)上述方式，當(dāng)薄膜所包含的感光膠在第一壓接輥以及第二壓接輥上附著規(guī)定量等而需要更換第一壓接輥以及第二壓接輥時(shí)，能夠?qū)⒈３謽?gòu)件從層壓裝置拆卸，容易地同時(shí)更換第一壓接輥以及第二壓接輥，因此，能夠高效地進(jìn)行更換作業(yè)。
[0019]作為本發(fā)明的第六方式，在第一方式的基礎(chǔ)上，也可以是，層壓裝置具備:第一張緊輥和第二張緊輥;架設(shè)在第一壓接輥與第一張緊輥之間的第一環(huán)狀平帶；以及架設(shè)在第二壓接輥與第二張緊輥之間的第二環(huán)狀平帶。根據(jù)上述方式，利用驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使加壓輥向第一方向(第二壓接輥接近第一壓接輥的方向)移動(dòng)，從而使第二環(huán)狀平帶以及第二壓接輥接近基板，并且在第一環(huán)狀平帶與第二環(huán)狀平帶之間向基板以及薄膜施加按壓力，能夠使薄膜壓接于基板的雙面或單面。而且，當(dāng)感光膠在第一環(huán)狀平帶或第二環(huán)狀平帶上附著規(guī)定量時(shí)，能夠僅更換第一環(huán)狀平帶或第二環(huán)狀平帶。即，不需要更換第一壓接輥以及第二壓接輥的作業(yè)。在壓接輥與薄膜接觸的現(xiàn)有方式中，為了不使層壓處理長時(shí)間地中斷，需要預(yù)先準(zhǔn)備好預(yù)備的壓接輥，并對每個(gè)壓接輥進(jìn)行更換。另一方面，環(huán)狀平帶的更換作業(yè)較為容易，且無需較長的時(shí)間。因此，在需要更換環(huán)狀平帶的情況下，能夠迅速地更換環(huán)狀平帶而再次開始層壓處理。即，只要預(yù)先準(zhǔn)備好預(yù)備的環(huán)狀平帶，就無需長時(shí)間地中斷層壓處理。與壓接輥相比，環(huán)狀平帶非常廉價(jià)，因此，能夠大幅度地降低應(yīng)準(zhǔn)備的預(yù)備品所涉及的成本。
[0020]作為本發(fā)明的第七方式，在第六方式的基礎(chǔ)上，也可以是，支承輥在支承輥的內(nèi)部具備第一加熱機(jī)構(gòu)。也可以是，加壓輥在加壓輥的內(nèi)部具備第二加熱機(jī)構(gòu)。根據(jù)上述方式，實(shí)現(xiàn)與第三方式同樣的效果。
[0021 ]作為本發(fā)明的第八方式，在第七方式的基礎(chǔ)上，也可以是，層壓裝置具備施力機(jī)構(gòu)，該施力結(jié)構(gòu)通過將第二壓接輥向加壓輥側(cè)推壓，從而用于維持第二環(huán)狀平帶與加壓輥接觸的狀態(tài)。根據(jù)上述方式，加壓輥所具備的加熱機(jī)構(gòu)的熱量始終被傳遞至第二環(huán)狀平帶。因此，實(shí)現(xiàn)與第四方式同樣的效果。
[0022]作為本發(fā)明的第九方式，在第六方式至第八方式中任一種方式的基礎(chǔ)上，也可以是，層壓裝置具備保持構(gòu)件，該保持構(gòu)件將第一壓接輥、第二壓接輥、第一張緊輥以及第二張緊輥保持為如下的位置關(guān)系:使第一環(huán)狀平帶以及第二環(huán)狀平帶的張力保持為層壓裝置運(yùn)行時(shí)所需的張力。根據(jù)上述方式，通過將第一壓接輥、第二壓接輥、第一張緊輥以及第二張緊輥裝配于保持構(gòu)件，從而自然地實(shí)施第一環(huán)狀平帶以及第二環(huán)狀平帶的張緊調(diào)整。因此，能夠容易地進(jìn)行第一環(huán)狀平帶以及第二環(huán)狀平帶的更換作業(yè)。
[0023]作為本發(fā)明的第十方式，在第九方式的基礎(chǔ)上，也可以是，保持構(gòu)件構(gòu)成為，在保持有第一壓接輥、第二壓接輥、第一張緊輥以及第二張緊輥的狀態(tài)下，能夠與第一壓接輥、第二壓接輥、第一張緊輥以及第二張緊輥一起從層壓裝置拆卸或者向?qū)訅貉b置安裝。根據(jù)上述方式，當(dāng)感光膠在第一環(huán)狀平帶或第二環(huán)狀平帶上附著規(guī)定量而需要更換第一環(huán)狀平帶或第二環(huán)狀平帶時(shí)，將第一壓接輥、第二壓接輥、第一張緊輥、第二張緊輥、第一環(huán)狀平帶、第二環(huán)狀平帶以及保持構(gòu)件從層壓裝置拆卸，從而能夠容易地更換第一環(huán)狀平帶或第二環(huán)狀平帶。
