專利名稱：一種新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及晶體生長設(shè)備和高溫設(shè)備，屬于晶體生長設(shè)備和半導(dǎo)體設(shè)備制造 技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
本發(fā)明目的是為了降低晶體爐膛觀察窗擋板轉(zhuǎn)軸和擋板的溫度，可以極大的提高 轉(zhuǎn)軸真空密封的可靠性，提高使用壽命。同時，有效的把揮發(fā)物沉淀在擋板上，延長觀察窗 的使用壽命。傳統(tǒng)的觀察窗的擋板的轉(zhuǎn)軸為實心金屬棒(參見圖1)，這樣揮發(fā)物容易沉淀在擋 板上，使得觀察不夠清晰，縮短了觀察窗的使用壽命。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于提供一種降低晶體爐膛觀察窗擋板轉(zhuǎn)軸和 擋板的溫度，極大的提高轉(zhuǎn)軸真空密封的可靠性，提高使用壽命的新型晶體爐觀察窗擋板 結(jié)構(gòu)。本實用新型所要解決的技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)，一種新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，包括擋板轉(zhuǎn)軸和真空動密封，擋板轉(zhuǎn)軸穿過真 空動密封的內(nèi)腔后和觀察窗擋板相接，在觀察窗擋板的上方設(shè)置觀察窗，用于觀察爐膛內(nèi) 晶體的生長，其特征在于所述的擋板轉(zhuǎn)軸由水冷裝置構(gòu)成，水冷裝置包括進水管和出水 管，在所述進水管和出水管外密封水冷擋板。所述的進水管、出水管和密封水冷擋板之間構(gòu)成中空水冷結(jié)構(gòu)，減低了轉(zhuǎn)軸的表
面溫度。所述水冷擋板的表面加裝高溫金屬片或陶瓷片。在所述的真空動密封結(jié)構(gòu)中包括磁流體密封形式。本實用新型的另一種技術(shù)方案是，一種新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，包括擋板轉(zhuǎn) 軸和真空動密封，擋板轉(zhuǎn)軸穿過真空動密封的內(nèi)腔后和觀察窗擋板相接，在觀察窗擋板的 上方設(shè)置觀察窗，用于觀察爐膛內(nèi)晶體的生長，其特征在于所述的擋板轉(zhuǎn)軸和觀察窗擋板 均由水冷裝置構(gòu)成，水冷裝置包括進水管和出水管，在所述進水管和出水管外密封水冷擋 板。所述的進水管、出水管和密封水冷擋板之間構(gòu)成中空水冷結(jié)構(gòu)，減低了轉(zhuǎn)軸的表
面溫度。所述水冷擋板的表面加裝高溫金屬片或陶瓷片。在所述的真空動密封結(jié)構(gòu)中包括磁流體密封形式。本實用新型的有益效果是將轉(zhuǎn)軸結(jié)構(gòu)中的實心金屬棒更換成水冷結(jié)構(gòu)，在實際使 用中能有效的把熱量通過冷卻水帶走，減低了轉(zhuǎn)軸的表面溫度，從而保護了轉(zhuǎn)軸外面的真 空密封圈或磁流體結(jié)構(gòu)，有利于提高了真空度和延長真空動密封的使用溫度和使用壽命。
3同時擋板的溫度也更低，有效的把揮發(fā)物沉淀在擋板上，延長觀察窗的使用壽命。
圖1是傳統(tǒng)觀察窗擋板結(jié)構(gòu)的示意圖；圖2是本實用新型第一種技術(shù)方案觀察窗擋板結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實用新型第二種技術(shù)方案觀察窗擋板結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
為了使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下 面結(jié)合具體圖示，進一步闡述本實用新型。如圖2所示，一種新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，包括擋板轉(zhuǎn)軸1和真空動密封2，擋 板轉(zhuǎn)軸1穿過真空動密封2的內(nèi)腔后和觀察窗擋板3相接，在觀察窗擋板3的上方安裝觀 察窗4，用于觀察爐膛內(nèi)晶體的生長，其中擋板轉(zhuǎn)軸1由水冷裝置5構(gòu)成，水冷裝置5包括 進水管51和出水管52，進水管51和出水管52外密封水冷擋板53，在進水管51、出水管52 和密封水冷擋板53之間構(gòu)成中空水冷結(jié)構(gòu)，減低了轉(zhuǎn)軸的表面溫度，并在水冷擋板53的表 面加裝高溫金屬片或陶瓷片。