專利名稱:加熱爐爐殼的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及太陽能電池片及半導體設(shè)備制造領(lǐng)域,尤其涉及太陽能和半導體制造設(shè)備中的加熱爐。
背景技術(shù):
在太陽能電池片和半導體材料制造過程中,現(xiàn)有的加熱爐的爐殼采用保溫棉外覆不銹鋼鋼板進行保溫隔熱,保溫棉包覆的松緊等對爐體的性能有較大的影響。同時隨著所需爐體溫度的升高,需增加保溫棉的厚度,爐絲產(chǎn)生的一部分熱量被用于加熱保溫棉,造成升溫慢和能量的浪費。同時,不斷加厚的保溫棉導致爐殼外徑增加,爐體需要更大的安裝空間。而且采用現(xiàn)有結(jié)構(gòu)爐殼的爐體實際使用過程中控溫精度一般只能達到±1°C,不能滿足一些對控溫精度要求較高的工藝。
發(fā)明內(nèi)容為了解決以上技術(shù)問題,本實用新型提供了一種體積小、控溫精度高、熱量損失小、爐體升溫快的加熱爐爐殼。本實用新型所述加熱爐爐殼包括石英管及黃金層,所述黃金層鍍在石英管內(nèi)壁。其優(yōu)點在于因黃金熔點高、反射性好,利用反射原理,黃金層可反射爐絲輻射的熱量,使熱量集中在石英管內(nèi)部。因此采用本實用新型所述爐殼的爐體升溫速率是現(xiàn)有爐體升溫速率的多倍,節(jié)約了工藝時間,同時熱量散失少,同功率下可達到更高的溫度節(jié)約了能源;同時爐殼的直徑遠小于現(xiàn)有爐殼,減少安裝空間。此外,配合爐體可使控溫精度達到±0.1°c,可滿足對控溫精度高的工藝。所述黃金層可以是不同純度的黃金層,也可以是其他材料。
圖1為本實用新型所述爐殼的示意圖。圖中各件號說明1-石英管;2-黃金層。
具體實施方式
結(jié)合圖1,對本實用新型所述爐殼進行詳細說明。本實用新型所述爐殼包括石英管I及黃金層2,所述黃金層2鍍在石英管I內(nèi)壁。本實用新型通過對透明石英管I內(nèi)壁鍍不同純度的黃金,使內(nèi)壁產(chǎn)生黃金鍍層2。因黃金熔點高反射性好利用反射原理,反射爐絲輻射的熱量,使熱量集中在石英管內(nèi)部。本實用新型主要利用了黃金爐殼對熱量的反射達到更快的升溫速率和控溫精度的目的。
權(quán)利要求1.一種加熱爐爐殼,其特征在于它包括石英管及黃金層,所述黃金層鍍在石英管內(nèi)壁。
專利摘要本實用新型提供了一種加熱爐爐殼,包括石英管及黃金層,所述黃金層鍍在石英管內(nèi)壁;因黃金熔點高反射性好利用反射原理,反射爐絲輻射的熱量,使熱量集中在石英管內(nèi)部。本實用新型主要利用了黃金爐殼對熱量的反射達到更快的升溫速率和控溫精度的目的。
文檔編號F27D1/00GK202836207SQ201220436649
公開日2013年3月27日 申請日期2012年8月30日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月30日
發(fā)明者孟令錦 申請人:青島賽瑞達電子科技有限公司