[0024]作為本發(fā)明的第十一方式，在第一方式至第十方式中任一種方式的基礎(chǔ)上，也可以是，第一壓接輥的外徑比支承輥的外徑小。也可以是，第二壓接輥的外徑比加壓輥的外徑小。根據(jù)上述方式，能夠使第一壓接輥以及第二壓接輥輕型化，其結(jié)果是，能夠容易地進(jìn)行第一壓接輥以及第二壓接輥的裝卸。而且，通過使第一壓接輥以及第二壓接輥的直徑變小，從而第一壓接輥以及第二壓接輥所延伸的方向上的薄膜壓接時(shí)的線壓變高，因此，能夠以更小的按壓力將薄膜壓接于基板。
[0025]本發(fā)明除了上述的層壓裝置之外，還能夠以如下的各種方式來實(shí)現(xiàn):第一壓接輥、第二壓接輥、第一張緊輥、第二張緊輥、第一環(huán)狀平帶以及第二環(huán)狀平帶的組合;該組合與上述保持構(gòu)件的組合;第一壓接輥、第二壓接輥與上述保持構(gòu)件的組合;使薄膜壓接于基板的方法等。
【附圖說明】
[0026]圖1是示出作為本發(fā)明的一實(shí)施例的層壓部(非壓接時(shí))的簡要結(jié)構(gòu)的說明圖。
[0027]圖2是示出層壓部(壓接時(shí))的簡要結(jié)構(gòu)的說明圖。
[0028]圖3是示出第一壓接輥以及第二壓接輥的裝卸方法的說明圖。
[0029]圖4是示出第一壓接輥以及第二壓接輥的裝卸方法的說明圖。
[0030]圖5是示出第一壓接輥以及第二壓接輥的裝卸方法的說明圖。
[0031]圖6是示出作為第二實(shí)施例的層壓部(非壓接時(shí))的簡要結(jié)構(gòu)的說明圖。
【具體實(shí)施方式】
[0032]A.第一實(shí)施例:
[0033]對作為本發(fā)明的第一實(shí)施例的層壓裝置進(jìn)行說明。該層壓裝置具備:使薄膜壓接于基板的層壓部10;搬運(yùn)基板的基板搬運(yùn)裝置；以及搬運(yùn)薄膜的薄膜搬運(yùn)裝置。關(guān)于基板搬運(yùn)裝置以及薄膜搬運(yùn)裝置，能夠應(yīng)用眾所周知的各種裝置，因此，在以下的說明中，僅對層壓部10進(jìn)行說明，并且在附圖中僅示出層壓部10。圖1示出層壓部10的簡要結(jié)構(gòu)。圖1(b)是層壓部10的主視圖，在圖1(b)中，層壓部10的一部分以剖面示出。圖1(a)是圖1(b)所示的層壓部10的A-A向視圖。需要說明的是，在圖1(b)中，針對圖1(a)所示的薄膜引導(dǎo)件65、66以及薄膜F(詳見后述)而省略圖示。如圖l(a)、(b)所示，層壓部10具備一對壓接輥、即第一壓接輥20及第二壓接輥30、第一張緊輥23及第二張緊輥33、第一環(huán)狀平帶24及第二環(huán)狀平帶34、支承輥40、加壓輥50、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)61、62、以及保持構(gòu)件70。
[0034]第一壓接輥20沿水平方向(與鉛垂方向正交的方向)延伸形成，并被設(shè)于第一壓接輥20的兩端的一對軸承21、22支承為能夠旋轉(zhuǎn)。第二壓接輥30沿水平方向延伸形成，并在第一壓接輥20的上方處與第一壓接輥20平行地配置。該第二壓接輥30被設(shè)于其兩端的一對軸承31、32支承為能夠旋轉(zhuǎn)。第一壓接輥20的位置被固定，而第二壓接輥30構(gòu)成為能夠向接近第一壓接輥20的方向(也稱為第一方向)以及遠(yuǎn)離第一壓接輥20的方向(也稱為第二方向)移動(dòng)。在本實(shí)施例中，第一方向以及第二方向?yàn)殂U垂方向。需要說明的是，第二壓接輥30的移動(dòng)方向不限于鉛垂方向，第二壓接輥30的移動(dòng)可以是朝向接近第一壓接輥20的方向以及遠(yuǎn)離第一壓接輥20的方向的任意移動(dòng)。圖1中示出第二壓接輥30向遠(yuǎn)離第一壓接輥20的方向移動(dòng)后的狀態(tài)。用于使第二壓接輥30移動(dòng)的結(jié)構(gòu)見后述。
