專利名稱：熱處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)被處理工件進(jìn)行熱處理的熱處理裝置。
背景技術(shù)：
以往，公知的熱處理裝置，是在把被處理工件收容在其熱處理部分 內(nèi)部的狀態(tài)下， 一邊使上述熱處理部分內(nèi)的空氣進(jìn)行循環(huán)， 一邊對(duì)其加 熱，借助于這種加熱空氣對(duì)上述被處理工件進(jìn)行熱處理。
這種熱處理裝置，在制造FPD (平板顯示器)時(shí)，可用于光刻膠和 有機(jī)物薄膜的預(yù)烘干工序、后烘干工序等工序。在這些工序中，在對(duì)由 玻璃基板等構(gòu)成的被處理工件進(jìn)行熱處理的過程中，光刻膠等中所含有 的揮發(fā)性成分會(huì)氣化，產(chǎn)生大量的升華物質(zhì)，這種升華物質(zhì)經(jīng)過再結(jié)晶 后，會(huì)產(chǎn)生飛散到熱處理裝置的周圍，或者附著在其周圍等問題。
作為這一問題的對(duì)策，例如在特開平10-141868號(hào)公報(bào)中，記載了 這樣的方案 一方面通過對(duì)外部空氣進(jìn)行加熱后再送入上述熱處理部分 中，另一方面，又使上述熱處理部分內(nèi)的空氣流入導(dǎo)出管道內(nèi)，借此對(duì) 上述熱處理部分的內(nèi)部進(jìn)行換氣。這樣，借助于對(duì)熱處理部分的內(nèi)部進(jìn) 行換氣，就能抑制升華物質(zhì)的再結(jié)晶和向周圍的附著。
可是，在進(jìn)行上述這種換氣的情況下，從熱處理部分流出來的空氣 在流過導(dǎo)出管道內(nèi)的過程中會(huì)冷卻，因而存在升華物質(zhì)堆積在導(dǎo)出管道 內(nèi)的可能性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種解決上述問題的熱處理裝置。此外，本發(fā) 明的另一個(gè)目的是提供一種能抑制升華物質(zhì)堆積在導(dǎo)出管道內(nèi)的熱處理裝置。
按照本發(fā)明的一種方案提供的熱處理裝置，在把被處理工件收容在
其熱處理部分內(nèi)的狀態(tài)下，通過在使所述熱處理部分內(nèi)的空氣進(jìn)行循環(huán) 的同時(shí)對(duì)其加熱，來對(duì)所述被處理工件進(jìn)行熱處理，并且通過一面將外 部空氣加熱后送入所述熱處理部分內(nèi)， 一面使所述熱處理部分內(nèi)的空氣 流入導(dǎo)出管道內(nèi)，對(duì)所述熱處理部分的內(nèi)部進(jìn)行換氣，其中，在所述導(dǎo) 出管道中設(shè)置有催化劑，在對(duì)所述被處理工件進(jìn)行熱處理的過程中分解 由該被處理工件所產(chǎn)生的升華物質(zhì)。
此外，按照本發(fā)明的另一種方案提供的熱處理裝置，包括熱處理 部分，把被處理工件收容在其內(nèi)部；導(dǎo)出管道，連接在所述熱處理部分 上；以及空調(diào)部分，當(dāng)對(duì)所述被處理工件進(jìn)行熱處理時(shí)，對(duì)外部空氣進(jìn) 行加熱，并將其送入所述熱處理部分內(nèi)，其中，所述空調(diào)部分通過把外 部空氣送入到所述熱處理部分內(nèi)，使所述熱處理部分內(nèi)的空氣不再回到 該空調(diào)部分中，而是流入所述導(dǎo)出管道內(nèi)，所述導(dǎo)出管道的結(jié)構(gòu)是把從 所述熱處理部分流出來的空氣全部排到外部的結(jié)構(gòu)，在這種導(dǎo)出管道中 設(shè)有催化劑，在對(duì)所述被處理工件進(jìn)行熱處理的過程中分解由該被處理 工件所產(chǎn)生的升華物質(zhì)。


