一種高真空燒結(jié)爐的制作方法
【專利摘要】本實用新型是一種高真空燒結(jié)爐，含爐體、爐門、機組系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、充氣放氣系統(tǒng)、氣動裝置、加熱及保溫裝置、冷卻系統(tǒng)及控制柜，爐體為雙層壁水套臥式圓筒結(jié)構(gòu)，爐門樞接在其一端，爐門含外層保溫層和內(nèi)層鉬帶加熱層；爐體上有若干熱電偶、放氣閥和充氣閥，充氣放氣系統(tǒng)通過放氣閥和充氣閥與爐體內(nèi)腔連通；控制柜上有觸摸屏和CPU的控制機，熱電偶與CPU輸入端連接；真空系統(tǒng)包括通過管接頭和閥門與爐體內(nèi)腔連通的至少3級真空泵，真空泵總抽氣量比爐體內(nèi)腔氣量至少大一倍、真空泵極限真空度高于爐體內(nèi)腔真空度要求超過一個數(shù)量級；冷卻系統(tǒng)含通過換熱器與雙層壁水套連的水輸送裝置及配套風機。本實用新型用于稀土永磁鐵燒結(jié),省時省電高。
【專利說明】一種高真空燒結(jié)爐
[0001]【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本實用新型屬于真空燒結(jié)爐【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種用于稀土永磁鐵燒結(jié)的高真空燒結(jié)爐。
[0003]【背景技術(shù)】
[0004]現(xiàn)有技術(shù)的真空燒結(jié)爐在真空泵的選用上都按常規(guī)的選擇方法，其真空泵配置一般選用單級，頂多為兩級，而且其選用的真空泵的極限真空度僅高于真空設(shè)備要求的真空度半個數(shù)量級，最多也不到一個數(shù)量級。通過檢索得知，現(xiàn)有的有關(guān)燒結(jié)爐的專利未能涉及如何恰當選用真空泵抽氣量和不同類型真空泵的搭配，忽略了其對于節(jié)能省時和提高工效的巨大意義，這種傳統(tǒng)的“半個至一個數(shù)量級”的選用原則，將本行業(yè)的技術(shù)人員引入誤區(qū)。
[0005]例如中國專利號201220279397.9，名稱為“真空燒結(jié)爐”的實用新型專利，公開了一種真空燒結(jié)爐，包括爐架、的爐體、真空泵，所述的爐體內(nèi)設(shè)置有發(fā)熱體，所述的發(fā)熱體與爐體之間隔有保溫層，所述的爐體上設(shè)置有通氣孔并與真空泵相通，所述的爐體上還設(shè)置有控制所述的通氣孔開啟或閉合的液壓油缸。該專利未涉及如何恰當選用真空泵抽氣量，從其說明書附圖可以看出，其僅僅選用一臺真空泵。
[0006]又如中國專利號201110254857.2，名稱為“一種立式真空燒結(jié)爐”的發(fā)明專利，公開了一種立式真空燒結(jié)爐，其包括爐體、爐架、爐蓋、升降機構(gòu)、真空系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、以及電控系統(tǒng)，其中的升降機構(gòu)包括多根絲桿、定位件，定位件沿著絲桿長度方向上下運動，立式真空燒結(jié)爐還包括多根撐桿，撐桿具有第一工作狀態(tài)和第二工作狀態(tài)，當處于第一工作狀態(tài)時，撐桿撐設(shè)在爐蓋口部的凸緣處，支撐著爐蓋且爐蓋與爐體脫離狀態(tài)；當處于第二狀態(tài)時，絲桿帶動定位件向上運動，撐桿脫離爐蓋口部的凸緣處，定位件抵觸在爐蓋底部的托盤上，從而將爐蓋升降或密封在爐體上。該專利對于爐體的爐蓋傳動作了研究和設(shè)計，而對于真空泵抽氣量和類型搭配同樣未能給與關(guān)注。
[0007]事實上，對于用于燒結(jié)爐的真空泵的額定抽氣量、工作點、以及不同時段不同工況下的不同類型真空泵的性能互補配置都是值得深入探討的。
[0008]
【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本實用新型需要解決的技術(shù)問題是，克服現(xiàn)有技術(shù)的真空燒結(jié)爐在選用真空泵上存在的抽氣量裕量匱乏和不同類型真空泵配搭失衡，以致實際應(yīng)用中費時費電效率低浪費大的缺陷，提供一種真空泵裕量充足、高效省電的真空泵配置方案。