[0035]第一張緊輥23在水平方向上與第一壓接輥20分離，在鉛垂方向上配置在比第一壓接輥20稍微靠下方的位置。在第一張緊輥23與第一壓接輥20之間架設(shè)有第一環(huán)狀平帶24。第二張緊輥33在水平方向上與第二壓接輥30分離，在鉛垂方向上配置在比第二壓接輥30稍微靠上方的位置。在第二張緊輥33與第二壓接輥30之間架設(shè)有第二環(huán)狀平帶34。
[0036]支承輥40沿水平方向延伸形成，并在第一壓接輥20的下方與第一壓接輥20平行地配置。支承輥40被設(shè)于其兩端的一對軸承41、42支承為能夠旋轉(zhuǎn)。軸承41、42的位置被固定，其結(jié)果是，支承輥40的位置也被固定。上述支承輥40經(jīng)由第一環(huán)狀平帶24而支承第一壓接輥20。在支承輥40的內(nèi)部，沿著支承輥40延伸的方向設(shè)有作為加熱機(jī)構(gòu)的加熱器45。第一環(huán)狀平帶24以與第一壓接輥20和支承輥40這兩者接觸的狀態(tài)配置在第一壓接輥20與支承輥40之間。因此，加熱器45的熱量被傳遞至第一環(huán)狀平帶24以及第一壓接輥20。
[0037]加壓輥50沿水平方向延伸形成，并在第二壓接輥30的上方與第二壓接輥30平行地配置。加壓輥50被設(shè)于其兩端的一對軸承51、52支承為能夠旋轉(zhuǎn)。軸承51、52分別被軸承殼體53、54支承。在加壓輥50的內(nèi)部，沿著加壓輥50延伸的方向設(shè)有作為加熱機(jī)構(gòu)的加熱器55。該加壓輥50構(gòu)成為能夠沿上述的第一方向(第二壓接輥30接近第一壓接輥20的方向)以及第二方向(第二壓接輥30遠(yuǎn)離第一壓接輥20的方向)移動(dòng)。具體而言，在加壓輥50的兩端側(cè)的上方設(shè)置有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)61、62。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)61、62向下方按壓軸承殼體53、54。由此，軸承殼體53、54與軸承51、52—起沿著在鉛垂方向上延伸的引導(dǎo)件63、64向下方移動(dòng)，與之相伴，支承于軸承51、52的加壓輥50也向下方平移。如此，通過使加壓輥50向第一方向(在此為下方)移動(dòng)，能夠使第二壓接輥30以向第一壓接輥20側(cè)按壓的方式移動(dòng)。圖1中示出加壓輥50向第一方向移動(dòng)前的狀態(tài)。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)61、62在本實(shí)施例中為氣缸，但可以是馬達(dá)等任意的致動(dòng)器。
[0038]在上述的層壓部10中，壓接輥20、30、張緊輥23、33以及環(huán)狀平帶24、34被保持構(gòu)件70保持。保持構(gòu)件70具備:側(cè)板71、72、引導(dǎo)件73、74、作為施力機(jī)構(gòu)的彈簧75、76、支承板77、78、以及四個(gè)拉桿79a?79d。側(cè)板71、72以在水平方向上對置的方式配置在比壓接輥20、30靠外側(cè)的位置。該側(cè)板71、72通過沿水平方向延伸的拉桿79a?79d進(jìn)行連結(jié)。需要說明的是，在圖1(b)中為了提高壓接輥20、30的目視確認(rèn)性而省略了拉桿79a、79d的圖示。
[0039]如圖1(a)所示，在側(cè)板72上形成有沿著鉛垂方向形成的槽83、84。在本實(shí)施例中，槽83、84沿著鉛垂方向相互平行地形成。另外，槽83、84從側(cè)板72的上端形成至不到達(dá)下端的位置，且沿水平方向貫穿側(cè)板72。在槽83中插入有支承第一壓接輥20的軸承22和支承第二壓接輥30的軸承32。在槽84中插入有支承第一張緊輥23的軸承26和支承第二張緊輥33的軸承36。在槽84中，在軸承26與軸承36之間插入有隔離件86。
