專利名稱:氣體燃燒器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及如獨(dú)立權(quán)利要求部分所述的氣體燃燒器。所述氣體燃燒器適用于形成 一系列火焰,其特征在于它適用于,例如,用在用于基片表面的火焰處理,特別是用于大型 基片表面的火焰處理的裝置中,例如,通過所謂燃燒化學(xué)氣相沉積(CCVD)工藝,用于所述 表面的活化或用于涂覆所述表面。
背景技術(shù):
用于大表面的基片,例如,聚合物膜,紙板,金屬箔,擠出的熔體簾的準(zhǔn)無限的板材 或其組合的火焰處理的設(shè)施通常裝配有氣體燃燒器或多個氣體燃燒器,并且具有用于輸送 所述基片使其穿過或從旁邊經(jīng)過由所述氣體燃燒器產(chǎn)生的火焰陣列的裝置(例如,滾筒)。 所述火焰陣列通常具有橫跨垂直于所述基片移動方向的基片寬度的火焰帶形式。例如,這 種設(shè)施披露于專利公開號WO 2007/051340中。通過在所述類型的設(shè)施中實(shí)施的所述火焰處理工藝可以獲得的處理質(zhì)量在相當(dāng) 程度上取決于所述火焰帶的均勻性,特別是在其長度上,即,垂直于所述基片的移動方向的 均勻性,并且取決于該均勻性的瞬時穩(wěn)定性。為了獲得該均勻性,需要具有較高密度火焰的 火焰陣列,其中,所述火焰必須是盡可能的相同,并且必須能夠以高穩(wěn)定性燃燒盡可能長的 時間。用于形成火焰陣列的現(xiàn)有氣體燃燒器一般包括氣體風(fēng)室,該氣體風(fēng)室具有氣 體輸送接頭,并且在其一側(cè)具有穿孔壁部分,其中,輸送的氣體通過所述多孔壁排出所 述風(fēng)室,以便在該壁的外側(cè)燃燒。為了獲得高密度火焰,所述多孔的風(fēng)室壁包括,例如, 一組疊放的瓦楞鐵條板,多孔耐火元件或一組多個多孔耐火板,例如參見專利公開文件 US2003/044342。采用這種多孔的風(fēng)室壁部分,可以獲得具有足夠長度的高密度小噴嘴。不 過,所述噴嘴截面和所述噴嘴長度在截面和長度范圍內(nèi)大體上隨機(jī)變化,這被證實(shí)在極高 的質(zhì)量水平上對于表面處理來說是不夠的。能夠滿足上述條件、適合高質(zhì)量火焰處理的現(xiàn)有燃燒器包括一體式金屬噴嘴板作 為所述氣體風(fēng)室的穿孔壁部分,例如,它是用黃銅制成的。不過,這種噴嘴板需要高密度的、 具有較高長度和直徑間比例的小噴嘴,為了獲得必要的精度,所述噴嘴必須通過鉆孔成型。 所述鉆孔作業(yè)對所述長度和直徑間比例提出了上限,并且與高的機(jī)器和/或勞動力成本組
合在一起。公開的專利文獻(xiàn)WO 01/57438披露了一種氣體燃燒器,它包括管狀燃燒器主體, 具有多個并排排列的裂縫狀通孔。另外,在燃燒器主體上安裝有防護(hù)罩,它同樣包括通孔, 通孔的位置和形狀適應(yīng)所述燃燒器主體的通孔。所述防護(hù)罩用于保護(hù)所述燃燒器主體免受