[0010]本實用新型的目的是通過下述技術(shù)方案予以實現(xiàn)的:一種高真空燒結(jié)爐，包括爐體、爐門、機組系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、充氣放氣系統(tǒng)、氣動裝置、加熱及保溫裝置、冷卻系統(tǒng)及控制柜，爐體為設(shè)置有雙層壁水套的臥式圓筒結(jié)構(gòu)，爐門樞接在圓筒結(jié)構(gòu)的一端，爐門包括位于外層的保溫層和位于內(nèi)層的鑰帶加熱層，爐門的內(nèi)層為凸臺形狀的結(jié)構(gòu)；爐體上分布有若干個熱電偶、一個放氣閥和一個充氣閥，充氣放氣系統(tǒng)通過放氣閥和充氣閥與爐體的內(nèi)腔連通；控制柜上設(shè)有觸摸屏和以CPU為核心的控制機，熱電偶分別與CPU的輸入端連接；真空系統(tǒng)包括通過管接頭和閥門與爐體的內(nèi)腔連通的至少3級真空泵，而且真空泵的總抽氣量比爐體內(nèi)腔氣量至少大一倍以及真空泵極限真空度高于爐體內(nèi)腔真空度的要求超過一個數(shù)量級，真空泵的類型包括擴散泵和機械真空泵；放氣閥、充氣閥及爐門的動作由氣動裝置控制；冷卻系統(tǒng)包括通過換熱器與雙層壁水套連接的冷卻水輸送裝置以及與換熱器配套的冷卻風機。
[0011]臥式圓筒結(jié)構(gòu)的爐體便于橫向裝入和取出工件以及通過雙層壁水套輸送冷卻水使冷卻均勻，若干個熱電偶監(jiān)測不同部位的溫度通過控制機自動控制加溫；充放氣系統(tǒng)在一定的工藝時段對爐體內(nèi)腔充氬氣保護工件；真空系統(tǒng)對爐體內(nèi)腔抽真空，這是稀土永磁鐵燒結(jié)的必要條件；冷卻系統(tǒng)針對爐體由于在稀土永磁鐵燒結(jié)中的外傳熱量而升溫進行傳導(dǎo)冷卻；作為關(guān)鍵點，本實用新型選用至少3級真空泵，而且真空泵的總抽氣量比爐體內(nèi)腔的氣量至少大一倍，以及真空泵極限真空度高于爐體內(nèi)腔真空度的要求超過一個數(shù)量級，其有益效果說明如下:打個比方，假如把對爐體內(nèi)腔抽真空視為一場戰(zhàn)爭，則抽光爐體內(nèi)腔的空氣可以比作全殲敵人，外部氣體向爐體內(nèi)腔泄漏可比作敵之援兵，借用十大軍事原則所說的“每戰(zhàn)集中絕對優(yōu)勢兵力(兩倍、三倍、四倍、有時甚至是五倍或六倍于敵之兵力)，四面包圍敵人，力求全殲，不使漏網(wǎng)?！η蟊苊獯蚰欠N得不償失的、或得失相當?shù)南膽?zhàn)”的理論，采用至少3級不同類型的真空泵，包括針對燒結(jié)工藝不同階段的粗抽真空、抽中真空、抽高真空，以及氣鎮(zhèn)階段，通過控制機自動地有針對性地啟動不同類型的或全部的真空泵，這可比擬為大兵團多兵種協(xié)同作戰(zhàn)；因為在抽氣的同時由于爐體內(nèi)腔的內(nèi)外壓差在不斷地擴大，顯然向爐體內(nèi)腔泄漏的速度也會隨著壓差的增大而不斷地增加，現(xiàn)有技術(shù)由于所選用的真空泵抽氣量一般裕量甚小以及配置的類型不甚恰當，使得抽氣時間成倍或數(shù)倍地遷延，致使泄漏的總量大增，成為名副其實的“得失相當?shù)南膽?zhàn)”，相比于現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型利用“集中力量打殲滅戰(zhàn)”的原則，可以達到速戰(zhàn)速決，快速抽光殼體內(nèi)腔的空氣，其直接意義在于大幅度減少泄漏的總量，大幅度節(jié)省時間，因之也可大量節(jié)省電力，所述各種優(yōu)點已被發(fā)明人通過實踐檢驗所證實，相關(guān)實驗數(shù)據(jù)可參見本實用新型實施例1所述。
[0012]作為優(yōu)選，真空系統(tǒng)包括與爐體的內(nèi)腔連通且相互為并聯(lián)關(guān)系連接的主閥和粗抽閥，主閥的出口端連接擴散泵，粗抽閥出口端的一個支路通過前級閥與擴散泵的輸出端連接，粗抽閥出口端的另一個支路與機械真空泵連接。
