一種晶棒加熱爐的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體加熱爐，具體地說是涉及一種晶棒加熱爐。一種晶棒加熱爐，包括爐體，其特征在于：所述的爐體內(nèi)設(shè)有多層剛玉磚，每層剛玉磚之間設(shè)有電爐絲，所述的爐體中間設(shè)有用于放置晶棒的加熱孔，所述的加熱孔四周設(shè)有高溫導(dǎo)熱陶瓷套，所述的晶棒放置在陶瓷套內(nèi)，所述的爐體上下設(shè)有隔熱板，所述的隔熱板中間設(shè)有與加熱孔配合的圓孔，所述隔熱板安裝在爐體上下端部的剛玉磚上。這樣結(jié)構(gòu)的一種晶棒加熱爐具有晶棒加熱均勻，使用方便，性能高的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】—種晶棒加熱爐
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體加熱爐，具體地說是涉及一種晶棒加熱爐。
【背景技術(shù)】
[0002]晶棒加熱爐它是有多層耐火磚壘制而成的，每層耐火磚之間設(shè)有電爐絲，加熱爐中間設(shè)有放置晶棒的加熱孔，使用時(shí)，將晶棒放置在加熱孔中，由于加熱爐是耐火磚壘制而成，存在加熱孔側(cè)壁粗糙，在加熱過程中晶棒容易損壞，加熱不均勻，晶棒壽命短的缺點(diǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的就是針對(duì)上述缺點(diǎn)，提供一種具有晶棒加熱均勻，使用方便，性能高的一種晶棒加熱爐。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種晶棒加熱爐，包括爐體，其特征在于:所述的爐體內(nèi)設(shè)有多層剛玉磚，每層剛玉磚之間設(shè)有電爐絲，所述的爐體中間設(shè)有用于放置晶棒的加熱孔，所述的加熱孔四周設(shè)有高溫導(dǎo)熱陶瓷套，所述的晶棒放置在陶瓷套內(nèi)，所述的爐體上下設(shè)有隔熱板，所述的隔熱板中間設(shè)有與加熱孔配合的圓孔，所述隔熱板安裝在爐體上下端部的剛玉磚上。
[0005]本實(shí)用新型的有益效果是:這樣結(jié)構(gòu)的一種晶棒加熱爐具有晶棒加熱均勻，使用方便，性能高的優(yōu)點(diǎn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]圖1是本實(shí)用新型的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0007]其中:1、爐體 2、剛玉磚3、電爐絲4、加熱孔5、陶瓷套6、隔熱板7、圓孔?！揪唧w實(shí)施方式】
[0008]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。
[0009]如圖1所示，一種晶棒加熱爐，包括爐體1，其特征在于:所述的爐體I內(nèi)設(shè)有多層剛玉磚2，每層剛玉磚2之間設(shè)有電爐絲3，所述的爐體I中間設(shè)有用于放置晶棒的加熱孔4，所述的加熱孔4四周設(shè)有高溫導(dǎo)熱陶瓷套5，所述的晶棒放置在陶瓷套5內(nèi)，所述的爐體I上下設(shè)有隔熱板6，所述的隔熱板6中間設(shè)有與加熱孔配合的圓孔7，所述隔熱板6安裝在爐體I上下端部的剛玉磚2上。
[0010]這樣結(jié)構(gòu)的一種晶棒加熱爐具有晶棒加熱均勻，使用方便，性能高的優(yōu)點(diǎn)。
【權(quán)利要求】
1.一種晶棒加熱爐，包括爐體，其特征在于:所述的爐體內(nèi)設(shè)有多層剛玉磚，每層剛玉磚之間設(shè)有電爐絲，所述的爐體中間設(shè)有用于放置晶棒的加熱孔，所述的加熱孔四周設(shè)有高溫導(dǎo)熱陶瓷套，所述的晶棒放置在陶瓷套內(nèi)，所述的爐體上下設(shè)有隔熱板，所述的隔熱板中間設(shè)有與加熱孔配合的圓孔，所述隔熱板安裝在爐體上下端部的剛玉磚上。
【文檔編號(hào)】F27B17/00GK203421953SQ201320443607
【公開日】2014年2月5日 申請(qǐng)日期:2013年7月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月25日
【發(fā)明者】和俊莉, 王丹, 張文濤, 陳磊, 錢俊有, 蔡水占, 劉栓紅 申請(qǐng)人:河南鴻昌電子有限公司