專(zhuān)利名稱(chēng)：廢氣處理系統(tǒng)燃燒室結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種廢氣和危害性有毒氣體的處理裝置，公開(kāi)一種廢氣處理系統(tǒng)燃燒室結(jié)構(gòu)。廢氣和危害性有毒氣體是在半導(dǎo)體制程原物料與副產(chǎn)物中產(chǎn)生的，通過(guò)在燃燒室中燃燒可以處理這些氣體，使排放的氣體達(dá)到環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)。
二背景技術(shù)：
在處理半導(dǎo)體制程原物料與副產(chǎn)物中會(huì)產(chǎn)生多種廢氣和危害性有毒氣體，這些危害物有些有腐蝕燃燒室的危險(xiǎn)，因此這些危害性有毒氣體不能直接排放到大氣中，所以就會(huì)涉及到處理這些廢氣和危害性有毒氣體的方法和裝置。
一般處理的方法有(1)電熱水洗式(Thermal type)加熱溫度在800～1300度間，處理可燃?xì)怏w且其燃燒產(chǎn)物可溶于水的氣體，如H2，TDMAT，DCS，NF3，N2O，NH3，SiH4，C2F6，ClF3，WF6等氣體；(2)燃燒水洗式(Burn type)通入CH4、C3H8和O2等氣體進(jìn)行高溫燃燒處理可燃?xì)怏w，其最高溫度可達(dá)1600℃，可有效處理各種可燃?xì)怏w(包括PFC)；這些廢氣和危害性有毒氣體是通過(guò)廢氣處理系統(tǒng)中的燃燒室進(jìn)行處理。但是由于有些氣體一般都會(huì)有腐蝕性，所以在燃燒室中處理時(shí)，會(huì)腐蝕燃燒室的內(nèi)壁，因此對(duì)燃燒室的制造時(shí)要解決該問(wèn)題。
三
發(fā)明內(nèi)容
為了解決現(xiàn)有的廢氣處理系統(tǒng)中的燃燒室被危害性有毒氣體腐蝕的問(wèn)題，危害性有毒氣體進(jìn)入后會(huì)腐蝕它的內(nèi)壁和加熱棒，會(huì)使它的加熱棒腐蝕斷裂，燃燒室內(nèi)表層腐蝕脫落、內(nèi)層變薄、穿孔破裂，以致會(huì)影響燃燒室的使用壽命和氣密性，造成嚴(yán)重后果。本實(shí)用新型提供一種廢氣處理系統(tǒng)，該廢氣處理系統(tǒng)的燃燒室不僅在加熱棒外面裝了保護(hù)套，而且在燃燒室內(nèi)壁加了氧化鋯復(fù)合涂層或氧化鋁或氧化鋁復(fù)合涂層，可以有效防止危害性有毒氣體的腐蝕。
本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的一種廢氣處理系統(tǒng)燃燒室結(jié)構(gòu)，包括燃燒室、加熱棒以及加熱棒保護(hù)套，其特征在于在燃燒室內(nèi)壁涂有涂層，該涂層在氧化鋯復(fù)合涂層、氧化鋁涂層、氧化鋁復(fù)合涂層中選擇一種。所述的氧化鋯復(fù)合涂層為硅酸鋯和鋯石粉末復(fù)合涂層，氧化鋁復(fù)合涂層為氧化鋁和氧化鋯復(fù)合涂層，涂層厚度在1.5mm～5mm。所述的加熱棒保護(hù)套的材質(zhì)為氧化鋁陶瓷，保護(hù)套的套體與加熱棒間距為5～20mm，上下間距為50～70mm，并用法蘭與加熱棒共同固定在蓋板上。
