專利名稱：石英加熱槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種石英加熱槽。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體行業(yè)中，芯片的酸洗通常在石英加熱槽中進(jìn)行。石英加熱槽一般包括石英槽體和設(shè)置在石英槽體內(nèi)的熱電偶護(hù)管，石英槽體的底部開設(shè)有排液口。該種結(jié)構(gòu)的石英加熱槽溫度下降快，保溫效果差，導(dǎo)致芯片酸洗成本較高，且浪費(fèi)電能。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種保溫效果好的石英加熱槽。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案
一種石英加熱槽，包括石英槽體和設(shè)置在石英槽體內(nèi)的熱電偶護(hù)管，石英槽體在底部具有排液口，所述的石英加熱槽還包括貼設(shè)在石英槽體外表面的加熱電阻絲、設(shè)置在加熱電阻絲外周的PP塑料層以及填充在加熱電阻絲與PP塑料層之間的石英棉層，所述石英加熱槽還包括穿過PP塑料層、石英棉層以及加熱電阻絲而與所述排液口連通的排液管。優(yōu)選地，所述加熱電阻線的材質(zhì)為鎳鉻絲。由于采用以上技術(shù)方案的實(shí)施，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明的加熱槽在石英槽體的外表面貼設(shè)加熱電阻絲，對(duì)加熱電阻絲通電，則加熱電阻絲與石英棉保溫層一起保證槽體的保溫效果，從而保證芯片在酸洗過程中的保溫時(shí)間。


下面結(jié)合具體的實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說明。圖1為根據(jù)本發(fā)明的石英加熱槽的主剖示意其中1、石英槽體；2、熱電偶護(hù)管；10、排液口 ；3、加熱電阻絲；4、PP塑料層；5、石英棉層；6、排液管；7、電線出線口。
具體實(shí)施例方式如圖1所示，按照本實(shí)施例的石英加熱槽包括石英槽體1、設(shè)置在石英槽體1內(nèi)的熱電偶護(hù)管2、貼設(shè)在石英槽體1外表面的加熱電阻絲3、設(shè)置在加熱電阻絲3外周的PP塑料層4以及填充在加熱電阻絲3與PP塑料層4之間的石英棉層5。石英槽體1的底部中間位置設(shè)有排液口 10，石英加熱槽還包括穿過PP塑料層4、石英棉層5以及加熱電阻絲3而與排液口 10連通的排液管6。另外，在PP塑料層4上還設(shè)有電線出線口 7。加熱電阻絲3 的材質(zhì)為鎳鉻絲。本發(fā)明的加熱槽在石英槽體的外表面貼設(shè)加熱電阻絲，且還設(shè)置了石英棉保溫層，保溫效果好，保證芯片在酸洗過程中的保溫時(shí)間。
以上對(duì)本發(fā)明做了詳盡的描述，其目的在于讓熟悉此領(lǐng)域技術(shù)的人士能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并加以實(shí)施，并不能以此限制本發(fā)明的保護(hù)范圍，凡根據(jù)本發(fā)明的精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種石英加熱槽，包括石英槽體(1)和設(shè)置在所述石英槽體(1)內(nèi)的熱電偶護(hù)管 (2)，所述石英槽體(1)在底部具有排液口(10)，其特征在于所述的石英加熱槽還包括貼設(shè)在所述石英槽體(1)外表面的加熱電阻絲(3)、設(shè)置在所述加熱電阻絲(3)外周的PP塑料層(4)以及填充在所述加熱電阻絲(3)與所述PP塑料層(4)之間的石英棉層(5)，所述石英加熱槽還包括穿過所述PP塑料層(4)、石英棉層(5)以及加熱電阻絲(3)而與所述排液口(10)連通的排液管(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英加熱槽，其特征在于所述的加熱電阻絲(3)的材質(zhì)為鎳鉻絲。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種石英加熱槽，包括石英槽體和設(shè)置在石英槽體內(nèi)的熱電偶護(hù)管，石英槽體在底部具有排液口，所述的石英加熱槽還包括貼設(shè)在石英槽體外表面的加熱電阻絲、設(shè)置在加熱電阻絲外周的PP塑料層以及填充在加熱電阻絲與PP塑料層之間的石英棉層，所述石英加熱槽還包括穿過PP塑料層、石英棉層以及加熱電阻絲而與所述排液口連通的排液管。本發(fā)明的加熱槽在石英槽體的外表面貼設(shè)加熱電阻絲，且還設(shè)置了石英棉保溫層，保溫效果好，保證芯片在酸洗過程中的保溫時(shí)間。
文檔編號(hào)F24H1/18GK102201329SQ20111011072
公開日2011年9月28日 申請(qǐng)日期2011年4月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月29日
發(fā)明者沈法松 申請(qǐng)人:蘇州凱西石英電子有限公司