過高熱量。公開的專利文獻(xiàn)DE 26 05 %4披露了一種氣體燃燒器,其噴嘴板是由多個折疊 的片材元件構(gòu)成,這些元件是以纏繞方式安裝的。這樣,形成了用于氣體的噴嘴。用于使用 了折疊的片材,可能發(fā)生所述片材的表面不是彼此完全倚靠在一起的情況,使得所述氣體以不確定的方式流過所述片材之間的間隙。另外,所述孔不是貫通的,不過所述氣體流過所 述片材元件的拐角。因此,不能獲得準(zhǔn)確并且穩(wěn)定的燃燒條件。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是創(chuàng)造一種用于形成火焰陣列的氣體燃燒器,其中,所述火焰陣列 至少與上述包括一體式金屬噴嘴板的現(xiàn)有燃燒器一樣適合大型基片表面的最高質(zhì)量的火 焰處理,不過,其中,所述燃燒器能夠以相對簡單的方法生產(chǎn),并且具有完全相同的高精度。 另外,所述燃燒器的生產(chǎn)不限制所述噴嘴的長度和直徑間比例。這一目的是通過獨(dú)立權(quán)利要求中限定的氣體燃燒器實(shí)現(xiàn)的。與用于相同目的的現(xiàn)有燃燒器類似,其中,本發(fā)明的氣體燃燒器包括具有氣體輸 送接頭和噴嘴板的燃燒器主體,所述燃燒器主體和所述噴嘴板構(gòu)成了氣體風(fēng)室,所述噴嘴 板構(gòu)成了所述氣體風(fēng)室的穿孔壁部分。本發(fā)明氣體燃燒器的噴嘴板具有類疊放排列的多個 片材,其中,所述片材是以疊放形式形成和安裝的,因此所述疊放物包括從所述噴嘴板的風(fēng) 室側(cè)延伸到火焰?zhèn)鹊亩鄠€噴嘴。所述噴嘴板優(yōu)選是獨(dú)立于所述燃燒器主體形成的元件。即, 所述噴嘴板能夠獨(dú)立于所述燃燒器主體用需要數(shù)量的片材生產(chǎn),然后可以連接到所述燃燒 器主體上。在固定所述噴嘴板的部位,所述燃燒器主體可以開口或形成具有通孔的壁,用于 輸送氣體。通過若干片材,特別是至少三個片材的組合,所形成的噴嘴孔優(yōu)選具有這樣的直 徑它在沿縱向上的直徑小于其沿氣體流出方向的長度。所述片材可以大體上垂直于所述噴嘴長度方向延伸,并且包括確定的通孔(與多 孔板的隨機(jī)通孔相反),其中,所述疊放物中所有片材的通孔彼此至少是部分對齊的,以便 構(gòu)成所述噴嘴。在保持所述噴嘴的開口寬度(直徑)同樣時,通過增加片材的數(shù)量,可以方 便地延長所述噴嘴長度。所述片材還可以大體上平行于所述噴嘴長度延伸,其中,所述片材 的至少一部分具有帶鋸齒狀邊緣的梳子狀形狀,它朝向所述噴嘴板的火焰?zhèn)?。片材上的?述梳子狀排列的齒之間的缺口與相鄰的片材共同構(gòu)成了噴嘴。因此,所述噴嘴能夠輕易地 生產(chǎn),具有較高的長度和直徑的比例。特別是,所述噴嘴可以通過穿孔用片材生產(chǎn)。這一點(diǎn) 與穿過一體式的厚的噴嘴板的鉆孔方法相反,正如在開始部分提到的,后者要在所有側(cè)面 界定所述噴嘴。本發(fā)明燃燒器的噴嘴板通常具有矩形形狀,具有若干厘米(例如,3-20cm)的寬 度(在所述處理裝置中沿平行于材料輸送的方向延伸),高達(dá)幾米(例如,l_3m)的長度和 5-20mm的厚度。從風(fēng)室側(cè)到火焰?zhèn)却┻^所述噴嘴板的噴嘴優(yōu)選具有這樣的截面,其大小在 0. 5-2mm范圍內(nèi),并且,彼此距離大體相同。這使得當(dāng)噴嘴密度為,例如,0. 25或0. 5噴嘴/ mm2時的噴嘴的長度和直徑間比例為大約2. 