專利名稱：減壓干燥方法、功能膜及電光學(xué)裝置的制造方法以及設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在減壓下對(duì)涂敷有液狀體的基材進(jìn)行干燥，由此，在基材的表面形成被膜的減壓干燥方法、功能膜的制造方法以及電光學(xué)裝置的制造方法、電光學(xué)裝置、液晶顯示裝置、有機(jī)EL顯示裝置、以及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
當(dāng)在半導(dǎo)體等的晶片狀基板(基材)的表面涂敷含有膜形成材料的液狀體來形成被膜時(shí)，公知有一種使用在減壓下使液狀體中所包含的溶劑(溶媒)成分蒸發(fā)、干燥的減壓干燥裝置進(jìn)行干燥的減壓干燥方法。例如，專利文獻(xiàn)1中提出了一種減壓干燥裝置，其配置有用于將涂敷有涂敷液(光致抗蝕劑)的基板放置在減壓氣氛下的氣密容器；用于對(duì)氣密容器內(nèi)進(jìn)行減壓排氣的減壓排氣機(jī)構(gòu)；和在氣密容器內(nèi)與基板對(duì)置，大小與基板的有效區(qū)域相同或者比其大的整流板。
而且，作為使用上述減壓干燥裝置的減壓干燥方法提出了包括下述工序的減壓干燥方法，所述工序包括使整流板位于與設(shè)置在氣密容器內(nèi)部的基板載置部所載置的基板的表面經(jīng)由間隙而對(duì)置的位置的工序；在氣密容器內(nèi)進(jìn)行減壓排氣，直至達(dá)到從涂敷液強(qiáng)烈地蒸發(fā)溶劑成分的壓力為止的工序；在從涂敷液強(qiáng)烈地蒸發(fā)出溶劑成分的期間，至少跨過兩個(gè)階段改變排氣流量設(shè)定值的工序。
在這樣的減壓干燥方法中，通過在涂敷液中的溶劑成分強(qiáng)烈地蒸發(fā)的期間，改變排氣流量設(shè)定值，來組合快速使溶劑蒸發(fā)的階段和慢速使溶劑蒸發(fā)的階段，對(duì)基板邊緣部的涂敷膜的截面形狀進(jìn)行修正。由此，能夠容易地設(shè)定可使涂敷膜平坦化和面內(nèi)均勻化的排氣流量模式。
專利文獻(xiàn)1特開2004-47797號(hào)公報(bào)這樣，在以半導(dǎo)體為代表的多種電子設(shè)備的制造工序中，采用了在晶片等基材上涂敷包含各種各樣膜形成材料(功能性材料)的液狀體，由此，
這樣，在以半導(dǎo)體為代表的多種電子設(shè)備的制造工序中，采用了在晶片等基材上涂敷包含各種各樣膜形成材料(功能性材料)的液狀體，由此，在基材表面形成由膜形成材料構(gòu)成的涂敷膜(功能膜)的工藝。
但是，在使液狀體干燥、形成涂敷膜的干燥工藝中，使用上述減壓干燥裝置和減壓干燥方法，難以實(shí)現(xiàn)形成后的涂敷膜更平坦、膜厚分布在基材的表面內(nèi)也均勻。究其原因，是因?yàn)樗褂玫囊籂铙w多種多樣，其飽和蒸汽壓、液流學(xué)特性(粘性、彈性、塑性、觸變性等特性)按各種材料而變化。而且，干燥過程中的蒸發(fā)速度等液狀體的舉動(dòng)，根據(jù)液狀體所含有的溶質(zhì)和溶媒的體積、表面積比也會(huì)發(fā)生變化。
因此，即使通過改變排氣流量設(shè)定，來控制使用上述以往的減壓干燥方法而在減壓下從液狀體蒸發(fā)溶劑的速度，也存在著下述問題，即，在干燥過程中引起液狀體的流動(dòng)(對(duì)流)，由于表面張力而使膜厚的均勻性降低。而且，即使通過整流板控制排出溶劑的蒸汽的方向，也會(huì)存在在基材的中央部分和周緣部產(chǎn)生蒸汽濃度(或者蒸汽壓)分布差，結(jié)果，由于干燥速度的差會(huì)引起膜厚的面內(nèi)分布的課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明考慮了上述課題，其目的在于，提供在干燥過程中，能夠根據(jù)液狀體的種類，使所涂敷的液狀體的溶媒的蒸發(fā)速度最佳化，由此，在涂敷有溶媒蒸汽壓的分布的面內(nèi)，以大致均勻的狀態(tài)進(jìn)行減壓干燥的減壓干燥方法、使用了該減壓干燥方法的功能膜的制造方法和電光學(xué)裝置的制造方法、電光學(xué)裝置、液晶顯示裝置、有機(jī)EL顯示裝置以及電子設(shè)備。
本發(fā)明的減壓干燥方法，是一種使用具有通過減壓機(jī)構(gòu)能夠進(jìn)行減壓的第二室和能夠與第二室連通的第一室的減壓干燥裝置，在減壓下使涂敷在基材上的液狀體的溶媒蒸發(fā)而干燥的減壓干燥方法，其特征在于，包括減壓工序，在基材收容于第一室的狀態(tài)下，使第一室和第二室連通，通過減壓機(jī)構(gòu)減壓至規(guī)定的操作壓為止；放置工序，在達(dá)到規(guī)定操作壓的階段密閉第一室，使溶媒蒸發(fā)，直到第一室上升到規(guī)定的壓力為止進(jìn)行放置；連通工序，連通上升到規(guī)定壓力的第一室和第二室；和排出工序，通過減壓機(jī)構(gòu)將在第一室和第二室中擴(kuò)散的溶媒的蒸汽排出。
減壓下的液狀體的舉動(dòng)，會(huì)受到由構(gòu)成液狀體的溶質(zhì)與溶媒的種類、配合狀態(tài)而變化的蒸汽壓與蒸發(fā)速度等的影響。根據(jù)該方法，在減壓工序中，涂敷有液狀體的基材被收容在第一室，并減壓至規(guī)定的操作壓。之后，在放置工序中，以第一室被密閉的狀態(tài)使液狀體的溶媒繼續(xù)蒸發(fā)，直到第一室的壓力成為規(guī)定的壓力為止一直進(jìn)行放置。在連通工序中，連通上升到規(guī)定壓力的第一室和第二室，在排出工序中，利用減壓機(jī)構(gòu)排出在第一室和第二室中擴(kuò)散的溶媒的蒸汽。因此，由于在規(guī)定操作壓下被密閉的第一室內(nèi)，液狀體的溶媒繼續(xù)蒸發(fā)，所以，不受到由于減壓機(jī)構(gòu)造成的排氣影響，能夠以與規(guī)定操作壓對(duì)應(yīng)的蒸發(fā)速度，且以直至達(dá)到規(guī)定壓力為止，溶媒的蒸汽壓的分布在被涂敷的面內(nèi)大致均勻的狀態(tài)，進(jìn)行液狀體的干燥。而且，由于在溶媒蒸發(fā)，使得第一室的壓力變成比規(guī)定壓力即規(guī)定的操作壓高的壓力時(shí)，連通第一室和第二室，所以，容易使第一室內(nèi)的溶媒的蒸汽向壓力低的第二室側(cè)擴(kuò)散，能夠通過減壓機(jī)構(gòu)進(jìn)行排出。即，如果根據(jù)干燥液狀體的種類設(shè)定第一室的規(guī)定操作壓和規(guī)定壓力，則不會(huì)受到由于減壓機(jī)構(gòu)而造成的排氣影響，可使被涂敷的液狀體的溶媒的蒸發(fā)速度最佳化，由此，可以提供一種減壓干燥方法，其能夠以溶媒的蒸汽壓分布在被涂敷的面內(nèi)大致均勻的狀態(tài)，進(jìn)行減壓干燥。
而且，優(yōu)選上述規(guī)定的操作壓是比液狀體的溶媒的蒸汽壓高的壓力。在減壓下，即使減壓程度沒有達(dá)到溶媒的蒸汽壓，液狀體的溶媒也會(huì)通過溶媒分子所具有的動(dòng)能而開始蒸發(fā)。如果減壓接近溶媒的蒸汽壓，則會(huì)引起激烈的蒸發(fā)，有時(shí)會(huì)產(chǎn)生漰沸。由此，由于減壓工序中的規(guī)定操作壓是比液狀體的溶媒的蒸汽壓高的壓力，所以，可以避免劇烈的溶媒的蒸發(fā)，由此減少漰沸的發(fā)生。因此，能夠減少由于漰沸而使得干燥后的膜形狀變得不穩(wěn)定的情況。并且，由于漰沸是在涂敷有液狀體的基材的不特定的位置發(fā)生，所以，也可以減少面內(nèi)的膜厚偏差由此變大的情況。即，可提供一種減壓干燥方法，其能夠以干燥后的膜形狀平坦、面內(nèi)的膜厚偏差少的狀態(tài)對(duì)液狀體進(jìn)行減壓、干燥。
另外，上述規(guī)定的壓力，是在密閉的第一室內(nèi)使一定量的溶媒蒸發(fā)時(shí)的蒸汽壓加上規(guī)定的操作壓的壓力，排出工序中，優(yōu)選在比規(guī)定壓力高的壓力下進(jìn)行排氣。
根據(jù)該方法，將規(guī)定的壓力設(shè)定為對(duì)在密閉的第一室內(nèi)使一定量的溶媒蒸發(fā)時(shí)的蒸汽壓加上規(guī)定的操作壓的壓力，排出工序中，在比規(guī)定壓力高的壓力下進(jìn)行排氣。因此，在排氣工序中，由于在比規(guī)定壓力高的壓力下進(jìn)行排氣，所以，可以抑制溶媒蒸發(fā)到在放置工序中所蒸發(fā)的一定量以上。由此，能夠管理在放置工序中所蒸發(fā)的溶媒的量，可以推測(cè)減壓干燥過程中的溶質(zhì)與溶媒的比率，所以，如果預(yù)先適當(dāng)設(shè)定蒸發(fā)的溶媒的量，則能夠以更加最佳化的條件進(jìn)行減壓干燥。另外，該情況下的溶媒的一定量，根據(jù)液狀體的種類，可以是所含有的溶媒的全部量，也可以是對(duì)全部量進(jìn)行適當(dāng)分割后的量。
而且，優(yōu)選從上述減壓工序開始反復(fù)進(jìn)行排出工序，來進(jìn)行涂敷在基材的液狀體的干燥。由此，由于從上述減壓工序開始反復(fù)進(jìn)行排出工序，所以，能夠提供一種減壓干燥方法，其可以根據(jù)涂敷在基材的液狀體的量，階段性地使溶媒蒸發(fā)，由此，以干燥后的膜形狀更平坦、面內(nèi)的膜厚偏差更少的狀態(tài)使液狀體減壓干燥。
并且，本發(fā)明其他的減壓干燥方法，是一種使用具有通過減壓機(jī)構(gòu)能夠進(jìn)行減壓的第二室和能夠與第二室連通的第一室的減壓干燥裝置，在減壓下使涂敷在基材的液狀體的溶媒蒸發(fā)而干燥的減壓干燥方法，其特征在于，包括減壓工序，在基材收容于第一室的狀態(tài)下，使第一室和第二室連通，進(jìn)行減壓直至達(dá)到規(guī)定的操作壓為止，以使從液狀體蒸發(fā)溶媒，在到達(dá)要對(duì)膜形狀造成影響的粘度之前增加粘度；放置工序，在達(dá)到規(guī)定操作壓的階段密閉第一室，使溶媒繼續(xù)蒸發(fā)，直到第一室上升到規(guī)定的壓力為止進(jìn)行放置；連通工序，連通上升到規(guī)定壓力的第一室和第二室；和排出工序，通過減壓機(jī)構(gòu)將在第一室和第二室中擴(kuò)散的溶媒的蒸汽排出。
根據(jù)該方法，在減壓工序中，第一室和第二室被減壓至規(guī)定的操作壓為止，以使收容在第一室的基材的液狀體的溶媒蒸發(fā)，在到達(dá)要對(duì)膜形狀造成影響的粘度之前增加粘度。因此，在減壓工序中，以對(duì)膜形狀不造成影響的狀態(tài)蒸發(fā)大半的溶媒，使得溶媒相對(duì)溶質(zhì)的比率降低。之后，在放置工序中，密閉第一室，使液狀體的溶媒繼續(xù)蒸發(fā)，以在到達(dá)要對(duì)膜形狀造成影響的粘度之前增加粘度的狀態(tài)，進(jìn)行放置，直至第一室的壓力成為規(guī)定的壓力。因此，在密閉的第一室內(nèi)，僅通過蒸汽的擴(kuò)散而繼續(xù)使溶媒蒸發(fā)。在連通工序中，連通上升到規(guī)定壓力的第一室和第二室，在排出工序中，通過減壓機(jī)構(gòu)排出在第一室和第二室中擴(kuò)散的溶媒的蒸汽。因此，能夠提供一種減壓干燥方法，其在放置工序中，不會(huì)受到減壓機(jī)構(gòu)引起的排氣影響，能夠以對(duì)液狀體的形狀不造成影響的方式，以緩慢的溶媒的蒸發(fā)速度進(jìn)行減壓干燥。
而且，上述規(guī)定的壓力，也可以是對(duì)第一室的液狀體的溶媒的近似飽和蒸汽壓加上規(guī)定的操作壓的壓力。由此，在放置工序中，放置涂敷有液狀體的基材，直到溶媒在密閉的第一室內(nèi)蒸發(fā)而達(dá)到近似飽和蒸汽壓的狀態(tài)為止，。因此，在基材的表面所蒸發(fā)的溶媒與液狀體之間處于近似平衡狀態(tài)，能夠以面內(nèi)的蒸汽壓分布更均勻的狀態(tài)進(jìn)行減壓干燥。并且，由于隨著接近近似平衡狀態(tài)，蒸發(fā)速度變得非常緩慢，所以，可以減少蒸發(fā)速度對(duì)液狀體形狀造成的影響。