[0040]側(cè)板71具有與側(cè)板72相同的形狀，因此，在側(cè)板71上形成有與槽83、84對應(yīng)的槽81、82(圖1中未圖示)。在槽81中插入有支承第一壓接輥20的軸承21和支承第二壓接輥30的軸承31，在槽82中插入有支承第一張緊輥23的軸承25和支承第二張緊輥33的軸承35。在槽82中，在軸承25與軸承35之間插入有隔離件85(參照后述的圖3(a))。
[0041 ] 根據(jù)上述的保持構(gòu)件70，能夠通過槽81?84來適當(dāng)?shù)囟ㄎ粔航虞?0、30以及張緊輥23、33，并且，非常容易向?qū)訅翰?0裝配壓接輥20、30以及張緊輥23、33。另外，在本實(shí)施例中，槽81?84以使環(huán)狀平帶24、34的張力保持為層壓部10的運(yùn)行時(shí)所需的張力的位置關(guān)系進(jìn)行形成。因此，通過向槽81?84中插入架設(shè)了第一環(huán)狀平帶24的狀態(tài)的第一壓接輥20和第一張緊輥23、以及架設(shè)了第二環(huán)狀平帶34的狀態(tài)的第二壓接輥30和第二張緊輥33，從而自然地實(shí)施環(huán)狀平帶24、34的張緊調(diào)整。因此，能夠容易地進(jìn)行環(huán)狀平帶24、34、壓接輥20、30以及張緊輥23、33中的至少一者的更換作業(yè)。
[0042]另外，在保持構(gòu)件70的側(cè)板71、72的外側(cè)設(shè)有支承板77、78。在支承板77、78上載置有在第二壓接輥30的端部配置的軸承37、38。支承板77、78構(gòu)成為能夠沿著在鉛垂方向上延伸的棒狀的引導(dǎo)件73、74上下移動(dòng)。上述支承板77、78被配置在引導(dǎo)件73、74的下端部與支承板77、78之間的彈簧75、76朝向上方推壓。彈簧75、76對支承板77、78朝向上方施加的彈力經(jīng)由軸承37、38而傳遞至第二壓接輥30，由此，如圖1所示，第一壓接輥20和第二壓接輥30被保持為在鉛垂方向上分離的位置關(guān)系。另外，由于第二壓接輥30被彈簧75、76朝向上方、SP朝向加壓輥50推壓，因此，即便在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)61、62沒有向下方按壓加壓輥50的狀態(tài)下，第二環(huán)狀平帶34也能夠維持與加壓輥50接觸的狀態(tài)。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，加壓輥50所具備的加熱器55的熱量始終被傳遞至第二環(huán)狀平帶34。
[0043]上述的保持構(gòu)件70構(gòu)成為，在保持著壓接輥20、30和張緊輥23、33的狀態(tài)下，能夠與壓接輥20、30和張緊輥23、33—起從層壓部10拆卸或者向?qū)訅翰?0安裝。具體而言，在用于載置保持構(gòu)件70的設(shè)置板96上，設(shè)有在水平方向上沿與壓接輥20、30延伸的方向正交的方向延伸的引導(dǎo)件94、95。保持構(gòu)件70構(gòu)成為，通過沿著該引導(dǎo)件94、95滑動(dòng)而能夠從層壓部10拆卸，并且在規(guī)定的位置處被固定件(省略圖示)固定位置。
[0044]在上述的層壓部10中，如圖1(a)所示，通過基板搬運(yùn)裝置(省略圖示)，將基板S送至第一壓接輥20與第二壓接輥30之間，并且通過薄膜搬運(yùn)裝置(省略圖示)，將薄膜F送至基板S的雙面上。在圖1(a)中，示出在基板S的行進(jìn)方向的端部臨時(shí)附著薄膜F而向壓接輥20、30之間輸送的樣子。
[0045]而且，如圖2所示，層壓部10使驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)61、62驅(qū)動(dòng)而使加壓輥50向下方移動(dòng)。由此，第二壓接輥30被加壓輥50按壓而沿著槽81、83向下方移動(dòng)。其結(jié)果是，向配置于第一壓接輥20與第二壓接輥30之間(更具體而言是第一環(huán)狀平帶24與第二環(huán)狀平帶34之間)的基板S以及薄膜F施加按壓力，將薄膜F壓接于基板S。在圖2(a)中，示出薄膜F沿著在基板S的上下設(shè)置的薄膜引導(dǎo)件65、66而與基板S的輸送同步地向基板S的雙面供給的樣子。如圖所示，薄膜引導(dǎo)件65、66的位置被固定。需要說明的是，圖2(b)中省略了薄膜引導(dǎo)件65、66以及薄膜F的圖示。壓接有薄膜F的基板S在設(shè)于側(cè)板71、72之間的輔助輥91、92上被搬運(yùn)，進(jìn)而在搬運(yùn)輥93上被送出。搬運(yùn)輥93以能夠裝卸的方式安裝于層壓部10。需要說明的是，不限于使薄膜F壓接于基板S的雙面的情況，層壓部10也能夠在使薄膜F僅壓接于基板S的任一面的情況下使用。