[0013]作為優(yōu)選，真空泵設(shè)有4-5級，包括一級擴散泵和3-4級機械真空泵，其中的擴散泵為油擴散泵，機械真空泵包括由若干臺串聯(lián)的羅茨泵所組成的羅茨泵組和若干臺并聯(lián)的機械泵所組成的機械泵組，羅茨泵組與機械泵組串聯(lián)連接。羅茨泵組尤其適用于抽中真空階段，油擴散泵主要用于抽高真空，機械泵組重點在于各階段抽真空，多臺并聯(lián)特別體現(xiàn)強力抽氣的意義。
[0014]作為優(yōu)選，真空泵包括I臺油擴散泵、2臺羅茨泵及至少2臺機械泵，羅茨泵組的輸入和輸出端并聯(lián)有旁路閥。
[0015]作為優(yōu)選，機械泵組由2-5臺規(guī)格和性能都相同的滑閥機械泵并聯(lián)組成。
[0016]作為優(yōu)選，羅茨泵組由抽氣量不同的2臺羅茨泵串聯(lián)組成。
[0017]作為優(yōu)選，換熱器由一臺大換熱器和一臺容量相對較小的小換熱器串聯(lián)組成。[0018]作為優(yōu)選，充氣放氣系統(tǒng)包括由GZ-25隔膜閥、GE-10隔膜網(wǎng)和氣缸閥依次串聯(lián)并通過充氣高壓管與氬氣瓶連接構(gòu)成的充氣裝置，充氣裝置連接有充氣壓力表。[0019]作為優(yōu)選，爐體上分布有3個熱電偶，其中一個布設(shè)在爐體上側(cè)，另一個布設(shè)在爐體的下側(cè)，還有一個布設(shè)在爐體上與爐門相對的另一端。
[0020]本實用新型的有益效果是:
[0021]1、選用真空泵時備有充足抽氣量裕量，配備抽氣量具有絕對優(yōu)勢的真空泵，省時省電效率高；
[0022]2、不同類型真空泵配搭，針對初抽真空、抽中真空、抽高真空各階段和燒結(jié)不同階段有機配合自動程序控制，恰到好處和避免浪費；
[0023]3、在羅茨泵組的輸入和輸出端并聯(lián)有旁路閥，可在粗抽真空階段將羅茨泵組短接；
[0024]4、大換熱器和小換熱器搭配，按需啟動，不僅具有節(jié)約的意義，也具有滿足不同工藝階段所要求的最佳工況溫度精準調(diào)節(jié)之所需；
[0025]5、機械泵組由2-5臺滑閥機械泵并聯(lián)組成，可選開或全開，機動靈活，強力抽氣；
[0026]6、本實用新型性能穩(wěn)定，運行成本低，可實現(xiàn)安全生產(chǎn)，能有效提高爐內(nèi)氣壓場分布及溫度場分布的均勻性，實測產(chǎn)品合格率達到98%以上，具有極高的節(jié)能意義，本企業(yè)試運行一年為企業(yè)節(jié)約成本達百萬以上的經(jīng)濟效益。
[0027]【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]圖1是本實用新型一種實施例的結(jié)構(gòu)原理示意圖；
[0029]圖2是本實用新型一種真空泵配置連接示意圖；
[0030]圖3是包括風冷和水冷的冷卻系統(tǒng)與爐體連接示意圖；
[0031]圖4是控制柜及擴散泵與爐體連接示意圖。
[0032]圖中，爐體I ;旁路閥10 ;爐門11 ;放氣閥12 ;充氣閥13 ;気氣瓶14 ;控制柜2 ;擴散泵3 ;大換熱器4 ;小換熱器41 ;回水箱42 ;冷卻風機5 ;主閥6 ;粗抽閥7 ;前級閥8 ;大羅茨泵91 ;小羅茨泵92 ;滑閥真空泵93。
[0033]【具體實施方式】
[0034]下面結(jié)合附圖和具體實施方案對本實用新型作進一步描述。
[0035]實施例1:如圖1所示，一種高真空燒結(jié)爐，包括爐體1、爐門11、機組系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、充氣放氣系統(tǒng)、氣動裝置、加熱及保溫裝置、冷卻系統(tǒng)及控制柜，爐體I為設(shè)置有雙層壁水套的臥式圓筒結(jié)構(gòu)，爐門11樞接在圓筒結(jié)構(gòu)的一端，爐門11包括位于外層的保溫層和位于內(nèi)層的鑰帶加熱層，保溫層用硅酸鋁石棉材料；爐門11的內(nèi)層為凸臺形狀的結(jié)構(gòu