在上述發(fā)明的這些減壓干燥方法中，優(yōu)選在連通工序中，使上升到規(guī)定壓力的第一室與其容積比第一室大的第二室連通。由此，由于第二室的容積比密閉后的第一室大，所以，能夠使在第一室蒸發(fā)的溶媒的蒸汽容易地?cái)U(kuò)散到第二室側(cè)。
并且，在上述發(fā)明的這些減壓干燥方法中，優(yōu)選在從減壓工序到連通工序的期間，第二室被減壓至小于規(guī)定操作壓的壓力。由此，由于第二室的壓力與連通前的第一室的壓力相比被減壓，所以，在連通工序中，當(dāng)?shù)谝皇液偷诙疫B通時(shí)，能夠使第一室內(nèi)的溶媒的蒸汽更容易地?cái)U(kuò)散到第二室側(cè)。
另外，本發(fā)明的其他的減壓干燥方法，是一種使用具有通過減壓機(jī)構(gòu)能夠進(jìn)行減壓的第二室和能夠與第二室連通的第一室的減壓干燥裝置，在減壓下使涂敷在基材的液狀體的溶媒蒸發(fā)而干燥的減壓干燥方法，其特征在于，包括減壓工序，在基材收容于第一室的狀態(tài)下，通過減壓機(jī)構(gòu)使處于與第一室非連通的狀態(tài)的第二室減壓至規(guī)定的操作壓；連通工序，在第二室達(dá)到規(guī)定操作壓的階段，連通第一室和第二室；和排出工序，排出在第一室和第二室中擴(kuò)散的溶媒的蒸汽。
當(dāng)液狀體的溶媒的蒸汽壓比較高，在規(guī)定操作壓的減壓過程中，大部分的溶媒蒸發(fā)的情況下，很難以穩(wěn)定地維持液狀體形狀的溶質(zhì)和溶媒的比率進(jìn)行減壓干燥。根據(jù)本發(fā)明，由于在連通工序中，在第二室達(dá)到規(guī)定操作壓的階段，連通第一室和第二室，所以，可以不經(jīng)過中途的減壓過程而對(duì)第一室進(jìn)行急劇的減壓。因此，能夠使溶媒迅速蒸發(fā)，可以抑制減壓過程中的液狀體的形狀變化，使其減壓干燥。
并且，優(yōu)選上述規(guī)定的操作壓是比液狀體的溶媒的蒸汽壓高的壓力。通過第一室與減壓至規(guī)定操作壓的第二室連通，在第一室被急劇地減壓、從液狀體劇烈地蒸發(fā)溶媒時(shí)，存在產(chǎn)生漰沸的危險(xiǎn)。根據(jù)該方法，由于規(guī)定的操作壓是比液狀體的溶媒的蒸汽壓高的壓力，所以，能夠減少這樣的漰沸的產(chǎn)生。即，可以降低由漰沸造成干燥后的膜形狀在面內(nèi)變得不均勻的情況。
而且，在上述發(fā)明的這些減壓干燥方法中，優(yōu)選在上述排出工序中進(jìn)行積極排氣，所述積極排氣是在液狀體的干燥繼續(xù)進(jìn)行，增加粘度至膜形狀固定化程度后，使減壓機(jī)構(gòu)的排氣速度上升。由此，在液狀體已經(jīng)增加粘度至難以受到排氣影響的程度，即使在排氣工序中進(jìn)行使減壓機(jī)構(gòu)的排氣速度上升的積極排氣，膜形狀變化的可能性減少。因此，通過進(jìn)行積極排氣，可以促進(jìn)液狀體快速干燥。即，可以高效地進(jìn)行減壓干燥。
并且，在上述說明的這些減壓干燥方法中，優(yōu)選在上述排出工序中，從外部向第一室導(dǎo)入惰性氣體，以使第一室不被減壓至規(guī)定的操作壓以下。由此，由于在排出工序中，從外部導(dǎo)入惰性氣體，以使第一室不被減壓至規(guī)定的操作壓以下，所以，液狀體的表面成為規(guī)定的操作壓以上，可以抑制殘留在液狀體中的溶媒的蒸發(fā)。因此，由于在排出溶媒的蒸汽的排出工序中，溶媒的蒸發(fā)未被促進(jìn)至必要以上，所以，能夠維持溶質(zhì)與溶媒的比率而抑制產(chǎn)生液狀體的形狀變化，并使其減壓干燥。
而且，在上述發(fā)明的這些減壓干燥方法中，也可以在上述排出工序中，當(dāng)使第一室的溶媒的蒸汽擴(kuò)散到第二室，密閉第一室之后，通過減壓機(jī)構(gòu)排出在第二室擴(kuò)散的溶媒的蒸汽。由此，由于在排出工序中，當(dāng)在第一室內(nèi)蒸發(fā)的溶媒的蒸汽一旦擴(kuò)散到第二室側(cè)之后，就密閉第一室，所以，當(dāng)通過減壓機(jī)構(gòu)排出在第二室擴(kuò)散的溶媒的蒸汽時(shí)，不會(huì)受到氣流的影響即可完成。即，可以減少由于排氣的影響而造成液狀體表面的蒸汽壓分布變動(dòng)，而干燥后產(chǎn)生面內(nèi)的膜厚偏差的情況。
本發(fā)明的功能膜的制造方法，是一種在基材上涂敷含有功能性材料的液狀體，并使其干燥，在基材的表面形成功能膜的功能膜制造方法，其特征在于，使用上述發(fā)明的減壓干燥方法，使液狀體干燥。
根據(jù)本發(fā)明，由于使用上述發(fā)明的減壓干燥方法來使液狀體干燥，所以，能夠從含有功能性材料的液狀體以最佳的蒸發(fā)速度使溶媒蒸發(fā)，并且，以面內(nèi)的蒸汽壓分布大致均勻的方式使其減壓干燥。因此，能夠以減壓干燥后形狀平坦、面內(nèi)的膜厚偏差少的狀態(tài)制造功能膜。
本發(fā)明的電光學(xué)裝置的制造方法，是一種具有一對(duì)基板、并具備在至少一方的基板上構(gòu)成像素的功能膜的電光學(xué)裝置的制造方法，其特征在于，使用上述發(fā)明的功能膜的制造方法，形成功能膜。
根據(jù)該方法，由于功能膜使用上述發(fā)明的功能膜的制造方法而形成，所以，能夠制造以減壓干燥后形狀平坦、面內(nèi)的膜厚偏差少的狀態(tài)形成功能膜的電光學(xué)裝置。即，能夠減少由功能膜所決定的像素的電光學(xué)特性的偏差，由此，可制造具有穩(wěn)定的電光學(xué)特性的電光學(xué)裝置。
本發(fā)明的電光學(xué)裝置，是一種具有一對(duì)基板、并具備在至少一方的基板上構(gòu)成像素的功能膜的電光學(xué)裝置，其特征在于，使用上述發(fā)明的電光學(xué)裝置的制造方法，形成功能膜。
根據(jù)該構(gòu)成，由于功能膜使用上述發(fā)明的電光學(xué)裝置的制造方法而形成，所以，能夠提供一種具有以減壓干燥后形狀平坦、面內(nèi)的膜厚偏差少的狀態(tài)形成的功能膜的電光學(xué)裝置。即，能夠減少由功能膜所決定的像素電光學(xué)特性的偏差，由此，可制造具有穩(wěn)定的電光學(xué)特性的電光學(xué)裝置。
本發(fā)明的液晶顯示裝置，包括具有電極的一對(duì)基板、作為至少在與顯示區(qū)域?qū)?yīng)的范圍覆蓋電極的功能膜的取向膜、和經(jīng)由取向膜由一對(duì)基板所夾持的液晶，其特征在于，使用上述發(fā)明的功能膜的制造方法，形成取向膜。
根據(jù)該構(gòu)成，由于取向膜使用上述發(fā)明的功能膜的制造方法而形成，所以，能夠提供一種具有以減壓干燥后形狀平坦、面內(nèi)的膜厚偏差少的狀態(tài)形成的取向膜的液晶顯示裝置。即，能夠提供一種由取向膜的膜厚偏差引起的取向不均與顯示不均少的、顏色鮮艷的液晶顯示裝置。
本發(fā)明的其他液晶顯示裝置包括一對(duì)基板、在至少一方的基板上由隔壁部劃分的作為功能膜的顏色要素、和由一對(duì)基板所夾持的液晶，其特征在于，使用上述發(fā)明的功能膜的制造方法，形成顏色要素。
根據(jù)該構(gòu)成，由于顏色要素使用上述發(fā)明的功能膜的制造方法而形成，所以，可以提供一種具有以減壓干燥后形狀平坦、面內(nèi)的膜厚偏差少的狀態(tài)形成的顏色要素的液晶顯示裝置。即，能夠提供一種由顏色要素的膜厚不均引起的顏色不均等顯示不均少的、顏色鮮艷的液晶顯示裝置。
本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置具有一對(duì)基板、在至少一方的基板上由隔壁部劃分的作為功能膜的發(fā)光層，其特征在于，使用上述發(fā)明的功能膜的制造方法，形成發(fā)光層。
根據(jù)該構(gòu)成，由于發(fā)光層使用上述發(fā)明的功能膜的制造方法而形成，所以，可以提供一種具有以減壓干燥后形狀平坦、面內(nèi)的膜厚偏差少的狀態(tài)形成的發(fā)光層的有機(jī)EL顯示裝置。即，能夠提供一種由發(fā)光層的膜厚不均引起的發(fā)光不均與顏色不均等顯示不均少的、顏色鮮艷的有機(jī)EL顯示裝置。
本發(fā)明的電子設(shè)備，其特征在于，搭載了上述發(fā)明的電光學(xué)裝置、液晶顯示裝置、有機(jī)EL顯示裝置中的任意一種。
根據(jù)該構(gòu)成，本發(fā)明的電子設(shè)備搭載有下述設(shè)備中的任意一種，所述設(shè)備包括構(gòu)成像素的功能膜的形狀平坦、面內(nèi)的膜厚偏差少且具有穩(wěn)定的電光學(xué)特性的電光學(xué)裝置；由取向膜的膜厚偏差引起的取向不均與顯示不均少的、顏色鮮艷的液晶顯示裝置；由顏色要素的膜厚不均引起的顏色不均等顯示不均少的、顏色鮮艷的液晶顯示裝置；由發(fā)光層的膜厚不均引起的發(fā)光不均與顏色不均等顯示不均少的、顏色鮮艷的有機(jī)EL顯示裝置。因此，可以提供能夠?qū)ο袼氐刃畔⑦M(jìn)行美觀顯示的電子設(shè)備。


圖1是表示減壓干燥裝置的構(gòu)造的概略圖。
圖2是表示減壓干燥裝置的電氣或機(jī)械構(gòu)成的框圖。
圖3是表示實(shí)施方式1的減壓干燥方法的流程圖。
圖4是與圖3的流程圖對(duì)應(yīng)的減壓干燥裝置的減壓干燥曲線的圖表。
圖5是表示多元系的液狀體在減壓下的蒸發(fā)量的圖表。
圖6是表示實(shí)施方式2的減壓干燥方法的流程圖。
圖7是與圖6的流程圖對(duì)應(yīng)的減壓干燥裝置的減壓干燥曲線的圖表。
圖8是表示實(shí)施方式3的減壓干燥方法的流程圖。
圖9是與圖8的流程圖對(duì)應(yīng)的減壓干燥裝置的減壓干燥曲線的圖表。
圖10是表示液晶顯示裝置的主要部分構(gòu)造的概略剖視圖。
圖11是表示有機(jī)EL裝置的主要部分構(gòu)造的概略剖視圖。
圖12是表示便攜式信息處理裝置的概略立體圖。
圖中1-第一室，2-第二室，6-作為減壓機(jī)構(gòu)的真空泵，10-減壓干燥裝置，50-液晶顯示裝置，61、71-作為一對(duì)基板的CF基板和對(duì)置基板，63-作為隔壁部的上層圍堰，64-作為顏色要素的顏色層，66、68-電極，67、69-取向膜，70-液晶，100-有機(jī)EL顯示裝置，101、119-作為一對(duì)基板的基板和密封基板，115-作為隔壁部的上層圍堰，117R、117G、117B-發(fā)光層，200-作為電子設(shè)備的便攜式信息處理裝置，L-液狀體，Ps-操作壓，W-作為基材的基板。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的實(shí)施方式說明了一種減壓干燥方法，所述減壓干燥方法，使用至少包括用于收容涂敷了包含功能性材料的液狀體的基板的腔室、能夠?qū)η皇覂?nèi)進(jìn)行減壓的減壓機(jī)構(gòu)的減壓干燥裝置，在減壓下使液狀體的溶媒蒸發(fā)、干燥。
(減壓干燥裝置)首先，對(duì)減壓干燥裝置進(jìn)行說明。圖1是表示減壓干燥裝置的構(gòu)造的概略圖。詳細(xì)而言，該圖(a)是裝置的概略側(cè)剖視圖，該圖(b)是裝置的概略平剖視圖。如圖1(a)所示，本實(shí)施方式的減壓干燥裝置10是將涂敷有液狀體L的基板W收容在腔室3內(nèi)，在減壓下使液狀體L的溶媒蒸發(fā)、干燥的裝置。