[0046]在上述的層壓部10中，由于薄膜F所包含的感光膠在壓接動(dòng)作時(shí)附著在與薄膜F接觸的環(huán)狀平帶24、34上，因此，需要定期地更換環(huán)狀平帶24、34。以下說明上述更換時(shí)的步驟。更換作業(yè)在圖1所示的狀態(tài)、即加壓輥50向第二方向(第二壓接輥30遠(yuǎn)離第一壓接輥20的方向)移動(dòng)后的狀態(tài)下進(jìn)行。在更換作業(yè)中，首先，如圖3所示，將搬運(yùn)輥93從層壓部10拆卸，確保保持構(gòu)件70的拆卸路徑。圖3 (b)是與圖1 (b)相當(dāng)?shù)膱D，但在此圖示出拉桿79a、79d，相反地省略了一部分構(gòu)成要素(驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)61、62等)的圖示。圖3(a)是圖3(b)所示的層壓部10的側(cè)視圖，但在圖3(b)中圖示出省略了圖示的一部分構(gòu)成要素(驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)61、62等)。
[0047]在拆卸搬運(yùn)輥93之后，接著如圖4所示，使保持構(gòu)件70在裝配有壓接輥20、30、張緊輥23、33以及環(huán)狀平帶24、34的狀態(tài)下滑動(dòng)而從層壓部10拆卸。圖4(a)是與圖3(a)相當(dāng)?shù)膱D。圖4(b)是圖4(a)的C-C向視圖，也以雙點(diǎn)劃線顯示支承輥40以及加壓輥50。
[0048]在拆卸保持構(gòu)件70之后，接著如圖5所示，從保持構(gòu)件70拆卸壓接輥20、30、張緊輥23、33以及環(huán)狀平帶24、34。之后，能夠從壓接輥20、30以及張緊輥23、33容易地拆卸環(huán)狀平帶24、34并進(jìn)行更換。當(dāng)然，也能夠根據(jù)需要來更換壓接輥20、30、張緊輥23、33。在更換了環(huán)狀平帶24、34之后，按照與圖3?5所示的步驟相反的步驟，將保持構(gòu)件70以及搬運(yùn)輥93裝配于層壓部10。
[0049]根據(jù)以上說明的具備層壓部10的層壓裝置，支承輥40以及加壓輥50不會(huì)與薄膜F接觸，因此，通常不需要進(jìn)行更換作業(yè)。因此，不使壓接輥20、30大口徑化，而是通過使支承輥40以及加壓輥50大口徑化來提高剛性，由此能夠抑制壓接輥20、30的變形，使朝向基板的按壓力均勻化。即，能夠使部件更換的作業(yè)性與按壓力的均勻化同時(shí)實(shí)現(xiàn)。此外，加壓輥50以線的方式按壓第二壓接輥30，由此使薄膜F壓接于基板S，因此，與按壓第二壓接輥30的端部的現(xiàn)有方法相比，能夠獲得均勻的壓力分布。此外，無需為了使按壓力均勻化而使壓接輥20、30大口徑化，因此，換言之，壓接輥20、30的直徑也可以減小，因此，壓接輥20、30延伸的方向上的薄膜壓接時(shí)的線壓增高。其結(jié)果是，能夠以更小的按壓力將薄膜F壓接于基板S。此夕卜，具備層壓部10的層壓裝置中，能夠使壓接輥20、30小徑化、換言之輕型化，因此，能夠容易地進(jìn)行壓接輥20、30的裝卸作業(yè)。而且，由于壓接輥20、30的熱容量變小，因此，在層壓裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)停止后，壓接輥20、30的溫度迅速地下降。因此，能夠在層壓裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)停止后盡早進(jìn)行壓接輥20、30的裝卸作業(yè)。
