專利名稱：凈化室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及凈化室(cean room)，尤其涉及一種利用小型環(huán)境單元 (mini-enviroment)的半導(dǎo)體制造工廠等的凈化室。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造工廠中，為了將生產(chǎn)區(qū)域(area)形成為潔凈度高的空 間，可是用凈化室(參照專利文獻(xiàn)1)。而且，近年來，開發(fā)了一種利用 小型環(huán)境單元來實(shí)現(xiàn)局部凈化的凈化室(參照專利文獻(xiàn)2)。該凈化室如 圖4所示，在設(shè)置有制造裝置8等的房間1的天花板配設(shè)有風(fēng)機(jī)過濾器單 元(fan filter unit:以下稱作FFU) 2、 2…，通過該FFU2、 2…對(duì)天花板 被面空間3的空氣進(jìn)行除塵，使其向下流動(dòng)(downflow)到房間1內(nèi)。向 下流動(dòng)后的空氣在被吸入到底面下空間4之后，通過與房屋1隔開的返回 腔室(return chamber) 5被吸入到天花板背面空間3。然后，空氣再次循 環(huán)向下流動(dòng)到房屋1中，可使作為生產(chǎn)區(qū)域的房屋1維持高的清潔度。
并且，在房屋1的內(nèi)部設(shè)置有小型環(huán)境單元6，在該小型環(huán)境單元6 的上部設(shè)置有FFU7。而且，通過利用該FFU7對(duì)房屋1內(nèi)的空氣除塵并 使其向下流動(dòng)，可使得小型環(huán)境單元6內(nèi)被局部凈化。由此，能夠降低房 間1內(nèi)部整體的凈化等級(jí)(level)，從而可大幅度削減運(yùn)轉(zhuǎn)成本。
專利文獻(xiàn)1特開2004—218919號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2特開2001 — 182978號(hào)公報(bào)
然而，由于現(xiàn)有的凈化室無法將返回腔室5利用為生產(chǎn)區(qū)域，所以， 不得不將凈化室整體的鋪設(shè)面積形成為必要以上。
因此，可考慮通過取消返回腔室5并且在房屋1的天花板面形成開口 部，使房屋1的空氣直接返回到天花板背面空間3的凈化室。但是，對(duì)于 這樣的凈化室而言，由于從FFU3向下流動(dòng)的空氣從捷徑(shortcut)流向 天花板背面空間3，所以，存在著房屋l整體的清潔度大幅降低的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述實(shí)際情況而提出，其目的在于，提供一種可增加生產(chǎn) 區(qū)域的地面比例，且能夠提高房屋整體清潔度的凈化室。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，技術(shù)方案1的發(fā)明提供一種凈化室，其在房屋的 內(nèi)部形成有至少一個(gè)凈化區(qū)域和與該凈化區(qū)域的至少一邊相接的返回區(qū) 域，具備風(fēng)機(jī)過濾器單元，其設(shè)置在所述凈化區(qū)域的天花板面，使天花
板背面空間的空氣凈化后向下流動(dòng)到所述凈化區(qū)域；送風(fēng)單元，其設(shè)置在 所述凈化區(qū)域，吸入空氣并使其向下流動(dòng)；返回開口部，其形成在所述返 回區(qū)域的天花板面；和下垂壁部部件，其從所述凈化區(qū)域和所述返回區(qū)域 之間的天花板面垂設(shè)到所述房屋內(nèi)。
根據(jù)技術(shù)方案1的發(fā)明，天花板背面空間的空氣通過天花板面的扇形 過濾器單元進(jìn)行凈化后向下流動(dòng)到凈化區(qū)域內(nèi)，該空氣的一部分被集中吸 入到送風(fēng)單元，從送風(fēng)單元向下流動(dòng)。向下流動(dòng)后的空氣在返回區(qū)域中上 升，從返回開口部被吸入到天花板背面空間。另一方面，通過天花板面的 風(fēng)機(jī)過濾器單元而向下流動(dòng)的空氣的剩余部分從下垂壁部部件的下面穿 過流向返回區(qū)域，從返回開口部被吸入到天花板背面空間。由此，可在遠(yuǎn) 離凈化區(qū)域內(nèi)的返回區(qū)域的部分形成大的向下流動(dòng)流，且在返回區(qū)域形成 上升氣流，并且能夠形成在下垂壁部部件的下側(cè)環(huán)繞的氣流，因此，能夠 在房屋的內(nèi)部整體有效地形成清潔空氣的氣流，提高房屋內(nèi)部整體的清潔 度。