腔室3具有附圖上部側(cè)的第一室1和下部側(cè)的第二室2，并具備將腔室3內(nèi)隔開使得第二室2的容積比第一室1的容積大的隔壁部18。在隔壁部18的第一室1側(cè)設(shè)置有用于載置基板W的載置臺(tái)11。而且，設(shè)置有與載置臺(tái)11間隔規(guī)定距離而相對(duì)配置的整流板15。在整流板15上，在與所載置的基板W的區(qū)域?qū)?yīng)的范圍內(nèi)設(shè)置有多個(gè)使氣體通過的通氣孔15a。
在第一室1的上部中央附近設(shè)置有連接孔17，其與能夠向第一室1導(dǎo)入作為惰性氣體的氮(N2)氣體的配管14的一端連接。配管14的另一端經(jīng)由N2閥9與N2氣體供給源(省略圖示)連接。而且，在第一室1的側(cè)壁部設(shè)置有能夠測(cè)量第一室1內(nèi)的減壓狀態(tài)的真空計(jì)4。真空計(jì)4與后述的控制部20(參照?qǐng)D2)電連接，輸出壓力值。
在第二室的下部(底面)中央附近設(shè)置有連接孔16，其與配管13的一端連接。配管13的另一端經(jīng)由真空閥7，與能夠?qū)Φ诙?進(jìn)行減壓的作為減壓機(jī)構(gòu)的真空泵6連接。真空泵6采用例如干式泵、渦輪分子泵。而且，也能夠以將操作壓設(shè)定成目標(biāo)的減壓狀態(tài)的方式，將這些泵進(jìn)行組合而使用。在第二室2的側(cè)壁部設(shè)置有能夠測(cè)量第二室2內(nèi)的減壓狀態(tài)的真空計(jì)5。真空計(jì)5和真空泵6也同樣與后述的控制部20(參照?qǐng)D2)電連接，控制部20能夠檢測(cè)出真空計(jì)5的輸出(壓力值)，對(duì)真空泵6的排氣速度進(jìn)行控制。
如圖1(a)和(b)所示，連通腔室3的第一室1和第二室2的連通口19，沿著載置臺(tái)11的邊部在隔壁部18上設(shè)置有4處。在4個(gè)連通口19開口的部分分別設(shè)置有4個(gè)連通閥8，其旋轉(zhuǎn)軸8a與安裝在腔室3外壁部的4個(gè)電機(jī)12連接。連通閥8通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)12而使旋轉(zhuǎn)軸8a旋轉(zhuǎn)，從而安裝在旋轉(zhuǎn)軸8a的閥8b對(duì)連通口19進(jìn)行開閉。如果連通閥8關(guān)閉連通口19，則第一室1和第二室2相互密閉。4個(gè)電機(jī)12分別與控制部20(參照?qǐng)D2)電連接，控制部20分別獨(dú)立驅(qū)動(dòng)4個(gè)電機(jī)12，控制連通閥8的開閉狀態(tài)。
減壓干燥裝置10在關(guān)閉門(省略圖示)、密閉腔室3內(nèi)的狀態(tài)下，打開連通閥8、驅(qū)動(dòng)真空泵6，能夠?qū)Φ谝皇?和第二室2進(jìn)行減壓。另外，如果關(guān)閉連通閥8，阻塞連通口19并驅(qū)動(dòng)真空泵6，則能夠僅對(duì)第二室2進(jìn)行減壓。
圖2是表示減壓干燥裝置的電氣或機(jī)械構(gòu)成的框圖。如圖2所示，減壓干燥裝置10具有控制部20，該控制部20包括具有CPU的運(yùn)算部21、計(jì)測(cè)時(shí)間的計(jì)時(shí)器22、和存儲(chǔ)有減壓干燥曲線(profile)等的減壓干燥條件的數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)部23?？刂撇?0電連接有兩個(gè)真空計(jì)4、5，能夠檢測(cè)出第一室1、第二室2各自的減壓狀態(tài)。而且，與真空泵6電連接，控制其驅(qū)動(dòng)與排氣速度等。與4個(gè)電機(jī)12電連接，通過控制電機(jī)12的驅(qū)動(dòng)，來控制連通閥8的開閉狀態(tài)。真空閥7和N2閥9都使用電磁閥，二者也與控制部20電連接而被控制開閉。并且，具有能夠在鍵盤和記錄介質(zhì)之間接受數(shù)據(jù)的記錄介質(zhì)的驅(qū)動(dòng)裝置等的輸入部24和顯示部25電連接。從輸入部24能夠輸入減壓干燥曲線等的減壓干燥條件，使其存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部23。顯示部25能夠顯示輸入后的各種數(shù)據(jù)的顯示、真空計(jì)4和5所檢測(cè)出的第一室1與第二室2的壓力值以及減壓干燥裝置10的動(dòng)作狀態(tài)，例如，裝置的ON-OFF、各種閥的開閉、計(jì)時(shí)器22所計(jì)測(cè)的與減壓干燥步驟對(duì)應(yīng)的經(jīng)過時(shí)間等。運(yùn)算部21基于存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部23的減壓干燥曲線等所包含的數(shù)據(jù)、和真空計(jì)4、5的輸出，能夠計(jì)算出溶媒的蒸發(fā)量等。并且，能夠讀出減壓干燥曲線等所包含的減壓干燥動(dòng)作的設(shè)定次數(shù)，進(jìn)行減壓干燥動(dòng)作。(實(shí)施方式1)下面，參照?qǐng)D3和圖4，對(duì)應(yīng)用了本發(fā)明的實(shí)施方式1的減壓干燥方法進(jìn)行說明。圖3是表示實(shí)施方式1的減壓干燥方法的流程圖。另外，圖4是減壓干燥裝置的減壓干燥曲線的圖表。詳細(xì)而言，圖4是表示相對(duì)與圖3的流程圖對(duì)應(yīng)的減壓干燥的經(jīng)過時(shí)間，第一室1和第二室2的壓力變化的圖表。圖表的縱軸是壓力P的對(duì)數(shù)值。而且，表示的是控制從液狀體L蒸發(fā)的蒸發(fā)量來進(jìn)行減壓干燥的蒸發(fā)量控制型的減壓干燥方法。
(蒸發(fā)量控制型的減壓干燥方法)如圖3所示，實(shí)施方式1的減壓干燥方法包括在第一室1中收納涂敷了液狀體L的基板W，并使第一室1和第二室2連通的狀態(tài)下，通過真空泵6將第一室1和第二室2減壓至規(guī)定的操作壓Ps為止的減壓工序(步驟S1)。而且，包括在達(dá)到了規(guī)定操作壓Ps的階段密閉第一室1，并進(jìn)行放置直到溶媒蒸發(fā)而使第一室1上升到規(guī)定的壓力的放置工序(步驟S3)；和連通上升到規(guī)定壓力的第一室1和第二室2的連通工序(步驟S5)。并且，還包括利用真空泵6排出在第一室1和第二室2擴(kuò)散的溶媒的蒸汽的排出工序(步驟S6)。此外，包括計(jì)算在密閉的第一室1中所蒸發(fā)的溶媒的蒸發(fā)量，判斷溶媒的蒸發(fā)是否結(jié)束的工序(步驟S7)。
圖3的步驟S1是減壓工序。在步驟S1中，將涂敷有液狀體L的基板W載置于第一室1的載置臺(tái)11，關(guān)閉門，以近似密閉的狀態(tài)收容在腔室3內(nèi)?？刂撇?0首先確認(rèn)N2閥9是否關(guān)閉，如果關(guān)閉了，則驅(qū)動(dòng)電機(jī)12，打開4個(gè)連通閥8，通過連通口19連通第一室1和第二室2。接著，如圖4所示，打開真空閥7，驅(qū)動(dòng)真空泵6開始(時(shí)刻t0)減壓。直到第一室1的壓力P1和第二室2的壓力P2達(dá)到規(guī)定的操作壓Ps。然后，進(jìn)入步驟S2。
圖3的步驟S2是判斷第一室1的壓力P1和第二室2的壓力P2是否達(dá)到目標(biāo)操作壓Ps的工序?？刂撇?0檢測(cè)來自真空計(jì)4、5的輸出，判斷是否至少第一室1已經(jīng)達(dá)到操作壓Ps。然后，如果未到達(dá)，則繼續(xù)步驟S1的減壓，如果到達(dá)，則進(jìn)入步驟S3。
步驟S3是放置工序。在步驟S3中，控制部20在第一室1的壓力P1和第二室2的壓力P2達(dá)到規(guī)定的操作壓Ps的時(shí)刻t1，驅(qū)動(dòng)電機(jī)12、關(guān)閉4個(gè)連通閥8。由此，連通口19被關(guān)閉、收容有基板W的第一室1被密閉。密閉后的第一室1的壓力P1，通過液狀體L的溶媒的蒸發(fā)繼續(xù)進(jìn)行，如圖4的圖表的點(diǎn)劃線所示，從操作壓Ps不斷上升。而且，控制部20在第二室2被減壓到比操作壓Ps低的目標(biāo)壓時(shí)，關(guān)閉真空泵7。然后，進(jìn)入步驟S4。
圖3的步驟S4是判斷第一室1的壓力P1是否達(dá)到規(guī)定壓力的工序。在步驟S4中，如圖4所示，控制部20通過真空計(jì)4檢測(cè)出壓力P1的值。由此，求出與操作壓Ps的壓力差ΔP。由于壓力差ΔP依賴于溶媒的蒸發(fā)量(圖中的斜線部分)，所以，在溫度為一定的條件下，如果假設(shè)蒸發(fā)后的溶媒蒸汽是理想氣體，則通過確定密閉后的第一室1的容積(V)，并使用氣體的狀態(tài)方程式(PV＝nRT)，可以求出蒸發(fā)量(分子量n)。由于已知涂敷在基板W的液狀體的量和溶媒的含有率，所以，通過計(jì)算可以求出為了使涂敷后的液狀體干燥而需要的溶媒蒸發(fā)量。由此，通過至少一次的減壓干燥動(dòng)作，在密閉的第一室1內(nèi)使從液狀體L蒸發(fā)多少溶媒，只要預(yù)先設(shè)定與規(guī)定量的溶媒蒸發(fā)量相當(dāng)?shù)摩，就能夠控制蒸發(fā)量，進(jìn)行減壓干燥。另外，該情況下的溶媒的規(guī)定量，設(shè)定為將液狀體L所含有的溶媒的所有量除以減壓次數(shù)后的一定量，但是在反復(fù)進(jìn)行減壓干燥的步驟中，可以適當(dāng)?shù)刈兏?br> 這種求出蒸發(fā)量的計(jì)算方法預(yù)先作為程序，從輸入部24輸入，存儲(chǔ)到存儲(chǔ)部23。運(yùn)算部21執(zhí)行存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部23的程序，將與ΔP對(duì)應(yīng)的溶媒的蒸發(fā)量顯示在顯示部25?？刂撇?0對(duì)真空計(jì)4所檢測(cè)出的第一室1的壓力P1和規(guī)定的壓力(Ps+ΔP)進(jìn)行比較判斷。然后，如果達(dá)到規(guī)定的壓力則進(jìn)入步驟S5。如果沒達(dá)到，則進(jìn)入步驟S7。
圖3的步驟S5是連通工序。在步驟S5中，控制部20檢測(cè)真空計(jì)4的輸出，在壓力P1(或者壓力差ΔP)達(dá)到了規(guī)定壓力時(shí)，即，在蒸發(fā)量達(dá)到規(guī)定值的時(shí)刻t2，驅(qū)動(dòng)電機(jī)12，打開連通閥8。由此，第一室1和第二室2連通。然后，進(jìn)入步驟S6。
步驟S6是排出工序。在步驟S6中，控制部20，在壓力比操作壓Ps低的第二室2與第一室1連通時(shí)，打開N2閥9，向第一室1導(dǎo)入N2氣體，使得壓力P1不會(huì)比操作壓Ps低。導(dǎo)入的N2氣體通過設(shè)置在整流板15的通氣孔15a，從基板W的上部朝向連通口19流動(dòng)。由此，將從液狀體L蒸發(fā)的溶媒的蒸汽與N2氣體的氣流一起導(dǎo)向第二室2側(cè)。而且，通過N2氣體的導(dǎo)入，壓力P1成為操作壓Ps以上，更加抑制溶媒從液狀體L蒸發(fā)。即，溶媒的蒸發(fā)被抑制，基板W的液狀體L表面的蒸汽壓分布處于大致一定的狀態(tài)，能夠排出蒸發(fā)后的溶媒。此時(shí)，控制部20打開真空閥7，以根據(jù)N2氣體的流量使排氣速度降低的方式，驅(qū)動(dòng)真空泵6進(jìn)行排氣。如果使第一室1和第二室2連通并不導(dǎo)入N2氣體，則壓力P1變?yōu)椴僮鲏篜s以下，會(huì)導(dǎo)致過剩的溶媒蒸發(fā)與漰沸，所以，導(dǎo)入N2氣體。