圖1是本發(fā)明第一實(shí)施方式的熱處理裝置的示意結(jié)構(gòu)圖。
圖2是本發(fā)明第二實(shí)施方式的熱處理裝置的示意結(jié)構(gòu)圖。 圖3是本發(fā)明第三實(shí)施方式的熱處理裝置的示意結(jié)構(gòu)圖。 圖4是本發(fā)明第四實(shí)施方式的熱處理裝置的示意結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖詳細(xì)說明用于實(shí)施本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式。
圖1是示意表示本發(fā)明熱處理裝置的一個(gè)實(shí)施方式的圖。如圖1所 示，第一實(shí)施方式的熱處理裝置1A用于平板顯示器的制造過程中，這種 熱處理裝置1A設(shè)置在清洗室內(nèi)部，稱作清洗爐。
上述熱處理裝置1A具備裝置主體2，裝置主體2具有由絕熱壁圍繞 著的空間形成的絕熱室20。上述絕熱室20的內(nèi)部用隔板24隔開，在隔
板24左側(cè)的部分是熱處理部分21，在其右側(cè)的部分則作為空調(diào)部分23。 在隔板24上形成有開口，在這個(gè)開口中配置有過濾器31。這樣，流通的 空氣就能通過過濾器31。此外圖中沒有表示，但在裝置主體2中還設(shè)有 連通熱處理部分21內(nèi)部與空調(diào)部分23內(nèi)部的連通通道。
在上述熱處理部分21的內(nèi)部設(shè)有工件保持部分22。該工件保持部 分22能使由玻璃基板等構(gòu)成的多個(gè)被處理工件(以下，簡(jiǎn)稱為工件)W 保持在上下并排的狀態(tài)。通過把工件W保持在這個(gè)工件保持部分22上， 就能把這些工件W收容在熱處理部分21內(nèi)。
在上述空調(diào)部分23中設(shè)有加熱器32和送風(fēng)機(jī)33。加熱器32加熱 空調(diào)部分23內(nèi)部的空氣，送風(fēng)機(jī)33使空調(diào)部分23內(nèi)的空氣通過過濾器 31后，送入熱處理部分21內(nèi)。并且，當(dāng)空氣由送風(fēng)機(jī)33送入熱處理部 分21內(nèi)時(shí)，熱處理部分21內(nèi)的空氣便通過圖中省略了的連通通道返回 到空調(diào)部分23內(nèi)。然后，返回到空調(diào)部分23內(nèi)的空氣再一次由加熱器 32加熱。g卩，熱處理部分21內(nèi)的空氣在進(jìn)行循環(huán)的同時(shí)被加熱了，這樣， 就對(duì)收容在熱處理部分21內(nèi)的工件W進(jìn)行了熱處理。
還有，吸氣管道4連接在上述空調(diào)部分23上，此外，導(dǎo)出管道5連 接在上述熱處理部分21上。在把由吸氣管道4吸入的外部空氣通過空調(diào) 部分23和過濾器31之后，送入熱處理部分21內(nèi)，并使熱處理部分21 內(nèi)的空氣流入導(dǎo)出管道5內(nèi)，用以對(duì)熱處理部分21內(nèi)進(jìn)行換氣。
上述導(dǎo)出管道5的一個(gè)端部連接在熱處理部分21上。導(dǎo)出管道5具 有向外部敞開的排氣管道51、和從該排氣管道51分路后，連接在上述吸 氣管道4上的回流管道52。排氣管道51用于把從上述熱處理部分21中 流出來的空氣直接排到外部去，而回流管道52則用于把從上述熱處理部 分21中流出來的空氣通過上述吸氣管道4，再次送入熱處理部分21內(nèi)。
在上述回流管道52的中途，設(shè)有鼓風(fēng)機(jī)7和催化劑6。在上述排氣 管道51中，催化劑6配置在上述回流管道52分路位置的上游一側(cè)的部 分上。另外，也可以如圖1中雙點(diǎn)劃線所示，催化劑6設(shè)置在回流管道 52中鼓風(fēng)機(jī)7上游一側(cè)的部分上。
