應(yīng)用于預(yù)防打印粉塵造成激光打印缺陷的裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種應(yīng)用于預(yù)防打印粉塵造成激光打印缺陷的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前的圓片級(jí)封裝打印工序一般采用波長為532nm的綠光進(jìn)行激光打印，在生產(chǎn)中圓片通過機(jī)械手臂控制依次傳送到預(yù)對(duì)準(zhǔn)臺(tái)進(jìn)行圓片預(yù)對(duì)位，然后圓片被傳送到打印工作臺(tái)(圓片正面朝上，背面朝下)，進(jìn)行精確對(duì)位(依據(jù)圓片正面上的兩個(gè)特殊芯片，設(shè)備內(nèi)部的視頻系統(tǒng)通過兩個(gè)特殊芯片定位后，將激光出光的角度自動(dòng)進(jìn)行校準(zhǔn))后，由位于設(shè)備底部的激光器從下向上發(fā)射激光進(jìn)行打印(打印起點(diǎn)位于圓片頂部第一顆芯片，終點(diǎn)位于圓片底部的最后一顆芯片，激光呈Z字型路徑進(jìn)行激光打印)。由于半導(dǎo)體芯片背面打印材料種類較多，經(jīng)過激光打印后產(chǎn)生的粉塵也各不相同，尤其圓片背面為樹脂材料的產(chǎn)品，激光打印后會(huì)產(chǎn)生大量的樹脂粉塵。雖然在打印工作臺(tái)內(nèi)部裝有吸塵設(shè)備，但在實(shí)際生產(chǎn)作業(yè)中，完成一個(gè)批次的產(chǎn)品(12張圓片)激光打印產(chǎn)生的樹脂粉塵會(huì)堆積在激光源上方的保護(hù)玻璃外圍，最終導(dǎo)致激光無法透過保護(hù)玻璃射出，圓片背面打印區(qū)域的外圍出現(xiàn)漏打印和斷字等異常，隨著半導(dǎo)體的發(fā)展，芯片越做越小，生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的打印粉塵越來越多，由此產(chǎn)生的打印異常頻繁發(fā)生并且對(duì)打印區(qū)域造成污染，使設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性和打印效率大幅降低。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]在下文中給出關(guān)于本實(shí)用新型的簡要概述，以便提供關(guān)于本實(shí)用新型的某些方面的基本理解。應(yīng)當(dāng)理解，這個(gè)概述并不是關(guān)于本實(shí)用新型的窮舉性概述。它并不是意圖確定本實(shí)用新型的關(guān)鍵或重要部分，也不是意圖限定本實(shí)用新型的范圍。其目的僅僅是以簡化的形式給出某些概念，以此作為稍后論述的更詳細(xì)描述的前序。
[0004]本實(shí)用新型提供一種應(yīng)用于預(yù)防打印粉塵造成激光打印缺陷的裝置。
[0005]本實(shí)用新型提供的應(yīng)用于預(yù)防打印粉塵造成激光打印缺陷的裝置，包括一上一下設(shè)置的圓片打印下工作臺(tái)和圓片打印上工作臺(tái)，所述圓片打印下工作臺(tái)上固定連接有用于支持所述圓片打印上工作臺(tái)的立柱，所述圓片打印上工作臺(tái)上具有通孔，所述通孔上設(shè)置有圓片放置平臺(tái)，所述圓片打印下工作臺(tái)上設(shè)置有激光穿透孔，所述激光穿透孔正對(duì)所述圓片放置平臺(tái)，所述圓片打印下工作臺(tái)上設(shè)置有吸塵裝置，所述吸塵裝置的吸塵口朝向所述激光穿透孔，所述圓片打印上工作臺(tái)的下部設(shè)置有吹氣管，所述吹氣管的出氣口朝向所述通孔。
[0006]本實(shí)用新型提供的上述方案，在使用時(shí)，通過吹氣管向圓片打印上工作臺(tái)上的通孔處吹氣，使激光打印過程中產(chǎn)生的粉塵吹離通孔，防止了粉塵在重力的作用下，從激光打印區(qū)域向下落到激光器的激光發(fā)射區(qū)，避免了因粉塵堆積在激光器的激光發(fā)射區(qū)，而遮擋激光的穿射，造成漏打印或斷字等異常的發(fā)生。另外，工作過程中幾乎沒有或僅有極少的粉塵落到激光器的激光發(fā)射區(qū)，因此可以降低對(duì)激光器的清潔頻率，保證了設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行，提高了設(shè)備效率。
【附圖說明】
[0007]參照下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例的說明，會(huì)更加容易地理解本實(shí)用新型的以上和其它目的、特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)。附圖中的部件只是為了示出本實(shí)用新型的原理。在附圖中，相同的或類似的技術(shù)特征或部件將采用相同或類似的附圖標(biāo)記來表示。