另外，作為使溶媒的蒸汽排出的方法，也可以不導(dǎo)入作為惰性氣體的N2氣體。在本實(shí)施方式的腔室3中，第二室2的容積設(shè)置得比第一室1的容積大。在密閉的第一室1內(nèi)，由于溶媒從液狀體L蒸發(fā)，壓力P1變得比第二室2的壓力P2高，所以，只要在打開連通閥8使第一室1和第二室2連通時(shí)，壓力P1不比操作壓Ps低，就可以使蒸發(fā)后的溶媒的蒸汽擴(kuò)散、排出到容積大、壓力小的第二室2側(cè)。并且，也可以當(dāng)使溶媒的蒸汽擴(kuò)散到第二室2側(cè)，變成壓力P1＝壓力P2時(shí)，密閉第一室1后，進(jìn)行排氣。這樣，減少了由真空泵6對(duì)排氣造成的影響，能夠控制液狀體L的溶媒的蒸發(fā)，維持蒸汽壓分布使其處于更均勻的狀態(tài)。
接著，控制部20在導(dǎo)入N2氣體、使腔室3內(nèi)的壓力上升的時(shí)刻t3，關(guān)閉N2閥9。然后，再次返回到步驟S1，使真空泵6的排氣速度上升，在第一室1和第二室2連通的腔室3內(nèi)，減壓至規(guī)定的操作壓Ps。之后，與上述的動(dòng)作相同，在達(dá)到操作壓Ps的時(shí)刻t4，關(guān)閉連通閥8、密閉第一室1，在壓力P1(或者壓力差ΔP)達(dá)到規(guī)定壓力的時(shí)刻t5，進(jìn)行導(dǎo)入N2氣體、排出蒸發(fā)的溶媒蒸汽的減壓干燥動(dòng)作。因此，控制部20將時(shí)刻t0～t3期間的減壓干燥動(dòng)作作為一個(gè)循環(huán)，直到液狀體L的溶媒蒸發(fā)結(jié)束為止反復(fù)進(jìn)行。如果溶媒的蒸發(fā)繼續(xù)進(jìn)行，則密閉的第一室1的壓力P1達(dá)到規(guī)定的壓力(Ps+ΔP)為止的時(shí)間當(dāng)然會(huì)變長(zhǎng)。因此，在步驟S4中，當(dāng)?shù)谝皇?的壓力P1即使超過放置工序(步驟S3)中所設(shè)定的放置界限時(shí)間也沒有達(dá)到規(guī)定的壓力時(shí)，進(jìn)入步驟S7。
圖3的步驟S7是判斷溶媒的蒸發(fā)是否結(jié)束的工序。在步驟S7中，控制部20通過減壓干燥動(dòng)作的反復(fù)進(jìn)行，累計(jì)蒸發(fā)的溶媒的蒸發(fā)量。在存儲(chǔ)部23中，從液狀體L的組成存儲(chǔ)溶媒量M作為數(shù)據(jù)?？刂撇?0將溶媒的累計(jì)蒸發(fā)量N和存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部23的溶媒量M進(jìn)行比較，判斷溶媒的蒸發(fā)是否結(jié)束。此時(shí)，需要考慮到達(dá)操作壓Ps之前溶媒蒸發(fā)的蒸發(fā)量。因此，如果累計(jì)蒸發(fā)量N相對(duì)溶媒量M為95％以上，則認(rèn)為蒸發(fā)結(jié)束，進(jìn)入步驟S8。如果判斷為沒有結(jié)束，則繼續(xù)步驟S3的放置工序，促進(jìn)蒸發(fā)。另外，作為判斷溶媒的蒸發(fā)是否結(jié)束的方法，也可以在排出工序中，觀察時(shí)間，暫時(shí)停止由真空泵6進(jìn)行的排氣，從停止時(shí)真空計(jì)4、5所檢測(cè)出的壓力求出蒸發(fā)量，并根據(jù)該蒸發(fā)量進(jìn)行判斷。
圖3的步驟S8是大氣開放腔室3的工序。在步驟S8中，控制部20停止真空泵6的驅(qū)動(dòng)，并且，打開真空泵6的大氣開放閥(省略圖示)，導(dǎo)入外部氣體，使與第一室1連通的第二室2返回到大氣壓。由此，一系列的減壓干燥動(dòng)作結(jié)束。
通過反復(fù)進(jìn)行步驟S1到步驟S6的減壓干燥動(dòng)作，密閉的第一室1到達(dá)規(guī)定壓力(Ps+ΔP)的時(shí)間變長(zhǎng)，認(rèn)為是溶媒的蒸發(fā)速度降低，為了更可靠地使溶媒蒸發(fā)，也可以在反復(fù)進(jìn)行的減壓干燥動(dòng)作的過程中，變更操作壓Ps的值。在反復(fù)進(jìn)行的減壓干燥動(dòng)作中，如果以比上次或階段性地降低操作壓Ps的狀態(tài)密閉第一室1，則可以控制溶媒的蒸發(fā)速度降低。即，能夠保持恒定速度或提高蒸發(fā)速度來促進(jìn)蒸發(fā)?；蛘?，如果在比上次或階段性使操作壓Ps上升的狀態(tài)密閉第一室1，則與先前的減壓干燥動(dòng)作中的蒸發(fā)速度相比，可以使后面的蒸發(fā)速度降低。即，能夠控制蒸發(fā)速度、促進(jìn)蒸發(fā)。由此，例如如果運(yùn)算部21所算出的溶媒的累計(jì)蒸發(fā)量N為溶媒量M的90％以上95％以下，則也可以使操作壓Ps比上次降低，在早期成為95％以上，由此，來設(shè)定變更減壓干燥曲線。
另外，減壓干燥動(dòng)作中的ΔP值的設(shè)定方法如下。運(yùn)算部21由ΔP值可以算出蒸發(fā)后的溶媒的分子量n。如果知道蒸發(fā)后的溶媒的分子量n，則可以算出殘留在液狀體L的溶媒的分子量，由此，通過減壓干燥可以解析液狀體L的溶質(zhì)與溶媒之比產(chǎn)生了怎樣的變化。先前所述的液狀體L的液流學(xué)特性基于溶質(zhì)與溶媒之比也會(huì)發(fā)生變化。因此，由于極力抑制干燥過程中液狀體L的形狀變化使其干燥，所以，如果預(yù)先實(shí)施改變?chǔ)值使其減壓干燥的實(shí)驗(yàn)，并觀察試驗(yàn)干燥后的膜形狀，則能夠根據(jù)減壓干燥動(dòng)作的循環(huán)，設(shè)定截面形狀平坦、面內(nèi)膜厚偏差變少的ΔP的規(guī)定值。
接著，對(duì)規(guī)定的操作壓Ps進(jìn)行說明。即使在溶媒的成分為單一成分的情況下，減壓下的液狀體L的減壓值沒有達(dá)到溶媒的蒸汽壓(20℃)，溶媒的蒸發(fā)也會(huì)開始。如果液狀體L是多元系，則可以預(yù)知溶媒蒸發(fā)開始的減壓值根據(jù)溶媒的種類與混合比例而不同。圖5是表示多元系液狀體在減壓下的蒸發(fā)量的圖。具體而言，是在形成后述的液晶顯示面板60的取向膜67、69(參照?qǐng)D10)時(shí)所使用的液狀體L，即蒸汽壓(20℃)為60Pa的多元系液狀體L中求取減壓下的蒸發(fā)量(NL)的圖。作為調(diào)查開始蒸發(fā)的減壓值與蒸發(fā)量變化的方法，在腔室3中設(shè)置能夠測(cè)定液狀體L質(zhì)量的計(jì)量裝置(例如電子天平等)，來計(jì)量適量的液狀體L。然后，驅(qū)動(dòng)真空泵6，如果以大致一定的速度對(duì)腔室3內(nèi)進(jìn)行減壓，則能夠明了真空計(jì)5所檢測(cè)出的壓力P與計(jì)量裝置所檢測(cè)出的液狀體L的質(zhì)量(蒸發(fā)量)之間的關(guān)系。壓力P在溶媒的蒸汽壓附近，是溶媒強(qiáng)烈蒸發(fā)產(chǎn)生漰沸的情況。如果產(chǎn)生漰沸，則液狀體L的形狀大大地紊亂，無法得到干燥后的界面形狀是平坦的膜。而且，由于漰沸在涂敷有液狀體L的基板W表面的不特定位置發(fā)生，所以，面內(nèi)的膜厚也產(chǎn)生偏差。為了避免該不良情況的發(fā)生，在含有取向膜形成材料的液狀體L的減壓干燥方法中，使第一室1和第二室2處于規(guī)定的減壓狀態(tài)的規(guī)定操作壓Ps是比溶媒的蒸汽壓高的值，僅比溶媒蒸發(fā)開始的值低200Pa。另外，單位NL是標(biāo)準(zhǔn)公升(normal liter)。
實(shí)施方式1的效果如下。
(1)上述實(shí)施方式1的減壓干燥方法，是在減壓工序(步驟S1)中，控制部20在打開連通閥8、使第一室1和第二室2連通的狀態(tài)下驅(qū)動(dòng)真空泵6，將收容有涂敷了液狀體L的基板W的第一室減壓至規(guī)定的操作壓Ps。之后，在放置工序(步驟S3)中，控制部20關(guān)閉連通閥8、使第一室1處于密閉狀態(tài)，促進(jìn)液狀體L的溶媒的蒸發(fā)。然后，進(jìn)行放置，直到第一室1的壓力達(dá)到規(guī)定壓力(Ps+ΔP)為止。在連通工序(步驟S5)中，控制部20打開連通閥8，連通上升到規(guī)定壓力的第一室1和第二室2。在排出工序(步驟S6)中，控制部20控制真空泵6的排氣速度，排出在第一室1和第二室2擴(kuò)散的溶媒蒸汽。因此，由于在規(guī)定操作壓Ps下的密閉第一室1內(nèi)促進(jìn)液狀體L的溶媒的蒸發(fā)，所以，能夠不受到真空泵6所產(chǎn)生的排氣影響，以與規(guī)定操作壓Ps對(duì)應(yīng)的蒸發(fā)速度、且到達(dá)規(guī)定壓力為止在涂敷了溶媒的蒸汽壓分布的面內(nèi)處于大致均勻的狀態(tài)下，進(jìn)行液狀體L的干燥。而且，由于在溶媒蒸發(fā)使得第一室1的壓力變成比規(guī)定壓力即規(guī)定的操作壓Ps高的壓力時(shí)，第一室1和第二室2連通，所以，可以使第一室1內(nèi)的溶媒的蒸汽擴(kuò)散到壓力低容積大的第二室2側(cè)，由真空泵6來進(jìn)行排出。即，如果根據(jù)干燥的液狀體L的種類設(shè)定第一室1的規(guī)定操作壓Ps和規(guī)定壓力，則能夠使被涂敷的液狀體L的溶媒的蒸發(fā)速度最佳化，由此，本發(fā)明可以提供一種能夠以溶媒的蒸汽壓分布在被涂敷的面內(nèi)處于大致均勻的狀態(tài)進(jìn)行減壓干燥的減壓干燥方法。
(2)在上述實(shí)施方式1的減壓干燥方法中，控制部20反復(fù)進(jìn)行從減壓工序(步驟S1)到排出工序(步驟S6)的減壓干燥動(dòng)作。因此，能夠提供一種根據(jù)液狀體L的涂敷量(溶媒量)，使溶媒階段性蒸發(fā)，由此能夠形成更平坦、面內(nèi)的膜厚偏差少的膜的液狀體L的減壓干燥方法。
(3)在上述實(shí)施方式1的減壓干燥方法中，規(guī)定的操作壓Ps是比液狀體L的蒸汽壓(20℃)高的值，并且，被設(shè)定成僅比溶媒開始蒸發(fā)的值稍小一點(diǎn)的值。因此，能夠減少溶媒劇烈地蒸發(fā)使得液狀體L的形狀大大地紊亂、和干燥后膜的截面形狀變得不平坦那樣的不良情況。而且，可以降低由于劇烈的溶媒蒸發(fā)引起面內(nèi)的蒸汽壓分布變動(dòng)，使得干燥后面內(nèi)的膜產(chǎn)生偏差的不良情況。
(4)在上述實(shí)施方式1的減壓干燥方法中，控制室20打開N2閥9，從外部將N2氣體導(dǎo)入到第一室1中，使得第一室1不被減壓至小于規(guī)定操作壓Ps。由此，可以通過所導(dǎo)入的N2氣體將在第一室1中擴(kuò)散的溶媒的蒸汽，導(dǎo)入到第二室2，由真空泵6將其排出，并且，液狀體L的表面變?yōu)椴僮鲏篜s以上，抑制了殘留在液狀體L的溶媒的蒸發(fā)。因此，由于在排出溶媒蒸汽的排出工序中，沒有促進(jìn)必要以上的溶媒的蒸發(fā)，所以，可將與規(guī)定壓力(Ps+ΔP)對(duì)應(yīng)的溶媒的蒸發(fā)量控制在所設(shè)定的狀態(tài)。即，控制溶質(zhì)與溶媒之比，可以一邊抑制液狀體L的形狀變化，一邊使其減壓干燥。而且，如果一邊積極地排氣一邊使其干燥，則基板W上的蒸汽壓分布會(huì)產(chǎn)生變動(dòng)，有可能在干燥后的液狀體L的形狀中產(chǎn)生面內(nèi)偏差。在上述實(shí)施方式的排出工序中，由于抑制或阻止了在排出蒸發(fā)的溶媒時(shí)來自液狀體L的蒸發(fā)，所以，可提供一種面內(nèi)偏差少、能夠形成穩(wěn)定形狀的膜的減壓干燥方法。
(實(shí)施方式2)下面，參照?qǐng)D6以及圖7對(duì)實(shí)施方式2的減壓干燥方法進(jìn)行說明。圖6是表示實(shí)施方式2的減壓干燥方法的流程圖。圖7是減壓干燥裝置的減壓干燥曲線的圖表。詳細(xì)而言，圖7是表示相對(duì)與圖6的流程圖對(duì)應(yīng)的減壓干燥的經(jīng)過時(shí)間，第一室1與第二室2的壓力變化的圖表。圖表的縱軸是壓力P的對(duì)數(shù)值。而且，表示的是控制液狀體L的形狀來進(jìn)行減壓干燥的形狀控制型的減壓干燥方法。