5-40。例如,所述片材由金屬,優(yōu)選鋼鐵(例如,碳鋼或抗氧化鋼鐵)、黃銅或青銅組成。 其厚度典型為0. 5-2mm(優(yōu)選為0. 8-1. 5mm,更優(yōu)選Imm)。所述金屬片材可從市場上購買甚 至構(gòu)建成適合所述目的的具有確定的開口圖案(多孔金屬片材)。所述片材材料可以切割 成一定尺寸,并且可以配備通孔或鋸齒狀邊緣,例如,借助于激光切割、通過射流切割或通 過銑削。它們優(yōu)選是使用沖孔工具通過沖孔形成的,所述工具能夠?qū)σ粋€完整的片材同時 進(jìn)行沖孔或通過對所述片材材料的準(zhǔn)環(huán)形條進(jìn)行連續(xù)的沖孔生產(chǎn)片材。
為了用所述片材生產(chǎn)噴嘴板,將多個所述片材堆疊在一起,并且將堆疊中的片材 彼此固定在一起,其中,所述固定裝置可以是所述燃燒器主體的一部分或可以構(gòu)成所述噴 嘴板的額外部分。還可以沿其邊緣的至少一部分將所述片材焊接在一起。為了形成堆疊,所 述片材優(yōu)選是平的和直的,即,在任何情況下它們都具有平面的上側(cè)和下側(cè)。在所述噴嘴板 內(nèi),相鄰片材的上側(cè)和下側(cè)平面地倚靠在一起,以便在接觸部位優(yōu)選沒有氣體可以通過。由 于所述片材優(yōu)選不是彎曲的,共同界定或限定噴嘴的相鄰的層,可以彼此相對位移,因此, 彼此可以準(zhǔn)確地對齊。通過使所述片材彼此相對移動,所述噴嘴的截面開度可以根據(jù)規(guī)定 變化。由本發(fā)明的燃燒器產(chǎn)生的火焰陣列能夠滿足火焰處理質(zhì)量的最高標(biāo)準(zhǔn),并且,與 現(xiàn)有一體式青銅噴嘴板相比對生產(chǎn)的要求明顯更少。本發(fā)明燃燒器的另一個優(yōu)點(diǎn)是噴嘴板 的生產(chǎn)簡單或噴嘴板能夠適應(yīng)不同的要求(不同處理,不同氣體等),其中,通過疊放不同 數(shù)量的片材和/或不同類型的片材,僅用少量不同類型的片材就可以生產(chǎn)出大量不同的噴 嘴板。另外,可以組合不同材料的片材,例如,用一個高度耐熱耐氧化并因此昂貴的材料的 片材構(gòu)成所述噴嘴板的火焰?zhèn)?,用多個耐性較差并因此不太昂貴的其他片材構(gòu)成所述噴嘴 板的風(fēng)室側(cè)。本發(fā)明燃燒器的另一個優(yōu)點(diǎn)是這樣的事實(shí)將所述噴嘴板與所述燃燒器主體 分開,并且將所述片材相互分開,使得能夠方便并且徹底地清洗所述噴嘴,這使得所述噴嘴 板具有長的使用壽命。
將結(jié)合以下附圖對本發(fā)明氣體燃燒器做更詳細(xì)地說明,其中圖1表示本發(fā)明氣體燃燒器的第一示例實(shí)施方案,其中,所述噴嘴板的片材是大 體上垂直于所述噴嘴長度安裝的;圖2-4以分解示意圖的形式表示圖1所示燃燒器實(shí)施方案的噴嘴板(圖2),從火 焰?zhèn)扔^察(圖幻,和從風(fēng)室側(cè)觀察(圖4);圖5表示本發(fā)明氣體燃燒器的第二示例實(shí)施方案,其中,所述噴嘴板的片材是大 體上平行于所述噴嘴長度安裝的;圖6和7以分解示意圖形式表示圖5所示燃燒器實(shí)施方案的噴嘴板的片材(圖 6),并且疊放排列,觀察所述噴嘴板的一部分(圖7);圖8是穿過本發(fā)明燃燒器的其他實(shí)施方案的剖視圖。