[0008]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的應(yīng)用于預(yù)防打印粉塵造成激光打印缺陷的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0009]下面參照附圖來說明本實(shí)用新型的實(shí)施例。在本實(shí)用新型的一個(gè)附圖或一種實(shí)施方式中描述的元素和特征可以與一個(gè)或更多個(gè)其它附圖或?qū)嵤┓绞街惺境龅脑睾吞卣飨嘟Y(jié)合。應(yīng)當(dāng)注意，為了清楚的目的，附圖和說明中省略了與本實(shí)用新型無關(guān)的、本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的部件和處理的表示和描述。
[0010]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的應(yīng)用于預(yù)防打印粉塵造成激光打印缺陷的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的應(yīng)用于預(yù)防打印粉塵造成激光打印缺陷的裝置，包括一上一下設(shè)置的圓片打印下工作臺(tái)7和圓片打印上工作臺(tái)2，圓片打印下工作臺(tái)7上固定連接有用于支持圓片打印上工作臺(tái)2的立柱4，圓片打印上工作臺(tái)2上具有通孔，通孔上設(shè)置有圓片放置平臺(tái)1，圓片打印下工作臺(tái)7上設(shè)置有激光穿透孔，激光穿透孔正對(duì)圓片放置平臺(tái)，圓片打印下工作臺(tái)7上設(shè)置有吸塵裝置9，吸塵裝置9的吸塵口朝向激光穿透孔，圓片打印上工作臺(tái)2的下部設(shè)置有吹氣管3，吹氣管3的出氣口朝向通孔。
[0011]實(shí)際使用中，圓片放置平臺(tái)I的直徑一般略小于圓片的直徑。
[0012]本實(shí)用新型提供的上述方案，在使用時(shí)，通過吹氣管3向圓片打印上工作臺(tái)上的通孔(也即對(duì)準(zhǔn)圓片背面)處吹氣，使激光打印過程中產(chǎn)生的粉塵吹離通孔，防止了粉塵在重力的作用下，從激光打印區(qū)域向下落到激光器的激光發(fā)射區(qū)，同時(shí)吸塵裝置9對(duì)粉塵進(jìn)行抽吸，抽走大部分粉塵，此外還可同時(shí)在圓片打印下工作臺(tái)7的下方設(shè)置一個(gè)吸塵器10，少量掉落到激光器的激光發(fā)射區(qū)(也即激光器鏡頭上的保護(hù)保護(hù)玻璃板)的粉塵又被吸塵器10所吸附，避免了因粉塵堆積在激光器的激光發(fā)射區(qū)，而遮擋激光的穿射，造成漏打印或斷字等異常的發(fā)生。另外，工作過程中幾乎沒有或僅有極少的粉塵落到激光器的激光發(fā)射區(qū)，因此可以降低對(duì)激光器的清潔頻率，保證了設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行，提高了設(shè)備效率。
[0013]進(jìn)一步地，基于上述實(shí)施例，圓片打印下工作臺(tái)7和圓片打印上工作臺(tái)2之間設(shè)置有防塵擴(kuò)散保護(hù)罩5。通過設(shè)置防塵擴(kuò)散保護(hù)罩5，使得粉塵不會(huì)擴(kuò)散到整個(gè)打印工作臺(tái)的空間內(nèi)。
[0014]進(jìn)一步地，基于上述實(shí)施例，圓片打印下工作臺(tái)7和圓片打印上工作臺(tái)2均為方形平臺(tái)，圓片打印下工作臺(tái)7的四角處均設(shè)置有立柱4，通過在圓片打印下工作臺(tái)7和圓片打印上工作臺(tái)2四角設(shè)置四根立柱4，提高了安裝的穩(wěn)定性。
[0015]進(jìn)一步地，基于上述實(shí)施例，防塵擴(kuò)散保護(hù)罩5包裹于四根立柱4的外側(cè)，使得防塵擴(kuò)散保護(hù)罩5安裝的更加穩(wěn)固。
[0016]進(jìn)一步地，基于上述實(shí)施例，防塵擴(kuò)散保護(hù)罩5的頂部與圓片打印上工作臺(tái)2的底面密封配合，防塵擴(kuò)散保護(hù)罩5的底部與圓片打印下工作臺(tái)7的頂面密封配合。防塵擴(kuò)散保護(hù)罩5通過與圓片打印下工作臺(tái)7和圓片打印上工作臺(tái)2的密封配合，有效的防止了粉塵向外部的擴(kuò)散，起到了很好的防塵效果。
[0017]進(jìn)一步地，基于上述實(shí)施例，圓片打印下工作臺(tái)7的下方固定連接有氣罐6，吹氣管3與氣罐6連通。氣罐6內(nèi)存儲(chǔ)的壓力氣體通過吹氣管3將激光打印中產(chǎn)生的粉塵吹離通孔，防止向下沉積遮擋激光器的激光發(fā)射區(qū)。
[0018]進(jìn)一步地，基于上述實(shí)施例，激光穿透孔為倒圓臺(tái)形的通孔。