(形狀控制型的減壓干燥方法)如圖6所示，實(shí)施方式2的減壓干燥方法包括減壓工序(步驟S11)，在第一室1中收納涂敷有液狀體L的基板W，并使第一室1和第二室2連通的狀態(tài)下，通過真空泵6對(duì)第一室1和第二室2進(jìn)行減壓，直至到達(dá)規(guī)定壓力Ps為止，以使從液狀體L蒸發(fā)溶媒，在到達(dá)要對(duì)膜形成造成影響的粘度之前增加粘度。還包括在達(dá)到規(guī)定操作壓Ps的階段密閉第一室1，使溶媒蒸發(fā)，直到第一室1上升到規(guī)定壓力為止進(jìn)行放置的放置工序(步驟S13)；和在密閉后的第一室1中判斷壓力P1是否達(dá)到規(guī)定壓力的工序(步驟S14)。并且，還包括連通上升到規(guī)定壓力的第一室1和第二室2的連通工序(步驟S15)、和通過真空泵6將在第一室1和第二室2中擴(kuò)散的溶媒的蒸汽排出的排出工序(步驟S16)。本實(shí)施方式中的規(guī)定壓力設(shè)定成在密閉的第一室1的溶媒飽和蒸汽壓Psa上加上操作壓Ps的壓力。
圖6的步驟S11是減壓工序。在步驟S11中，將涂敷有液狀體L的基板W載置于第一室1的載置臺(tái)11，關(guān)閉門，以近似密閉的狀態(tài)收容在腔室3內(nèi)?？刂撇?0首先確認(rèn)N2閥9是否關(guān)閉，如果關(guān)閉了，則驅(qū)動(dòng)電機(jī)12，打開4個(gè)連通閥8，通過連通口19連通第一室1和第二室2。接著，如圖7所示，打開真空閥7，驅(qū)動(dòng)真空泵6開始(時(shí)刻t0)減壓，直到第一室1的壓力P1和第二室2的壓力P2達(dá)到規(guī)定的操作壓Ps。然后，進(jìn)入步驟S12。
圖6的步驟S12是判斷第一室1的壓力P1和第二室2的壓力P2是否達(dá)到目標(biāo)操作壓Ps的工序。在步驟S12中，操作壓Ps設(shè)定為從液狀體蒸發(fā)大半的溶媒，在到達(dá)要對(duì)膜形狀造成影響的粘度之前對(duì)液狀體L增加粘度的值。控制部20檢測(cè)來自真空計(jì)4、5的輸出，判斷是否至少第一室1已經(jīng)達(dá)到操作壓Ps。然后，如果判斷為沒有到達(dá)，則繼續(xù)步驟S11的減壓，如果判斷為到達(dá)了，則進(jìn)入步驟S13。
圖6的步驟S13是放置工序。在步驟S13中，控制部20在第一室1的壓力P1和第二室2的壓力P2達(dá)到規(guī)定的操作壓Ps的時(shí)刻t1，驅(qū)動(dòng)電機(jī)12、關(guān)閉4個(gè)連通閥8。由此，連通口19被關(guān)閉、收容有基板W的第一室1被密閉。密閉后的第一室1的壓力P1，通過液狀體L的溶媒的蒸發(fā)繼續(xù)進(jìn)行，以在到達(dá)要對(duì)膜形成造成影響的粘度之前對(duì)液狀體L增加粘度的狀態(tài)，如圖7的圖表的點(diǎn)劃線所示，從操作壓Ps不斷上升。即，在決定膜形成的粘度(溶質(zhì)和溶媒的比率)范圍中的減壓干燥，以非常緩慢的溶媒的蒸發(fā)速度進(jìn)行。而且，控制部20在第二室2被減壓到比操作壓Ps低的目標(biāo)壓時(shí)，關(guān)閉真空泵7。然后，進(jìn)入步驟S14。
圖6的步驟S14是判斷第一室1的壓力P1是否達(dá)到規(guī)定壓力的工序。在步驟S14中，如圖7所示，控制部20通過真空計(jì)4檢測(cè)出壓力P1的值。通過以密閉第一室1的狀態(tài)進(jìn)行放置，溶媒的蒸發(fā)繼續(xù)進(jìn)行，使得壓力P1繼續(xù)上升，但是不久之后，液狀體L與蒸發(fā)的溶媒蒸汽就處于平衡狀態(tài)，使得上升停止，達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)。由此，求出與操作壓Ps的壓力差ΔP。此時(shí)，判斷在密閉的第一室1中，液狀體L的溶媒的蒸發(fā)達(dá)到了飽和狀態(tài)。由于第一室1的體積已知，所以溶劑的飽和蒸汽壓Psa可以通過計(jì)算來求出。在該情況下，控制部20將規(guī)定的壓力作為操作壓Ps+飽和蒸汽壓Psa，與穩(wěn)定的壓力P1進(jìn)行比較，判斷是否達(dá)到規(guī)定的壓力。然后，如果判斷達(dá)到了規(guī)定的壓力，則進(jìn)入步驟S15。如果判斷為沒有達(dá)到，則進(jìn)入步驟S13，將第一室1維持成密閉狀態(tài)。另外，在該情況下，壓力P1也可以不是嚴(yán)格的操作壓Ps+飽和蒸汽壓Psa的值。如果是飽和蒸汽壓，則判斷處于平衡狀態(tài)。而且，也可以比較ΔP和飽和蒸汽壓Psa。
在從步驟S13到步驟S14中，由于直到第一室1達(dá)到飽和狀態(tài)為止其都被放置，所以，液狀體L進(jìn)行非常緩慢的減壓干燥。即，由于溶質(zhì)和溶媒的比緩慢變化，以抑制液狀體L的流動(dòng)性的狀態(tài)進(jìn)行干燥，所以，能夠以干燥后的膜的截面形狀平坦、面內(nèi)的膜厚偏差少的狀態(tài)形成膜。
圖6的步驟S15是連通工序。在步驟S5中，控制部20檢測(cè)真空計(jì)4的輸出，如圖7所示，在壓力P1達(dá)到了規(guī)定壓力的時(shí)刻t2時(shí)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)12，打開連通閥8。然后，進(jìn)入步驟S16。
圖6的步驟S16是排出工序。在步驟S16中，控制部20在壓力比操作壓Ps低的第二室2與第一室1連通時(shí)，為了將第一室1內(nèi)的溶媒的蒸汽導(dǎo)入第二室2側(cè)，打開N2閥9，向第一室1導(dǎo)入N2氣體。被導(dǎo)入的N2氣體通過設(shè)置在整流板15的通氣孔15a，從基板W的上部朝向連通口19流動(dòng)。由此，從液狀體L蒸發(fā)的溶媒蒸汽與N2氣體的氣流一起被排出在第二室2側(cè)。此時(shí)，控制部20打開真空閥7并且控制真空泵6進(jìn)行排氣，使得排氣速度與N2氣體的流量對(duì)應(yīng)上升。液狀體L在步驟S13的放置工序中，以非常緩慢的蒸發(fā)速度進(jìn)行減壓干燥，在該時(shí)刻，不依賴于之后的干燥工序，而以穩(wěn)定的狀態(tài)(固定化的狀態(tài))增加粘度。因此，之后以提取殘留在液狀體L的溶媒的方式在腔室3內(nèi)進(jìn)行壓力P1比操作壓Ps低的積極排氣，來使其干燥。積極排氣的排氣速度和減壓時(shí)間作為減壓干燥曲線的數(shù)據(jù)，從輸入部24輸入，存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部23中?？刂撇?0檢測(cè)出定時(shí)器22所計(jì)測(cè)的經(jīng)過時(shí)間，并基于設(shè)定的排氣速度和減壓時(shí)間驅(qū)動(dòng)真空泵6。另外，在該情況下，壓力P2＜?jí)毫1，在能夠在不導(dǎo)入N2氣體的同時(shí)，使在第一室1中蒸發(fā)的溶媒的蒸汽擴(kuò)散排氣到體積大的第二室2側(cè)。而且，在使溶媒的蒸汽擴(kuò)散到第二室2側(cè)后，也可以密閉第一室1。由此，在該時(shí)刻液狀體L尚且不足，再次反復(fù)進(jìn)行減壓干燥動(dòng)作時(shí)，能夠避免由真空泵6的排氣造成的影響。并且，作為判定是否結(jié)束積極排氣的方法，也可以在排出工序中觀察時(shí)間，暫時(shí)停止由真空泵6進(jìn)行的排氣，從停止時(shí)真空計(jì)4、5所檢測(cè)出的壓力求出蒸發(fā)量，根據(jù)該蒸發(fā)量來進(jìn)行判定。然后，進(jìn)入步驟S17。
圖6的步驟S17是大氣開放腔室3的工序。在步驟S17中，控制部20在積極排氣結(jié)束的時(shí)刻t3，關(guān)閉N2閥9，并停止真空閥6的驅(qū)動(dòng)。然后，打開真空閥6的大氣開放閥(省略圖示)導(dǎo)入外部氣體，使與第一室1連通的第二室2返回到大氣壓(時(shí)刻t4)。由此，一系列的減壓干燥動(dòng)作結(jié)束。
另外，溶媒量M也根據(jù)液狀體L的種類與涂敷量而不同。而且，第一室1的容積成為被確定的值。因此，由于飽和狀態(tài)的溶媒的蒸發(fā)量(相當(dāng)于圖中的斜線部分)依賴于第一室1的容積，所以，考慮到不一定通過一次的減壓干燥動(dòng)作就結(jié)束液狀體L的干燥的情況。因此，也可以以反復(fù)進(jìn)行從上述的減壓工序到排出工序的方式，設(shè)定減壓干燥曲線。并且，在該情況下，優(yōu)選使排出工序中的腔室3內(nèi)的壓力與實(shí)施方式1相同，將壓力P1設(shè)定成比操作壓Ps高的壓力來進(jìn)行排氣。
上述實(shí)施方式2的效果如下。
(1)上述實(shí)施方式2的減壓干燥方法，在減壓工序(步驟S11)中，控制部20在打開連通閥8，使第一室1和第二室2連通的狀態(tài)下，驅(qū)動(dòng)真空泵6，對(duì)收容有涂敷了液狀體L的基板W的第一室1進(jìn)行減壓，直至到達(dá)操作壓Ps為止，以使溶媒蒸發(fā)，在到達(dá)要對(duì)膜形成造成影響的粘度之前使液狀體L增加粘度。然后，在放置工序(步驟S13)中，控制部20關(guān)閉連通閥8使第一室1處于密閉狀態(tài)，促進(jìn)液狀體L的溶媒蒸發(fā)。然后，進(jìn)行放置，直到第一室1的壓力P1變成規(guī)定的壓力(操作壓Ps+飽和蒸汽壓Psa)為止。在連通工序(步驟S15)中，控制部20打開連通閥8，連通達(dá)到規(guī)定壓力的第一室1和第二室2。在排出工序(步驟S16)中，控制部20打開N2閥9導(dǎo)入N2氣體，從第一室1將溶媒的蒸汽排出到第二室2。同時(shí)，使真空泵6的排氣速度上升，進(jìn)行積極排氣，來使殘留在液狀體中的溶媒蒸發(fā)、排出。因此，不受到由真空泵6引起的排氣影響，直到達(dá)到飽和蒸汽壓Psa為止，能夠僅通過蒸汽的擴(kuò)散繼續(xù)進(jìn)行干燥，而賦予緩慢的干燥狀態(tài)(蒸發(fā)速度)。而且，在密閉的第一室1內(nèi)，以蒸汽壓分布在面內(nèi)處于均勻的狀態(tài)進(jìn)行干燥，使得膜形狀的面內(nèi)均勻性良好。并且，由于液狀體L增加了粘度，膜形狀以穩(wěn)定的狀態(tài)被放置，所以，可以進(jìn)行積極排氣來抽出后來殘留的溶媒。即，能夠提供控制液狀體L在減壓下的形狀來進(jìn)行干燥的減壓干燥方法。
(實(shí)施方式3)接著，參照?qǐng)D8和圖9對(duì)實(shí)施方式3的減壓干燥方法進(jìn)行說明。圖8是表示實(shí)施方式3的減壓干燥方法的流程圖。圖9是減壓干燥裝置的減壓干燥曲線的圖表。詳細(xì)而言，圖9是相對(duì)與圖8的流程圖對(duì)應(yīng)的減壓干燥經(jīng)過時(shí)間，第一室1和第二室2的壓力變化的圖表。而且，是表示急速干燥型減壓干燥方法的圖。
(急速干燥型的減壓干燥方法)如圖8所示，實(shí)施方式3的減壓干燥方法包括減壓工序(步驟S21)，在基板W以近似密閉的狀態(tài)收容在第一室1中的狀態(tài)下，通過真空泵6將非連通狀態(tài)的第二室2減壓至規(guī)定的操作壓Ps；連通工序(步驟S23)，在第二室2達(dá)到規(guī)定操作壓Ps的階段，連通第一室1和第二室2；和排出工序(步驟S24)，排出在第一室1和第二室2中擴(kuò)散的溶媒蒸汽。