上述催化劑6在對(duì)上述工件W進(jìn)行熱處理的過程中，促進(jìn)該工件W
所產(chǎn)生的升華物質(zhì)的氧化分解反應(yīng)。在本實(shí)施方式中，作為構(gòu)成催化劑6 的活性金屬，可采用白金(Pt)和鈀(Pd)之類的貴金屬、或者這些貴
金屬的合金。這些催化劑6大約從150 20(TC左右的溫度氛圍下開始顯 示催化劑活性。由于通過催化劑6的空氣溫度是根據(jù)熱處理溫度和管道 的路徑而變化的，所以，當(dāng)空氣在不是催化劑活性足夠的溫度下通過催 化劑6的情況下，可以在催化劑6的前面安裝加熱器10，把空氣溫度提 高到催化劑活性溫度即可。此外，在工件W所產(chǎn)生的升華物質(zhì)中含有稱 為催化劑中毒劑的物質(zhì)(含有Si、 P、 S等的有機(jī)化合物)的情況下，催 化劑6就會(huì)中毒。在這種情況下，也可以在催化劑6的前方(上游一側(cè)) 設(shè)置前處理材料(氧化鋁、陶瓷等)。
另外，在上述吸氣管道4和導(dǎo)出管道5中，在適當(dāng)?shù)牟课簧显O(shè)有調(diào) 整風(fēng)量用的擋板8。
于是，在進(jìn)行上述熱處理并驅(qū)動(dòng)鼓風(fēng)機(jī)7時(shí)，熱處理部分21內(nèi)的空 氣便從排氣管道51的一個(gè)端部吸入，并流入排氣管道51內(nèi)。在流入排 氣管道51內(nèi)的空氣中含有由工件W所產(chǎn)生的升華物質(zhì)，但這種升華物質(zhì) 因與催化劑6接觸而被分解。然后， 一部分空氣從排氣管道51的中間段 流入回流管道52內(nèi)，被吸引到鼓風(fēng)機(jī)7中，而剩余的空氣則從排氣管道 51的另一個(gè)端部排到外部去。此外，當(dāng)熱處理部分21內(nèi)的空氣流到排氣 管道51內(nèi)時(shí)，外部空氣便隨之從吸氣管道4吸入，并送到空調(diào)部分23 內(nèi)。在空調(diào)部分23內(nèi)，外部空氣由加熱器32加熱，然后通過過濾器31， 送到熱處理部分21內(nèi)。g卩，加熱器32有兩個(gè)功能，也就是加熱外部空 氣的功能、和如上所述的在使熱處理部分21內(nèi)的空氣進(jìn)行循環(huán)的同時(shí)對(duì) 其進(jìn)行加熱的功能。
另外，從鼓風(fēng)機(jī)7排出的空氣，從回流管道52提供給吸氣管道4后， 再次被送入熱處理部分21內(nèi)。
這樣，在第一實(shí)施方式的熱處理裝置1A中，熱處理部分21內(nèi)的空 氣在流入導(dǎo)出管道5內(nèi)的過程中與催化劑6接觸，借助于此催化劑6來 分解空氣中的升華物質(zhì)。這樣，就能抑制升華物質(zhì)堆積在從導(dǎo)出管道5 上設(shè)置催化劑6的位置開始的下游一側(cè)部分上。此外，由于催化劑6設(shè) 置在比鼓風(fēng)機(jī)7更上游的一側(cè)，所以也能抑制升華物質(zhì)堆積在鼓風(fēng)機(jī)7 內(nèi)。
還有，由于從熱處理部分21流出來的空氣在與催化劑6接觸之后，
通過回流管道52和吸氣管道4再次被送入熱處理部分21內(nèi)，因而能重 復(fù)利用從熱處理部分21流出來的空氣。這樣，就能同時(shí)減少吸入吸氣管 道4中的外部空氣的吸氣量和從排氣管道51排到外部的排氣量，從而有 利于節(jié)能。
下面，參照?qǐng)D2說明本發(fā)明的第二實(shí)施方式中的熱處理裝置1B。另 外，在以下所示的第二 第四實(shí)施方式中，凡是與第一實(shí)施方式中的熱 處理裝置1A相同結(jié)構(gòu)的部分，都標(biāo)以同樣的附圖標(biāo)記，并省略其說明。
