硅片甩干裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種對(duì)硅片進(jìn)行甩干的硅片甩干裝置，包括上端開口、下端密封的殼體，殼體內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)桶，以及驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)桶旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)桶上具有容放硅片的容置腔，旋轉(zhuǎn)桶上開有出水孔，出水孔與容置腔連通，所述容置腔內(nèi)周壁還設(shè)有對(duì)硅片進(jìn)行限位的限位柱。在使用本發(fā)明時(shí)，將需要甩干的硅片放置在容置腔內(nèi)，由容置腔內(nèi)中的四根限位柱對(duì)硅片進(jìn)行限位保護(hù)，在啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)帶動(dòng)固定在旋轉(zhuǎn)盤上的旋轉(zhuǎn)桶旋轉(zhuǎn)，從而對(duì)硅片進(jìn)行甩干，容置腔內(nèi)的硅片甩出的水由出水孔排出，硅片甩干后直接取出即可。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便，適于推廣應(yīng)用。
【專利說明】 硅片甩干裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及晶體硅制備裝置【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種對(duì)硅片進(jìn)行甩干的硅片甩干
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【背景技術(shù)】
[0002]在硅片生產(chǎn)過程中，需要對(duì)硅片進(jìn)行清洗并甩干，現(xiàn)有的甩干設(shè)備多為進(jìn)口設(shè)備，其價(jià)格高、結(jié)構(gòu)復(fù)雜。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便的硅片甩干裝置。
[0004]實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0005]硅片甩干裝置，包括上端開口、下端密封的殼體，殼體內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)桶，以及驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)桶旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)桶上具有容放硅片的容置腔，旋轉(zhuǎn)桶上開有出水孔，出水孔與容置腔連通，所述容置腔內(nèi)周壁還設(shè)有對(duì)硅片進(jìn)行限位的限位柱。
[0006]將需要甩干的硅片放置在容置腔中，并由限位柱對(duì)硅片進(jìn)行限位，保證在甩干過程中，硅片不會(huì)碰到容置腔內(nèi)壁，從而起到保護(hù)硅片的作用。
[0007]所述殼體內(nèi)橫向設(shè)有分隔板，所述風(fēng)隔板將殼體分為放置旋轉(zhuǎn)桶的甩干上腔、放置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下腔，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端穿過分隔板伸入甩干腔內(nèi)。
[0008]所述分隔板的上端面為錐形面。另外在殼體的側(cè)壁設(shè)有排水口，排水口位于分隔板的上方，這樣在由旋轉(zhuǎn)桶上出水孔排出的水，就會(huì)很快的從排水口中排出。
[0009]所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)伸入甩干上腔的輸出端設(shè)置有旋轉(zhuǎn)盤，所述旋轉(zhuǎn)桶固定設(shè)置在旋轉(zhuǎn)盤上。
[0010]所述限位柱設(shè)有四根，其均勻的分布在容置腔內(nèi)。
[0011]所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為驅(qū)動(dòng)電機(jī)。
[0012]采用了上述方案，在使用本發(fā)明時(shí)，將需要甩干的硅片放置在容置腔內(nèi)，由容置腔內(nèi)中的四根限位柱對(duì)硅片進(jìn)行限位保護(hù)，在啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)帶動(dòng)固定在旋轉(zhuǎn)盤上的旋轉(zhuǎn)桶旋轉(zhuǎn)，從而對(duì)硅片進(jìn)行甩干，容置腔內(nèi)的硅片甩出的水由出水孔排出，硅片甩干后直接取出即可。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便，適于推廣應(yīng)用。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖中，I為殼體，2為旋轉(zhuǎn)桶，3為驅(qū)動(dòng)電機(jī)，4為分隔板，5為甩干上腔，6為驅(qū)動(dòng)下腔，7為密封件,8為旋轉(zhuǎn)盤，9為容置腔,10為出水孔,11為限位柱,12為排水口。

【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說明。
[0016]參見圖1，硅片甩干裝置，包括上端開口、下端密封的殼體1，殼體I內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)桶2，以及驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)桶旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)3，殼體I內(nèi)橫向設(shè)有上端面為錐形面的分隔板4，風(fēng)隔板4將殼體分為放置旋轉(zhuǎn)桶的甩干上腔5、放置驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下腔6，驅(qū)動(dòng)電機(jī)3的輸出端穿過分隔板伸入甩干腔內(nèi)，在驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸與分隔板之間設(shè)有密封件7。驅(qū)動(dòng)電機(jī)伸入甩干上腔的輸出端設(shè)置有旋轉(zhuǎn)盤8，旋轉(zhuǎn)桶2固定設(shè)置在旋轉(zhuǎn)盤8上。旋轉(zhuǎn)桶2上具有容放硅片的容置腔9，旋轉(zhuǎn)桶上開有出水孔10，出水孔10與容置腔9連通，容置腔內(nèi)周壁還設(shè)有對(duì)硅片進(jìn)行限位的限位柱11。限位柱設(shè)有四根，其均勻的分布在容置腔內(nèi)。另外在殼體的側(cè)壁設(shè)有排水口 12，排水口 12位于分隔板4的上方，這樣在由旋轉(zhuǎn)桶上出水孔排出的水，就會(huì)很快的從排水口中排出。
【權(quán)利要求】
1.硅片甩干裝置，其特征在于:包括上端開口、下端密封的殼體，殼體內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)桶，以及驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)桶旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)桶上具有容放硅片的容置腔，旋轉(zhuǎn)桶上開有出水孔，出水孔與容置腔連通，所述容置腔內(nèi)周壁還設(shè)有對(duì)硅片進(jìn)行限位的限位柱。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片甩干裝置，其特征在于:所述殼體內(nèi)橫向設(shè)有分隔板，所述風(fēng)隔板將殼體分為放置旋轉(zhuǎn)桶的甩干上腔、放置驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)下腔，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端穿過分隔板伸入甩干腔內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅片甩干裝置，其特征在于:所述分隔板的上端面為錐形面。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的硅片甩干裝置，其特征在于:所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)伸入甩干上腔的輸出端設(shè)置有旋轉(zhuǎn)盤，所述旋轉(zhuǎn)桶固定設(shè)置在旋轉(zhuǎn)盤上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片甩干裝置，其特征在于:所述限位柱設(shè)有四根，其均勻的分布在容置腔內(nèi)。
【文檔編號(hào)】F26B11/08GK104251608SQ201310273546
【公開日】2014年12月31日 申請(qǐng)日期:2013年6月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月30日
【發(fā)明者】周建國, 夏利榮 申請(qǐng)人:常州市立威刀具有限公司