圖8的步驟S21是減壓工序。在步驟S21中，控制部20驅(qū)動(dòng)電機(jī)12、關(guān)閉連通閥8，密閉收容有涂敷了液狀體L的基板W的第一室1。然后，驅(qū)動(dòng)真空泵6對(duì)第二室2內(nèi)進(jìn)行減壓，使得第二室2的壓力P2變成規(guī)定的操作壓Ps。本實(shí)施方式中的規(guī)定操作壓Ps設(shè)定成比液狀體的溶媒蒸汽壓高的壓力。然后，進(jìn)入步驟S22。
步驟S22是判斷第二室2的壓力P2是否達(dá)到目標(biāo)操作壓Ps的工序。在步驟S22中，控制部20基于從真空計(jì)5輸入的檢測(cè)信號(hào)，判斷第二室2的壓力P2是否達(dá)到操作壓Ps。然后，如果判斷為沒有到達(dá)，則繼續(xù)步驟S21的減壓；如果判斷為到達(dá)了，則進(jìn)入步驟S23。
步驟S23是連通工序。在步驟S23中如圖9所示，在第二室2達(dá)到操作壓Ps的時(shí)刻t1，控制部20驅(qū)動(dòng)電機(jī)12、打開連通閥8，使第一室1和第二室2連通。與第二室2連通的第一室1的壓力P1從近似大氣壓的狀態(tài)，朝向第二室2的壓力P2急速減壓。即，時(shí)刻t1～時(shí)刻t2的期間是第一室1的急速減壓過程。然后，進(jìn)入步驟S24。
圖8的步驟S24是排出工序。在步驟S24中如圖9所示，從該時(shí)刻t1到時(shí)刻t2的期間，控制部20繼續(xù)驅(qū)動(dòng)真空泵6，排出從液狀體L蒸發(fā)的溶媒的蒸汽(蒸發(fā)量相當(dāng)于圖中的斜線部分)。接著，在時(shí)刻t2，打開N2閥9向第一室1導(dǎo)入N2氣體，驅(qū)逐出溶媒的蒸汽。此時(shí)，根據(jù)N2氣體的流量使真空泵6的排氣速度上升，來形成最佳減壓干燥曲線，基于真空計(jì)4、5的檢測(cè)結(jié)果開閉真空閥7和N2閥9，賦予所希望的減壓干燥曲線。例如，在溶媒蒸發(fā)，使得腔室3內(nèi)的壓力上升到比目標(biāo)壓大的情況下，打開真空閥7來進(jìn)行排氣。另外，在溶媒的蒸發(fā)量降低，使得腔室3內(nèi)的壓力降低得比目標(biāo)壓低的情況下，關(guān)閉真空閥7、打開N2閥9，導(dǎo)入N2氣體返回到目標(biāo)壓。目標(biāo)壓優(yōu)選如圖9所示，與操作壓Ps為大致相同程度。由此，可以抑制溶媒的漰沸。即，能夠減少由漰沸而引起膜形狀的面內(nèi)偏差。然后，進(jìn)入步驟S25。
圖8的步驟S25是判斷溶媒的蒸發(fā)是否結(jié)束的工序。在步驟S25中，減壓干燥曲線例如基于腔室3內(nèi)的壓力和時(shí)間的數(shù)據(jù)來進(jìn)行管理，將經(jīng)過規(guī)定時(shí)間的積極減壓排氣曲線的時(shí)刻，判斷為溶媒蒸發(fā)結(jié)束的時(shí)刻。而且，例如在關(guān)閉了真空閥7的狀態(tài)下，將由真空計(jì)4、5不能檢測(cè)出壓力上升的時(shí)刻判斷為溶媒的蒸發(fā)結(jié)束的時(shí)刻。如果判斷溶媒的蒸發(fā)沒有結(jié)束，則返回到步驟S24，繼續(xù)排出工序。如果判斷為結(jié)束了，則進(jìn)入步驟S26。另外，作為判斷溶媒的蒸發(fā)是否結(jié)束的方法，也可以在排出工序中觀察時(shí)間，暫時(shí)停止由真空泵6進(jìn)行的排氣，由停止時(shí)真空計(jì)4、5所檢測(cè)出的壓力求出蒸發(fā)量，根據(jù)該蒸發(fā)量來進(jìn)行判斷。
圖8的步驟S26是大氣開放腔室3的工序。在工序S26中如圖9所示，在判斷為溶媒的蒸發(fā)結(jié)束了的時(shí)刻t3，控制部20停止真空泵6的驅(qū)動(dòng)，并打開真空泵6的大氣開放閥(省略圖示)導(dǎo)入外部空氣，使與第一室1連通的第二室2返回到大氣壓。由此，一系列的減壓干燥動(dòng)作結(jié)束。
這種急速干燥型的減壓干燥方法，與應(yīng)用其他實(shí)施方式1、2的減壓干燥方法的液狀體L的情況相比，溶媒的蒸汽壓比較高，適用于在到達(dá)操作壓Ps為止的減壓過程中，蒸發(fā)相當(dāng)多的溶媒的情況。需要對(duì)這樣的液狀體L，達(dá)到使膜形狀固形化的溶質(zhì)和溶媒的比率為止的減壓過程進(jìn)行控制。由于第一室1中的液狀體L不經(jīng)過減壓過程，而是處于一口氣降低到規(guī)定操作壓Ps的減壓下，所以，省略溶質(zhì)與溶媒的比率變化、容易產(chǎn)生形狀傾斜的減壓過程，可以在膜形狀穩(wěn)定化的溶質(zhì)與溶媒的比率范圍內(nèi)進(jìn)行減壓干燥。
另外，在上述那樣的減壓干燥方法中，優(yōu)選將減壓干燥裝置10的第二室2的體積設(shè)定得比第一室1的體積充分大。由此，使第一室1和第二室2連通，能夠急速地對(duì)第一室1進(jìn)行減壓。即，可以使液狀體L處于急速減壓下，能夠進(jìn)一步減少對(duì)減壓過程的膜形狀造成的影響。
上述實(shí)施方式3的效果如下。
(1)上述實(shí)施方式3的減壓干燥方法，是在減壓工序(步驟S21)中，控制部20以關(guān)閉連通閥8、第一室1和第二室2不連通的狀態(tài)驅(qū)動(dòng)真空泵6，對(duì)第二室2進(jìn)行減壓直至到達(dá)操作壓Ps為止。之后，在連通工序(步驟S23)中，控制部20打開連通閥8，使達(dá)到操作壓Ps的第二室2和近似處于大氣壓的第一室1連通。在排出工序(步驟S24)中，控制部20繼續(xù)驅(qū)動(dòng)真空泵6，排出從液狀體L蒸發(fā)的溶媒的蒸汽。接著，開閉真空閥7和N2閥9，執(zhí)行設(shè)定的目標(biāo)壓的減壓干燥曲線，使溶媒蒸發(fā)繼續(xù)進(jìn)行。因此，由于第一室1中的液狀體L不經(jīng)過減壓過程，而是處于一口氣降低到規(guī)定操作壓Ps的減壓下，所以，省略了溶質(zhì)與溶媒的比率變化、容易產(chǎn)生形狀傾斜的減壓過程，由此，可以提供在膜形狀穩(wěn)定化的溶質(zhì)與溶媒的比率范圍內(nèi)進(jìn)行減壓干燥的急速干燥型的減壓干燥方法。
(2)在上述實(shí)施方式3的減壓干燥方法中，規(guī)定的操作壓Ps設(shè)定成比液狀體的溶媒蒸汽高的壓力。因此，可抑制激烈的溶媒漰沸，減少了由漰沸引起干燥后膜形狀的面內(nèi)偏差。
下面，以液晶顯示裝置、有機(jī)EL顯示裝置為例，對(duì)采用本發(fā)明減壓干燥方法的有機(jī)膜的制造方法、電光學(xué)裝置以及其制造方法進(jìn)行說明。
(實(shí)施方式4)(液晶顯示裝置及其制造方法)圖10是表示液晶顯示裝置的主要部分構(gòu)造的概略剖視圖。如圖10所示，液晶顯示裝置50是無源矩陣型顯示裝置，包括具有多個(gè)色層64的濾色器基板(CF基板)61、具有多個(gè)電極68的對(duì)置基板71、具備夾持在CF基板61和對(duì)置基板71之間的液晶70的液晶顯示面板60。由于這樣的液晶顯示裝置50是受光型的顯示裝置，所以，在例如對(duì)置基板71的背面?zhèn)染哂邪↙ED元件、EL、冷陰極管等光源的照明裝置(省略圖示)。另外，本實(shí)施方式的液晶顯示裝置50不限定于此，例如也可以是在對(duì)置基板71上具備TFT(Thin Film Transistor)或TFD(Thin Film Diode)等開關(guān)元件的有緣矩陣型液晶顯示裝置。
對(duì)置基板71使用例如透明的樹脂或玻璃基板，在其液晶70側(cè)的表面具有由ITO(Indium Tin Oxide)構(gòu)成的多個(gè)透明電極68。電極68與設(shè)置在對(duì)置的CF基板61的由ITO構(gòu)成的透明電極66正交，并沿著Y方向延伸。即，液晶顯示面板60具有相互對(duì)置并正交、配置成柵格狀的電極66和電極68。而且，電極66和電極68正交重疊的部分成為顯示用的像素區(qū)域。各電極66、68在將ITO作為靶材料并通過濺射法成膜之后，通過光刻法蝕刻形成為所期望的形狀。
CF基板61使用例如透明的樹脂或玻璃基板，包括作為與顏色要素區(qū)域?qū)?yīng)而在表面開口的下層圍堰的遮光膜62、和設(shè)置在遮光膜62之上的上層圍堰63。而且，在由上層圍堰63劃分的顏色要素區(qū)域，具備色層64、和作為覆蓋色層64和上層圍堰63的平坦化層的OC(覆蓋層)層65，所述色層64作為與R(紅色)、G(綠色)、B(藍(lán)色)對(duì)應(yīng)的顏色要素。電極66形成在OC層65上。
遮光膜62可以將例如Cr、Ni、Al等不透明金屬、或者這些金屬氧化物的化合物作為材料而使用。作為形成方法，可以通過蒸鍍法或?yàn)R射法在CF基板61上成膜由上述材料構(gòu)成的膜。膜厚只要根據(jù)所選定的材料，來設(shè)定保持遮光性的膜厚即可。例如，在Cr的情況下，優(yōu)選為100～200nm。然后，通過光刻法，在與開口部分62a對(duì)應(yīng)的部分之外用抗蝕劑覆蓋膜，使用與上述材料對(duì)應(yīng)的酸作為蝕刻液，對(duì)膜進(jìn)行蝕刻。由此，形成了具有開口部分62a的遮光膜62。
上層圍堰63是在形成有遮光膜62的CF基板61的表面，通過輥涂(rollcoat)法或旋涂法涂敷丙烯酸系感光性樹脂材料，并使其干燥，形成大約2μm的感光性樹脂層。然后，以與顏色要素區(qū)域?qū)?yīng)的大小，將設(shè)置有開口部分的掩模在規(guī)定位置與CF基板61對(duì)置，并通過曝光、顯影而形成。
作為功能膜的色層64，是對(duì)由上層圍堰63所實(shí)質(zhì)劃分的顏色要素區(qū)域賦予含有色層形成材料的3種(3色)功能液(液狀體)而形成的，使用上述實(shí)施方式1～3中任意一種減壓干燥方法成膜。由于功能液所含有的溶媒量比較多，所以，優(yōu)選使用實(shí)施方式1的減壓干燥方法。而且，同一顏色的色層64在Y軸方向排列，并且，不同顏色的色層64在X軸方向并列配置。構(gòu)成所謂的條紋(stripe)式濾色器。3色的功能液的賦予方法，使用將各功能液作為液滴，賦予顏色要素區(qū)域的液滴噴出法。
OC層65可以使用透明的丙烯酸系樹脂材料。作為其形成方法可舉出旋涂法、平板(offset)印刷等方法。OC層65被設(shè)置用于緩和形成有色層64的CF基板61表面的凹凸，并使之后成膜在其表面的電極66平坦化。另外，為了確保與電極66的密接性，也可以在OC層65之上進(jìn)一步形成SiO2等薄膜。
液晶顯示面板60是經(jīng)由縫隙(gap)材料72以規(guī)定的間隔，使這樣的CF基板61與對(duì)置基板71相對(duì)配置，并使用未圖示的密封材料進(jìn)行接合的部件。而且，通過密封材料將液晶70密封在兩塊基板61、71之間。在兩塊基板61、71的面對(duì)液晶79的一側(cè)，設(shè)置有使液晶70在規(guī)定方向取向的取向膜67、69。作為這樣的功能膜的取向膜67、69，通過涂敷含有例如聚酰亞胺樹脂的功能液(液狀體)作為取向膜材料而形成，使用上述實(shí)施方式1～3中任意一種的干燥方法成膜。干燥后的取向膜67、69的膜厚大約為幾百埃，由于功能液所含有的溶媒量比形成色層64的情況少，所以，優(yōu)選使用實(shí)施方式2的減壓干燥方法。
而且，通常在液晶顯示面板60的前面?zhèn)扰c背面?zhèn)鹊谋砻?，配置有使入射或出射的光偏向的偏振片、用于改善視角等的作為光學(xué)功能性薄膜的相位差薄膜等，但是，這里省略了這些設(shè)備。
上述實(shí)施方式4的效果如下。