在第二實(shí)施方式的熱處理裝置1B中，導(dǎo)出管道5只用一根排氣管道 51構(gòu)成。換句話說，在這種導(dǎo)出管道5中，不從排氣管道51分路出回流 管道52來。因此，在第二實(shí)施方式中從熱處理部分21流出來的空氣， 全部都通過排氣管道51排出到熱處理裝置1B的外部。此外，鼓風(fēng)機(jī)7 設(shè)置在排氣管道51下游端附近，而催化劑6設(shè)置在此鼓風(fēng)機(jī)7的上游一
還有，在第二實(shí)施方式的熱處理裝置1B中設(shè)置了換熱器9。此換熱 器9位于排氣管道51中的鼓風(fēng)機(jī)7與催化劑6之間，并且位于吸氣管道 4的中途。此換熱器9將流過吸氣管道4內(nèi)的外部空氣與流過排氣管道 51中比催化劑6還處于下游部分的空氣之間，進(jìn)行熱交換。
設(shè)置了這樣的換熱器9，就能借助于換熱器9，利用從熱處理部分 21流出的空氣的熱量來加熱外部空氣，從而能達(dá)到節(jié)能的目的。而且由 于上述空氣利用換熱器9與外部空氣之間進(jìn)行了熱交換，還借助于催化 劑6已經(jīng)把升華物質(zhì)分解，所以，即使上述空氣由于熱交換而被冷卻， 也能夠抑制升華物質(zhì)堆積在換熱器9內(nèi)。
其中，在第一實(shí)施方式中，由于設(shè)置了回流管道52，而且把與催化 劑6接觸之后的空氣再次送入熱處理部分21內(nèi)，所以在催化劑6由于某 種原因而變劣的情況下，通過把含有升華物質(zhì)的空氣再一次送進(jìn)熱處理 部分21內(nèi)，將使得熱處理部分21內(nèi)的升華物質(zhì)的濃度有可能上升。與 此相反，在第二實(shí)施方式中，由于從熱處理部分21中流出來的空氣全部
都通過排氣管道51排到熱處理裝置IB的外部，因而與催化劑6接觸之
后的空氣不會(huì)再一次被送到熱處理部分21內(nèi)。因此，即使催化劑6變劣， 熱處理部分21內(nèi)的升華物質(zhì)的濃度也不會(huì)上升。而且經(jīng)常有新鮮的外部 空氣通過吸氣管道4被吸入絕熱室20中。
還有，在第一實(shí)施方式中，為了使回流管道52內(nèi)的風(fēng)向朝向一個(gè)方 向，鼓風(fēng)機(jī)7是必需的，但在第二實(shí)施方式中，能借助于其結(jié)構(gòu)，可以 省略鼓風(fēng)機(jī)7。
下面，參照?qǐng)D3說明本發(fā)明的第三實(shí)施方式的熱處理裝置1C。第三 實(shí)施方式的熱處理裝置1C，是把第一實(shí)施方式的熱處理裝置1A的結(jié)構(gòu)與 第二實(shí)施方式的熱處理裝置1B的結(jié)構(gòu)組合在一起的熱處理裝置。在第三 實(shí)施方式中，能夠重復(fù)利用從熱處理部分21流出來的空氣，并且能夠利 用從熱處理部分21流出來的空氣的熱量來加熱外部空氣。
艮P，在第三實(shí)施方式中，催化劑6設(shè)置在排氣管道51中比回流管道 52分路位置更上游一側(cè)的部分上，而鼓風(fēng)機(jī)7則設(shè)置在排氣管道51中比 回流管道52的分路位置更下游一側(cè)的位置上。還有，換熱器9的位置介 于排氣管道51上的回流管道52的分路位置與鼓風(fēng)機(jī)7的設(shè)置位置之間， 并且處于吸氣管道4的中途。
這樣一來，不僅能獲得第一實(shí)施方式和第二實(shí)施方式所具有的效果， 而且還能獲得通過換熱器9更有效地進(jìn)行熱交換的效果。g卩，由于能夠 使從熱處理部分21流出來的空氣通過回流管道52和吸氣管道4進(jìn)行重 復(fù)利用，使得吸氣量減小了，所以只要對(duì)少量的外部空氣進(jìn)行加熱就可 以了，從而能高效地借助于換熱器9進(jìn)行熱交換。