[0050]另外，由于層壓部10在支承輥40以及加壓輥50的內(nèi)部具備加熱器45、55，因此，與在壓接輥20、30的內(nèi)部具備加熱機(jī)構(gòu)的情況相比，能夠進(jìn)一步減小壓接輥20、30的直徑。因此，能夠進(jìn)一步提高與上述的壓接輥20、30的小徑化相伴的效果。
[0051]另外，根據(jù)層壓部10，即便在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)61、62沒有向下方按壓加壓輥50的狀態(tài)下，也維持第二環(huán)狀平帶34與加壓輥50接觸的狀態(tài)。因此，利用加壓輥50所具備的加熱器55，能夠有效地對第二環(huán)狀平帶34進(jìn)行間接加熱。而且，在使薄膜F壓接于第一基板S之后，即便使加壓輥50向第二方向(第二壓接輥30遠(yuǎn)離第一壓接輥20的方向)移動(dòng)，第二環(huán)狀平帶34的溫度也不會(huì)下降。即，在使薄膜F壓接于緊接著第一基板S被處理的第二基板S時(shí)，無需用于使第二環(huán)狀平帶34的溫度再次上升的時(shí)間。因此，能夠有效地實(shí)施薄膜壓接工序，制造效率高。即，即便如上述那樣采用間接加熱方式，也能夠?qū)崿F(xiàn)與直接加熱方式同等的生產(chǎn)率。
[0052]此外，根據(jù)層壓部10，能夠?qū)⒈３钟袎航虞?0、30、張緊輥23、33以及環(huán)狀平帶24、34的狀態(tài)的保持構(gòu)件70作為一個(gè)單元從層壓部10拆卸，因此，能夠容易地進(jìn)行壓接輥20、30、張緊輥23、33以及環(huán)狀平帶24、34中的至少一者需要更換時(shí)的更換作業(yè)。而且，由于薄膜F所包含的感光膠僅附著于環(huán)狀平帶24、34而不會(huì)附著于壓接輥20、30，因此，在附著有感光膠時(shí)，僅更換環(huán)狀平帶24、34即可。環(huán)狀平帶24、34的更換作業(yè)較為容易且不需要較長的時(shí)間。因此，在需要更換環(huán)狀平帶24、34的情況下，能夠迅速地更換環(huán)狀平帶24、34而再次開始層壓處理。即，只要預(yù)先準(zhǔn)備好預(yù)備的環(huán)狀平帶24、34，就無需長時(shí)間地中斷層壓處理。另一方面，在壓接輥與薄膜接觸的現(xiàn)有方式中，為了不使層壓處理長時(shí)間地中斷，需要預(yù)先準(zhǔn)備好預(yù)備的壓接輥，并對每個(gè)壓接輥進(jìn)行更換。如此，根據(jù)本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)，預(yù)先準(zhǔn)備環(huán)狀平帶24、34作為預(yù)備品即可，無需預(yù)先準(zhǔn)備壓接輥。由于與壓接輥相比而環(huán)狀平帶24、34非常廉價(jià)，因此，能夠大幅度地降低應(yīng)準(zhǔn)備的預(yù)備品所涉及的成本。
[0053]B.第二實(shí)施例:
[0054]圖6示出作為第二實(shí)施例的層壓裝置110的簡要結(jié)構(gòu)。圖6對應(yīng)于圖1，在圖6中，針對與作為第一實(shí)施例的層壓部10相同的構(gòu)成要素，標(biāo)注與圖1相同的附圖標(biāo)記。另外，圖6中省略了薄膜引導(dǎo)件65、66以及薄膜F的圖示。以下，關(guān)于層壓裝置110，僅對與第一實(shí)施例的不同之點(diǎn)進(jìn)行說明。層壓裝置110不具有張緊輥23、24以及環(huán)狀平帶24、34這一點(diǎn)與第一實(shí)施例不同。即，層壓裝置110具有第一壓接輥20與支承輥40接觸且第二壓接輥30與加壓輥50接觸的結(jié)構(gòu)，通過第一壓接輥20和第二壓接輥30直接地(S卩，不夾設(shè)其它的構(gòu)成要素)夾住基板S以及薄膜F，從而將薄膜F壓接于基板S。因此，彈簧75、76對第二壓接輥30向加壓輥50側(cè)推壓，從而維持第二壓接輥30與加壓輥50接觸的狀態(tài)。另外，由于上述的不同點(diǎn)，因而層壓裝置110的保持構(gòu)件170不具有槽83、84。另外，層壓裝置110不具有隔離件85、86和輔助輥92。關(guān)于其它點(diǎn)，層壓裝置110與第一實(shí)施例相同。
