專利名稱：一種快速熱處理爐用的晶片冷卻臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是用于快速熱處理爐中的晶片冷卻臺(tái)，用于快速冷卻從爐腔中取出的高溫
晶片。快速熱處理爐于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
快速熱處理是在非常短的時(shí)間內(nèi)，將單個(gè)晶片加熱到400 130(TC范圍內(nèi)的一種 方法，由于它是快速加熱快速降溫，快速熱處理爐極大的減小了熱預(yù)算?？焖贌崽幚碜畛Ｓ?于晶片的離子注入后退火，用于激活晶片中注入雜質(zhì)離子，為了防止注入激活的雜質(zhì)離子 損傷注入層外的其它晶格，要求退火后的高溫晶片迅速冷卻，晶片冷卻臺(tái)起到重要作用，從 生產(chǎn)效率方面考慮，晶片在冷卻臺(tái)上快冷后，冷的晶片搬運(yùn)機(jī)械手立即將能其搬運(yùn)回接收 片盒內(nèi)，避免高溫晶片燙壞晶片盒，同時(shí)縮短了一塊晶片的工藝過程時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明采用圓柱環(huán)上三個(gè)石英頂針拖放晶片，冷卻氮?dú)鈴闹е系慕K端接頭進(jìn)入 支柱內(nèi)的通孔中，再?gòu)那惑w與內(nèi)空的圓柱腔體體中網(wǎng)孔板中吹送到晶片背面，氣流淋浴冷 卻晶片，同時(shí)冷卻臺(tái)上裝有一個(gè)光電耦合開關(guān)，通過繼電器互鎖自動(dòng)檢測(cè)晶片是否在冷卻 臺(tái)上。 該機(jī)構(gòu)由以下零件構(gòu)成一底板l，一支柱2，一圓柱腔體3，一個(gè)終端接頭4，三個(gè) 緊定螺釘5， 一壓蓋圓環(huán)6，三個(gè)石英頂針7， 一大冷卻板8，兩個(gè)支撐小圓柱9， 一小冷卻板 10 ，兩個(gè)內(nèi)六角M3螺釘11 ， 一個(gè)光電耦合開關(guān)12 ，六個(gè)內(nèi)六角M3螺釘13 ，兩個(gè)內(nèi)六角M5螺 釘14，如圖一所示 所述的底板1連接通過兩個(gè)M5內(nèi)六角螺釘與支柱2相連接，底板上留有孔用于整 個(gè)冷卻臺(tái)固定到安裝板上。 所述的支柱2設(shè)計(jì)成長(zhǎng)方體狀，主要支撐安裝圓柱腔體3，上端部開通氣孔，冷卻 氣體由終端接頭4導(dǎo)入支柱2內(nèi)的氣孔，再進(jìn)入到腔體與大冷卻板8間的腔體內(nèi)，圓柱腔體 3與支柱2間用螺釘固定連接。 所述的圓柱腔體3下端通過螺釘固定連接在支柱2上，在圓柱腔體3上開有三個(gè) 成120度夾角的圓通孔，通孔內(nèi)放石英頂針7，同時(shí)在該三個(gè)通孔的中心從圓柱腔體3外側(cè) 壁開有三個(gè)與之垂直的螺釘孔，緊定螺釘5擰過該孔緊定石英頂針7，同時(shí)可以調(diào)節(jié)三個(gè)頂 針的高度來調(diào)節(jié)平面度；圓柱腔體3上六個(gè)60度夾角的螺釘孔螺釘孔連接壓蓋圓環(huán)和圓柱 腔體3用。 所述的終端接頭4采用快插接頭，接在支柱2上，導(dǎo)入冷卻冷卻氮?dú)狻?所述的緊定螺釘5緊定石英頂針7，配合調(diào)節(jié)石英頂針7的高度來調(diào)節(jié)放置晶片平面度。 所述的壓蓋圓環(huán)6上六個(gè)60度夾角的孔與圓柱腔體3上六個(gè)60度夾角的螺釘孔 對(duì)應(yīng)連接，壓蓋住大冷卻板8。
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所述的石英頂針7來頂托晶片，三個(gè)頂針高度可以調(diào)節(jié)，石英與晶片的接觸防止金屬的接觸污染晶片。 所述的大冷卻板8設(shè)計(jì)成多孔的網(wǎng)狀板。氣流通過多孔分散吹出，均勻冷卻晶片。大冷卻板嵌裝在圓柱腔體3上孔內(nèi)，上壓壓蓋圓環(huán)6。 所述的大冷卻板8設(shè)計(jì)成多孔的網(wǎng)狀板。氣流通過板上的多孔分散吹出，達(dá)到均勻冷卻晶片的效果。 所述的支撐小圓柱體9 一共兩個(gè)，頂撐小冷卻板10。 所述的小冷卻板10。通過螺釘和支撐小圓柱體9安裝在圓柱腔體3中心。對(duì)吹入
腔體內(nèi)的氣流起到第一次分散阻流減小氣流壓力，防止氣流壓力過大吹起晶片，氣流再通
過大冷卻板8上的小孔吹出，均勻平穩(wěn)的氣流冷卻晶片。 所述的內(nèi)六角螺釘11起固定連接小冷卻板10和圓柱腔體3作用。 所述的光電耦合開關(guān)12固定安裝在圓柱腔體3上，通過發(fā)射紅外光來檢測(cè)冷卻臺(tái)
上是否有晶片，光電耦合開關(guān)12與電路中的繼電器形成回路互鎖自動(dòng)檢測(cè)控制。 所述的內(nèi)六角螺釘13起固定連接壓蓋圓環(huán)6和圓柱腔體3。 所述的內(nèi)六角M5的螺釘14共兩個(gè)，固定連接底板1和支柱2。