在廢氣處理系統(tǒng)中，一些廢氣和危害性有毒氣體，必須經(jīng)過(guò)該系統(tǒng)中的燃燒室進(jìn)行處理。但是有些氣體是具有腐蝕性的，在進(jìn)入燃燒室后會(huì)對(duì)其進(jìn)行腐蝕，會(huì)使它的加熱棒腐蝕斷裂，燃燒室內(nèi)表層腐蝕脫落、內(nèi)層變薄、穿孔破裂，以致會(huì)影響燃燒室的使用壽命和氣密性，造成嚴(yán)重后果。為了避免造成嚴(yán)重后果，在加熱棒外面裝了保護(hù)套，該保護(hù)套的材質(zhì)為氧化鋁陶瓷，耐高溫，耐腐蝕性能良好。在燃燒室內(nèi)壁加了氧化鋯復(fù)合涂層或氧化鋁或氧化鋁復(fù)合涂層，該涂層耐腐蝕性能強(qiáng)，耐高溫，高溫化學(xué)性能穩(wěn)定，耐磨，耐沖蝕性能，可以有效解決這一問(wèn)題。并且在耐腐蝕的同時(shí)，把這些氣體進(jìn)行有效地處理，使排放的氣體達(dá)到環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。
本實(shí)用新型的有益效果是，在處理危害性有毒氣體的同時(shí)，由于加熱棒加了保護(hù)套和燃燒室內(nèi)壁加了氧化鋯復(fù)合涂層或氧化鋁或氧化鋁復(fù)合涂層，有效地防止了危害性有毒氣體的腐蝕。
四

附圖是本實(shí)用新型燃燒室結(jié)構(gòu)示意圖。
在圖中1、內(nèi)壁涂層；2、保護(hù)套；3、加熱棒。
五具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型廢氣處理系統(tǒng)中，一些廢氣和危害性有毒氣體，必須經(jīng)過(guò)該系統(tǒng)中的燃燒室進(jìn)行處理。但是有些氣體是具有腐蝕性的，在進(jìn)入燃燒室后會(huì)對(duì)其進(jìn)行腐蝕，會(huì)使它的加熱棒腐蝕斷裂，燃燒室內(nèi)表層腐蝕脫落、內(nèi)層變薄、穿孔破裂，以致會(huì)影響燃燒室的使用壽命和氣密性，造成嚴(yán)重后果。為了避免造成嚴(yán)重后果，在加熱棒外面裝了保護(hù)套，該保護(hù)套的材質(zhì)為氧化鋁陶瓷，耐高溫，耐腐蝕性能良好。在燃燒室內(nèi)壁加了氧化鋯復(fù)合涂層或氧化鋁或氧化鋁復(fù)合涂層，該涂層耐腐蝕性能強(qiáng)，耐高溫，高溫化學(xué)性能穩(wěn)定，耐磨，耐沖蝕性能，可以有效解決這一問(wèn)題。并且在耐腐蝕的同時(shí)，把這些氣體進(jìn)行有效地處理，使排放的氣體達(dá)到環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。
下面通過(guò)對(duì)比例和實(shí)施例來(lái)進(jìn)一步說(shuō)明。
對(duì)比例在廢氣處理系統(tǒng)的燃燒室中，在燃燒室的加熱棒3的外面裝了保護(hù)套2，該保護(hù)套的材質(zhì)為氧化鋁陶瓷。用該氧化鋁陶瓷加熱棒加熱，可耐1600℃的高溫，并且抗腐蝕性能良好。鈦合金也是一種可用于加熱棒保護(hù)套的材質(zhì)，用鈦合金加熱棒加熱耐高溫在600～650℃，而用鈦鋁化合物為基的鈦合金Ti3Al(α2)和TiAl(γ)加熱棒分別耐高溫為816和982℃，抗腐蝕性較好。對(duì)氧化鋁陶瓷和鈦合金進(jìn)行比較，氧化鋁陶瓷在耐高溫方面優(yōu)于鈦合金，并且具有更好的耐腐蝕性能。
實(shí)施例1在燃燒室內(nèi)壁加了氧化鋯復(fù)合涂層，該涂層耐腐蝕性能強(qiáng)，耐高溫，耐沖蝕性能。
列舉氧化鋯復(fù)合涂層中的其中一種涂層，即硅酸鋯和鋯石粉末復(fù)合涂層。其性能規(guī)格如下

在燃燒室內(nèi)壁用硅酸鋯和鋯石粉末復(fù)合涂層，該復(fù)合涂層具有熔點(diǎn)高，耐高溫，耐腐蝕性能強(qiáng)，一些廢氣和危害性氣體進(jìn)入燃燒室中，它可以在耐腐蝕的同時(shí)，把這些氣體進(jìn)行有效地處理，使排放的氣體達(dá)到環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。