而且，由于技術(shù)方案l的發(fā)明將在房屋的內(nèi)部形成的返回區(qū)域作為現(xiàn) 有的返回腔室而發(fā)揮作用，所以，不需要通過其他途徑在房屋的外側(cè)設(shè)備 返回腔室。因此，設(shè)置制造裝置等的生產(chǎn)區(qū)域的鋪設(shè)面積比例增大，結(jié)果 可實(shí)現(xiàn)設(shè)備整體的小型化。
技術(shù)方案2根據(jù)技術(shù)方案1的發(fā)明，其特征在于，在所述天花板背面 空間中設(shè)置有溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，用于對(duì)從所述返回開口部向所述天花板背面 空間吸入的空氣的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)。
根據(jù)技術(shù)方案2的發(fā)明，由于在天花板背面空間設(shè)置有溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)， 所以，可以對(duì)在天花板背面空間和房屋循環(huán)的空氣的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)。在本 發(fā)明的凈化室中，優(yōu)選考慮在房屋和天花板背面空間循環(huán)的空氣的流動(dòng)，
在天花板背面空間設(shè)置溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
技術(shù)方案3根據(jù)技術(shù)方案1或技術(shù)方案2的發(fā)明，其特征在于，所述 送風(fēng)單元的總送風(fēng)量為所述風(fēng)機(jī)過濾器單元總送風(fēng)量的20%以上80%以下。
根據(jù)技術(shù)方案3的發(fā)明，由于將送風(fēng)單元的總送風(fēng)量相對(duì)風(fēng)機(jī)過濾器 單元的總送風(fēng)量設(shè)定為20%以上80%以下，所以，能夠可靠地提高房屋 整體的清潔度。即，如果送風(fēng)單元的總送風(fēng)量相對(duì)風(fēng)機(jī)過濾器單元的總送 風(fēng)量的比例偏離超出上述范圍，則會(huì)導(dǎo)致房屋內(nèi)的氣流紊亂，形成滯留區(qū) 域，使得房屋整體的清潔度降低，但通過技術(shù)方案3的發(fā)明能夠可靠地防 止該情況。
技術(shù)方案4根據(jù)技術(shù)方案1 3中任意一項(xiàng)所述的發(fā)明，其特征在于， 對(duì)于所述多臺(tái)風(fēng)機(jī)過濾器單元而言，在所述凈化區(qū)域內(nèi)的中央部配置的風(fēng) 機(jī)過濾器單元與在所述凈化區(qū)域內(nèi)的周邊區(qū)域配置的風(fēng)機(jī)過濾器單元相 比送風(fēng)量大。
根據(jù)技術(shù)方案4的發(fā)明，通過使凈化區(qū)域中央部的送風(fēng)量大于周邊部 的送風(fēng)量，可在凈化區(qū)域的中央部形成大的向下流動(dòng)流，從而進(jìn)一步提高 房屋整體的清潔度。另外，作為使中央部的送風(fēng)量大于周邊部送風(fēng)量的方 法，有對(duì)各風(fēng)機(jī)過濾器單元的送風(fēng)量進(jìn)行控制的方法、和改變風(fēng)機(jī)過濾器 單元的設(shè)置密度的方法等。
技術(shù)方案5根據(jù)技術(shù)方案1 4中任意一項(xiàng)所述的發(fā)明，其特征在于， 所述送風(fēng)單元是被設(shè)置在于所述凈化區(qū)域內(nèi)形成的小型環(huán)境單元的上部， 且吸入所述凈化區(qū)域內(nèi)的空氣進(jìn)行凈化，并使其向下流動(dòng)到所述小型環(huán)境 單元內(nèi)的小型環(huán)境單元用風(fēng)機(jī)過濾器單元。