[0055]根據(jù)上述的層壓裝置110，理想地實(shí)現(xiàn)上述第一實(shí)施例中的環(huán)狀平帶24、34的效果以外的效果。而且，由于第一壓接輥20與支承輥40接觸，第二壓接輥30與加壓輥50接觸，因此，從加熱器45、55向壓接輥20、30的熱傳遞效率提高。
[0056]以上，基于若干實(shí)施例對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但上述發(fā)明的實(shí)施方式用于容易理解本發(fā)明，而非限定本發(fā)明。本發(fā)明在不脫離其主旨的基礎(chǔ)上能夠加以變更、改良，并且本發(fā)明當(dāng)然也包含其等價(jià)物。另外，在能夠解決上述課題的至少一部分的范圍、或者實(shí)現(xiàn)效果的至少一部分的范圍內(nèi)，能夠任意地組合或省略權(quán)利要求書以及說明書所記載的各構(gòu)成要素。例如，可以取代將加熱器45設(shè)置在支承輥40的內(nèi)部而將加熱器45設(shè)置在第一壓接輥20的內(nèi)部，也可以取代將加熱器55設(shè)置在加壓輥50的內(nèi)部而將加熱器55設(shè)置在第二壓接輥30的內(nèi)部。這種結(jié)構(gòu)也可以理想地實(shí)現(xiàn)獲得均勻的壓力分布這樣的效果。
[0057]附圖標(biāo)號說明
[0058]10、110…層壓部
[0059]20…第一壓接輥
[0060]21、22 …軸承[0061 ] 23…第一張緊輥
[0062] 24…第一環(huán)狀平帶
[0063]25、26 …軸承
[0064]30…第二壓接輥
[0065]31、32、35、36、37、38 …軸承
[0066]33…第二張緊輥
[0067]34…第二環(huán)狀平帶
[0068]40…支承輥
[0069]41、42 …軸承
[0070]45...加熱器
[0071]50...加壓輥
[0072]51、52 …軸承
[0073]53、54…軸承殼體
[0074]55...加熱器
[0075]61、62…驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)
[0076]63、64…引導(dǎo)件
[0077]65、66…薄膜引導(dǎo)件
[0078]70、170…保持構(gòu)件
[0079]71、72 …側(cè)板[0080 ]73、74...引導(dǎo)件
[0081]75、76 …彈簧
[0082]77、78…支承板
[0083]79a ?79d...拉桿
[0084]81、82、83、84...槽
[0085]85、86…隔離件
[0086]91、92…輔助輥
[0087]93…搬運(yùn)輥
[0088]94、95…引導(dǎo)件
[0089]96...設(shè)置板
[0090]S…基板
[0091]F...薄膜
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種層壓裝置，其用于使薄膜壓接于基板，其中， 所述層壓裝置具備: 一對壓接輥，其包括位置被固定的第一壓接輥以及比所述第一壓接輥靠上方配置的第二壓接輥，所述第二壓接輥構(gòu)成為，能夠向接近所述第一壓接輥的方向以及遠(yuǎn)離所述第一壓接輥的方向移動(dòng)，所述一對壓接輥用于將所述基板以及所述薄膜夾在所述第一壓接輥與所述第二壓接輥之間，使所述薄膜壓接于所述基板； 支承輥，其與所述第一壓接輥平行地設(shè)置在比該第一壓接輥靠下方的位置，用于支承所述第一壓接輥； 加壓輥，其與所述第二壓接輥平行地設(shè)置在比該第二壓接輥靠上方的位置，所述加壓輥構(gòu)成為，能夠向所述第二壓接輥接近所述第一壓接輥的方向即第一方向、以及所述第二壓接輥遠(yuǎn)離所述第一壓接輥的方向即第二方向移動(dòng)，并且構(gòu)成為通過向所述第一方向移動(dòng)而能夠向所述第一壓接輥側(cè)按壓所述第二壓接輥；以及 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其用于使所述加壓輥向所述第一方向以及所述第二方向移動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層壓裝置，其中， 所述支承輥配置為與所述第一壓接輥接觸， 所述加壓輥至少在該加壓輥向所述第一方向移動(dòng)后的狀態(tài)下與所述第二壓接輥接觸，所述一對壓接輥在所述第一壓接輥與所述第二壓接輥之間直接夾住所述基板以及所述薄膜，使所述薄膜壓接于所述基板。