專利名稱：一種石英密封爐門的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于光電技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種太陽(yáng)能電池片摻雜生產(chǎn) 過(guò)程中的高密封性閉管擴(kuò)散爐用石英爐門。
背景技術(shù)：
在太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)中，需要將P型襯底硅片表面通過(guò)高溫?cái)U(kuò)散方式
形成一薄層N型層，從而形成太陽(yáng)能電池所必須的PN結(jié)。目前常用的工藝 方式是高溫(90(TC)密閉N型雜質(zhì)摻雜擴(kuò)散。由于在高溫反應(yīng)過(guò)程中產(chǎn)生 較多對(duì)人體及環(huán)境有害的副產(chǎn)物，為了避免副產(chǎn)物從反應(yīng)室泄漏影響到人 體健康及環(huán)境，需要設(shè)置石英爐門，現(xiàn)有的開(kāi)口式擴(kuò)散石英爐門與石英反 應(yīng)腔容易發(fā)生碰撞導(dǎo)致?lián)p壞。 發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種石英密封爐門。
本實(shí)用新型包括圓蓋形的石英爐門本體，在石英爐門本體一側(cè)的表面 沿圓周開(kāi)有燕尾槽，耐高溫硅氟密封圈設(shè)置在燕尾槽內(nèi)；石英爐門本體開(kāi) 有正方孔，SiC槳固定在正方孔上。圓柱形密封筒垂直固定在石英爐門本 體另一側(cè)的表面，圓柱形密封筒的端面與正方孔位置對(duì)應(yīng)。
本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，不僅密封可靠而且避免了碰撞損壞。

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖2為圖1的平面結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖1和2所示， 一種石英密封爐門包括圓蓋形的石英爐門本體1， 在石英爐門本體1一側(cè)的表面沿圓周開(kāi)有燕尾槽，耐高溫硅氟密封圈3設(shè) 置在燕尾槽內(nèi)；石英爐門本體1開(kāi)有正方孔2， SiC槳固定在正方孔上。 圓柱形密封4筒垂直固定在石英爐門本體1另一側(cè)的表面，圓柱形密封筒 的端面與正方孔位置對(duì)應(yīng)。
權(quán)利要求1、一種石英密封爐門，包括圓蓋形的石英爐門本體，其特征在于在石英爐門本體一側(cè)的表面沿圓周開(kāi)有燕尾槽，耐高溫硅氟密封圈設(shè)置在燕尾槽內(nèi)；石英爐門本體開(kāi)有正方孔，圓柱形密封筒垂直固定在石英爐門本體另一側(cè)的表面，圓柱形密封筒的端面與正方孔位置對(duì)應(yīng)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種石英密封爐門?，F(xiàn)有的開(kāi)口式擴(kuò)散石英爐門與石英反應(yīng)腔容易發(fā)生碰撞導(dǎo)致?lián)p壞。本實(shí)用新型包括圓蓋形的石英爐門本體，在石英爐門本體一側(cè)的表面沿圓周開(kāi)有燕尾槽，耐高溫硅氟密封圈設(shè)置在燕尾槽內(nèi)；石英爐門本體開(kāi)有正方孔，圓柱形密封筒垂直固定在石英爐門本體另一側(cè)的表面，圓柱形密封筒的端面與正方孔位置對(duì)應(yīng)。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，不僅密封可靠而且避免了碰撞損壞。
文檔編號(hào)F27D1/18GK201402049SQ20092011831
公開(kāi)日2010年2月10日 申請(qǐng)日期2009年4月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月23日
發(fā)明者何天力, 何旭梅, 向小龍, 蔡未央, 酈曉苗 申請(qǐng)人:浙江弘晨光伏能源有限公司