實(shí)施例2在燃燒室內(nèi)壁加了氧化鋁或氧化鋁復(fù)合涂層1，該涂層耐腐蝕性能強(qiáng)，耐高溫，高溫化學(xué)性能穩(wěn)定，耐磨，耐沖蝕性能。
列舉氧化鋁復(fù)合涂層中的其中一種涂層，即氧化鋁和氧化鋯復(fù)合涂層。其性能規(guī)格如下

在燃燒室內(nèi)壁用氧化鋁和氧化鋯復(fù)合涂層，氧化鋁和氧化鋯均屬陶瓷類(lèi)，氧化鋁具有耐高溫、高強(qiáng)度、耐磨、耐腐蝕性能等性能，氧化鋯具有密度大，硬度較高，抗彎強(qiáng)度和斷裂韌性在各種陶瓷中為最高等性能，兩者的復(fù)合涂層具有熔點(diǎn)高，耐高溫，耐腐蝕性能強(qiáng)，一些廢氣和危害性氣體進(jìn)入燃燒室中，它可以在耐腐蝕的同時(shí)，把這些氣體進(jìn)行有效地處理，使排放的氣體達(dá)到環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種廢氣處理系統(tǒng)燃燒室結(jié)構(gòu)，包括燃燒室、加熱棒以及加熱棒保護(hù)套，其特征在于在燃燒室內(nèi)壁涂有涂層，該涂層在氧化鋯復(fù)合涂層、氧化鋁涂層、氧化鋁復(fù)合涂層中選擇一種。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢氣處理系統(tǒng)燃燒室結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的氧化鋯復(fù)合涂層為硅酸鋯和鋯石粉末復(fù)合涂層，氧化鋁復(fù)合涂層為氧化鋁和氧化鋯復(fù)合涂層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的廢氣處理系統(tǒng)燃燒室結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的燃燒室內(nèi)壁涂層厚度為1.5mm～5mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的廢氣處理系統(tǒng)燃燒室結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的加熱棒保護(hù)套的材質(zhì)為氧化鋁陶瓷。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的廢氣處理系統(tǒng)燃燒室結(jié)構(gòu)，其特征在于所述氧化鋁陶瓷保護(hù)套，套體與加熱棒左右間距為5～20mm，上下間距為50～70mm，保護(hù)套通過(guò)法蘭與加熱棒共同固定在蓋板上。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型為一種廢氣處理系統(tǒng)中的燃燒室結(jié)構(gòu)，包括燃燒室、加熱棒以及加熱棒保護(hù)套，其特征在于在燃燒室內(nèi)壁涂有涂層，該涂層在氧化鋯復(fù)合涂層、氧化鋁涂層、氧化鋁復(fù)合涂層中選擇一種。加熱棒保護(hù)套的材質(zhì)為氧化鋁陶瓷。本實(shí)用新型不但耐危害性有毒氣體的腐蝕，而且耐高溫，可以安全有效的處理這些廢氣和危害性有毒氣體，使排放的氣體達(dá)到環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。
文檔編號(hào)F23G5/44GK2781199SQ20052003919
公開(kāi)日2006年5月17日 申請(qǐng)日期2005年1月24日 優(yōu)先權(quán)日2005年1月24日
發(fā)明者周鴻淇 申請(qǐng)人:真一(上海)集成電路設(shè)備有限公司