具體實(shí)施例方式圖1表示本發(fā)明氣體燃燒器的第一示例實(shí)施方案,所述氣體燃燒器包括具有氣體 輸送接頭2和噴嘴板3的燃燒器主體1,其中,所述燃燒器主體1和噴嘴板3共同構(gòu)成了氣 體風(fēng)室,所述噴嘴板3構(gòu)成了所述風(fēng)室的穿孔壁部分。所述噴嘴板3的噴嘴4從所述噴嘴 板3的風(fēng)室側(cè)5延伸到火焰?zhèn)?。為了便于說明,圖1所示燃燒器的尺寸之間的關(guān)系與真實(shí) 燃燒器的相關(guān)關(guān)系不一致。具體講,所述燃燒器主體通常比圖中所示更長,所述噴嘴更小, 并且彼此更接近。噴嘴板3具有大體上垂直于所述噴嘴的長度方向延伸的多個片材10 (例如,如圖 1所示,有6個片材),所述片材具有確定的通孔,并且是疊放的,以便所述每一個片材的通孔與所述疊放的所有其他片材的通孔充分對齊,從而形成所述噴嘴。例如,通過分布在所述燃燒器主體的整個長度上的相應(yīng)的槽將片材10的疊放物 固定在一起,并且相對所述燃燒器主體1位置固定。所述疊放物還可以通過貫穿穿過整個 疊放物的相應(yīng)的孔或穿過少數(shù)噴嘴的相應(yīng)的鉚釘或螺栓或通過沿片材邊緣焊接連接進(jìn)行 額外穩(wěn)定。圖2更詳細(xì)的示出了圖1所示燃燒器的噴嘴板3的6個片材10,這6個片材屬于 兩種不同的片材類型。四個第一類片材10. 1構(gòu)成了所述噴嘴板3的火焰?zhèn)?,例如,具有圓 形通孔(孔)的圖案,其中,所述每一個通孔供給通過所述燃燒器產(chǎn)生的火焰陣列的一個火 焰。例如,所述第一類片材10. 1是由多孔的金屬片材組成,該多孔的金屬片材具有由沿平 行于片材邊緣的方向排列成行的孔組成的規(guī)則圖案,其中,所述行中的一行孔與相鄰行的 孔之間的間隙對齊。所述多孔的鋼鐵片材材料可以從市場上購買。至少一個(圖中示出了兩個)第二類片材10. 2構(gòu)成了所述噴嘴板的風(fēng)室側(cè)5。這 些片材10. 2具有與第一類片材10. 1相同通孔的圖案的部分,并且取代該圖案的其他部分, 這些片材10. 2具有大體上為矩形的通孔,所述通孔平行于所述片材長度延伸,并且其寬度 例如對應(yīng)于兩排通孔的寬度。所述第二類片材10. 2優(yōu)選是由與所述第一類片材相同的多 孔的金屬片材制成,通過切割所述矩形通孔,以便去掉孔行的一部分。圖3和4示出了從火焰?zhèn)?觀察(圖3)和從風(fēng)室側(cè)5觀察(圖4)的圖1所示燃 燒器的噴嘴板3,所述第二類片材10. 2的孔是沿所述行的方向位移的,孔的位移量d小于孔 的直徑,以便降低相應(yīng)噴嘴的有效橫截面。另一方面,與矩形通孔對齊的孔的噴嘴具有相當(dāng) 于所述孔直徑的有效橫截面。具有更大截面的噴嘴能夠用于提供處理火焰,而具有較小截 面的噴嘴用于提供較小的支持火焰,該火焰是維持較大處理火焰所必須的。在圖2-4中所示出的示例噴嘴板能產(chǎn)生包括兩行處理火焰的兩個帶的火焰帶,并 且在每一側(cè)和兩個帶之間各有一行支持火焰。通過疊放圖2所示第一類片材10. 1和第二 類片材10. 