專利名稱：熱風(fēng)加熱裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將氣體加熱供應(yīng)的裝置，具體為一種熱風(fēng)加熱裝置。
背景技術(shù)：
目前，公知的半導(dǎo)體工藝中，有很多步驟要用到加熱氣體的供應(yīng)，或吹干或 烘烤或保持局部空間溫度穩(wěn)定等等。但是，現(xiàn)有的氣體加熱裝置，有時(shí)出現(xiàn)氣體 溫度忽高忽低，不能保持恒定，或是受熱氣體的流量、壓力等不能保持穩(wěn)定，從 而給生產(chǎn)工藝帶來(lái)不必要的麻煩。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述的種種不足，本發(fā)明提供一種熱風(fēng)加熱裝置，解決現(xiàn)有技術(shù) 中存在的加熱氣體溫度忽髙忽低，不能保持恒定等問(wèn)題。釆用該裝置受熱氣體 可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定供應(yīng)，而且溫度保持在指定的溫度范圍內(nèi)，供應(yīng)的氣體的溫度、 流量、壓力均可調(diào)整。
本發(fā)明的技術(shù)方案是
一種熱風(fēng)加熱裝置，該裝置設(shè)有密閉腔體、導(dǎo)氣管線、加熱器、排出管路， 加熱器設(shè)置于密閉腔體內(nèi)，導(dǎo)氣管線纏繞于加熱器上，導(dǎo)氣管線的氣體進(jìn)口伸 至密閉腔體外，導(dǎo)氣管線的出口設(shè)在密閉腔體內(nèi)，排出管路的氣體排出口伸至 密閉腔體內(nèi)。
所述的熱風(fēng)加熱裝置，該裝置外部設(shè)有溫度顯示器，密閉腔體內(nèi)設(shè)有與溫 度顯示器相連的溫度傳感器。
所述的熱風(fēng)加熱裝置，該裝置外部設(shè)有與加熱器相連的溫度控制器。 所述的熱風(fēng)加熱裝置，密閉腔體外側(cè)設(shè)有外部隔熱層。
所述的熱風(fēng)加熱裝置，氣體進(jìn)口之前的管路上設(shè)有調(diào)壓閥、單向?qū)ㄩy。 所述的熱風(fēng)加熱裝置，排出管路上設(shè)有流量計(jì)。 本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)及有益效果是
1、本發(fā)明釆用熱傳導(dǎo)快的導(dǎo)氣管線密密的纏繞在加熱器上，然后安裝在密閉腔體內(nèi)部，供給的氣體通過(guò)導(dǎo)氣管線加熱后排放到恒溫的密閉腔體內(nèi)，導(dǎo)氣管線 的溫度是由加熱器加熱的提供的，氣體的加熱是通過(guò)纏繞在加熱器上的導(dǎo)氣管線 熱傳導(dǎo)加熱的，通淑口熱、循環(huán)，密閉腔體內(nèi)的氣體經(jīng)過(guò)充分混合，溫度達(dá)到設(shè) 定值，再通過(guò)管路排到需要供給的地方，可確保溫度的恒定、準(zhǔn)確。
2、 本發(fā)明裝置加熱氣體的溫度是由氣體出口處的溫度傳感器來(lái)直接檢測(cè)的, 其溫度檢測(cè)準(zhǔn)確；恒溫的密閉腔體的溫度由溫度控制器控制，受熱氣體是通過(guò)密 閉腔體恒溫調(diào)節(jié)后排放出去的。當(dāng)溫度高于或低于設(shè)定溫度的范圍時(shí)，溫度傳感 器發(fā)出信號(hào)給溫度控制器，溫度控制器驅(qū)動(dòng)加熱器工作或停止工作，加熱器的加 熱頻率由溫度控制器控制，進(jìn)而控制被加熱氣體的溫度，從而保障排出氣體的溫 度恒定，其操作簡(jiǎn)單靈活，便于工藝調(diào)整。
