專利名稱：一種硅烷燃燒塔的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種硅烷燃燒塔，特別用于太陽能硅片的生產(chǎn)。
背景技術(shù)：
在太陽能硅片生產(chǎn)中，硅烷燃燒塔是PECVD工段的一種尾氣處理裝置，主要將尾氣以及尾氣中的硅烷(SIH4)在燃燒室燃燒后，再通過洗滌室凈化，然后由抽風機抽排到大氣中。但是，在PECVD工段中還需要使用三氟化氮(NF3)氣體，并在高頻電離的情況下與腔體附著的硅反應進行腔體清洗，而三氟化氮(NF!3)氣體與硅烷(SIH4)在一定比例和有火源的情況下會發(fā)生劇烈爆炸。鑒于安全性考慮，為保證硅烷在燃燒室內(nèi)充分燃燒，必須保證燃燒塔內(nèi)負壓，即控制在負100 左右。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供能確保生產(chǎn)安全的一種硅烷燃燒塔。本實用新型采取的技術(shù)方案是一種硅烷燃燒塔，燃燒室、洗滌塔和抽風機依次通過管道連接，其特征在于在洗滌塔之后以及抽風機前連接有負壓傳感器，且負壓傳感器連接著控制裝置。采用本實用新型，如遇抽風不良或者風機故障，可以及時將信號送到控制裝置，便于及時切斷相關(guān)電源和氣源，確保生產(chǎn)安全。

圖1是本實用新型的示意圖。圖中序號表示燃燒室1、洗滌塔2、抽風機3、負壓傳感器4和控制裝置5。
具體實施方式
下面對本實用新型作進一步說明。參照圖1，該硅烷燃燒塔依次通過管道連接有燃燒室1、洗滌塔2和抽風機3，在洗滌塔2之后以及抽風機3前連接有負壓傳感器4，且負壓傳感器4連接著控制裝置5。使用時，硅烷通過管道進入燃燒室1燃燒，再通過洗滌塔2凈化，然后通過抽風機3排向大氣，其中，負壓傳感器4檢測負壓范圍，并將狀態(tài)信號送到控制裝置5，一旦抽風壓力過低或者抽風機3發(fā)生故障時，控制裝置5得到負壓傳感器4的報警信號，就會切斷相關(guān)電源和氣源， 確保生產(chǎn)安全。
權(quán)利要求1. 一種硅烷燃燒塔，燃燒室、洗滌塔和抽風機依次通過管道連接，其特征在于在洗滌塔之后以及抽風機前連接有負壓傳感器，且負壓傳感器連接著控制裝置。
專利摘要本實用新型涉及一種硅烷燃燒塔，該燃燒塔的燃燒室、洗滌塔和抽風機依次通過管道連接，在洗滌塔之后以及抽風機前連接有負壓傳感器，且負壓傳感器連接著控制裝置。采用本實用新型，如遇抽風不良或者風機故障，可以及時將信號送到控制裝置，便于及時切斷相關(guān)電源和氣源，確保生產(chǎn)安全。
文檔編號F23G7/06GK202253680SQ20112034918
公開日2012年5月30日 申請日期2011年9月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月9日
發(fā)明者徐新毅, 李德云, 童鵬飛 申請人:浙江嘉毅能源科技有限公司