)，凸臺周邊設(shè)有與爐體配合連接的齒圈；爐體I上分布有3個熱電偶，其中一個布設(shè)在爐體I上偵U，另一個布設(shè)在爐體I的下側(cè)，還有一個布設(shè)在爐體I上與爐門11相對的另一端，熱電偶由具有二根鉬銠鉬偶絲組成，爐體I上還設(shè)有一個放氣閥12和一個充氣閥13，充氣放氣系統(tǒng)通過放氣閥12和充氣閥13與爐體I的內(nèi)腔連通；控制柜2上設(shè)有觸摸屏和以CPU為核心的控制機，熱電偶分別與CPU的輸入端連接；真空系統(tǒng)包括通過管接頭和閥門與爐體I的內(nèi)腔連通的至少3級真空泵，真空泵的總抽氣量比爐體內(nèi)腔氣量大1.5倍，真空泵極限真空度高于爐體內(nèi)腔真空度的要求2個數(shù)量級，真空泵的類型包括擴散泵3和機械真空泵；放氣閥12、充氣閥13及爐門11的動作由氣動裝置控制；冷卻系統(tǒng)包括通過換熱器4與雙層壁水套連接的冷卻水輸送裝置以及與換熱器4配套的冷卻風機5。
[0036]真空系統(tǒng)包括與爐體I的內(nèi)腔連通且相互為并聯(lián)關(guān)系連接的主閥6和粗抽閥7，主閥6的出口端連接擴散泵3，粗抽閥7出口端的一個支路通過前級閥8與擴散泵3的輸出端連接，粗抽閥7出口端的另一個支路與機械真空泵連接。
[0037]真空泵設(shè)有4級，包括I級擴散泵3、2級抽氣量不同的羅茨泵相串聯(lián)，以及I級機械泵，其中的擴散泵為油擴散泵，型號KT-600，8-9KW/臺；2臺型號分別為EJ-1200P的大羅茨泵91和EJ-300的小羅茨泵92組成羅茨泵組，2臺相同的機械泵并聯(lián)組成機械泵組，羅茨泵組與機械泵組串聯(lián)連接，羅茨泵組的輸入端和輸出端并聯(lián)有旁路閥10。機械泵的具體型號為2H-70B滑閥真空泵93，雙級結(jié)構(gòu)，單臺抽速70升/秒，極限壓力:5X10_2 Pa，電機額定功率7.5千瓦/臺，如圖2所示。
[0038]羅茨泵組尤其適用于抽中真空階段，油擴散泵主要用于抽高真空，機械泵組用于各階段抽真空，多臺并聯(lián)體現(xiàn)各類泵的優(yōu)勢，特別體現(xiàn)強力抽氣的意義。抽低真空不用通過羅茨泵，因其中間有八字型轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子與泵腔的間隙只有0.15mm。抽高真空時可以把2H-70B泵關(guān)閉一臺，EJ-300和EJ-1200P羅茨泵不用開。通過它把爐內(nèi)的一般性氣體或含有少量可凝性蒸汽氣體抽出。
[0039]換熱器由一臺大換熱器4和一臺容量相對較小的小換熱器41串聯(lián)組成，換熱器配有回水箱42，如圖3所示。
[0040]充氣放氣系統(tǒng)包括由GZ-25隔膜閥、GE-10隔膜網(wǎng)和氣缸閥依次串聯(lián)并通過充氣高壓管與氬氣瓶14連接構(gòu)成的充氣裝置，充氣裝置連接有充氣壓力表，如圖4所示。
[0041]燒結(jié)爐操作工藝過程如下:
[0042]1.通過氣動裝置打開爐門11，把產(chǎn)品裝在置于料車上的料盤上，料車推入爐體I內(nèi)，關(guān)爐門。
[0043]2.啟動機械泵2H-70B，當管道閥燈亮?xí)r，過I分鐘后開粗抽閥7，進行抽真空，程序延時5分鐘，起動大羅茨泵91和小羅茨泵92，進行抽中真空；相對應(yīng)的是編導(dǎo)燒結(jié)工藝曲線，包括A#B#C#F#曲線，這一`部份工作由工藝員預(yù)先已經(jīng)輸入完成，操作A#B#C#F#的第一條曲線是燒結(jié)，第三條曲線是900°C回火，第二條曲線是540°C回火，B#C#那條曲線接一下數(shù)碼開關(guān)就行了 ；在A#C#燒結(jié)那曲線打開觸摸屏后，接編輯曲線鍵，按程序步驟設(shè)定幾段，再按確認鍵和按調(diào)用曲線鍵，修改曲線號，在按調(diào)入屏內(nèi)確認鍵，再按曲線輸入名為MR13的確認鍵，再按主畫面反面主畫面上,觀察輸入程序?qū)Σ粚Α?br> [0044]3.