2其中第二類片材具有其它的、必要時在片材與片材之間的不同圖案的孔和矩 形通孔和/或孔圖案的不同位移,由此可以產(chǎn)生具有不同大小的變化最大的火焰圖案的火 焰帶,其中,噴嘴板3的生產(chǎn)基本上保持相同,并且總是非常簡單。當(dāng)然,還可以將所述片材安裝在所述燃燒器中,以便它們保持彼此之間可以位移, 這樣,例如,所述噴嘴至少一部分的噴嘴截面可以適應(yīng)各種要求,而無需拆解所述燃燒器和 所述噴嘴板。除了利用具有相同截面的孔的位移來降低某些噴嘴的有效橫截面之外,還可以利 用具有較小孔的片材,并且安裝這些片材,使得所述較小的孔與其他片材的較大的孔對齊。很明顯,還可以僅用第一類片材制成所述噴嘴板,其中,所有片材的所有孔彼此可 以完全或部分對齊。通過提供具有不同的所述位移的片材選擇,能夠以簡單的方式調(diào)整有 效噴嘴截面,即,通過選擇具有相應(yīng)位移的片材,并且將它定位在所述噴嘴板的風(fēng)室側(cè)。當(dāng)然,對于上述任何情況來說,還可以將所述通孔或噴嘴分別設(shè)計(jì)成具有非圓形 截面,不過,作為替代,例如,具有正方形,矩形或多邊形截面。圖5表示本發(fā)明燃燒器的另一種示例實(shí)施方案。該燃燒器也包括燃燒器主體1和 噴嘴板3,其中,構(gòu)成所述噴嘴板3的片材10的方向大體上平行于所述噴嘴的延伸方向,并 且優(yōu)選平行于所述燃燒器主體的長度。
從圖6和7中可以看到進(jìn)一步放大的片材10,其中,圖6以分解示意圖的方式示出 了某些片材10,圖7示出了噴嘴板3的一部分,即,疊放的片材10。同樣具有兩種類型的片 材(第三類片材10. 3和第四類片材10. 4),它們是以交替方式疊放的。第三類片材10. 3具 有梳子狀形狀,具有朝向噴嘴板3的火焰?zhèn)?的鋸齒狀邊緣,即,在該邊緣部位包括位于,例 如,矩形齒22之間的缺口 21。第四類片材10. 4大體上具有矩形形狀,具有朝向所述噴嘴板 的火焰?zhèn)鹊闹钡倪吘?,并且在疊放物中與第三類片材10. 3的鋸齒狀邊緣對齊。齒22之間 的缺口 21的深度大于第四類片材10. 4的寬度,以便所述缺口 21的底端構(gòu)成側(cè)噴嘴口 23, 使得氣體可以從所述風(fēng)室進(jìn)入所述噴嘴。每一個噴嘴4通過一個第三類片材10. 3的兩個 齒22并且通過兩個相鄰的第四類片材10. 4被界定在所述噴嘴板的火焰?zhèn)?,并且具有矩?或正方形截面。這意味著噴嘴4是成行設(shè)置的,其中,相鄰行的噴嘴可以彼此對齊或彼此交 錯排列,圖5-7中所示出的噴嘴板3就是這種交錯排列情形。與公開的專利文獻(xiàn)DE 2605 954公開的噴嘴板不同,所述噴嘴的限制壁是直的,S卩,在實(shí)際噴嘴內(nèi),氣體流不會沖擊突出 的邊緣。圖5-7中所示出的交錯的噴嘴可以通過包括相同的齒/缺口圖案的多個梳子狀片 材10.3(第三類片材)實(shí)現(xiàn),其中,第一個所述片材10. 3’的齒/缺口圖案是對稱的,并且 所述片材在兩側(cè)具有標(biāo)記(例如,切口 50),其中,第二個所述片材10. 3”的齒/缺口圖案是 相對第一片材10. 3’位移的,因此是不對稱的,并且,所述片材僅在一側(cè)具有標(biāo)記。