3、 本發(fā)明的密閉腔體和外界之間有隔熱層保護(hù)，避免了對(duì)外部環(huán)境的影響。
4、 本發(fā)明氣體的排量可通過(guò)流量計(jì)檢測(cè)、調(diào)整，被加熱氣體的壓力及流量的 大小通過(guò)調(diào)壓閩及單向?qū)ㄩy調(diào)整，準(zhǔn)確方便。
5、 本發(fā)明適用于半導(dǎo)體設(shè)備上的單元，可以在多種不同工藝上使用，如熱板
單元上、清洗工藝的吹干，等等。


圖1是本發(fā)明熱風(fēng)加熱裝置的剖面示意圖。
其中，1、外部隔熱層；2、密閉腔體；3、溫度傳感器；4、氣體排出口； 5、 導(dǎo)氣管線；6、加熱器；7、氣體進(jìn)口； 8、溫度控制器；9、排出管路；10、溫度 顯示器；11、調(diào)壓閥；12、流量計(jì)；13、單向?qū)ㄩy。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本裝置作詳細(xì)描述。
如圖1所示，本發(fā)明裝置由以下幾部分組成外部隔熱層l、密閉腔體2、溫 度傳感器3、氣體排出口4、導(dǎo)氣管線5、加熱器6、溫度控制器8、溫度顯示器 10、調(diào)壓閥ll、流量計(jì)12、單向?qū)ㄩy13等部分組成。密閉腔體2外側(cè)設(shè)有外 部隔熱層l,加熱器6設(shè)置于密閉腔體2內(nèi)，導(dǎo)氣管線5纏繞于加熱器6上，導(dǎo) 氣管線5的氣體進(jìn)口 7伸至密閉腔體2外,導(dǎo)氣管線5的出口設(shè)在密閉腔體2內(nèi)， 排出管路9的氣體排出口 4伸至密閉腔體2內(nèi)。該裝置外部設(shè)有溫度顯示器10, 密閉腔體2內(nèi)設(shè)有與溫度顯示器10相連的溫度傳感器3，該裝置外部還設(shè)有與加 熱器6相連的溫度控制器8。氣體進(jìn)口7之前的管路上設(shè)有調(diào)壓閥11、單向?qū)ㄩ}13，排出管路9上設(shè)有流量計(jì)12，流量計(jì)12安置在排出管路9的后部。本實(shí) 施例中，外部隔熱層l的隔熱材料可以為石棉；導(dǎo)氣管線5可以為熱傳導(dǎo)好的金 屬管等；加熱器6可以為加熱棒等。
安裝時(shí)，將熱傳導(dǎo)快的導(dǎo)氣管線5密密的纏繞在加熱器6上，然后安裝在密 閉腔體2內(nèi)部，密閉腔體2與外界通過(guò)外部隔熱層1隔離；當(dāng)氣體通過(guò)導(dǎo)氣管線 5時(shí)，導(dǎo)氣管線5通幼口熱器將熱能傳導(dǎo)給氣體，由于是密密的纏繞，氣體會(huì)充 分的受熱，氣體受熱后排放到密閉腔體2內(nèi)部，密閉腔體2內(nèi)部的溫度也由加熱 器6提供，氣體溫度在密閉腔體2內(nèi)部保持恒定，密閉腔體2內(nèi)部的溫度由氣體 出口處的溫度傳感器3檢測(cè)，當(dāng)溫度高于或低于設(shè)定溫度的范圍時(shí)，溫度傳感器 3發(fā)出信號(hào)給溫度控制器8，驅(qū)動(dòng)加熱器6停止或工作，氣體的壓力由進(jìn)氣管路上 設(shè)置的調(diào)壓閥11及單向?qū)ㄩy13控制，流量由流量計(jì)12檢測(cè)。