燒結(jié)爐工藝，:抽真空到9.0El-lpa，開始加熱，此時不開擴散泵；加熱到300°C時保溫20分種，打開氣鎮(zhèn)閥進行氣鎮(zhèn)20分鐘，而后關(guān)氣鎮(zhèn)閥并經(jīng)過大約5分鐘，打開放油閥，把沉靜在油下面的水進行排放，當溫度在580°C…880°C之間，真空度要是降的較快，較低。約5.0El - 8.0Elpa時必須要打保持，真空度再繼續(xù)升溫。當880°C^ 900°C之間，必須開主閥，當真空度達到5.0E-2pa時方可繼續(xù)升溫，當1090°C保溫結(jié)束前20分鐘測一下壓升率完成后關(guān)加熱，自然降溫到860°C以下時，開擴散泵3、開旁通閥10、停羅茨泵組繼續(xù)加熱到900°C，當900°C結(jié)束進行冷卻。要提前15分鐘充氣，注意充氬氣時，瓶壓力必須要留有Impa壓力，剩余的氬氣等540°C回火時再用。注意操作工每爐都要經(jīng)常檢查充氣管路不能有漏氣，檢查時可以用洗衣粉水，確認管路不漏氣，把氬氣瓶14打開充壓后再關(guān)上，觀察壓力表指針會不會往低端掉；當溫度降到80°C以下時，不抽真空保氬氣壓力，繼續(xù)加熱至540°C保溫，然后由540°C冷卻到70°C以下出爐。
[0045]4.產(chǎn)品出爐，開機械泵，開粗抽閥，開爐門齒圈，當爐門齒圈開，關(guān)粗抽閥，開放氣閥或放氣隔膜閥。當產(chǎn)品出爐后，關(guān)爐門，進行抽低真空保護，抽到壓力表一0.1pa就行，要是燒結(jié)爐長時間不用，必須開羅茨泵真空計，抽到2.0EOpa就行了，最后按鈕全部關(guān)上，整個程序結(jié)束。
[0046]現(xiàn)有技術(shù)的真空燒結(jié)爐還存在一點不足，其往往采用較小爐腔結(jié)構(gòu)，因之單次載量少，平均耗電量大，本實用新型采用較大爐腔結(jié)構(gòu)和配置高強抽氣裝置，抽速上單爐比原有設(shè)備縮短了大約2小時，高真空燒結(jié)爐原裝載量為550kg，現(xiàn)在裝載量為800kg ；
[0047]在耗電量上，原真空燒結(jié)爐各用電器每爐為145kW +9kW +15kW +IlkW =180kW，合if 11115kff.h ；
[0048]現(xiàn)在高真空燒結(jié)爐每爐合計為145kW +9kff +7.5kff =161.5kff,合計7579.2kff.h，回火 145kff+7.5kff=152.5kff,合計 2260.05kff.h,共計 7579.2kff.h+2260.05kff.h=9839.25kff.h。
[0049]原有每爐生產(chǎn)所用電為11115kW.h，現(xiàn)有每爐生產(chǎn)可節(jié)約的電為1275.75kW.h，一年節(jié)電 1275.75kW.hX300 =382725kW.h，折合電費 382725X2.47 元=945330.75 元，一年總共節(jié)約電費945330.75元。
[0050]實施例2:真空泵的總抽氣量比爐體內(nèi)腔的氣量大2倍，真空泵極限真空度高于爐體內(nèi)腔真空度的要求高2個數(shù)量級，其余結(jié)構(gòu)同實施例1。
[0051]實施例3:2Η-70Β機械泵并聯(lián)設(shè)有3臺，其余結(jié)構(gòu)同實施例1。
[0052]本實用新型適用于稀土永磁鐵燒結(jié)的高真空燒結(jié)爐，具有真空泵儲備有充足抽氣量裕量，不同類型真空泵科學(xué)配搭并自動程序控制，省時省電效率高的優(yōu)點，本領(lǐng)域的技術(shù)人員如果對上述
【發(fā)明內(nèi)容】