本發(fā)明在凈化區(qū)域內(nèi)形成局部高清潔度區(qū)域的小型環(huán)境單元方式的 凈化室中特別有效。
技術(shù)方案6根據(jù)技術(shù)方案5的發(fā)明，其特征在于，在所述房屋的內(nèi)部， 多臺(tái)裝置按照其前面彼此對(duì)置的方式兩列兩列地配置，在該裝置的前面配 置有所述小型環(huán)境單元。
對(duì)于技術(shù)方案6的發(fā)明而言，由于兩列兩列地配置多臺(tái)裝置，并在其 前面設(shè)置小型環(huán)境單元，所以，小型環(huán)境單元配置在凈化區(qū)域的中央側(cè)。
通過這樣的布局，可高效地形成房屋整體的氣流。
根據(jù)本發(fā)明，可以在不設(shè)置返回腔室的情況下在房屋的內(nèi)部整體形成 有效的清潔氣流，使清潔度提高。


圖1是表示本實(shí)施方式的凈化室的構(gòu)成圖。
圖2是表示FFU的送風(fēng)量的比例與凈化度的關(guān)系圖。 圖3是表示與圖1不同的凈化室的構(gòu)成圖。 圖4是表示現(xiàn)有的凈化室的構(gòu)成圖。
圖中10 —凈化室，12—房間，14—柵格(grating) ， 16—地下空間， 18 —天花板框，20—FFU， 22 —天花板背面空間，24 —密封板，26—返回 開口部，28 —下垂壁部部件，30—干燥線圈(dry coil) ， 32 —制造裝置， 34 —前面，36 —背面，38 —小型環(huán)境單元，40—FFU， 42 —密閉容器，44 —負(fù)載端口 (loadport) ， 46—自行臺(tái)車。
具體實(shí)施例方式
下面參照附圖，對(duì)本發(fā)明所涉及的凈化室的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行說明。 圖1是示意地表示第一實(shí)施方式的凈化室10的構(gòu)成圖。該凈化室是
加工、洗滌半導(dǎo)體制造用的晶片、并通過密閉容器(FOUP)來搬送該晶
片的系統(tǒng)。
該圖所示的凈化室10具有側(cè)面被壁分隔的房屋12，在該房屋12的內(nèi) 部具有三個(gè)返回區(qū)域12A、 12A、 12A和兩個(gè)凈化區(qū)域12B、 12B。返回區(qū) 域12A和凈化區(qū)域12B交替設(shè)置，在兩個(gè)凈化區(qū)域12B、 12B的兩側(cè)形成 有返回區(qū)域12A。
房屋12的地面由具有多個(gè)貫通孔的柵格14構(gòu)成，在柵格14的下側(cè) 形成有地下空間16。另外，本實(shí)施方式中將對(duì)在房屋12的下側(cè)形成了地 下空間16的例子進(jìn)行說明，但并不限定于此，本發(fā)明還可應(yīng)用于沒有地 下空間16的設(shè)備(即在房屋12的地面沒有孔的情況)。
在房屋12的天花板面設(shè)置有對(duì)梁縱橫組合的柵格狀天花板框18，在 該天花板框18的柵格部分、且位于凈化區(qū)域12B的上方，設(shè)置有FFU(fan filter unit) 20。雖然沒有圖示FFU20的內(nèi)部構(gòu)造，但其由上下開口的殼體、 和設(shè)置在該殼體內(nèi)的風(fēng)扇及過濾器構(gòu)成，通過驅(qū)動(dòng)風(fēng)扇使得天花板背面空 間22的空氣被吸入到殼體內(nèi)，被吸入的空氣通過過濾器進(jìn)行除塵，之后 向下流動(dòng)到房屋12的凈化區(qū)域12B。 FFU20被間隔設(shè)置，凈化區(qū)域12B 的剩余柵格部分被密封板24封閉。
另一方面，成為返回區(qū)域12A上方的天花板框18的柵格部分未被封 閉，成為返回開口部26。如圖1所示，返回開口部26被形成在房屋12 的兩側(cè)部分和中央部分。
而且，在天花板框18上，下垂壁部部件(也稱作eyelid) 28、 28…垂 設(shè)在房屋12偵lj。下垂壁部部件28被垂設(shè)在凈化區(qū)域12B和返回區(qū)域12A 的交界部分。而且，對(duì)于下垂壁部部件28而言，其下端被設(shè)定成不與后 述的制造裝置32A 32D接觸。另外，在將從柵格14到下垂壁部部件28 的下端為止的高度設(shè)為H、凈化區(qū)域的寬度設(shè)為W時(shí)，優(yōu)選下垂壁部部 件28被設(shè)定成W/H>2。
