專利名稱：自動化潔凈倉儲的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型是關(guān)于一種倉儲，特別是關(guān)于一種提高倉儲內(nèi)儲存格潔凈度的自動化潔凈倉儲。
背景技術(shù)：
目前晶圓、制藥、TFT、LCD業(yè)界常用的倉儲制造方式有兩種，一種是直接由無塵室天花板的外部供風系統(tǒng)提供潔凈空氣，經(jīng)由導流管路導引氣體至倉儲側(cè)壁出風，如圖1所示。這種倉儲包括二側(cè)風道204、存放物料的第一、第二儲存架體201、202的儲存格203及搬移物料的一組存取單元30，其設(shè)計方法、構(gòu)造簡單，外部供風系統(tǒng)10具有多數(shù)個風機過濾單元101(FFU)，該多數(shù)個風機過濾單元101將潔凈空氣流入各儲存格203并排出倉儲，由于該風機過濾單元101的出口阻抗較大，導致各儲存格203內(nèi)氣流速度不快，使儲存格203內(nèi)污染粒子的排除能力較低。
為了加強倉儲內(nèi)部污染粒子的排除與阻擋能力，因而有側(cè)邊風道裝設(shè)風機過濾單元提供側(cè)向水平氣流的設(shè)計出現(xiàn)，如圖2所示。于側(cè)邊風道204裝設(shè)多數(shù)個風機過濾單元101的設(shè)計方式，對倉儲確實能提高第一、第二儲存架體201、202的儲存格203內(nèi)水平層流速度，然而這種設(shè)計方式需要搭配大量薄型的風機過濾單元101，增加許多的制造與維護成本。
上述兩種倉儲設(shè)計的方式是直接由外部供風系統(tǒng)供風與排氣，并沒有任何的內(nèi)部循環(huán)機制，且為了加強倉儲內(nèi)的潔凈度，需要在倉儲的兩側(cè)風道裝設(shè)多數(shù)個風機過濾單元以提供儲存格內(nèi)側(cè)向水平氣流，如此增加氣流流速可增強污染粒子的濾除，提高倉儲內(nèi)的潔凈度。但增加多數(shù)個風機過濾單元雖可增強倉儲的潔凈度，其制造與維護的成本甚高，為了同時考量提高潔凈度及降低成本，必需找出更適當?shù)姆椒朔陨洗嬖诘膯栴}。
實用新型內(nèi)容本實用新型的主要目的是提供一種可加強倉儲內(nèi)部循環(huán)氣流的自動化潔凈倉儲，利用風機搭配風道與濾網(wǎng)的設(shè)計方式制造額外的內(nèi)部循環(huán)系統(tǒng)于倉儲內(nèi)，并通過由外部供風系統(tǒng)提供空氣直接進入倉儲內(nèi)，風機吸入潔凈空氣并傳送至各風道，經(jīng)過濾網(wǎng)將潔凈空氣進一步地阻隔污染粒子而進入第一、第二儲存架體的儲存格內(nèi)，最后儲存格內(nèi)的潔凈空氣又傳回風機的入口以達成一內(nèi)部循環(huán)。
此設(shè)計方式可增強倉儲內(nèi)儲存格的風量并增加氣流速度，使加速污染粒子的濾除，能阻絕污染粒子進入儲存格以提高內(nèi)部物料于儲存格內(nèi)的潔凈度，其制造與維護的成本也較低，故可達到同時考量制造成本及空氣的潔凈度。
為達成上述目的與功效，本實用新型所采用的技術(shù)手段及構(gòu)造，茲就本實用新型較佳實施例詳加說明其特征與功能如下，以利于完全了解。


圖1是為現(xiàn)有的倉儲結(jié)構(gòu)一的示意圖；圖2是為現(xiàn)有的倉儲結(jié)構(gòu)二的示意圖；及圖3是為本實用新型自動化潔凈倉儲的示意圖。
主要組件符號說明10 外部供風系統(tǒng)101 風機過濾單元20 內(nèi)部循環(huán)系統(tǒng)201 第一儲存架體202 第二儲存架體
203 儲存格204 風道205 濾網(wǎng)206 風機30 存取單元具體實施方式
請參閱圖3是為本實用新型自動化潔凈倉儲的示意圖，本實用新型自動化潔凈倉儲包括一外部供風系統(tǒng)10、一內(nèi)部循環(huán)系統(tǒng)20及一存取單元30，該外部供風系統(tǒng)10設(shè)有多數(shù)個風機過濾單元101，將空氣過濾后送入倉儲內(nèi)。而該內(nèi)部循環(huán)系統(tǒng)20是包括有一第一儲存架體201、一第二儲存架體202、二風道204、多數(shù)個濾網(wǎng)205及二風機206，該第一、第二儲存架體201、202是設(shè)置于倉儲內(nèi)，其具有多數(shù)個儲存格203，供存放物料。而該儲存格203環(huán)境空間需要高的潔凈度以儲存物料。該二風道204是分別設(shè)置于倉儲內(nèi)壁與該第一、第二儲存架體201、202的周側(cè)，并分別與該多數(shù)個儲存格203連通。