另外，在本實(shí)施方式中，催化劑6設(shè)置在排氣管道51中比回流管道 52的分路位置更上游一側(cè)的位置上，但催化劑6也可以分別設(shè)置在回流 管道52和排氣管道51中比回流管道52的分路位置更下游一側(cè)，換熱器 9上游一側(cè)的部分上。
下面，參照?qǐng)D4說明本發(fā)明的第四實(shí)施方式的熱處理裝置1D。在第 四實(shí)施方式的熱處理裝置1D中，用隔板24把絕熱室20分隔成上、下兩 部分。而且在裝置主體2的側(cè)壁上連接著吸氣管道4，以便與空調(diào)部分
23連通，并且還連接著導(dǎo)出管道5，以便與熱處理部分21連通。吸氣管 道4和導(dǎo)出管道5連接在同一側(cè)(圖4中的右側(cè))的側(cè)壁上。此外，在 第四實(shí)施方式中，沒有設(shè)置如第一實(shí)施方式那樣的、圖中省略的連通通 道，隔板24連接在上述側(cè)壁上的吸氣管道4的附近。而且在隔板24與 絕熱室20的內(nèi)壁面之間形成了通風(fēng)口 25，空調(diào)部分23內(nèi)部與熱處理部 分21內(nèi)部只通過這個(gè)通風(fēng)口 25來連通。
與第二實(shí)施方式一樣，導(dǎo)出管道5只由排氣管道51構(gòu)成，所以從熱 處理部分21流出來的空氣全部都排到熱處理裝置1D的外部。另外，在 排氣管道51上不設(shè)置鼓風(fēng)機(jī)7，只設(shè)置催化劑6和加熱器10。
在這種結(jié)構(gòu)的熱處理裝置1D中，當(dāng)開動(dòng)設(shè)置在空調(diào)部分23中的送 風(fēng)機(jī)33時(shí)，便從吸氣管道4吸入外部空氣，并將其送入空調(diào)部分23內(nèi)。 外部空氣在空調(diào)部分23內(nèi)由加熱器32加熱。此后，加熱后的外部空氣 借助于送風(fēng)機(jī)33通過通風(fēng)口 25，送入熱處理部分21內(nèi)。這樣，在對(duì)圖 中省略的工件進(jìn)行熱處理的同時(shí)，熱處理部分21內(nèi)的空氣也流入排氣管 道51內(nèi)。S卩，在第四實(shí)施方式中，如圖中的箭頭a所示，并不使熱處理 部分21內(nèi)的空氣進(jìn)行循環(huán)，而是使它向一個(gè)方向流動(dòng)，全部都流入排氣 管道51內(nèi)。這樣，第四實(shí)施方式的空調(diào)部分23，借助于通過吸氣管道4 把導(dǎo)入的外部空氣送入熱處理部分21內(nèi)，具有使熱處理部分21內(nèi)的空 氣不返回該空調(diào)部分23內(nèi)、而是流入排氣管道51內(nèi)的功能。而且由于 熱處理部分21內(nèi)的空氣全部都流入排氣管道51內(nèi)，所以含有在熱處理 部分21內(nèi)所產(chǎn)生的升華物質(zhì)的空氣不再流入空調(diào)部分23。
在這樣的結(jié)構(gòu)中，利用在排氣管道51中設(shè)置催化劑6，也可以抑制 升華物質(zhì)堆積在排氣管道51內(nèi)。
另外，只用排氣管道51構(gòu)成的導(dǎo)出管道5的效果與第二實(shí)施方式相同。
下面，說明上述各實(shí)施方式的要點(diǎn)。
(1)按照本發(fā)明的實(shí)施方式，當(dāng)熱處理部分內(nèi)的空氣在導(dǎo)出管道內(nèi) 流動(dòng)時(shí)，與催化劑接觸。在這種空氣中含有由被處理工件所產(chǎn)生的升華 物質(zhì)，但由于這種升華物質(zhì)被催化劑所分解，從而能抑制升華物質(zhì)在導(dǎo)
出管道內(nèi)的堆積。