在所述 疊放物中,第三類片材(與第四類片材交替)是按照以下方式排列的片材10.3”(在左側(cè) 標(biāo)記)_片材10. 3’ -片材10. 3” (在右側(cè)標(biāo)記)_依此類推。圖5-7所示疊放物的其他變化可以通過,例如,將每兩個第四類片材10. 4疊放在 各個第三類片材10. 3之間或者相反以便分別降低噴嘴密度或增加噴嘴截面而實(shí)現(xiàn)。采用 不同的疊放方式還可以形成用于處理火焰的較大的噴嘴行,和用于支持火焰的較小的噴嘴 行。這一目的還可以通過采用具有不同缺口 /齒圖案的第三類片材10. 3實(shí)現(xiàn)。除了疊放梳子狀片材(第三類片材10. 3)和矩形片材(第四類片材10. 4)之外, 還可以僅使用梳子狀片材,該片材在齒22之間的缺口 21的深度超過所示片材寬度的一半, 并且這樣安裝所述梳子狀片材,使其鋸齒狀邊緣交替地朝向所述噴嘴板的火焰?zhèn)群统蛩?述噴嘴板的風(fēng)室側(cè),并且使所述缺口至少部分彼此對齊。在圖7所示疊放物中,為了對齊和固定所述片材10,所述片材包括例如,定位孔 24,這些孔在片材正確疊放時彼此是對齊的,將鉚釘或螺栓推入所述孔,并且相對所述片材 疊放物固定。圖8是穿過本發(fā)明氣體燃燒器的另一種示例實(shí)施方案的剖視圖。該燃燒器也包括 燃燒器主體1和噴嘴板3,其中,例如,所述噴嘴板3是由如圖2所示的多個第一類片材10. 1 組成,因此包括相同噴嘴的圖案。所述燃燒器的風(fēng)室被劃分成中央室30. 1和兩個側(cè)室30. 2其中,所述室沿所述燃 燒器的長度延伸,并且每一個室具有自身的氣體輸送接頭O. 1,2.2)。其中,輸送到風(fēng)室部 分30. 1和30. 2的氣體G. 1和G. 2可以具有不同壓力,以便來自不同室的火焰具有不同的 大小,以便例如構(gòu)成較大的處理火焰和較小的支持火焰。作為替代或補(bǔ)充,氣體G. 1和G. 2 還可以是不同氣體或氣體混合物。例如,氣體G. 2可以是可燃?xì)怏w和氧氣或空氣的混合物, 氣體G. 1還可以包括要沉積在所述基片表面的化合物的前體。當(dāng)所述基片沿F方向移動通過或穿過由所述燃燒器產(chǎn)生的火焰帶時,它首先接受預(yù)處理(例如,表面活化),然后接受 燃燒化學(xué)氣相沉積處理,隨后接受后處理(例如,沉積涂層的退火)。當(dāng)然,還可以提供為它輸送包括不同前體的氣體的風(fēng)室,以便連續(xù)沉積不同的化 合物。另一種可能性是,風(fēng)室G. 1,G. 2不是沿所述燃燒器主體的長度方向延伸,而是沿 其寬度方向延伸的,即,沿所述燃燒器主體的長度方向或沿要處理的板材的寬度方向具有 不同的腔室。如果為這些腔室提供加工氣體,例如,如上文所述,可以在板材的寬度上進(jìn)行 不同的處理。
權(quán)利要求
1.用于形成一系列火焰的氣體燃燒器,所述氣體燃燒器包括具有氣體輸送接頭(2)和 噴嘴板⑶的燃燒器主體(1),所述燃燒器主體⑴和所述噴嘴板⑶共同構(gòu)成了氣體風(fēng) 室,所述噴嘴板C3)構(gòu)成了所述氣體風(fēng)室的穿孔壁部分,其中,所述噴嘴板C3)具有括多個 從所述噴嘴板(3)的風(fēng)室側(cè)(5)延伸到火焰?zhèn)?6)的噴嘴G),其特征在于所述噴嘴板(3) 具有多個片材(10),所述片材具有確定的通孔或鋸齒狀邊緣,并且是疊放排列的。