通過設(shè)置上述的下垂壁部部件28，可使得從FFU20吹出的空氣在下 垂壁部部件28的下端轉(zhuǎn)彎、流向返回開口部26，可防止從FFU20通過捷 徑向返回開口部26流動(dòng)的氣流。
在天花板背面空間22設(shè)置有干燥線圈30。干燥線圈30隔著天花板框 18設(shè)置在下垂壁部部件28的相反側(cè)(即，凈化區(qū)域12B與返回區(qū)域12A 的交界線上)，其周圍被壁31覆蓋，以使通過返回開口部26之后的空氣 全部通過干燥線圈30。干燥線圈30是通過與熱介質(zhì)的顯熱交換對(duì)所通過 的空氣進(jìn)行冷卻的設(shè)備，通過該干燥線圈30可調(diào)節(jié)循環(huán)空氣的溫度。
另外，在房屋12的內(nèi)部設(shè)置有對(duì)半導(dǎo)體用的晶片進(jìn)行加工或洗滌的 裝置(以下統(tǒng)稱為制造裝置)32A 32D?？刂蒲b置32按照隔開規(guī)定的間 隔且其前面34相互對(duì)置的方式兩列兩列地設(shè)置兩組。即，裝置32A和裝 置32B被配置成以規(guī)定的間隔對(duì)置，裝置32C和裝置32D被設(shè)置成以規(guī) 定的間隔對(duì)置。另外，裝置32A 32D的前面34是承接晶片的一側(cè)。而 且，對(duì)于裝置32A 32D而言，在其背面36進(jìn)行維護(hù)，其背面36為了維 護(hù)而被設(shè)置成遠(yuǎn)離房屋12的側(cè)壁。
在各制造裝置32A 32D的前面34設(shè)置有用于形成局部潔凈空間的
小型環(huán)境單元38。對(duì)于小型環(huán)境單元38而言，除了下方其周圍都被覆蓋， 在其上部設(shè)置有小型環(huán)境單元用的FFU (相當(dāng)于送風(fēng)單元)40。 FFU40的 內(nèi)部構(gòu)成是與上述的FFU20相同的構(gòu)成，因此省略其說明。通過該FFU40 來吸引小型環(huán)境單元38外的空氣來對(duì)其進(jìn)行凈化，并使其向下流動(dòng)到小 型環(huán)境單元38內(nèi)，使得該空氣經(jīng)由柵格14被吸引到地下空間16。
FFU40的風(fēng)扇與FFU20的風(fēng)扇通過未圖示的控制裝置來控制其轉(zhuǎn)速， FFU40、 40…的總送風(fēng)量被控制為FFU20、 20…總送風(fēng)量的20%以上、80 Q/^以下。
在小型環(huán)境單元38的前面(與制造裝置32A 32D的相反側(cè)的面) 設(shè)置有用于承接晶片的開口部(未圖示)、和用于開閉該開口部的門(未 圖示)，在承接晶片時(shí)門可被自動(dòng)幵閉。
另外，在小型環(huán)境單元38的前方設(shè)置有用于載置密閉容器42的負(fù)載 端口44。密閉容器42是用于收納、搬送晶片的容器，在小型環(huán)境單元38 側(cè)設(shè)置有開閉自如的門(未圖示)。該門與小型環(huán)境單元的門一同被開閉 控制，在承接晶片時(shí)被開放，在搬送晶片時(shí)被關(guān)閉。收容了晶片的密閉容 器42通過自行臺(tái)車46被搬送。
在如上所述而構(gòu)成的凈化室10中，天花板背面空間22的空氣通過 FFU20進(jìn)行除塵后，被吹出到房間12的凈化區(qū)域12B。然后，從FFU20 吹出的空氣的一部分(20 80%)被吸入到FFU40后進(jìn)行除塵，最終向下 流動(dòng)到小型環(huán)境單元38內(nèi)。由此，小型環(huán)境單元38內(nèi)被維持為高于凈化 區(qū)域12B的清潔度。
向下流動(dòng)到小型環(huán)境單元38內(nèi)的空氣、和向下流動(dòng)到小型環(huán)境單元 38、 38彼此之間的空氣，穿過柵格14被吸入到地下空間16。由此，可在 凈化區(qū)域12B的中央部形成大的向下流動(dòng)流。該空氣在從地下空間16流 到兩側(cè)之后，穿過返回區(qū)域12A上升，從返回開口部26被吸入到天花板 背面空間22。另一方面，從FFU20向凈化區(qū)域12B的周邊部吹出的空氣 穿過下垂壁部部件28的下側(cè)，在返回區(qū)域12A中上升，從返回開口部26 被吸入到天花板背面空間22。