(1)在上述實(shí)施方式4的液晶顯示裝置50中，作為功能膜的色層64的制造方法，是對(duì)顏色要素區(qū)域賦予含有色層形成材料的3種功能液，使用上述實(shí)施方式1～3中任意一種的減壓干燥方法進(jìn)行成膜。因此，在減壓下功能液的溶媒的蒸發(fā)速度實(shí)現(xiàn)最佳化，以面內(nèi)的蒸汽壓分布處于大致均勻的狀態(tài)，被減壓干燥，由此，可以形成曲線形狀大致平坦、面內(nèi)膜厚的偏差少的各色層64R、64G、64B。
(2)在上述實(shí)施方式4的液晶顯示裝置50中，作為功能膜的取向膜67、69的制造方法，是涂敷含有取向膜形成材料的功能液，并使用上述實(shí)施方式1～3中任意一種的減壓干燥方法進(jìn)行成膜。因此，在減壓下功能液的溶媒的蒸發(fā)速度實(shí)現(xiàn)最佳化，以面內(nèi)的蒸汽壓分布處于大致均勻的狀態(tài)，被減壓干燥，由此，可以形成曲線形狀大致平坦、面內(nèi)膜厚的偏差少的取向膜67、69。
(3)在上述實(shí)施方式4的液晶顯示裝置50的制造方法中，作為功能膜的色層64和取向膜67、69，使用利用了上述實(shí)施方式1～3中任意一種的減壓干燥方法的功能膜制造方法，而進(jìn)行制造。因此，能夠制造具備液晶顯示面板60的液晶顯示裝置50，所述液晶顯示面板60具有曲線形狀大致平坦、面內(nèi)膜厚的偏差少的各色層64R、64G、64B以及取向膜67、69。
(4)上述實(shí)施方式4的液晶顯示裝置50具備液晶顯示面板60，該液晶顯示面板60具有使用利用了上述實(shí)施方式1～3中任意一種的減壓干燥方法的功能膜制造方法而制造，且曲線形狀大致平坦、面內(nèi)的膜厚偏差少的各色層64R、64G、64B以及取向膜67、69。因此，可以提供色層64的顏色不均與取向膜67、69的取向不均等顯示不均少的、具有高顯示質(zhì)量的液晶裝置50。
(實(shí)施方式5)(有機(jī)EL顯示裝置以及其制造方法)圖11是表示有機(jī)EL顯示裝置的主要部分的概略剖視圖。如圖11所示，有機(jī)EL顯示裝置100包括具有發(fā)光元件部117的基板101、隔著基板101和空間120而被密封的密封基板119。而且，基板101在元件基板102上具備電路元件部103，發(fā)光元件部117在電路元件部103上重疊而形成，由電路元件部103驅(qū)動(dòng)。發(fā)光元件部117上，在各自的顏色要素區(qū)域A形成有3種顏色的發(fā)光層117R、117G、117B，呈條紋狀?；?01將與3種顏色發(fā)光層117R、117G、117B對(duì)應(yīng)的3個(gè)顏色要素區(qū)域A作為一組像素，該像素以矩陣狀配置在元件基板102的電路元件部103上。本實(shí)施方式的有機(jī)EL顯示裝置100是將來自發(fā)光元件部117的發(fā)光向元件基板102側(cè)射出的部件。
密封基板119是由玻璃或金屬構(gòu)成的，經(jīng)由密封樹脂與基板101接合，在被密封的內(nèi)側(cè)表面粘貼有吸收(getter)劑119a。吸收劑119a用于吸收侵入到基板101和密封基板119之間的空間120的水或氧，防止發(fā)光元件部117由于侵入的水或氧而劣化。另外，也可以省略該吸收劑119a。
基板101是在元件基板102的電路元件部103上具有多個(gè)顏色要素區(qū)域A的基板，包括劃分多個(gè)顏色要素區(qū)域A，并在壁面具有階梯差的作為圍堰的雙層圍堰113；形成在多個(gè)顏色要素區(qū)域A的電極112；和層疊在電極112的空穴注入輸送層116。而且，還具備具有發(fā)光層117R、117G、117B的發(fā)光元件部117，所述發(fā)光層117R、117G、117B作為顏色要素，通過在多個(gè)顏色要素區(qū)域A內(nèi)賦予含有發(fā)光層形成材料的三種功能液(液狀體)而形成。
雙層圍堰113由下層圍堰114和實(shí)質(zhì)劃分顏色要素區(qū)域A的上層圍堰115構(gòu)成，下層圍堰114向顏色要素區(qū)域A的內(nèi)側(cè)伸出，在雙層圍堰113的壁面形成有階梯差。
作為下層圍堰114的形成方法，例如可以舉出與后面形成的各發(fā)光層117R、117G、117B對(duì)應(yīng)，使用抗蝕劑等分別對(duì)各電極112的表面進(jìn)行遮蔽，然后，將被遮蔽的元件基板102投入到真空裝置，將SiO2作為吸收劑或原料，通過進(jìn)行濺射法或真空蒸鍍形成下層圍堰114的方法?？刮g劑等的遮蔽在后面將被剝離。另外，由于下層圍堰114由SiO2形成，所以，如果其膜厚為200nm以下則具有足夠的透明性，即使在后面被層疊空穴注入輸送層116和各發(fā)光層117R、117G、117B也不會(huì)影響發(fā)光。
作為上層圍堰115的形成方法，例如可以舉出在形成有下層圍堰114的元件基板102的表面，通過輥涂法或旋涂法涂敷丙烯酸系的感光性樹脂材料，使其干燥，形成厚度約為2μm的感光性樹脂層，然后，以對(duì)應(yīng)于顏色要素區(qū)域A的大小，在規(guī)定的位置使設(shè)置有開口部分的掩模與元件基板102對(duì)置，通過曝光、顯影而形成上層圍堰115的方法。
作為功能膜的各發(fā)光層117R、117G、117B的形成方法，是在由上層圍堰115所實(shí)質(zhì)劃分的顏色要素區(qū)域A上，使用液滴噴出法賦予含有發(fā)光層形成材料的三種功能液(液狀體)，利用上述實(shí)施方式1～3中任意一項(xiàng)的減壓干燥方法，在減壓下使賦予后的功能液干燥、成膜。因此，在基板101上形成了曲線形狀大致平坦、面內(nèi)的膜厚偏差少的各發(fā)光層117R、117G、117B。
元件基板102例如由玻璃等透明基板構(gòu)成，在元件基板102上形成有由氧化硅膜構(gòu)成的基底保護(hù)膜102a，在該基底保護(hù)膜102a上形成有由多晶硅構(gòu)成的島狀半導(dǎo)體膜104。另外，通過注入高濃度P離子，在半導(dǎo)體膜114中形成有源極區(qū)域104a和漏極區(qū)域104b。此外，沒有導(dǎo)入P的部分成為溝道區(qū)域104c。并且，形成有覆蓋基底保護(hù)膜102a以及半導(dǎo)體膜104的透明柵極絕緣膜105，在柵極絕緣膜105上形成有由Al、Mo、Ta、Ti、W等構(gòu)成的柵電極106，在柵電極106和柵極絕緣膜105上形成有透明的第一層間絕緣膜107和第二層間絕緣膜108。柵電極106設(shè)置在與半導(dǎo)體膜104的溝道區(qū)域104c對(duì)應(yīng)的位置。而且，形成有貫通第一層間絕緣膜107和第二層間絕緣膜108，與半導(dǎo)體膜104的源極區(qū)域104a、漏極區(qū)域104b分別連接的接觸孔109、110。并且，在第二層間絕緣膜108上，以規(guī)定的形狀圖案形成并配置由ITO等構(gòu)成的透明電極112，一方的接觸孔109與該透明電極112連接。而且，另一方的接觸孔110與電源線111連接。這樣，在電路元件部103形成有與各電極112連接的驅(qū)動(dòng)用薄膜晶體管103a。另外，雖然在電路元件部103上也形成有保持電容和開關(guān)用的薄膜晶體管，但在圖11中省略了這些的圖示。
發(fā)光元件部117包括作為陽極的電極112；順次層疊在電極112上的空穴注入輸送層116、各發(fā)光層117R、117G、117B；和以覆蓋上層圍堰115和各發(fā)光層117R、117G、117B的方式而層疊的陰極118。另外，如果以透明材料構(gòu)成陰極118、密封基板119以及吸收劑119a，則可以使從密封基板119側(cè)發(fā)出的光射出。
有機(jī)EL顯示裝置100具有與柵電極106連接的掃描線(省略圖示)和與源極區(qū)域104a連接的信號(hào)線(省略圖示)，如果通過在掃描線中傳遞的掃描信號(hào)使開關(guān)用的薄膜晶體管(省略圖示)導(dǎo)通，則此時(shí)的信號(hào)線的電位保持在保持電容中，根據(jù)該保持電容的狀態(tài)，決定驅(qū)動(dòng)用的薄膜晶體管103a的導(dǎo)通、截止?fàn)顟B(tài)。而且，電流經(jīng)由驅(qū)動(dòng)用的薄膜晶體管103a的溝道區(qū)域104c，從電源線111流向電極112，進(jìn)而經(jīng)由孔穴注入輸送層116和各發(fā)光層117R、117G、117B，流入到陰極118。各發(fā)光層117R、117G、117B根據(jù)流過的電流量進(jìn)行發(fā)光。有機(jī)EL顯示裝置100可以通過這樣的發(fā)光元件部117的發(fā)光機(jī)構(gòu)，顯示所期望的文字與圖像等。而且，由于具備各發(fā)光層117R、117G、117B的截面形狀大致平坦、面內(nèi)的膜厚偏差少的基板101，所以，由于截面形狀不均而造成的發(fā)光不均、亮度不均等顯示不均的情況少，具有高的顯示質(zhì)量。
上述實(shí)施方式5的效果如下。
(1)在上述實(shí)施方式5的有機(jī)EL顯示裝置100中，作為功能膜的各發(fā)光層117R、117G、117B的制造方法，是在顏色要素區(qū)域A賦予含有發(fā)光層形成材料的三種功能液(液狀體)，并使用上述實(shí)施方式1～3中任意一種的減壓干燥方法而成膜的。因此，由于在減壓下功能液的溶媒蒸發(fā)速度最佳化，以面內(nèi)的蒸汽壓分布大致均勻的狀態(tài)進(jìn)行減壓干燥，所以，可以形成截面形狀大致平坦、面內(nèi)的膜厚偏差少的各發(fā)光層117R、117G、117B。
(2)在上述實(shí)施方式5的有機(jī)EL顯示裝置100的制造方法中，作為功能膜的各發(fā)光層117R、117G、117B，使用利用了上述實(shí)施方式1～3中任意一項(xiàng)的減壓干燥方法的功能膜制造方法而制造。因此，可抑制造具有截面形狀大致平坦、面內(nèi)的膜厚偏差少的各發(fā)光層117R、117G、117B的有機(jī)EL顯示裝置100。
(3)上述實(shí)施方式5的有機(jī)EL顯示裝置100，使用利用了上述實(shí)施方式1～3中任意一項(xiàng)的減壓干燥方法的功能膜制造方法而制造，具備截面形狀大致平坦、面內(nèi)的膜厚偏差少的各發(fā)光層117R、117G、117B。因此，能夠提供各發(fā)光層117R、117G、117B的發(fā)光不均與亮度不均等顯示不均少、具有高的顯示質(zhì)量的有機(jī)EL顯示裝置100。
(實(shí)施方式6)下面，對(duì)搭載了實(shí)施方式4的液晶顯示裝置或?qū)嵤┓绞?的有機(jī)EL顯示裝置的電子設(shè)備的具體例進(jìn)行說明。圖12是表示作為電子設(shè)備的便攜式信息處理裝置的概略立體圖。如圖12所示，作為本實(shí)施方式電子設(shè)備的便攜式信息處理裝置200，包括具有輸入用鍵盤201的信息處理裝置主體203、和顯示部202。在顯示部202中搭載有液晶顯示裝置50或有機(jī)EL顯示裝置100。
上述實(shí)施方式6的效果如下。
(1)上述實(shí)施方式6的作為電子設(shè)備的便攜式信息處理裝置200，搭載有實(shí)施方式4的顏色不均與取向不均等顯示不均少的、具有高的顯示質(zhì)量的液晶顯示裝置50，或?qū)嵤┓绞?的發(fā)光不均與亮度不均等顯示不均少的、具有高的顯示質(zhì)量的有機(jī)E顯示裝置100。因此，可以提供能夠?qū)D像等信息美觀地進(jìn)行顯示的便攜式信息處理裝置200。
上述實(shí)施方式1～6以外的變形例如下。