該每一儲存格203與該風道204連通處設(shè)置有一濾網(wǎng)205，讓流入該每一儲存格203內(nèi)的空氣，均可經(jīng)過該濾 205，使空氣中的污染粒子濾除并讓風速達到均勻分布的目的。該二風機206是裝設(shè)于該倉儲內(nèi)，裝設(shè)于該倉儲下方左右兩側(cè)較佳，且與該風道204連接，亦即該風機206的入口處是吸取外部供風系統(tǒng)10的潔凈空氣及部分倉儲內(nèi)部空氣，出口處是與該倉儲內(nèi)的兩側(cè)風道204連接。該存取單元30是設(shè)置于倉儲內(nèi)的第一、第二儲存架體201、202間，其包括有機械手臂等器具作存取作用，該存取單元30是用以存取物料或傳遞物料。
本實用新型實施例于運作時，該外部供風系統(tǒng)10將外部空氣經(jīng)過該多數(shù)個風機過濾單元101進行一次過濾，以濾除空氣中的污染粒子，再將潔凈空氣氣流集中由倉儲中央較大的入口進入該倉儲內(nèi)部，可作為該倉儲本身的外氣來源，維持該倉儲內(nèi)部正壓狀態(tài)，熱量排除與排除該倉儲內(nèi)部產(chǎn)生污染粒子的用途。接著，潔凈空氣進入該風機206入口處前，先經(jīng)過一濾網(wǎng)205再作進一步的污染粒子濾除才進入該風機206入口處，隨著該風機206的運轉(zhuǎn)將潔凈空氣導入該倉儲兩側(cè)的風道204，同時，于該風道204與該復數(shù)儲存格203間設(shè)有多數(shù)個濾網(wǎng)205，使?jié)崈艨諝庠僖淮螌⒖諝庵械奈廴玖Ｗ訛V除并分配到各儲存格203內(nèi)，而該多數(shù)個儲存格203內(nèi)的潔凈空氣已經(jīng)多次的污染粒子濾除并達到一定的潔凈度，最后該多數(shù)個儲存格203內(nèi)的潔凈空氣再傳入該倉儲內(nèi)便完成一次內(nèi)部循環(huán)過程。
較佳地，為了更有效地提高倉儲內(nèi)儲存格的空氣潔凈度，選擇適當?shù)娘L機及馬達裝設(shè)于倉儲內(nèi)，透過改變馬達的轉(zhuǎn)速以增加該風機的運轉(zhuǎn)速度與循環(huán)風量，即可增強流入儲存格氣流流速，有效阻止污染粒子進入儲存格內(nèi)部，并配合濾網(wǎng)更可快速濾除倉儲內(nèi)部污染粒子。
綜合上述，本實用新型的自動化潔凈倉儲通過由外部供風系統(tǒng)及內(nèi)部循環(huán)系統(tǒng)使流入倉儲內(nèi)的空氣透過濾網(wǎng)作多次的污染粒子濾除，利用風機增強流入儲存格內(nèi)的氣流流速并配合濾網(wǎng)即可快速濾除倉儲內(nèi)部污染粒子及有效阻止污染粒子進入儲存格內(nèi)部，以提升儲存格內(nèi)空氣的潔凈度。
權(quán)利要求1.一種自動化潔凈倉儲，其特征在于包括一外部供風系統(tǒng)，具有多數(shù)個風機過濾單元并提供潔凈空氣于倉儲內(nèi)；及一內(nèi)部循環(huán)系統(tǒng)，包括一第一儲存架體，具有多數(shù)個儲存格；一第二儲存架體，具有多數(shù)個儲存格；二風道，設(shè)置于倉儲的周側(cè)，分別與該第一、第二儲存架體的多數(shù)個儲存格連通；多數(shù)個濾網(wǎng)，設(shè)置于該每一儲存格與該風道間的位置；及二風機，該二風機裝設(shè)于倉儲下方兩側(cè)內(nèi)，且與該風道連接。
2.如權(quán)利要求1所述的自動化潔凈倉儲，其特征在于，所述該外部供風系統(tǒng)是將潔凈空氣由倉儲上方中央進入。
3.如權(quán)利要求1所述的自動化潔凈倉儲，其特征在于，更包括一存取單元，該存取單元是設(shè)置于該第一、第二儲存架體間。
4.如權(quán)利要求3所述的自動化潔凈倉儲，其特征在于，所述該存取單元包括有一機械手臂。
專利摘要本實用新型一種自動化潔凈倉儲，是通過由具有風機過濾單元的外部供風系統(tǒng)提供潔凈空氣于倉儲內(nèi)，并由內(nèi)部循環(huán)系統(tǒng)的風機配合風道、濾網(wǎng)使流入倉儲內(nèi)的空氣透過濾網(wǎng)作多次的污染粒子濾除，風機可增強流入第一、第二儲存架體的儲存格內(nèi)的氣流流速使儲存格內(nèi)污染粒子的濾除能力增高，故通過內(nèi)部循環(huán)系統(tǒng)的循環(huán)運作以提升空氣的潔凈度。
文檔編號F24F13/28GK2923597SQ20062011269
公開日2007年7月18日 申請日期2006年5月9日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月9日
發(fā)明者陳俊杰, 楊國祥, 陳建良 申請人:財團法人工業(yè)技術(shù)研究院