被吸入到天花板背面空間22的空氣通過FFU20再次進(jìn)行除塵，被吹 出到房屋12的凈化區(qū)域12B。由此，可形成在房屋12和天棚背面空間22
循環(huán)的氣流。此時(shí)，由于可在凈化區(qū)域12B的中央部形成大的向下流動(dòng)流， 所以，能夠可靠地形成在返回區(qū)域12A中上升的氣流，從而可提高房屋 12內(nèi)部整體的清潔度。
接著，與圖4的現(xiàn)有例進(jìn)行比較來說明上述凈化室10的作用。圖4 所示的現(xiàn)有的凈化室形成有房屋1和被分割的返回腔室5，其構(gòu)成為空氣 在該返回腔室5內(nèi)上升。因此，必須在房屋1的側(cè)方確保返回腔室5的空 間(通常約為凈化室地面積的10%)，需要多設(shè)置返回腔室5的鋪設(shè)面積。
與之相對(duì)，由于本實(shí)施方式的凈化室IO使空氣通過形成在房屋12內(nèi) 部的返回區(qū)域12A而上升，所以，不需要通過其他途徑設(shè)置圖4額返回腔 室5。從而，可使凈化室10小型化。
圖2表示了 FFU40的總送風(fēng)量相對(duì)FFU20的總送風(fēng)量的比例、與房 屋12的清潔度之間的關(guān)系。如該圖所示，房屋12的清潔度在上述比例為 20%以上80%以下的范圍中大幅上升，在上述比例小于20。％或超過80% 的范圍中房屋12的清潔度大幅降低。
這是由于當(dāng)送風(fēng)量的比例小于20%時(shí)，從FFU20吹出的空氣的大部 分通過下垂壁部部件28的下側(cè)流向返回開口部26。當(dāng)產(chǎn)生這種現(xiàn)象時(shí)， 不僅使清潔空氣無益地循環(huán)，而且會(huì)產(chǎn)生從返回區(qū)域12A向地下空間16 流動(dòng)的氣流等、引起氣流的紊亂，導(dǎo)致房屋12整體的清潔度惡化。相反， 在送放量的比例超過80%的情況下，從FFU20吹出的空氣的大部分被 FFU40吸收，由此，可在下垂壁部部件28的下端周邊形成滯留區(qū)域，導(dǎo) 致清潔度惡化。
對(duì)此，當(dāng)如本實(shí)施方式那樣將送風(fēng)量的比例設(shè)為20%以上80%以下 時(shí)，不僅可在凈化區(qū)域12B的中央部產(chǎn)生大的向下流動(dòng)流，而且能夠在凈 化區(qū)域12B的周邊部形成圍繞下垂壁部部件28的小的氣流。因此，可有 效地形成在房屋12、地下空間16、天花板背面空間22循環(huán)的氣流，而且 能夠防止在房屋12的內(nèi)部產(chǎn)生滯留區(qū)域。由此，可提高房屋12整體的清 潔度。
另外，在上述實(shí)施方式中，各FFU20可使空氣均勻地向下流動(dòng)，也可 以獨(dú)立控制各FFU20的送風(fēng)量。在獨(dú)立控制的情況下，優(yōu)選凈化區(qū)域12B 的中央部的FFU20比凈化區(qū)域12B的周邊部的FFU20以大的風(fēng)量進(jìn)行送
風(fēng)，由此，可使凈化區(qū)域12B中央部分的向下流動(dòng)流變大，能夠在房屋 12的內(nèi)部整體形成有效的氣流。
而且，上述的實(shí)施方式將制造裝置32A 32D設(shè)置為4列，但制造裝 置的列數(shù)和配置不限定于此，只要是兩列兩列地配置即可。例圖3表示了 制造裝置32A、32B被配置為兩列的凈化室。該情況下，通過制造裝置32A、 32B對(duì)置配置，將小型環(huán)境單元38、 38配置在凈化區(qū)域12B的中央部， 可有效地形成在房屋12與天花板背面空間22循環(huán)的空氣流，從而能夠提 高房屋12的清潔度。
另外，在本發(fā)明中，送風(fēng)單元不限定于小型環(huán)境單元38用的FFU40， 也可以只由風(fēng)扇等送風(fēng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成。
此外，在上述的實(shí)施方式中，舉例說明了在凈化區(qū)域12B的兩側(cè)設(shè)置 返回區(qū)域12A、 12A的情況，但本發(fā)明不限定于此，也可以僅在凈化區(qū)域 12B的一側(cè)形成返回區(qū)域12A。該情況下，優(yōu)選將送風(fēng)單元配置在遠(yuǎn)離返 回區(qū)域12A的位置，更優(yōu)選遠(yuǎn)離返回區(qū)域12A的位置的FFU20的送風(fēng)量 大于其他FFU20的送風(fēng)量。
