專利名稱：干濕交替式廢氣處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及氣體分離裝置，尤其涉及一種干濕交替式廢氣處理裝置。
近年來，國際環(huán)保意識增強，各國在發(fā)展工業(yè)的同時，要求相關(guān)工廠所排放的廢氣、廢水必須符合排放標準。為此，有各種針對不同產(chǎn)業(yè)工藝流程特性而設(shè)計的廢氣、廢水處理設(shè)備陸續(xù)開發(fā)問世。目前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)廣泛使用的廢氣處理方法有濕式和干濕交替式兩種，其中濕式廢氣處理方法，主要是使廢氣直接經(jīng)由多道水霧沖刷作業(yè)后再行排放。干濕交替式廢氣處理方法，是使廢氣用導(dǎo)管依序經(jīng)由一裂解腔進行高溫分解，然后導(dǎo)入一濾凈腔進行水霧沖刷作業(yè)后，再經(jīng)由風管排放。后一種方法采用的設(shè)備裝置雖結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，但因具有較佳的廢氣處理效率，已逐漸被具有高生產(chǎn)價值的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所接受采用。上述習用干濕交替式廢氣處理方法，其所應(yīng)用的設(shè)備，雖能達到基本的實施效果，但經(jīng)長期使用，發(fā)現(xiàn)其仍有下述缺陷有待改進一是習用設(shè)備的裂解腔經(jīng)一段作業(yè)時間后，其內(nèi)部進出氣口處易產(chǎn)生堆積灰垢，導(dǎo)致維修保養(yǎng)的困擾；二是其經(jīng)由濾凈腔進行水霧沖刷作業(yè)后排出的廢氣，因濕度過高常導(dǎo)致風管內(nèi)產(chǎn)生積水滴落現(xiàn)象。三是在廢氣處理過程中沖刷而下的污水，一般通過管路直接導(dǎo)入一加蓋儲槽進行沉淀處理，再由操作工人進入槽內(nèi)鏟除淤泥，槽內(nèi)產(chǎn)生的沼氣容易危害操作人員的生命安全。
有鑒于此，本實用新型創(chuàng)作人員根據(jù)其多年從事廢氣處理設(shè)備制造業(yè)的經(jīng)驗，針對習用干濕交替式半導(dǎo)體廢氣處理裝置整體結(jié)構(gòu)設(shè)計存在的問題，積極地研究改進，終于設(shè)計出本實用新型。
本實用新型的目的在于提供一種干濕交替式廢氣處理裝置，其由廢氣裂解腔、廢氣濾凈腔及污水處置槽組成，其可減少加熱時間，降低能源耗費，便于清潔保養(yǎng)，污水處置槽內(nèi)沉積的淤泥可自動移除，作業(yè)安全性高。
本實用新型的目的是由以下技術(shù)方案實現(xiàn)的。
本實用新型干濕交替式廢氣處理裝置，包括一廢氣裂解腔、一廢氣濾凈腔及一污水處置槽，該廢氣裂解腔，其內(nèi)腔壁設(shè)有一溫度偵測器及一鋁箔層，以通過恒溫控制與熱反射作用縮減加熱時間和能源耗費，其腔體底端接設(shè)有一可拆卸的集塵筒，以避免腔底積堵塵垢，該廢氣濾凈腔，其內(nèi)部于水霧噴頭上方堆置有多個金屬環(huán)管，用以凝附濾除廢氣中過飽和水分，該污水處置槽，其槽體的槽口內(nèi)側(cè)緣延伸設(shè)有一直立擋板，該槽體架設(shè)有一由輸送帶、主動軸、從動軸、梳狀滾輪、刮板、瀉板、減速馬達組成的淤泥清除裝置，其能將污水產(chǎn)生的大部分沼氣阻隔于槽內(nèi)，并通過計時器控制驅(qū)動而將儲槽內(nèi)沉淀的淤泥自動移除。
本實用新型的上述目的還可以通過以下技術(shù)措施來進一步實現(xiàn)。
本實用新型干濕交替式廢氣處理裝置，所述設(shè)在污水處置槽內(nèi)的輸送帶是由主動軸、從動軸的穿設(shè)及梳狀滾輪軸壓抵而制成側(cè)視L形狀；所述廢氣裂解腔的腔體設(shè)成可拆開、鎖合的兩個相對部分，該廢氣裂解腔本體可固定架設(shè)在架體上，也可用懸滑軌支撐懸設(shè)；所述廢氣裂解腔的廢氣導(dǎo)入管端接設(shè)一防氣爆器；所述廢氣裂解腔的內(nèi)部間隔設(shè)有數(shù)道擋流板；所述廢氣裂解腔的廢氣導(dǎo)入處設(shè)有一環(huán)狀氮氣噴座，用于混合廢氣的氮氣導(dǎo)管與壓縮空氣導(dǎo)管樞穿經(jīng)過廢氣裂解腔內(nèi)部的隔熱層；所述廢氣濾凈腔內(nèi)部堆設(shè)在水霧噴頭和出氣口間的金屬環(huán)管可用吸水性泡沫替代，水霧噴頭上方的腔壁增設(shè)一釋壓閥。
