專利名稱：一種硅片烘干隧道的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種硅片濕法處理清洗設(shè)備，尤其涉及起干燥作用的一種硅片烘 干隧道。
背景技術(shù)：
近年來太陽能產(chǎn)業(yè)作為一種新能源技術(shù)得到快速發(fā)展，但作為新興的技術(shù)密集型 產(chǎn)業(yè)，其在諸多技術(shù)環(huán)節(jié)還存在不足。其中，在太陽能電池片濕法處理設(shè)備中，為使硅片表 面干燥，大多采用甩干機(jī)除去清洗后硅片表面水分，容易使硅片破碎。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型為了解決現(xiàn)有甩干機(jī)干燥硅片容易使硅片破碎的缺陷，提供一種硅片 烘干隧道它能在干燥硅片同時(shí)，避免硅片劇烈運(yùn)動，防止硅片破碎。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種硅片烘干隧道，包括中 空的干燥箱體，所述干燥箱體內(nèi)上方為設(shè)有箱體進(jìn)風(fēng)口和多個(gè)加熱管，干燥箱體內(nèi)下方設(shè) 有箱體出風(fēng)口 ；在干燥箱體左右兩端設(shè)有相貫通的開口，穿過兩開口設(shè)有延伸至干燥箱體 左側(cè)和右側(cè)的輸送鏈條。所述干燥箱體外部還設(shè)有風(fēng)機(jī)和相應(yīng)風(fēng)管；箱體進(jìn)風(fēng)口通過風(fēng)管與風(fēng)機(jī)的吹風(fēng)口 相連；箱體出風(fēng)口與風(fēng)機(jī)吸風(fēng)口相連，此處相連風(fēng)管上還設(shè)有新風(fēng)入口，用于補(bǔ)充烘干過程 中的風(fēng)量損失。所述多個(gè)加熱管橫向并排排列，且位于箱體進(jìn)風(fēng)口的下方。所述干燥箱體、風(fēng)機(jī)及相應(yīng)風(fēng)管均設(shè)置在一封閉機(jī)箱內(nèi)，所述輸送鏈條左右側(cè)分 別穿透封閉機(jī)箱的兩側(cè)。烘干隧道在烘干過程中，輸送鏈條將待烘干的清洗籃輸(硅片的載體)送進(jìn)隧道 內(nèi)，風(fēng)機(jī)產(chǎn)生的冷風(fēng)從上部進(jìn)箱體風(fēng)口進(jìn)入箱體，經(jīng)過上部排列的加熱管時(shí)，加熱管將冷風(fēng) 加熱，熱風(fēng)吹過下方工件，從而達(dá)到工件的烘干效果。本實(shí)用新型通過將干燥箱體連接風(fēng)機(jī)，并在箱體上設(shè)置加熱管和輸送鏈條等元 件，使工件在清洗之后既能達(dá)到充分干燥的效果，且風(fēng)干過程中鏈條輸送無劇烈運(yùn)動避免 了硅片碎裂。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說明


圖1為本實(shí)用新型主視方向剖視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為
圖1左視方向剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如
圖1、圖2所示一種硅片烘干隧道，其結(jié)構(gòu)為烘干隧道主要由干燥箱體1、風(fēng)機(jī)8，加熱管4和輸送鏈條5等部分組成。干燥箱體1兩端開口，分別為清洗籃3的進(jìn)口和出 口，開口之間部分貫通，清洗籃3的進(jìn)出由輸送鏈條5輸送。干燥箱體1上方為箱體進(jìn)風(fēng)口 2和加熱管4，下方為箱體出風(fēng)口 9。干燥箱體1外部，箱體進(jìn)風(fēng)口 2通過風(fēng)管6與風(fēng)機(jī)8的 吹風(fēng)口相連，箱體出風(fēng)口 9與風(fēng)機(jī)吸風(fēng)口相連，此處相連風(fēng)管設(shè)有新風(fēng)入口 7，用于補(bǔ)充烘 干過程中的風(fēng)量損失。優(yōu)選方案中所述多個(gè)加熱管4橫向并排排列，且位于箱體進(jìn)風(fēng)口 2 的下方。干燥箱體1、風(fēng)機(jī)8及相應(yīng)風(fēng)管6均設(shè)置在一封閉機(jī)箱內(nèi)，所述輸送鏈條5左右側(cè) 分別穿透封閉機(jī)箱的兩側(cè)。本專利產(chǎn)品硅片烘干隧道在烘干過程中，輸送鏈條5將待烘干 的清洗籃3輸送進(jìn)隧道內(nèi)，風(fēng)機(jī)8產(chǎn)生的冷風(fēng)從上部進(jìn)箱體風(fēng)口 2進(jìn)入箱體，經(jīng)過上部排列 的加熱管4時(shí)，加熱管4將冷風(fēng)加熱，熱風(fēng)吹過下方工件，從而達(dá)到工件的烘干效果。
權(quán)利要求一種硅片烘干隧道，包括中空的干燥箱體(1)，其特征在于所述干燥箱體(1)內(nèi)上方為設(shè)有箱體進(jìn)風(fēng)口(2)和多個(gè)加熱管(4)，干燥箱體(1)內(nèi)下方設(shè)有箱體出風(fēng)口(9)；在干燥箱體(1)左右兩端設(shè)有相貫通的開口，穿過兩開口設(shè)有延伸至干燥箱體(1)左側(cè)和右側(cè)的輸送鏈條(5)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片烘干隧道，其特征在于所述干燥箱體(1)外部還設(shè)有 風(fēng)機(jī)(8)和相應(yīng)風(fēng)管(6)；箱體進(jìn)風(fēng)口(2)通過風(fēng)管(6)與風(fēng)機(jī)(8)的吹風(fēng)口相連；箱體出 風(fēng)口(9)與風(fēng)機(jī)(8)吸風(fēng)口相連，此處相連風(fēng)管上還設(shè)有新風(fēng)入口(7)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片烘干隧道，其特征在于所述多個(gè)加熱管(4)橫向 并排排列，且位于箱體進(jìn)風(fēng)口(2)的下方。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片烘干隧道，其特征在于所述干燥箱體(1)、風(fēng)機(jī)(8)及 相應(yīng)風(fēng)管(6)均設(shè)置在一封閉機(jī)箱內(nèi)，所述輸送鏈條(5)左右側(cè)分別穿透封閉機(jī)箱的兩側(cè)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種硅片烘干隧道，應(yīng)用于硅片濕法處理清洗設(shè)備，它包括中空的干燥箱體，所述干燥箱體內(nèi)上方為設(shè)有箱體進(jìn)風(fēng)口和多個(gè)加熱管，干燥箱體內(nèi)下方設(shè)有箱體出風(fēng)口；在干燥箱體兩左右兩端設(shè)有相貫通的開口，穿過兩開口設(shè)有延伸至干燥箱體左側(cè)和右側(cè)的輸送鏈條。本實(shí)用新型使工件在清洗之后既能達(dá)到充分干燥的效果，且風(fēng)干過程中無劇烈運(yùn)動避免了硅片碎裂。
文檔編號F26B21/00GK201607100SQ20102005662
公開日2010年10月13日 申請日期2010年1月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月15日
發(fā)明者左國軍 申請人:常州捷佳創(chuàng)精密機(jī)械有限公司