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的層壓裝置，其中， 所述支承輥在該支承輥的內(nèi)部具備第一加熱機(jī)構(gòu)， 所述加壓輥在該加壓輥的內(nèi)部具備第二加熱機(jī)構(gòu)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的層壓裝置，其中， 所述層壓裝置具備施力機(jī)構(gòu)，該施力機(jī)構(gòu)通過將所述第二壓接輥向所述加壓輥側(cè)推壓，從而用于維持所述第二壓接輥與所述加壓輥接觸的狀態(tài)。5.根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的層壓裝置，其中， 所述層壓裝置具備保持構(gòu)件，該保持構(gòu)件用于保持所述第一壓接輥以及所述第二壓接輥，并且構(gòu)成為，能夠在保持有所述第一壓接輥以及所述第二壓接輥的狀態(tài)下，與所述第一壓接輥以及所述第二壓接輥一起從所述層壓裝置拆卸或者向所述層壓裝置安裝。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層壓裝置，其中， 所述層壓裝置具備: 第一張緊輥以及第二張緊輥； 第一環(huán)狀平帶，其架設(shè)在所述第一壓接輥與所述第一張緊輥之間；以及 第二環(huán)狀平帶，其架設(shè)在所述第二壓接輥與所述第二張緊輥之間。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的層壓裝置，其中， 所述支承輥在該支承輥的內(nèi)部具備第一加熱機(jī)構(gòu)， 所述加壓輥在該加壓輥的內(nèi)部具備第二加熱機(jī)構(gòu)。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的層壓裝置，其中， 所述層壓裝置具備施力機(jī)構(gòu)，該施力機(jī)構(gòu)通過將所述第二壓接輥向所述加壓輥側(cè)推壓，從而用于維持所述第二環(huán)狀平帶與所述加壓輥接觸的狀態(tài)。9.根據(jù)權(quán)利要求6至8中任一項(xiàng)所述的層壓裝置，其中， 所述層壓裝置具備保持構(gòu)件，該保持構(gòu)件將所述第一壓接輥、所述第二壓接輥、所述第一張緊輥以及所述第二張緊輥保持為如下的位置關(guān)系:所述第一環(huán)狀平帶以及所述第二環(huán)狀平帶的張力被保持為所述層壓裝置運(yùn)行時(shí)所需的張力。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的層壓裝置，其中， 所述保持構(gòu)件構(gòu)成為，在保持所述第一壓接輥、所述第二壓接輥、所述第一張緊輥以及所述第二張緊輥的狀態(tài)下，能夠與所述第一壓接輥、所述第二壓接輥、所述第一張緊輥以及第二張緊輥一起從所述層壓裝置拆卸或者向所述層壓裝置安裝。11.根據(jù)權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的層壓裝置，其中， 所述第一壓接輥的外徑比所述支承輥的外徑小， 所述第二壓接輥的外徑比所述加壓輥的外徑小。
【文檔編號】B29C63/02GK105848856SQ201480070611
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2014年12月3日
【發(fā)明人】三宅健, 高木俊博
【申請人】三榮技研股份有限公司