2.如權(quán)利要求1的氣體燃燒器,其特征在于所述噴嘴板(3)是作為獨(dú)立于所述燃燒器 主體(1)的元件構(gòu)成。
3.如權(quán)利要求1或2的氣體燃燒器,其特征在于所述片材(10)分別具有平面的上側(cè)和 下側(cè),其中,所述相鄰片材的上側(cè)和下側(cè)在所述噴嘴板(3)內(nèi)彼此平面地相互倚靠。
4.如權(quán)利要求1或2的氣體燃燒器,其特征在于所述片材(10)是大體上垂直于所述噴 嘴的長度安裝的,所有片材具有多個通孔,并且在所述堆疊中所述片材(10)的通孔的至少 一部分是彼此充分對齊的,以便共同形成所述噴嘴G)。
5.如權(quán)利要求4的氣體燃燒器,其特征在于所述噴嘴板(3)具有多個具有相同通孔圖 案的第一類片材(10. 1),所述片材之一構(gòu)成了所述噴嘴板的火焰?zhèn)?6)。
6.如權(quán)利要求5的氣體燃燒器,其特征在于所述通孔具有圓形截面。
7.如權(quán)利要求5-6中任意一項(xiàng)的氣體燃燒器,其特征在于所述噴嘴板(3)還包括至少 一個第二類片材(10. 2),它構(gòu)成了所述噴嘴板的風(fēng)室側(cè)(5),并且,它具有與所述第一類片 材(10. 2)至少部分相同的通孔圖案,其中,所述第二類片材(10. 2)的通孔圖案相對所述第 一類片材(10. 1)的通孔圖案位移了,其中,所述位移(d)小于所述圖案通孔的截面的相應(yīng) 尺寸。
8.如權(quán)利要求7的氣體燃燒器,其特征在于所述第二類片材(10.2)還具有大于所述圖 案通孔的截面尺寸的其它通孔。
9.如權(quán)利要求4-8中任意一項(xiàng)的氣體燃燒器,其特征在于所述片材(10)是彼此夾緊 的,并且被夾緊在相對所述燃燒器主體(1)的預(yù)定位置。
10.如權(quán)利要求1-3中任意一項(xiàng)的氣體燃燒器,其特征在于所述片材(10)是大體上平 行于所述噴嘴的長度安裝的,并且所述片材的至少一部分是梳子狀第三類片材(10. 3),并 且包括鋸齒狀邊緣,該邊緣具有齒0 和位于所述齒之間的缺口(21)。
11.如權(quán)利要求10的氣體燃燒器,其特征在于所述第三類片材(10.3)是與第四類片材 (10. 4)交替設(shè)置的,使它們的鋸齒狀邊緣位于所述的噴嘴板(3)火焰?zhèn)?6),所述第四類片 材(10.4)的相應(yīng)的邊緣大體上是直的,并且,位于所述第三類片材(10. 的齒0 之間 的缺口 的深度大于所述第四類片材(10.4)的相應(yīng)的尺寸。
12.如權(quán)利要求10-11中任意一項(xiàng)的氣體燃燒器,其特征在于所述第三類片材(10.3) 具有規(guī)則圖案的缺口 和齒(22),并且各個第三類片材(10. 上的圖案是彼此相對位 移的。
13.如權(quán)利要求1-9中任意一項(xiàng)的氣體燃燒器,其中,所述片材(10)是用可通過商業(yè)渠 道獲得的多孔的金屬片材制成的。
14.如權(quán)利要求1-12中任意一項(xiàng)的氣體燃燒器,其中,所述片材(10)是通過沖孔,激光 切割,射流切割或銑削定制的。