本實用新型的具體結(jié)構(gòu)由以下實施例及其附圖詳細給出。


圖1為本實用新型整體結(jié)構(gòu)配置示意圖。
圖2為本實用新型廢氣裂解腔內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3為本實用新型廢氣濾凈腔內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4為本實用新型污水處置槽結(jié)構(gòu)示意圖。
圖5為本實用新型污水處置槽局部結(jié)構(gòu)示意圖。
圖6為本實用新型污水處置槽梳狀滾軸及輸送帶結(jié)構(gòu)示意圖。
圖7為本實用新型的廢氣裂解腔可拆除結(jié)構(gòu)俯視示意圖。
圖8為備實用新型的廢氣裂解腔加裝防氣爆器示意圖。
圖9為本實用新型的廢氣裂解腔設(shè)有的擋流板結(jié)構(gòu)示意圖。
圖10為本實用新型的廢氣裂解腔另一實施狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖。
圖11為本實用新型的廢氣濾凈腔另一實施狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖。
參閱
圖1所示，本實用新型干濕交替廢氣處理裝置，其包括一廢氣裂解腔1、一廢氣濾凈腔2及一污水處理槽3。
參閱圖2所示，本實用新型干濕交替廢氣處理裝置，其廢氣裂解腔1的內(nèi)腔壁設(shè)有一溫度偵測器11，用以控制加熱器12以恒溫狀態(tài)運作，且內(nèi)腔壁設(shè)有一鋁箔層13，其能產(chǎn)生熱反射作用，以縮短廢氣裂解腔1的加熱時間及減少能源耗費，該廢氣裂解腔1的底端另接設(shè)有一可拆卸的集塵筒14，該集塵筒14的筒口端設(shè)有一蝴蝶閥141，用以收集廢氣裂解過程產(chǎn)生的顆粒塵a，這種結(jié)構(gòu)設(shè)計能壁面腔底堆積塵垢，且無需拆開廢氣裂解腔即能清潔保養(yǎng)。
參閱圖3所示，本實用新型干濕交替廢氣處理裝置，其廢氣濾凈腔2內(nèi)部的水霧噴頭21與出氣口間是堆置有多個金屬環(huán)管22，廢氣(如→示)由廢氣裂解腔1通過連接管15導(dǎo)入廢氣濾凈腔2完成水霧沖刷后，再經(jīng)由該層金屬環(huán)管22將氣體中的殘余水分凝附在壁面，再經(jīng)風管排出，以壁面過多的水氣在風管內(nèi)形成凝結(jié)滴水現(xiàn)象。
參閱圖4、圖5、圖6所示，本實用新型的干濕交替廢氣處理裝置，其污水處置槽3槽體的槽口內(nèi)側(cè)緣延伸設(shè)有一直立擋板31，其可將污水產(chǎn)生的大部分沼氣(如→示)阻隔于槽內(nèi)，其中該污水處置槽3是由導(dǎo)管32接通廢氣濾凈腔2底端以承接污水，并定時將槽內(nèi)經(jīng)沉淀的廢水抽出者，且其槽體架設(shè)有一包括主動軸33、減速馬達34、從動軸35、梳狀滾軸36、輸送帶37、刮板38、瀉板39構(gòu)成的淤泥清除裝置，其中該輸送帶37是設(shè)以長纖維化纖耐酸堿毯子構(gòu)成的一L形輸送帶，當污水處置槽3內(nèi)的污水積存沉淀相當時間后，通過一計時器的控制啟動減速馬達322帶動主動軸33，輸送帶即呈順時針方向回轉(zhuǎn)，而積附在輸送帶上的淤泥b隨著L狀順時回移過程，能由梳狀滾軸36先將其鏟松，在由刮板38刮落在瀉板39上，配合在瀉板出口端下方預(yù)置的一容器c，可達到自動清除淤泥的效果。
參閱圖7所示，如上述的干濕交替式廢氣處理裝置，其廢氣裂解腔1的腔體結(jié)構(gòu)可設(shè)計成有兩個相對部分40可拆卸、鎖合的組合形狀，該廢氣裂解腔1本體可固定架設(shè)在架體上，或者用滑軌41支撐懸設(shè)，以達到方便內(nèi)腔壁的清除保養(yǎng)作業(yè)。
參閱圖8所示，如上述的干濕交替式廢氣處理裝置，其廢氣裂解腔1廢氣導(dǎo)入管端d另接設(shè)一防爆器e，以達增加作業(yè)時的安全性。
參閱圖9所示，如上述的干濕交替式廢氣處理裝置，其廢氣裂解腔1內(nèi)部設(shè)有數(shù)道擋流板f，用以緩和廢氣(如→示)流速，從而獲得更佳的高溫裂解效果。