(2) 本發(fā)明實(shí)施方式的熱處理裝置具有用來吸入外部空氣的吸氣管 道。上述導(dǎo)出管道具有用于把從上述熱處理部分流出來的空氣直接排 到外部去的排氣管道；以及從該排氣管道分路出來，連在上述吸氣管道 上，用于把從上述熱處理部分流出來的空氣，通過上述吸氣管道，再次 送入熱處理部分內(nèi)部的回流管道。上述催化劑設(shè)置在上述排氣管道中比 回流管道分路位置更上游一側(cè)的部分上，或者設(shè)置在回流管道上。因此， 由于從熱處理部分流出來的空氣在接觸了催化劑后，通過回流管道和吸 氣管道再次被送入熱處理部分內(nèi)部，所以能重復(fù)利用從熱處理部分流出 來的空氣。這樣，就能同時(shí)減少吸入吸氣管道中的外部空氣的吸氣量， 和從排氣管道排到外部的排氣量，從而能達(dá)到節(jié)能的目的。
(3) 在本發(fā)明實(shí)施方式的熱處理裝置中，上述催化劑設(shè)置在上述排 氣管道中比回流管道的分路位置更上游一側(cè)的部分上。而且還具有換熱 器，將流過上述吸氣管道內(nèi)的外部空氣與流過上述排氣管道中比回流管 道的分路位置更下游一側(cè)部分的空氣進(jìn)行熱交換。因此，由于借助于換 熱器能利用從熱處理部分流出的空氣的熱量來加熱外部空氣，從而能達(dá) 到節(jié)能的目的。而且由于通過換熱器與外部空氣進(jìn)行熱交換的空氣是接 觸了催化劑的空氣，升華物質(zhì)已經(jīng)被分解，所以，即使上述空氣由于熱 交換而被冷卻，也能抑制升華物質(zhì)堆積在換熱器內(nèi)。此外，由于借助于 回流管道和吸氣管道重復(fù)利用從熱處理部分流出來的空氣，從而能達(dá)到 節(jié)能的目的。此外，由于能減少從外部導(dǎo)入的吸氣量，因而能高效率地 通過換熱器進(jìn)行熱交換。
(4) 在本發(fā)明實(shí)施方式的熱處理裝置中，具有用于吸入外部空氣的 吸氣管道，以及將流過該吸氣管道內(nèi)的外部空氣與流過上述導(dǎo)出管道內(nèi) 比設(shè)置催化劑的位置下游一側(cè)部分的空氣進(jìn)行熱交換的換熱器。因此， 由于能借助于換熱器利用從熱處理部分流出的空氣的熱量來加熱外部空 氣，從而能達(dá)到節(jié)能的目的。而且由于通過換熱器與外部空氣進(jìn)行熱交 換后的空氣，與催化劑接觸后，升華物質(zhì)己經(jīng)被分解，所以，即使上述 空氣由于進(jìn)行了熱交換而被冷卻，仍能抑制升華物質(zhì)堆積在換熱器內(nèi)。
(5) 在本發(fā)明實(shí)施方式的熱處理裝置中，通過由空調(diào)部分把外部空
氣送入熱處理部分內(nèi)，使熱處理部分內(nèi)的空氣不返回到空調(diào)部分中，而 是流到導(dǎo)出管道內(nèi)。即，在這種結(jié)構(gòu)中，不使熱處理部分內(nèi)的空氣進(jìn)行 循環(huán)，而是使其全部流到導(dǎo)出管道內(nèi)。即使在這種結(jié)構(gòu)中，通過在導(dǎo)出 管道中設(shè)置催化劑，仍能抑制升華物質(zhì)堆積在導(dǎo)出管道內(nèi)。而且由于從 熱處理部分流到導(dǎo)出管道內(nèi)的空氣，全都排出到外部，所以，與催化劑 接觸后的空氣不再送入熱處理部分內(nèi)。因此，即使催化劑產(chǎn)生變劣，熱 處理部分內(nèi)部的升華物質(zhì)的濃度也不會(huì)升高。
權(quán)利要求