15.如權(quán)利要求1-14中任意一項(xiàng)的氣體燃燒器,其特征在于所述片材(10)的厚度為0. 5-2mm。
16.如權(quán)利要求1-15中任意一項(xiàng)的氣體燃燒器,其特征在于所述片材(10)由鋼鐵、黃 銅或青銅組成。
17.如權(quán)利要求1-16中任意一項(xiàng)的氣體燃燒器,其特征在于所述片材(10)還包括定位 孔(M),并且通過貫穿所述定位孔04)的螺栓或鉚釘彼此固定在一起。
18.如權(quán)利要求1-17中任意一項(xiàng)的氣體燃燒器,其特征在于所述風(fēng)室包括多個風(fēng)室 (30. 1,30. 2),其中,每一個所述風(fēng)室包括獨(dú)立的氣體輸送接頭(2. 1,2. 2)。
19.如權(quán)利要求18的氣體燃燒器,其特征在于所述噴嘴板(3)具有大體上矩形的形狀, 并且所述風(fēng)室平行于所述噴嘴板(3)的長度或?qū)挾确较蜓由臁?br>
20.將如權(quán)利要求1-19中任意一項(xiàng)的氣體燃燒器用在用于基片表面的火焰處理的裝 置上的用途。
21.如權(quán)利要求20的用途,其特征在于所述基片具有準(zhǔn)環(huán)形板材的形狀,并且是在滾 筒上輸送的,通過或穿過由所述燃燒器產(chǎn)生的火焰帶。
22.如權(quán)利要求20-21中任意一項(xiàng)的用途,其特征在于所述火焰處理是燃燒化學(xué)氣相 沉積工藝。
23.如權(quán)利要求18或19的氣體燃燒器的用途,其中,不同氣體和/或具有不同壓力的 氣體被輸送到不同的風(fēng)室。
全文摘要
本發(fā)明涉及氣體燃燒器,它特別適合具有大表面的基片的火焰處理,例如,用于通過燃燒化學(xué)氣相沉積(CCVD)工藝對所述表面進(jìn)行涂覆,包括具有氣體輸送接頭(2)和噴嘴板(3)的燃燒器主體(1),其中,所述燃燒器主體(1)和所述噴嘴板(3)共同構(gòu)成了氣體風(fēng)室,所述噴嘴板(3)構(gòu)成了的所述風(fēng)室穿孔壁部分,所述噴嘴板(3)包括大量的從所述噴嘴板的風(fēng)室側(cè)(5)延伸到火焰?zhèn)?6)的噴嘴(4),噴嘴板由多個片材(10)組成,這些片材是疊放排列的,并且大體上垂直于或大體上平行于所述噴嘴的延伸方向。所述片材(10)包括通孔,其中,所有片材的通孔至少是彼此部分對齊的,或者它們具有梳子狀形狀。所述燃燒器的噴嘴板(3)可以通過簡單方法生產(chǎn),例如,用可通過商業(yè)渠道獲得的多孔的金屬片材生產(chǎn),不取決于所述燃燒器的尺寸和需要的所述噴嘴的縱橫比,它可以方便地適應(yīng)有關(guān)噴嘴尺寸或密度的不同要求,并且可以方便地清洗。
文檔編號F23D14/58GK102099627SQ200980111285
公開日2011年6月15日 申請日期2009年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2008年1月28日
發(fā)明者B·佐貝爾, G·羅查特, P·法耶特, T·里希特 申請人:利樂拉瓦爾集團(tuán)及財(cái)務(wù)有限公司