(變形例1)在上述實(shí)施方式3的減壓干燥方法中，第一室1的初始?jí)毫1不限定于大氣壓(1atm)。例如，在使第一室1和第二室2連通的狀態(tài)下開始減壓，以操作壓Ps和大氣壓的中間的減壓值關(guān)閉連通閥8，密閉第一室1。之后，也可以在第二室2達(dá)到操作壓Ps后使其與第一室1連通。由此，能夠縮短連通后的第一室1的壓力P1達(dá)到第二室2的壓力P2的時(shí)間。即，能夠以更短的時(shí)間結(jié)束一次減壓干燥動(dòng)作。
(變形例2)在上述實(shí)施方式1～3的減壓干燥方法中，將涂敷有液狀體L的基板W載置于第一室1的載置臺(tái)11，通過減壓使溶媒蒸發(fā)，但是，不限定于此。例如，也可以在載置臺(tái)11上設(shè)置加熱器等加熱機(jī)構(gòu)，在減壓干燥過程中具備對(duì)基板W進(jìn)行加熱的加熱工序。由此，通過在加熱工序中，利用加熱機(jī)構(gòu)對(duì)基板W穩(wěn)定地加熱，來促進(jìn)溶媒的蒸發(fā)，能夠更加快速地使液狀體L的形狀固定化。
(變形例3)在上述實(shí)施方式1～3的減壓干燥方法中，被減壓干燥的被干燥物不限定于涂敷有液狀體L的基板W。例如，也可以通過夾具等支承收容半導(dǎo)體晶片或眼鏡等外形形狀圓的構(gòu)件等。
(變形例4)也可以將上述各實(shí)施方式1～3的減壓干燥方法相互進(jìn)行組合。例如，也可以將上述實(shí)施方式1或2的減壓工序置換成上述實(shí)施方式3的減壓工序。即，在密閉第一室1的狀態(tài)下，對(duì)第二室2進(jìn)行減壓，達(dá)到規(guī)定的操作壓Ps后，在連通工序中使第一室1和第二室2連通。然后，如果在放置工序中密閉第一室1進(jìn)行液狀體L的溶媒干燥，則可進(jìn)一步縮短到達(dá)規(guī)定操作壓Ps的減壓工序，由此，能夠提供一種蒸發(fā)量控制型或膜形狀控制型的減壓干燥方法。而且，例如也可以以實(shí)施方式1或2的減壓干燥方法進(jìn)行液狀體L的干燥，在膜形狀穩(wěn)定的狀態(tài)下，使用實(shí)施方式3的減壓干燥方法使殘留的溶媒蒸發(fā)。
(變形例5)在實(shí)施方式4的液晶顯示裝置50中，使用上述實(shí)施方式1～3中任意一項(xiàng)的減壓干燥方法而形成的功能膜，不限定于色層64和取向膜67、69。例如，也可以在涂敷含有OC形成材料的液狀體，并使其干燥來形成的OC層65中應(yīng)用。而且，只要在這些功能膜的任意一種的形成中，使用上述實(shí)施方式1～3中任意一種的減壓干燥方法即可。
(變形例6)作為搭載了實(shí)施方式4的液晶顯示裝置50或?qū)嵤┓绞?的有機(jī)EL顯示裝置100的電子設(shè)備，不限定于實(shí)施方式6的便攜式信息處理裝置200。例如，可舉出便攜電話機(jī)、被稱作PDA(Personal DigitalAssistants)的便攜式信息設(shè)備與便攜終端設(shè)備、便攜式個(gè)人電腦、文字處理器、數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)、車載用監(jiān)視器、數(shù)字?jǐn)z像機(jī)、液晶電視、探視器型和監(jiān)聽直視型的磁帶錄像機(jī)、車輛導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本、臺(tái)式電腦、文字處理軟件、工作站、可視電話機(jī)、POS終端機(jī)等、使用作為電光學(xué)裝置的液晶顯示裝置與有機(jī)EL顯示裝置的設(shè)備。
權(quán)利要求
1.一種減壓干燥方法，使用具有通過減壓機(jī)構(gòu)能夠進(jìn)行減壓的第二室和能夠與所述第二室連通的第一室的減壓干燥裝置，在減壓下使涂敷在基材上的液狀體的溶媒蒸發(fā)而干燥，包括減壓工序，在所述基材收容于所述第一室的狀態(tài)下，使所述第一室和所述第二室連通，通過所述減壓機(jī)構(gòu)減壓至規(guī)定的操作壓為止；放置工序，在達(dá)到所述規(guī)定操作壓的階段密閉所述第一室，使所述溶媒蒸發(fā)，直到所述第一室上升到規(guī)定的壓力為止進(jìn)行放置；連通工序，連通上升到所述規(guī)定壓力的所述第一室和所述第二室；和排出工序，通過所述減壓機(jī)構(gòu)將在所述第一室和所述第二室中擴(kuò)散的所述溶媒的蒸汽排出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減壓干燥方法，其特征在于，所述規(guī)定的操作壓是比所述液狀體的溶媒的蒸汽壓高的壓力。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的減壓干燥方法，其特征在于，所述規(guī)定的壓力，是對(duì)在密閉的所述第一室內(nèi)使一定量的所述溶媒蒸發(fā)時(shí)的蒸汽壓加上所述規(guī)定的操作壓的壓力；在所述排出工序中，在比所述規(guī)定的壓力高的壓力下進(jìn)行排氣。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任意一項(xiàng)所述的減壓干燥方法，其特征在于，從所述減壓工序開始反復(fù)進(jìn)行所述排出工序，來進(jìn)行涂敷在所述基材上的所述液狀體的干燥。
5.一種減壓干燥方法，使用具有通過減壓機(jī)構(gòu)能夠進(jìn)行減壓的第二室和能夠與第二室連通的第一室的減壓干燥裝置，在減壓下使涂敷在基材上的液狀體的溶媒蒸發(fā)而干燥，包括減壓工序，在基材收容于所述第一室的狀態(tài)下，使所述第一室和所述第二室連通，進(jìn)行減壓直至達(dá)到規(guī)定的操作壓為止，以使從所述液狀體蒸發(fā)溶媒，在到達(dá)要對(duì)膜形狀造成影響的粘度之前增加粘度；放置工序，在達(dá)到所述規(guī)定操作壓的階段密閉所述第一室，使所述溶媒的蒸發(fā)繼續(xù)進(jìn)行，直到所述第一室上升到規(guī)定的壓力為止進(jìn)行放置；連通工序，連通上升到所述規(guī)定壓力的所述第一室和所述第二室；和排出工序，通過所述減壓機(jī)構(gòu)將在所述第一室和所述第二室中擴(kuò)散的所述溶媒的蒸汽排出。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的減壓干燥方法，其特征在于，所述規(guī)定的壓力，是對(duì)所述第一室中的所述液狀體的溶媒的近似飽和蒸汽壓加上所述規(guī)定的操作壓后的壓力。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任意一項(xiàng)所述的減壓干燥方法，其特征在于，在所述連通工序中，使上升到所述規(guī)定壓力的所述第一室與容積比所述第一室大的所述第二室連通。
8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任意一項(xiàng)所述的減壓干燥方法，其特征在于，所述第二室在所述連通工序之前，被減壓至小于所述規(guī)定操作壓的壓力。
9.一種減壓干燥方法，使用具有通過減壓機(jī)構(gòu)能夠進(jìn)行減壓的第二室和能夠與所述第二室連通的第一室的減壓干燥裝置，在減壓下使涂敷在基材上的液狀體的溶媒蒸發(fā)而干燥，包括減壓工序，在所述基材收容于所述第一室的狀態(tài)下，通過所述減壓機(jī)構(gòu)使處于與所述第一室非連通的狀態(tài)的所述第二室減壓至規(guī)定的操作壓；連通工序，在所述第二室達(dá)到所述規(guī)定操作壓的階段，連通所述第一室和所述第二室；和排出工序，排出在所述第一室和所述第二室中擴(kuò)散的所述溶媒的蒸汽。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的減壓干燥方法，其特征在于，所述規(guī)定的操作壓是比所述液狀體的溶媒蒸汽壓高的壓力。
11.根據(jù)權(quán)利要求1～10中任意一項(xiàng)所述的減壓干燥方法，其特征在于，在所述排出工序中進(jìn)行積極排氣，所述積極排氣是在隨著所述液狀體的干燥的進(jìn)行，增加粘度至膜形狀固定化的程度時(shí)，使所述減壓機(jī)構(gòu)的排氣速度上升。
12.根據(jù)權(quán)利要求1～10中任意一項(xiàng)所述的減壓干燥方法，其特征在于，在所述排出工序中，從外部向所述第一室導(dǎo)入惰性氣體，以使所述第一室不被減壓至所述規(guī)定的操作壓以下。
13.根據(jù)權(quán)利要求1～10中任意一項(xiàng)所述的減壓干燥方法，其特征在于，在所述排出工序中，當(dāng)使所述第一室的所述溶媒的蒸汽擴(kuò)散到所述第二室、密閉所述第一室之后，通過所述減壓機(jī)構(gòu)排出在所述第二室擴(kuò)散的所述溶媒的蒸汽。
14.一種功能膜的制造方法，在基材上涂敷含有功能性材料的液狀體，并使其干燥，并在所述基材的表面形成功能膜，使用權(quán)利要求1～13中任意一項(xiàng)所述的減壓干燥方法，使所述液狀體干燥。
15.一種電光學(xué)裝置的制造方法，所述電光學(xué)裝置具有一對(duì)基板、并具備在至少一方的基板上構(gòu)成像素像素的功能膜，使用權(quán)利要求14所述的功能膜的制造方法，形成所述功能膜。
16.一種電光學(xué)裝置，具有一對(duì)基板、并具備在至少一方的基板上構(gòu)成像素像素的功能膜，使用權(quán)利要求15所述的電光學(xué)裝置的制造方法，形成所述功能膜。
17.一種液晶顯示裝置，包括具有電極的一對(duì)基板、至少在與顯示區(qū)域?qū)?yīng)的范圍內(nèi)覆蓋所述電極的作為功能膜的取向膜、和經(jīng)由所述取向膜由所述一對(duì)基板所夾持的液晶，使用權(quán)利要求14所述的功能膜的制造方法，形成所述取向膜。
18.一種液晶顯示裝置，包括一對(duì)基板、在至少一方的基板上由隔壁部劃分的作為功能膜的顏色要素、和由所述一對(duì)基板所夾持的液晶，使用權(quán)利要求14所述的功能膜的制造方法，形成所述顏色要素。
19.一種有機(jī)EL顯示裝置，具有一對(duì)基板、在至少一方的基板上由隔壁部劃分的作為功能膜的發(fā)光層，使用權(quán)利要求14所述的功能膜的制造方法，形成所述發(fā)光層。
20.一種電子設(shè)備，搭載了權(quán)利要求16所述的電光學(xué)裝置、權(quán)利要求17或18所述的液晶顯示裝置、權(quán)利要求19所述的有機(jī)EL顯示裝置中的任意一種。
全文摘要
提供在干燥過程中根據(jù)液狀體的種類使被涂敷的液狀體的溶媒的蒸發(fā)速度最佳化，以溶媒蒸汽壓的分布在被涂敷的面內(nèi)大致均勻的狀態(tài)進(jìn)行減壓干燥的減壓干燥方法、使用該減壓干燥方法的功能膜的制造方法和電光學(xué)裝置的制造方法、電光學(xué)裝置、液晶顯示裝置、有機(jī)EL顯示裝置以及電子設(shè)備。減壓干燥方法包括減壓工序，在涂敷有液狀體的基材收容于第一室的狀態(tài)下，使第一室和第二室連通，由減壓機(jī)構(gòu)減壓至規(guī)定的操作壓Ps為止；放置工序，在達(dá)到規(guī)定操作壓Ps的階段密閉第一室，使溶媒蒸發(fā)，直到第一室上升到規(guī)定的壓力為止進(jìn)行放置；連通工序，連通上升到規(guī)定壓力的第一室和第二室；排出工序，由減壓機(jī)構(gòu)將在第一室和第二室中擴(kuò)散的溶媒的蒸汽排出。
文檔編號(hào)F26B5/04GK1908562SQ20061010818
公開日2007年2月7日 申請(qǐng)日期2006年7月31日 優(yōu)先權(quán)日2005年8月1日
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