如圖3所示，一種新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，包括擋板轉(zhuǎn)軸1和真空動密封2，擋 板轉(zhuǎn)軸1穿過真空動密封2的內(nèi)腔后和觀察窗擋板3相接，在觀察窗擋板3的上方安裝觀 察窗4，用于觀察爐膛內(nèi)晶體的生長，其中擋板轉(zhuǎn)軸1和觀察窗擋板3由水冷裝置5構(gòu)成， 水冷裝置5包括進水管51和出水管52，在進水管51和出水管52外密封水冷擋板53，這樣 進水管51、出水管52和密封水冷擋板53之間構(gòu)成中空水冷結(jié)構(gòu)，減低了轉(zhuǎn)軸的表面溫度。 其中水冷擋板53的表面加裝高溫金屬片或陶瓷片。以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行 業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述 的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還 會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型 要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求一種新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，包括擋板轉(zhuǎn)軸和真空動密封，擋板轉(zhuǎn)軸穿過真空動密封的內(nèi)腔后和觀察窗擋板相接，在觀察窗擋板的上方設(shè)置觀察窗，用于觀察爐膛內(nèi)晶體的生長，其特征在于所述的擋板轉(zhuǎn)軸由水冷裝置構(gòu)成，水冷裝置包括進水管和出水管，在所述進水管和出水管外密封水冷擋板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的進水管、出水 管和密封水冷擋板之間構(gòu)成中空水冷結(jié)構(gòu)，減低了轉(zhuǎn)軸的表面溫度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，其特征在于所述水冷擋板的表 面加裝高溫金屬片或陶瓷片。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，其特征在于包括擋板轉(zhuǎn)軸和真 空動密封，擋板轉(zhuǎn)軸穿過真空動密封的內(nèi)腔后和觀察窗擋板相接，在觀察窗擋板的上方設(shè) 置觀察窗，用于觀察爐膛內(nèi)晶體的生長，所述的擋板轉(zhuǎn)軸和觀察窗擋板均由水冷裝置構(gòu)成， 水冷裝置包括進水管和出水管，在所述進水管和出水管外密封水冷擋板。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的進水管、出水 管和密封水冷擋板之間構(gòu)成中空水冷結(jié)構(gòu)，減低了轉(zhuǎn)軸的表面溫度。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，其特征在于所述水冷擋板的表 面加裝高溫金屬片或陶瓷片。
專利摘要一種新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，涉及晶體生長設(shè)備和高溫設(shè)備，屬于晶體生長設(shè)備和半導(dǎo)體設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，包括擋板轉(zhuǎn)軸和真空動密封，擋板轉(zhuǎn)軸穿過真空動密封的內(nèi)腔后和觀察窗擋板相接，在觀察窗擋板的上方設(shè)置觀察窗，用于觀察爐膛內(nèi)晶體的生長，其特征在于所述的擋板轉(zhuǎn)軸由水冷裝置構(gòu)成，水冷裝置包括進水管和出水管，在所述進水管和出水管外密封水冷擋板。有益效果是將轉(zhuǎn)軸結(jié)構(gòu)中的實心金屬棒更換成水冷結(jié)構(gòu)，在實際使用中能有效的把熱量通過冷卻水帶走，減低了轉(zhuǎn)軸的表面溫度，從而保護了轉(zhuǎn)軸外面的真空密封圈或磁流體結(jié)構(gòu)，有利于提高了真空度和延長真空動密封的使用溫度和使用壽命。
文檔編號F27D21/02GK201648568SQ20092021023
公開日2010年11月24日 申請日期2009年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月27日
發(fā)明者黃小衛(wèi) 申請人:上海元亮光電科技有限公司