參閱
圖10所示，如上述干濕交替式廢氣處理裝置，其廢氣裂解腔1的廢氣導(dǎo)入處設(shè)有一環(huán)狀氮氣噴座50，以在其腔內(nèi)壁面形成一道氮氣氣膜，使廢氣中的顆粒不致因氣流死角而在腔內(nèi)產(chǎn)生上部堆積堵塞，用于混合廢氣的氮氣導(dǎo)管51與壓縮空氣導(dǎo)管52設(shè)于樞穿經(jīng)過廢氣裂解腔內(nèi)部的隔熱層53，從而獲得預(yù)熱效果以加速腔內(nèi)廢氣的分解效率。
參閱圖3、
圖11所示，如上述干濕交替式廢氣處理裝置，其廢氣濾凈腔2其內(nèi)部堆設(shè)于水霧噴頭21上方的金屬環(huán)管22可用吸水性泡沫球23替代，并在水霧噴頭上方的腔壁增設(shè)一釋壓閥24，以增加水氣濾除效果。
綜上所述，本實用新型干濕交替式廢氣處理裝置，其結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，廢氣處理效果好，方便設(shè)備的清除保養(yǎng)，作業(yè)安全性高，克服習用產(chǎn)品的缺陷，達到預(yù)期的設(shè)計目的。
權(quán)利要求1.一種干濕交替式廢氣處理裝置，其特征在于，包括一廢氣裂解腔、一廢氣濾凈腔及一污水處置槽，該廢氣裂解腔的內(nèi)腔壁設(shè)有一溫度偵測器及一鋁箔層，其腔體底端接設(shè)有一可拆卸的集塵筒；該廢氣濾凈腔，其內(nèi)部于水霧噴頭上方堆置有多個金屬環(huán)管；該污水處置槽，其槽體的槽口內(nèi)側(cè)緣延伸設(shè)有一直立擋板，槽體架設(shè)有一由輸送帶、主動軸、從動軸、梳狀滾輪、刮板、瀉板、減速馬達組成的淤泥清除裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干濕交替式廢氣處理裝置，其特征在于，所述設(shè)在污水處置槽內(nèi)的輸送帶成側(cè)視L形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干濕交替式廢氣處理裝置，其特征在于，所述廢氣裂解腔的腔體設(shè)成可拆開、鎖合的兩個相對部分，該廢氣裂解腔本體可固定架設(shè)在架體上，也可用懸滑軌支撐懸設(shè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干濕交替式廢氣處理裝置，其特征在于，所述廢氣裂解腔的廢氣導(dǎo)入管端接設(shè)一防氣爆器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干濕交替式廢氣處理裝置，其特征在于，所述廢氣裂解腔的內(nèi)部間隔設(shè)有數(shù)道擋流板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干濕交替式廢氣處理裝置，其特征在于，所述廢氣裂解腔的廢氣導(dǎo)入處設(shè)有一環(huán)狀氮氣噴座，用以混合廢氣的氮氣導(dǎo)管與壓縮空氣導(dǎo)管樞穿經(jīng)過廢氣裂解腔內(nèi)部的隔熱層。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干濕交替式廢氣處理裝置，其特征在于，所述廢氣濾凈腔內(nèi)部堆設(shè)在水霧噴頭和出氣口間的金屬環(huán)管可用吸水性泡沫替代，水霧噴頭上方的腔壁增設(shè)一釋壓閥。
專利摘要干濕交替式廢氣處理裝置,包括廢氣裂解腔、廢氣濾凈腔及污水處置槽,廢氣裂解腔設(shè)溫度偵測器及鋁箔層,以通過恒溫控制與熱反射作用縮減加熱時間和能源耗費,腔體底端設(shè)集塵筒,以避免腔底積堵塵垢,廢氣濾凈腔內(nèi)部于水霧噴頭上方設(shè)多個金屬環(huán)管,用以凝附濾除廢氣中過飽和水分,污水處置槽槽口延伸設(shè)直立擋板,槽體架設(shè)淤泥清除裝置,將污水產(chǎn)生的大部分沼氣阻隔于槽內(nèi),并通過計時器控制驅(qū)動而自動移除槽內(nèi)的淤泥。
文檔編號F23J15/00GK2470685SQ01204539
公開日2002年1月9日 申請日期2001年2月28日 優(yōu)先權(quán)日2001年2月28日
發(fā)明者陳聰茂 申請人:陳聰茂