作簡單的修改或替換，這樣的改變不能認為是脫離本實用新型的范圍，所有這樣對所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員顯而易見的修改將包括在本實用新型的權(quán)利要求的范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種高真空燒結(jié)爐，包括爐體、爐門、機組系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、充氣放氣系統(tǒng)、氣動裝置、加熱及保溫裝置、冷卻系統(tǒng)及控制柜，其特征是，爐體為設(shè)置有雙層壁水套的臥式圓筒結(jié)構(gòu)，爐門樞接在圓筒結(jié)構(gòu)的一端，爐門包括位于外層的保溫層和位于內(nèi)層的鑰帶加熱層，爐門的內(nèi)層為凸臺形狀的結(jié)構(gòu)；爐體上分布有若干個熱電偶、一個放氣閥和一個充氣閥，充氣放氣系統(tǒng)通過放氣閥和充氣閥與爐體的內(nèi)腔連通；控制柜上設(shè)有觸摸屏和以CPU為核心的控制機，熱電偶分別與CPU的輸入端連接；真空系統(tǒng)包括通過管接頭和閥門與爐體的內(nèi)腔連通的至少3級真空泵，而且真空泵的總抽氣量比爐體內(nèi)腔氣量至少大一倍以及真空泵極限真空度高于爐體內(nèi)腔真空度的要求超過一個數(shù)量級,真空泵的類型包括擴散泵和機械真空泵；放氣閥、充氣閥及爐門的動作由氣動裝置控制；冷卻系統(tǒng)包括通過換熱器與雙層壁水套連接的冷卻水輸送裝置以及與換熱器配套的冷卻風機。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高真空燒結(jié)爐，其特征是，真空系統(tǒng)包括與爐體的內(nèi)腔連通且相互為并聯(lián)關(guān)系連接的主閥和粗抽閥，主閥的出口端連接擴散泵，粗抽閥出口端的一個支路通過前級閥與擴散泵的輸出端連接，粗抽閥出口端的另一個支路與機械真空泵連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高真空燒結(jié)爐，其特征是，真空泵設(shè)有4-5級，包括一級擴散泵和3-4級機械真空泵，其中的擴散泵為油擴散泵，機械真空泵包括由若干臺串聯(lián)的羅茨泵所組成的羅茨泵組和若干臺并聯(lián)的機械泵所組成的機械泵組，羅茨泵組與機械泵組串聯(lián)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種高真空燒結(jié)爐，其特征是，真空泵包括I臺油擴散泵、2臺羅茨泵及至少2臺機械泵，羅茨泵組的輸入和輸出端并聯(lián)有旁路閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種高真空燒結(jié)爐，其特征是，機械泵組由2-5臺規(guī)格和性能都相同的滑閥機械泵并聯(lián)組成。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的一種高真空燒結(jié)爐，其特征是，羅茨泵組由抽氣量不同的2臺羅茨泵串聯(lián)組成。
7.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3、4或5所述的一種高真空燒結(jié)爐，其特征是，換熱器由一臺大換熱器和一臺容量相對較小的小換熱器串聯(lián)組成。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種高真空燒結(jié)爐，其特征是，充氣放氣系統(tǒng)包括由GZ-25隔膜閥、GE-1O隔膜網(wǎng)和氣缸閥依次串聯(lián)并通過充氣高壓管與氬氣瓶連接構(gòu)成的充氣裝置，充氣裝置連接有充氣壓力表。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種高真空燒結(jié)爐，其特征是，爐體上分布有3個熱電偶，其中一個布設(shè)在爐體上側(cè)，另一個布設(shè)在爐體的下側(cè)，還有一個布設(shè)在爐體上與爐門相對的另一端。
【文檔編號】F27B5/05GK203443321SQ201320420279
【公開日】2014年2月19日 申請日期:2013年7月16日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月16日
【發(fā)明者】蔡鐵生, 葛文偉, 何舜強, 杜國宏 申請人:東陽市和順磁業(yè)有限公司