圖1為晶片冷卻臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為晶片冷卻臺(tái)俯視圖。 圖1中，一底板1，一支柱2，一圓柱腔體3，一個(gè)終端接頭4，三個(gè)緊定螺釘5，一壓蓋圓環(huán)6，三個(gè)石英頂針7， 一大冷卻板8，兩個(gè)支撐小圓柱9， 一小冷卻板10，兩個(gè)內(nèi)六角M3螺釘ll，一個(gè)光電耦合開關(guān)12，六個(gè)內(nèi)六角M3螺釘13，兩個(gè)內(nèi)六角M5螺釘14。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步介紹，但不作為對(duì)發(fā)明的限定。
底板1上裝支柱2， 一個(gè)終端接頭4連接到支柱2，支柱2的上端有成直角布置的通氣孔，終端接頭4采用快插接頭，裝拆快捷，小冷卻板10與圓柱腔體3通過內(nèi)六角螺釘11螺釘固定連接，較靠近通氣孔，較強(qiáng)壓力的冷卻氣體通過小冷卻板10減速和分散，小冷卻板10和大冷卻板8都設(shè)計(jì)成多孔的網(wǎng)狀，氣流通過兩者分散吹出，對(duì)晶片形成淋浴冷卻。較強(qiáng)壓力的冷卻氣流經(jīng)由兩冷卻板兩次分流減速后壓力減小，防止了晶片在冷卻臺(tái)上被吹落。直接頂托晶片采用石英頂針7，防止了金屬與晶片間的直接接觸帶來的顆粒污染，同時(shí)圓柱腔體3上的安裝石英頂針7的孔為通孔，配合緊定螺釘5來調(diào)節(jié)三個(gè)石英頂針7高度，以調(diào)節(jié)晶片擺放在冷卻臺(tái)上是否水平。光電耦合開關(guān)的作用是檢測(cè)晶片在冷卻臺(tái)上與否，將檢測(cè)信號(hào)輸入控制電路，再由系統(tǒng)總成控制，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制監(jiān)測(cè)冷卻臺(tái)的工作狀態(tài)。
本發(fā)明的特定實(shí)施例已對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求
一種晶片冷卻臺(tái)，其結(jié)構(gòu)特征在于本發(fā)明采用圓柱環(huán)上三個(gè)石英頂針拖放晶片，冷卻氮?dú)鈴闹е系慕K端接頭進(jìn)入支柱內(nèi)的通孔中，再?gòu)那惑w與內(nèi)空的圓柱腔體體中網(wǎng)孔板中吹送到晶片背面，氮?dú)饬髁茉±鋮s晶片，同時(shí)冷卻臺(tái)上裝有一個(gè)光電耦合開關(guān)，通過繼電器互鎖自動(dòng)檢測(cè)晶片是否在冷卻臺(tái)上。
2. 如權(quán)利要求l所述的一種晶片冷卻臺(tái)，其特征在于三個(gè)可調(diào)石英頂針拖放晶片，頂 針高度可以調(diào)節(jié)，便捷于晶片傳輸系統(tǒng)的調(diào)平對(duì)準(zhǔn)。
3. 如權(quán)利要求1所述的一種晶片冷卻臺(tái)，其特征在于平穩(wěn)的氮?dú)饬鲝膬?nèi)空的支柱中 進(jìn)入再?gòu)木W(wǎng)孔板中分散吹出，冷卻迅速均且均勻。
4. 如權(quán)利要求1所述的一種晶片冷卻臺(tái)，其特征在于采用光電耦合開關(guān)能實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 到冷卻臺(tái)上的晶片狀態(tài)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種晶片冷卻臺(tái)，涉及快速熱處理爐，屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。該結(jié)構(gòu)包括本發(fā)明采用一支柱與圓柱環(huán)連接，圓環(huán)上三個(gè)石英頂針拖放晶片，冷卻氮?dú)鈴闹е系慕K端接頭進(jìn)入支柱內(nèi)的通孔中，再?gòu)那惑w與內(nèi)空的圓柱腔體體中網(wǎng)孔板中吹送到晶片背面，氣流淋浴冷卻晶片，同時(shí)冷卻臺(tái)上裝有一個(gè)光電耦合開關(guān)，通過繼電器互鎖自動(dòng)檢測(cè)晶片是否在冷卻臺(tái)上。本發(fā)明晶片冷卻迅速，冷卻均勻性好，光電耦合開關(guān)能檢測(cè)晶片在位狀態(tài)。
文檔編號(hào)F27D9/00GK101728233SQ200810224648
公開日2010年6月9日 申請(qǐng)日期2008年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月22日
發(fā)明者唐景庭, 袁衛(wèi)華, 龍會(huì)躍 申請(qǐng)人:北京中科信電子裝備有限公司