[0019]進(jìn)一步地，基于上述實(shí)施例，激光穿透孔的底部設(shè)置有激光發(fā)射器8，激光發(fā)射器8的激光出射端蓋裝有透明保護(hù)板。透明保護(hù)板可以但不限于為玻璃板。通過設(shè)置透明保護(hù)板來防止粉塵直接飄落到激光器的激光出射端，對(duì)激光器進(jìn)行保護(hù)。
[0020]最后應(yīng)說明的是:以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種應(yīng)用于預(yù)防打印粉塵造成激光打印缺陷的裝置，包括一上一下設(shè)置的圓片打印下工作臺(tái)和圓片打印上工作臺(tái)，所述圓片打印下工作臺(tái)上固定連接有用于支持所述圓片打印上工作臺(tái)的立柱，所述圓片打印上工作臺(tái)上具有通孔，所述通孔上設(shè)置有圓片放置平臺(tái)，所述圓片打印下工作臺(tái)上設(shè)置有激光穿透孔，所述激光穿透孔正對(duì)所述圓片放置平臺(tái)，所述圓片打印下工作臺(tái)上設(shè)置有吸塵裝置，所述吸塵裝置的吸塵口朝向所述激光穿透孔，其特征在于，所述圓片打印上工作臺(tái)的下部設(shè)置有吹氣管，所述吹氣管的出氣口朝向所述通孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于預(yù)防打印粉塵造成激光打印缺陷的裝置，其特征在于，所述圓片打印下工作臺(tái)和所述圓片打印上工作臺(tái)之間設(shè)置有防塵擴(kuò)散保護(hù)罩。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的應(yīng)用于預(yù)防打印粉塵造成激光打印缺陷的裝置，其特征在于，所述圓片打印下工作臺(tái)和所述圓片打印上工作臺(tái)均為方形平臺(tái)，所述圓片打印下工作臺(tái)的四角處均設(shè)置有所述立柱。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的應(yīng)用于預(yù)防打印粉塵造成激光打印缺陷的裝置，其特征在于，所述防塵擴(kuò)散保護(hù)罩包裹于四根所述立柱的外側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2-4任一項(xiàng)所述的應(yīng)用于預(yù)防打印粉塵造成激光打印缺陷的裝置，其特征在于，所述防塵擴(kuò)散保護(hù)罩的頂部與所述圓片打印上工作臺(tái)的底面密封配合，所述防塵擴(kuò)散保護(hù)罩的底部與所述圓片打印下工作臺(tái)的頂面密封配合。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的應(yīng)用于預(yù)防打印粉塵造成激光打印缺陷的裝置，其特征在于，所述圓片打印下工作臺(tái)的下方固定連接有氣罐，所述吹氣管與所述氣罐連通。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的應(yīng)用于預(yù)防打印粉塵造成激光打印缺陷的裝置，其特征在于，所述激光穿透孔為倒圓臺(tái)形的通孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的應(yīng)用于預(yù)防打印粉塵造成激光打印缺陷的裝置，其特征在于，所述激光穿透孔的底部設(shè)置有激光發(fā)射器，所述激光發(fā)射器的激光出射端蓋裝有透明保護(hù)板。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種應(yīng)用于預(yù)防打印粉塵造成激光打印缺陷的裝置，包括圓片打印下工作臺(tái)和圓片打印上工作臺(tái)，圓片打印下工作臺(tái)上固定連接支持圓片打印上工作臺(tái)的立柱，圓片打印上工作臺(tái)上具有通孔，通孔上設(shè)置有圓片放置平臺(tái)，圓片打印下工作臺(tái)上設(shè)置有激光穿透孔，圓片打印下工作臺(tái)上設(shè)置有吸塵裝置，吸塵裝置的吸塵口朝向激光穿透孔，圓片打印上工作臺(tái)的下部設(shè)置有吹氣管，吹氣管的出氣口朝向通孔。通過吹氣管向通孔處吹氣，使激光打印過程中產(chǎn)生的粉塵吹離通孔，防止了粉塵在重力的作用下，從激光打印區(qū)域向下落到激光器的激光發(fā)射區(qū)，避免了因粉塵堆積在激光器的激光發(fā)射區(qū)，而遮擋激光的穿射，造成漏打印或斷字等異常的發(fā)生。
【IPC分類】B08B15-04, B29C67-00, B08B5-02
【公開號(hào)】CN204382669
【申請?zhí)枴緾N201420771247
【發(fā)明人】秦樂
【申請人】南通富士通微電子股份有限公司
【公開日】2015年6月10日
【申請日】2014年12月9日