1.一種熱處理裝置，在把被處理工件收容在其熱處理部分內(nèi)的狀態(tài)下，通過在使所述熱處理部分內(nèi)的空氣進(jìn)行循環(huán)的同時(shí)對(duì)其加熱，來對(duì)所述被處理工件進(jìn)行熱處理，并且通過一面將外部空氣加熱后送入所述熱處理部分內(nèi)，一面使所述熱處理部分內(nèi)的空氣流入導(dǎo)出管道內(nèi)，對(duì)所述熱處理部分的內(nèi)部進(jìn)行換氣，其特征在于，在所述導(dǎo)出管道中設(shè)置有催化劑，在對(duì)所述被處理工件進(jìn)行熱處理的過程中分解由該被處理工件所產(chǎn)生的升華物質(zhì)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱處理裝置，其特征在于還具有用來吸入外部空氣的吸氣管道，所述導(dǎo)出管道包括排氣管道，用于把從所述熱處理部分流出的空氣直接排到外部； 以及回流管道，從所述排氣管道分路出來，連在所述吸氣管道上，用于把從所述熱處理部分流出的空氣，通過所述吸氣管道再次送入熱處理部分內(nèi)，所述催化劑設(shè)置在所述排氣管道中比回流管道分路位置更上游一側(cè) 的部分上，或者設(shè)置在回流管道上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱處理裝置，其特征在于， 所述催化劑設(shè)置在所述排氣管道中比回流管道分路位置更上游一側(cè) 的部分上，所述熱處理裝置還具有換熱器，將流過所述吸氣管道內(nèi)的外部空氣 與流過所述排氣管道中比回流管道的分路位置更下游一側(cè)部分的空氣進(jìn) 行熱交換。
4.根據(jù)權(quán)利要求l所述的熱處理裝置，其特征在于還具有 吸氣管道，用于吸入外部空氣；以及換熱器，將流過所述吸氣管道內(nèi)的外部空氣與流過所述導(dǎo)出管 道中比催化劑的設(shè)置位置更下游一側(cè)部分的空氣進(jìn)行熱交換。
5. —種熱處理裝置，其特征在于包括 熱處理部分，把被處理工件收容在其內(nèi)部； 導(dǎo)出管道，連接在所述熱處理部分上；以及空調(diào)部分，當(dāng)對(duì)所述被處理工件進(jìn)行熱處理時(shí)，對(duì)外部空氣進(jìn) 行加熱，并將其送入所述熱處理部分內(nèi)，其中，所述空調(diào)部分通過把外部空氣送入到所述熱處理部分內(nèi)，使 所述熱處理部分內(nèi)的空氣不再回到該空調(diào)部分中，而是流入所述導(dǎo)出管 道內(nèi)，所述導(dǎo)出管道的結(jié)構(gòu)是把從所述熱處理部分流出來的空氣全部排到 外部的結(jié)構(gòu)，在這種導(dǎo)出管道中設(shè)有催化劑，在對(duì)所述被處理工件進(jìn)行 熱處理的過程中分解由該被處理工件所產(chǎn)生的升華物質(zhì)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能抑制升華物質(zhì)堆積在導(dǎo)出管道內(nèi)的熱處理裝置。熱處理裝置(1A)在把被處理工件(W)收容在其熱處理部分(21)內(nèi)的狀態(tài)下，通過在使所述熱處理部分(21)內(nèi)的空氣進(jìn)行循環(huán)的同時(shí)對(duì)其加熱，來對(duì)被處理工件(W)進(jìn)行熱處理，并且通過一面將外部空氣加熱后送入所述熱處理部分(21)內(nèi)，一面使所述熱處理部分(21)內(nèi)的空氣流入導(dǎo)出管道(5)內(nèi)，對(duì)所述熱處理部分(21)的內(nèi)部進(jìn)行換氣。在所述導(dǎo)出管道(5)中設(shè)置有催化劑(6)，在對(duì)所述被處理工件(W)進(jìn)行熱處理的過程中分解由該被處理工件所產(chǎn)生的升華物質(zhì)。
文檔編號(hào)F27D7/00GK101105367SQ200710122788
公開日2008年1月16日 申請(qǐng)日期2007年7月9日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月13日
發(fā)明者手錢永充, 長野由龜雄 申請(qǐng)人:愛斯佩克株式會(huì)社