權(quán)利要求
1、一種凈化室，在房屋的內(nèi)部形成有至少一個(gè)凈化區(qū)域和與該凈化區(qū)域的至少一邊相接的返回區(qū)域，具備風(fēng)機(jī)過濾器單元，其設(shè)置在所述凈化區(qū)域的天花板面，使天花板背面空間的空氣凈化后向下流動(dòng)到所述凈化區(qū)域；送風(fēng)單元，其設(shè)置在所述凈化區(qū)域，吸入空氣并使其向下流動(dòng)；返回開口部，其形成在所述返回區(qū)域的天花板面；和下垂壁部部件，其從所述凈化區(qū)域和所述返回區(qū)域之間的天花板面垂設(shè)到所述房屋內(nèi)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的凈化室，其特征在于，在所述天花板背面空間中設(shè)置有溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，用于對(duì)從所述返回開口部向所述天花板背面空間吸入的空氣的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的凈化室，其特征在于， 所述送風(fēng)單元的總送風(fēng)量為所述風(fēng)機(jī)過濾器單元總送風(fēng)量的20%以上80%以下。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的凈化室，其特征在于， 對(duì)于所述多臺(tái)風(fēng)機(jī)過濾器單元而言，在所述凈化區(qū)域內(nèi)的中央部配置的風(fēng)機(jī)過濾器單元與在所述凈化區(qū)域內(nèi)的周邊區(qū)域配置的風(fēng)機(jī)過濾器單 元相比送風(fēng)量大。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1 4中任意一項(xiàng)所述的凈化室，其特征在于， 所述送風(fēng)單元是被設(shè)置在于所述凈化區(qū)域內(nèi)形成的小型環(huán)境單元的上部，且吸入所述凈化區(qū)域內(nèi)的空氣進(jìn)行凈化，并使其向下流動(dòng)到所述小 型環(huán)境單元內(nèi)的小型環(huán)境單元用風(fēng)機(jī)過濾器單元。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的凈化室，其特征在于， 在所述房屋的內(nèi)部，多臺(tái)裝置按照其前面彼此對(duì)置的方式兩列兩列地配置，在該裝置的前面配置有所述小型環(huán)境單元。
全文摘要
本發(fā)明的凈化室(10)在房屋(12)的內(nèi)部形成有凈化區(qū)域(12B)、和其兩側(cè)的凈化區(qū)域(12A)。凈化室(10)具備FFU(20)，其設(shè)置于凈化區(qū)域(12B)的天花板面，對(duì)天花板背面空間(22)的空氣進(jìn)行凈化并使其向下流動(dòng)到凈化區(qū)域(12B)；FFU(40)，其設(shè)置在凈化區(qū)域(12B)，吸入空氣并使其向下流動(dòng)；返回開口部(26)，其形成在返回區(qū)域(12A)的天花板面；和下垂壁部部件(28)，其從凈化區(qū)域(12B)和返回區(qū)域(12A)之間的天花板面垂設(shè)在房屋(12)內(nèi)。由此，提供一種可增加生產(chǎn)區(qū)域的地面積比例，且能夠提高房屋整體凈化度的凈化室。
文檔編號(hào)F24F7/06GK101206065SQ20071019986
公開日2008年6月25日 申請(qǐng)日期2007年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月20日
發(fā)明者中島健二, 中川慎也, 久禮得男, 竹浪敏人, 阿部健二 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立工業(yè)設(shè)備技術(shù)