工作時(shí)，通過(guò)溫度顯示器10來(lái)設(shè)定供應(yīng)氣體的溫度，溫度傳感器3檢測(cè)的溫 度信號(hào)傳給溫度控制器8后，驅(qū)動(dòng)加熱器6工作，供應(yīng)氣體通過(guò)調(diào)壓后從氣體進(jìn) 口7進(jìn)入，在密密纏繞的熱傳導(dǎo)好的導(dǎo)氣管線5通過(guò)，熱傳導(dǎo)好的導(dǎo)氣管線5經(jīng) 幼口熱器6的加熱后，將熱能傳給管路中的氣體，氣體通幼口熱后排放到密閉腔 體2內(nèi)部，使內(nèi)部氣體充分混合，溫度保持均勻；然后由氣體排出口4排出供應(yīng)， 溫度傳感器3時(shí)刻檢測(cè)排出氣體的溫度，如有變動(dòng)，就馬上發(fā)出信號(hào)給溫度控制 器8進(jìn)行調(diào)整。氣體的排量由排出管路9后部的流量計(jì)12調(diào)節(jié)控制，密閉腔體2 內(nèi)部的溫度靠外部隔熱層1來(lái)和外界隔離保溫。
權(quán)利要求
1、一種熱風(fēng)加熱裝置，其特征在于該裝置設(shè)有密閉腔體(2)、導(dǎo)氣管線(5)、加熱器(6)、排出管路(9)，加熱器(6)設(shè)置于密閉腔體(2)內(nèi)，導(dǎo)氣管線(5)纏繞于加熱器(6)上，導(dǎo)氣管線(5)的氣體進(jìn)口(7)伸至密閉腔體(2)外，導(dǎo)氣管線(5)的出口設(shè)在密閉腔體(2)內(nèi)，排出管路(9)的氣體排出口(4)伸至密閉腔體(2)內(nèi)。
2、 按照權(quán)利要求1所述的熱風(fēng)加熱裝置，其特征在于該裝置外部設(shè)有 溫度顯示器(10),密閉腔體(2)內(nèi)設(shè)有與溫度顯示器(10)相連的溫度傳感 器(3)。
3、 按照權(quán)利要求1所述的熱風(fēng)加熱裝置，其特征在于該裝置外部設(shè)有 與加熱器(6)相連的溫度控制器(8)。
4、 按照權(quán)利要求l所述的熱風(fēng)加熱裝置，其特征在于密閉腔體(2)外 側(cè)設(shè)有外部隔熱層(1)。
5、 按照權(quán)利要求1所述的熱風(fēng)加熱裝置，其特征在于氣體進(jìn)口 (7)之 前的管路上設(shè)有調(diào)壓閥(11)、單向?qū)ㄩy(13)。
6、 按照權(quán)利要求1所述的熱風(fēng)加熱裝置，其特征在于排出管路(9)上 設(shè)有流量計(jì)(12)。
全文摘要
本發(fā)明涉及將氣體加熱供應(yīng)的裝置，具體為一種熱風(fēng)加熱裝置，解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的加熱氣體溫度忽高忽低，不能保持恒定等問(wèn)題。采用該裝置受熱氣體可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定供應(yīng)，而且溫度保持在指定的溫度范圍內(nèi)，供應(yīng)的氣體的溫度、流量、壓力均可調(diào)整。該裝置設(shè)有密閉腔體、導(dǎo)氣管線、加熱器、排出管路，加熱器設(shè)置于密閉腔體內(nèi)，導(dǎo)氣管線纏繞于加熱器上，導(dǎo)氣管線的氣體進(jìn)口伸至密閉腔體外，導(dǎo)氣管線的出口設(shè)在密閉腔體內(nèi)，排出管路的氣體排出口伸至密閉腔體內(nèi)。本發(fā)明適用于半導(dǎo)體設(shè)備上的單元，可以在多種不同工藝上使用，如熱板單元上、清洗工藝的吹干。
文檔編號(hào)F24H3/02GK101435626SQ200710158319
公開日2009年5月20日 申請(qǐng)日期2007年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月16日
發(fā)明者王紹勇 申請(qǐng)人:沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備有限公司